JP7027726B2 - 蛍光x線分析方法 - Google Patents

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Description

本発明は、Cd(カドミウム)元素を含有する試料の蛍光X分析方法に関し、さらに詳しくは、粒状体または粉状体(以下「粒状体または粉状体」を「粒状体等」とも称する)のような粒径が小さい試料の蛍光X線分析方法に関する。
Cdの元素分析法の一つとして蛍光X線分析装置を用いた分析方法が用いられている。図2は、土壌や米粉のような粒状体等の試料に含まれる元素の分析に用いるエネルギー分散型の蛍光X線分析装置の構造を示す図である。
蛍光X線分析装置10のテーブル開口部11に、粒状体等の試料Sを入れた試料ホルダ12を載置する。試料ホルダ12は筒体をなし、底面にフィルム12aが張られ、そのフィルム12a上に試料Sが載置してある。
蛍光X線分析装置10は、X線源であるX線管13(例えばRh(ロジウム)ターゲットを使用)と、半導体検出器14とを備え、X線管13からの一次X線を試料Sに照射し、一次X線により励起されて試料Sから発生した蛍光X線を半導体検出器14で検出する。
Cdの蛍光X線分析では、一次X線を試料Sに照射することにより23.7keVに強い蛍光X線(CdKα線)が出現する。これを半導体検出器14で計測する場合、一次X線を直接試料Sに照射しただけでは散乱X線が同時に検出されることになり、これが大きなバックグランド成分となってCdKα線がバックグランド成分中に埋もれてしまう。
そこで、分析対象のCd元素に適した一次フィルタを介在させることにより、散乱X線を吸収するようにしてバックグランド成分を低減することで、測定対象の蛍光X線を検出できるようにしている(例えば特許文献1参照)。
すなわち、Cdの場合、CdKα線のエネルギー近傍の20~25keVのX線の吸収特性が優れたCd用の一次フィルタ15(例えばCuフィルタやMoフィルタ)を照射X線の光路上に配置するようにしている。
特開2004-150990号公報
上述したように、一次フィルタの使用により、CdKα線のエネルギー近傍である20~25keVの範囲でのバックグランド成分が低減できる。しかしながら一次フィルタを使用すると、Cdの励起に寄与するCdのK吸収端(26.7keV)以上の一次X線についても一部が吸収されてしまうため、CdKα線の信号強度も低下することになる。
そこで本発明は、試料が粒状体等である特徴を利用して、CdKα線の検出感度を高めるようにしたCd元素の蛍光X線分析方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するためになされた本発明の蛍光X線分析方法は、粉状体または粒状体からなる試料のCdの分析を行う蛍光X線分析方法であって、CdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生する増感用元素を含有し、かつ、形状が粉状体または粒状体である添加剤を前記試料中に混合し、前記添加剤から前記CdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生させることが可能な管電圧でX線管から一次X線を発生させ、当該一次X線を、CdKα線近傍のエネルギー帯のX線を吸収することが可能な一次フィルタを介して試料に照射し、発生したCdKα線を検出することによりCdの分析を行うようにする。
ここで、CdのK吸収端(26.7keV)よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生する増感用元素としては、具体的にはTe(テルル)またはI(ヨウ素)を用いることができる。CdのK吸収端より大きいエネルギーの蛍光X線であっても、K吸収端から遠ざかるほど励起効率は小さくなり、K吸収端に近い蛍光X線であるほど励起効率が高くなる。したがって、K吸収端から+5keV以内の蛍光X線を発することが可能な元素を用いることにより励起効率を高めることができる。
本発明によれば、粉状体または粒状体からなる試料に、粉状体または粒状体形状の添加剤を混合する。添加剤にはCdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生することが可能な増感用元素が含有されている。添加剤が混合された試料に対し、増感用元素から蛍光X線を発生させることが可能な管電圧で一次X線を発生させ、CdKα線近傍のエネルギー帯のX線を吸収することが可能な一次フィルタを介して試料に照射する。これにより、一次X線がCdを直接励起するだけでなく、一次X線によって添加剤中の増感用元素が励起されて、CdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生するようになる。したがって、一次X線による直接励起とともに、増感用元素による蛍光X線による励起が加わるようになり、Cdの蛍光X線の信号強度が増大されるようになる。
本発明では、添加剤が粉状体または粒状体であって試料中に混合することができるので、増感用元素が試料中のCd元素と近接した位置に存在することになる。したがって、増感用元素から発生する蛍光X線によって高い励起効率でCdを励起することができるようになる。
また、粒状体の試料の場合には、隣接する試料粒子どうしの間に隙間が存在しており、この隙間は蛍光X線が発生しない領域となる。そこで試料粒子間の隙間に詰めることができる程度の試料よりも小径の添加剤を用いることにより、元の試料に対し、蛍光X線発生の有効体積量をほとんど損なうことなくCdの蛍光X線の信号強度を増強することができる。
上記発明において、添加剤は、試料とは異径であり、粒子径に基づいて分離する分離手段により前記試料に混合された状態から分離可能な粉状体または粒状体であることが好ましい。試料と添加剤とが異径であれば、粒子径に基づいて分離する分離手段によって添加剤を分離することができるので、添加剤を繰り返し利用することができる。
ここで、「粒子径に基づいて分離する分離手段」として、具体的には篩(ふるい)を用いることが最も簡単かつ確実に分離可能である。また、試料によっては超音波振動を利用したり、試料の回収が不要の場合は遠心分離装置等の分離手段を利用したりしてもよい。
また、上記発明において、添加剤が成形された樹脂粒またはガラス粒であってもよい。増感用元素を含有させた溶融樹脂あるいは溶融ガラスを冷却して固めることにより、粒径の揃った樹脂粒やガラス粒を容易に成形することができる。また、添加剤の粒径を具体的には0.5~2.0mm程度とすると使い勝手がよい。そして、粒径が異なる複数種の添加剤を用意しておき、試料の粒径とは異なる粒径の添加剤を選択するようにすれば、再利用が容易になる。
また、添加剤の形状についても、樹脂やガラスを用いるようにすれば、一般的な成形加工により、球状、ペレット状、ビーズ状に加工することが可能である。
本発明によれば、一次X線によりCdを直接励起するだけでなく、試料中に分散させた添加剤の増感用元素から発生する蛍光X線によってCdを励起することが可能となり、Cdの蛍光X線の信号強度を増大することができる。
本発明の蛍光X線分析方法で用いる試料ホルダの一例を示す図。 試料の元素分析に用いるエネルギー分散型蛍光X線分析装置を示す図。
以下、本発明の蛍光X線分析方法の実施例について図面を用いて説明する。
図1は、本発明の蛍光X線分析方法で用いる試料を入れた試料ホルダの一実施形態を示す図である。なお、以下の説明で使用する蛍光X線分析装置については、従来例と同様に図2に示した蛍光X線分析装置10を参照することとする。
本発明が従来例と異なる点は、試料ホルダ12内で試料Sに添加剤Tを混合している点である。
すなわち、図1に示すように試料ホルダ12には、試料S中に添加剤Tが均等に分散するように混合されている。添加剤Tは、増感用元素としてTeあるいはIの少なくもいずれかを含有したガラス粒からなる。このガラス粒の粒径は、相対的に試料Sの粒径とはできるだけ異なるものを使用するようにしてある。例えば図1(a)のように試料Sの粒径が小さい(例えば0.5mm程度)場合は、それよりも粒径の大きい(1mm程度)添加剤Tを混ぜるようにする。逆に、図1(b)のように試料Sの粒径が大きい(例えば1mm以上)場合には、それよりも小径の添加剤T(例えば0.5mm径)を混ぜるようにする。
このように、試料Sの粒径に応じて、これとは異なる粒径の添加剤Tを混合することにより、測定後に篩を用いて試料Sと添加剤Tとを粒径に基づいて分離することで、簡単に添加剤Tを試料Sから分離して再利用できるようになる。
蛍光X線分析装置10のX線管13には、例えばMoターゲットのものを用いる。管電圧の設定は、添加剤T中の増感用元素を励起して蛍光X線を発生できるエネルギーのX線が含まれる一次X線となるように設定する。具体的には、管電圧は例えば40~60kVの範囲で設定すればよく、ここでは50kVに設定する。
50kVの管電圧を印加する場合、K吸収端が50keVより小さく、蛍光X線のKα線がCdKα線(26.7keV)より大きい蛍光X線を発生する元素であれば、原理的にはCdを励起してCdKα線を増強することができる。このエネルギーの条件を満たす増感用元素の候補には、Te(元素番号52)~Eu(元素番号63)が該当する。
しかしながら、実際にCdを効果的に励起させることができる元素は、CdのK吸収端(26.7keV)に近い蛍光X線を発生する元素であり、最大でも31.7keV(26.7keV+5keV)程度までのエネルギーの蛍光X線を発生できる元素であり、それよりも高いエネルギーの蛍光X線ではCdの励起効率が小さくなる。このような条件に適合する増感用元素は、Te元素と、I元素とであるので、これらを本発明の増感用元素として採用する。
増感用元素を含有する添加剤Tの製造方法や含有量については特に限定されないが、例えば溶融させた樹脂あるいはガラスに増感用元素を添加して成形加工すればよい。
蛍光X線分析装置10で使用する一次フィルタ15については、従来と同様のCd用に用いる一次フィルタを用いればよい。具体的には、例えばCuフィルタやMoフィルタを照射X線の光路上に配置すればよい。これにより、CdKα線のエネルギー近傍である20~25keVの範囲でのバックグランド成分が低減できるとともに、Cdおよび増感用元素を励起することができるX線を十分に透過させることができる。
以上の条件で蛍光X線分析を行うことにより、試料中のCd元素の近くに存在する増感用元素Te、Iから発生する蛍光X線による励起により、添加剤を加えない従来の分析方法に比べてCdKα線を増強することができる。
以上本発明の一実施形態について説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形実施することができる。例えば、上記実施形態では試料Sと添加剤Tとを異径にするようにしたが、添加剤Tを再利用する必要がなければ異径にする必要はない。
本発明はCd元素の蛍光X線分析に利用することができる。
10 蛍光X線分析装置
11 テーブル開口部
12 試料ホルダ
13 X線管
14 半導体検出器
15 一次フィルタ
S 試料
T 添加剤

Claims (4)

  1. 粉状体または粒状体からなる試料のCdの分析を行う蛍光X線分析方法であって、
    CdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生する増感用元素を含有し、かつ、形状が粉状体または粒状体である添加剤を前記試料中に混合し、
    前記添加剤から前記CdのK吸収端よりも大きいエネルギーの蛍光X線を発生させることが可能な管電圧でX線管から一次X線を発生させ、当該一次X線を、CdKα線近傍のエネルギー帯のX線を吸収することが可能な一次フィルタを介して試料に照射し、
    発生したCdKα線を検出することによりCdの分析を行う方法において、
    前記添加剤は、前記試料とは異径であり、粒子径に基づいて分離する分離手段により前記試料に混合された状態から分離可能な粉状体または粒状体であることを特徴とする蛍光X線分析方法
  2. 前記増感用元素がTeまたはIである請求項1に記載の蛍光X線分析方法。
  3. 前記添加剤が成形された樹脂粒またはガラス粒である請求項1または請求項2のいずれかに記載の蛍光X線分析方法。
  4. 前記添加剤の粒径が0.5~2.0mmである請求項1~請求項3のいずれかに記載の蛍光X線分析方法。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001337056A (ja) 2000-05-29 2001-12-07 Nisshin Steel Co Ltd 表面処理鋼板に形成されたチタン系化成処理皮膜のTi付着量の測定方法
WO2006049051A1 (ja) 2004-11-08 2006-05-11 Sii Nanotechnology Inc. 蛍光x線分析装置
JP2007225469A (ja) 2006-02-24 2007-09-06 Sii Nanotechnology Inc 蛍光x線分析装置
JP2013205289A (ja) 2012-03-29 2013-10-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> コンクリート定量分析方法およびシステム
US20160123910A1 (en) 2014-11-04 2016-05-05 Amorepacific Corporation Method for quantitative analysis of heavy metals

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5810450B2 (ja) * 1972-08-18 1983-02-25 スクウエア−、デイ、カンパニ− 電気接点材料およびその製造方法
JP3117833B2 (ja) * 1993-03-01 2000-12-18 セイコーインスツルメンツ株式会社 蛍光x線分析装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001337056A (ja) 2000-05-29 2001-12-07 Nisshin Steel Co Ltd 表面処理鋼板に形成されたチタン系化成処理皮膜のTi付着量の測定方法
WO2006049051A1 (ja) 2004-11-08 2006-05-11 Sii Nanotechnology Inc. 蛍光x線分析装置
JP2007225469A (ja) 2006-02-24 2007-09-06 Sii Nanotechnology Inc 蛍光x線分析装置
JP2013205289A (ja) 2012-03-29 2013-10-07 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> コンクリート定量分析方法およびシステム
US20160123910A1 (en) 2014-11-04 2016-05-05 Amorepacific Corporation Method for quantitative analysis of heavy metals

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