JP7025995B2 - 歪ゲージ用薄膜抵抗体 - Google Patents
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TCR=dR/dT (2)
Claims (3)
- クロム(Cr)と酸素(O)と窒素(N)を含んでおり、一般式Cr100-x-yOxNyで表され、組成比x、yは、原子%において、3.0≦x≦15.0の関係と、1.0≦y≦10.0の関係を満たしており、前記クロムが(110)配向のbcc構造を有している、歪ゲージ用薄膜抵抗体。
- ゲージ率が10以上である、請求項1に記載の歪ゲージ用薄膜抵抗体。
- 抵抗温度係数が±100[ppm/℃]以下である、請求項1又は2に記載の歪ゲージ用薄膜抵抗体。
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JP2018098885A JP7025995B2 (ja) | 2018-05-23 | 2018-05-23 | 歪ゲージ用薄膜抵抗体 |
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