JP7021746B2 - 処理装置および処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、被処理体に対してエッチング処理や洗浄処理、現像処理等の処理液を用いた処理を行う処理装置および処理方法に関する。

処理装置の各部に設けられた様々な測定器によって、処理装置の各部で異常が生じているか否か判定される。例えば、特許文献１では、パージ処理に用いたパージガスの排出管に排気流量を測定する測定部を設け、測定部の測定結果に基づいてパージ処理の良否を判定する技術が提案されている。また、近年、様々な分野で省エネルギー化が求められており、例えば、特許文献２では、マンションの排水経路に水力発電装置を設けることで発電する技術が提案されている。

国際公開第２０１５／１１８７８２号 特開２００６－２３３７７９号公報

従来の処理装置では、装置内の各部に測定器を設けることで装置内の各部における異常の検知は行われたが、発電ユニットを処理装置に設け、当該発電ユニットを用いて処理装置の状態に係る情報を取得することは提案されていない。

開示の技術の１つの側面は、処理装置の流路に設けられた発電ユニットを用いて、当該処理装置の状態に係る情報を取得することを課題とする。

開示の技術の１つの側面は、次のような処理装置によって例示される。本処理装置は、被処理体を処理する処理ユニットと、前記処理ユニットと接続し、前記被処理体の処理に係る流体が通過する流路と、前記流路に設けられ、前記流体から受ける運動エネルギーを基に発電する発電ユニットと、前記発電ユニットから得られる流体通過評価値を検知する検知ユニットと、を備えることを特徴とする。

開示の技術において、被処理体とは、例えば、半導体基板、ガラス基板、液晶パネル等を挙げることができる。また、処理装置が実行する処理は、例えば、洗浄処理、塗布処理、現像処理等を挙げることができる。被処理体の処理に係る流体とは、例えば、被処理体に吐出したり塗布したりする薬液や、被処理体周囲を覆う雰囲気（不活性ガス：窒素（Ｎ_２）やアルゴン（Ａｒ）やヘリウム（Ｈｅ）や窒素と水素の混合気体（Ｎ_２＋Ｈ_２）、窒素とヘリウムの混合気体（Ｎ_２＋Ｈｅ））を挙げることができる。被処理体の処理に係る流体は純水であってもよい。発電ユニットは、例えば、水車発電機や風力発電機である。発電ユニットは、例えば、流体から圧力を受けることで発電する圧電素子を含んでもよい。また、発電ユニットは、例えば、流体が通過することによる流路の振動を受けて発電する振動発電素子を含んでもよい。

流体通過評価値は、流体の運動エネルギーの大きさによって変化する値である。流体通過評価値は、例えば、発電ユニットの発電量を挙げることができ、発電ユニットが水車発電機である場合には当該水車発電機が有する水車の回転数、発電ユニットが風力発電機で
ある場合には当該風力発電機が有する風車の回転数を挙げることができる。発電量は、例えば、発電ユニットの発電によって生ずる電力、電力量、電流値、電圧等である。

開示の技術によれば、被処理体の処理に係る流体が通過する流路に設けられた発電ユニットが、当該流路を通過する流体から受ける運動エネルギーを基に発電する。流体の運動エネルギーは、処理装置が正常な場合と異常な場合とで異なることがある。そのため、発電ユニットから流体通過評価値を取得することで、処理装置の異常検知に役立てることができる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記流体通過評価値と、前記流路を通過する前記流体の通過量との対応関係を記憶する記憶部と、前記流体通過評価値と前記対応関係に基づいて、前記流路を通過する流体の通過量を算出する算出ユニットと、をさらに備えることを特徴とする。このような特徴を有することで、流量計を用いなくとも、発電ユニットから得る流体通過評価値を基に流体の通過量を算出することができる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記発電ユニットは、前記流体から圧力を受けて回転する回転部と、前記回転部が回転する運動エネルギーを電気エネルギーに変換することで発電する発電部と、を有することを特徴とする。このような特徴を有することで、例えば、水車を有する水車発電機や風車を有する風力発電機を開示の技術に適用することができる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記流路は、前記処理ユニットから排出される流体が通過することを特徴とする。このような特徴を有することで、処理に用いた流体の排出状況を示す流体通過評価値を取得できる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記流体通過評価値に基づいて、前記処理装置の異常を判定する判定ユニットをさらに備えることを特徴とする。このような特徴を有することで、処理装置の異常を判定することができる。異常の判定では、前記流体通過評価値が所定の許容範囲を逸脱する場合に、前記処理装置に異常があると判定してもよい。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記処理ユニットに接続し、前記処理ユニットに前記流体を供給する供給流路と、前記供給流路に設けられ、前記供給流路を通過する流体の供給量を測定する測定ユニットと、をさらに備え、前記判定ユニットは、前記供給量と前記通過量とに基づいて、前記処理装置の異常を判定することを特徴とする。前記測定ユニットは、前記供給流路に設けられた流量計であってもよい。また、前記判定ユニットは、前記供給量と前記通過量との差の絶対値が、第１閾値以上である場合に、前記処理装置に異常があると判定してもよい。このような特徴を有することで、供給量に対する排出量を示す流体通過評価値を取得でき、供給量に対する排出量に異常がないか判定することができる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記判定ユニットは、前記供給量から前記通過量を減算した値が、第２閾値以上である場合に、前記流路に詰まりが発生していると判定することを特徴とする。このような特徴を有することで、処理装置の流路に詰まりが発生していることを検知できる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記流路内を洗浄する洗浄ユニットをさらに備え、前記判定ユニットは、前記流路に詰まりが発生していると判定すると、前記洗浄ユニットを駆動して、前記流路内の洗浄を行う。このような特徴を有することで、処理装置の流路において詰まりが生じても、洗浄することで詰まりの状態を改善することができる。

開示の技術は、次の特徴を有してもよい。前記処理装置は、複数の処理を含む一連の処理を被処理体に対して行う装置であり、前記一連の処理に含まれる処理の夫々について、当該処理が実行されているときにおける前記流体通過評価値の許容範囲との対応関係を記憶する記憶部をさらに備え、前記判定ユニットは、前記判定の時に実行している前記処理に対応付けられた前記許容範囲を前記流体通過評価値が逸脱している場合に、前記処理装置の異常を判定する。このような特徴を有することで、処理装置が複数の処理を含む一連の処理を被処理体に実行する場合に、前記判定の時に実行している処理に対応する適切な許容範囲に基づいて、処理装置の異常を判定することができる。

開示の技術は、方法の側面から把握することも可能である。

本処理装置は、処理装置の流路に設けられた発電ユニットを用いて、当該処理装置の状態に係る情報を取得することができる。

図１は、実施形態に係る基板処理装置の構成の一例を示す図である。 図２は、実施形態に係る基板処理ユニットの構成の一例を示す図である。 図３は、実施形態に係る基板処理装置が有する処理チャンバーの構成の一例を示す図である。 図４は、実施形態に係る基板処理装置の機能ブロック図の一例である。 図５は、排水量と水車発電機が有する水車の回転数との関係を例示する図である。 図６は、排水量と水車発電機が発電する発電量との関係を例示する図である。 図７は、実施形態に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例である。 図８は、第１変形例における排水量および排気量を測定する処理フローの一例である。 図９は、第２変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例を示す図である。 図１０は、第３変形例に係る気液分離ユニットの一例を示す図である。 図１１は、第３変形例に係る処理液の配管に詰まりが生じていることを検知する処理フローの一例を示す図である。 図１２は、第４変形例に係る閾値管理テーブルの一例を示す図である。 図１３は、第４変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例である。 図１４は、第５変形例に係る基板処理ユニットにおいて、処理チャンバー周辺の構成の一例を示す図である。 図１５は、第６変形例に係る基板処理装置の構成の一例を示す図である。

以下、図面を参照して、一実施形態に係る基板処理装置および基板処理装置を用いた基板処理方法について説明する。以下に示す実施形態の構成は例示であり、開示の技術は実施形態の構成に限定されない。

＜実施形態＞
図１は、実施形態に係る基板処理装置の構成の一例を示す図である。この基板処理装置１００は、一種以上の薬液及び純水を含む処理液を用いて基板に対してエッチング処理や
洗浄処理（以下、単に“処理”ともいう）を施すものである。処理液は、例えば、硫酸（Ｈ_２ＳＯ_４）、ＳＰＭ（硫酸と過酸化水素水との混合液）、リン酸（Ｈ_３ＰＯ_４）水溶液、ＳＣ１（アンモニアと過酸化水素の混合水溶液）、ＳＣ２（アンモニアと塩酸の混合水溶液）、フッ化水素（ＨＦ）水溶液、純水等である。

基板処理装置１００は、基板処理ユニット１０および蓄電ユニット２０を含む。基板処理ユニット１０および蓄電ユニット２０は、工場の床Ｆの床上に設けられており、廃液配管６１、排気配管６２は床Ｆの床下に設けられる。基板処理装置１００は、基板処理装置１００の管理者からの入力を受け付けるキーボード１０１や機器の異常等を報知するブザー１０２、警告灯１０３も備えている。基板処理装置１００は、「処理装置」の一例である。以下、図１を参照して、基板処理装置１００について説明する。

基板処理ユニット１０は、基板に対して処理を行うユニットである。基板処理ユニット１０は、１枚ずつの基板各々に対して処理液を吐出して処理する枚様式であってもよいし、複数の基板をまとめて処理液に浸漬して処理するバッチ式であってもよい。基板処理ユニット１０では、処理液を処理に適した温度に調整し、調整した処理液を用いて基板に対する処理を行う。また、基板処理ユニット１０には、基板処理装置１００における各種制御を行う情報処理装置である制御装置５０が設けられる。基板処理ユニット１０は、「処理ユニット」の一例である。

基板処理ユニット１０では、処理に用いられてライフタイムが経過した処理液は、排出可能な温度にまで冷却されて、廃液配管６１を介して工場に設けられた廃液配管である工場廃液配管２００にドレイン（排出）される。また、基板処理ユニット１０は、処理液の濃度制御や貯留槽内の処理液の入替等において、処理液を廃液配管６１を介して工場廃液配管２００にドレインする。

基板処理ユニット１０は、基板を処理するチャンバー内に清浄化された外気や窒素等の気体を供給して、処理対象の基板周囲における雰囲気を処理に好適な状態に保つ。基板処理ユニット１０は、チャンバー内に供給した気体を、排気配管６２を介して工場排気配管２１０に排気する。

廃液配管６１の管路途中には、水車発電機７０が設けられる。床Ｆから水車発電機７０までの距離は、概ね５ｍから１５ｍ程度であり、通常は１０ｍ程度である。水車発電機７０は、水車７１と発電機７２とを含む。水車７１は、例えば、衝動水車や反動水車である。発電機７２は、例えば、永久磁石同期タイプの発電機を採用することができる。水車発電機７０では、工場廃液配管２００に向けて廃液配管６１を流れる廃液から受ける運動エネルギーによって水車７１が回転し、回転する水車７１によって発電機７２内のタービンが回転することで発電が行われる。すなわち、水車発電機７０は、廃液から受ける運動エネルギーを電気エネルギーに変換しているということができる。廃液配管６１は、「流路」の一例である。水車発電機７０は、「発電ユニット」の一例である。水車７１は、「回転部」の一例である。発電機７２は、「発電部」の一例である。

廃液配管６１による廃液のドレインはポンプ等を用いずに自重によるドレインが行われることが多い。そのため、水車７１は、廃液配管６１の管路途中であって、１ｍ以上の落差を確保できる位置に設けられることが好ましい。このような位置に水車７１が設けられることにより、水車発電機７０の発電効率を向上させることができる。水車発電機７０と蓄電ユニット２０とは、送電線５１によって接続される。水車発電機７０は、発電した電力を送電線５１を介して蓄電ユニット２０に送電する。

送電線５１には、電流計９１が設けられる。電流計９１は、送電線５１を流れる電流の
電流値を測定する。すなわち、電流計９１は、水車発電機７０が蓄電ユニット２０に送電する電流の電流値を測定する。制御装置５０と電流計９１とは、通信ケーブル４１によって接続される。制御装置５０は、例えば、通信ケーブル４１を介して取得した電流計９１の測定結果を基に、水車発電機７０の発電量を測定する。制御装置５０は、例えば、水車７１の単位時間当たりの回転数等に基づいて、水車発電機７０の発電量を測定してもよい。上記発電量、電流値、水車７１の単位時間当たりの回転数を取得する制御装置５０は、「検知ユニット」の一例である。上記発電量、電流値、水車７１の単位時間当たりの回転数は、「流体通過評価値」の一例である。

排気配管６２の管路途中には、風力発電機８０が設けられる。床Ｆから風力発電機８０までの距離は、概ね５ｍから１５ｍ程度であり、通常は１０ｍ程度である。風力発電機８０は、風車８１と発電機８２とを含む。発電機８２は、例えば、永久磁石同期タイプの発電機を採用することができる。風力発電機８０では、工場排気配管２１０に向けて排気配管６２を流れる排気の運動エネルギーによって風車８１が回転し、回転する風車８１によって発電機８２内のタービンが回転することで発電が行われる。すなわち、風力発電機８０は、排気から受ける運動エネルギーを電気エネルギーに変換しているということができる。風力発電機８０と蓄電ユニット２０とは、送電線５２によって接続される。風力発電機８０は、発電した電力を送電線５２を介して蓄電ユニット２０に送電する。排気配管６２は、「流路」の一例である。風力発電機８０は、「発電ユニット」の一例である。風車８１は、「回転部」の一例である。発電機８２は、「発電部」の一例である。

送電線５２には、電流計９２が設けられる。電流計９２は、送電線５２を流れる電流の電流値を測定する。すなわち、電流計９２は、風力発電機８０が蓄電ユニット２０に送電する電流の電流値を測定する。制御装置５０と電流計９２とは、通信ケーブル４２によって接続される。制御装置５０は、例えば、通信ケーブル４２を介して取得した電流計９２の測定結果を基に、風力発電機８０の発電量を測定する。制御装置５０は、例えば、風車８１の単位時間当たりの回転数等に基づいて、風力発電機８０の発電量を測定してもよい。上記電流値や風車８１の単位時間当たりの回転数等を取得する制御装置５０は、「検知ユニット」の一例である。上記発電量、電流値、風車８１の単位時間当たりの回転数は、「流体通過評価値」の一例である。

蓄電ユニット２０は、電力を蓄電するユニットであり、例えば、ニッケル水素電池、リチウムイオン電池、鉛蓄電池、ナトリウム硫黄電池等である。蓄電ユニット２０と基板処理ユニット１０とは、送電線５３によって電気的に接続される。水車発電機７０が発電した電力は送電線５１を介して蓄電ユニット２０に送電される。また、風力発電機８０が発電した電力は、送電線５２を介して蓄電ユニット２０に送電される。蓄電ユニット２０は送電された電力を蓄電する。蓄電ユニット２０は、蓄電した電力を送電線５３を介して基板処理ユニット１０に供給してもよい。

＜基板処理装置の構成＞
図２は、実施形態に係る基板処理ユニットの構成の一例を示す図である。図２では、枚様式の基板処理ユニット１０が例示されている。以下、図２を参照して、基板処理ユニット１０についてより詳細に説明する。

処理液供給源１７には処理液が貯留される。処理液供給源１７とタンク１２とは、処理液供給管１５５によって接続される。処理液供給管１５５には、開閉弁１４１（例えば、ゲートバルブ）、調整弁３２（例えば、ニードルバルブ）および瞬時流量計３３（例えば、超音波流量計）が処理液供給源１７側からタンク１２に向けてこの順で設けられており、開閉弁１４１が開弁されることでタンク１２への処理液の供給を開始し、開閉弁１４１が閉弁されることでタンク１２への処理液の供給を停止する。処理液供給源１７からタン
ク１２に供給される処理液の流量は、調整弁３２によって制御される。瞬時流量計３３は、処理液供給管１５５を流れる処理液の単位時間当たりの流量を計測する。

タンク１２には、処理液供給管１５５を介して処理液供給源１７から処理液が供給される。タンク１２は、供給された処理液を貯留する。タンク１２は、供給管１５１によって、処理チャンバー１１と接続される。供給管１５１は、一端がタンク１２の底部（またはその近傍）に接続され、他端が処理チャンバー１１に接続される配管である。供給管１５１には、供給管１５１内を流れる処理液を加熱するヒーター１３１及びポンプ１３２が設けられる。ヒーター１３１により処理に適した温度に調整された処理液は、ポンプ１３２によって供給管１５１を介して処理チャンバー１１に圧送される。

タンク１２の底部には開閉弁１４５を備えるタンク廃液管１５４が設けられている。タンク廃液管１５４は、一端がタンク１２の底部（またはその近傍）に接続され、他端が図１に例示した廃液配管６１に接続される配管である。タンク１２に貯留される処理液の全液交換を実施する際には、開閉弁１４５が開弁されてタンク廃液管１５４および廃液配管６１を介してタンク１２内の処理液が工場廃液配管２００にドレイン（排出）される。

循環配管１５２は、一端が供給管１５１の管路途中１５１ｐに接続され、他端がタンク１２に接続される配管である。供給管１５１において、循環配管１５２が接続される管路途中１５１ｐよりもヒーター１３１の方がタンク１２側に設けられるため、循環配管１５２にはヒーター１３１によって加熱された処理液が流入する。

温度計１３３は、循環配管１５２に設けられる。上記の通り、ヒーター１３１によって加熱された処理液が循環配管１５２に流入するため、温度計１３３はヒーター１３１によって加熱された処理液の温度を計測できる。

濃度計１３４は、循環配管１５２に設けられ、処理液中の所定成分の濃度を計測する。濃度計１３４は、例えば、導電率を基に処理液中のフッ酸の濃度を計測するものであり、例えば、株式会社堀場製作所のフッ酸濃度モニタ ＨＦ－９６０ＥＭを採用することができる。

配管廃液管１５６は、一端が循環配管１５２に接続され、他端が図１に例示した廃液配管６１に接続される配管である。配管廃液管１５６の一端は、循環配管１５２のうち温度計１３３および濃度計１３４よりもタンク１２側に接続される。また、循環配管１５２には、循環配管１５２のうち配管廃液管１５６が接続される位置よりもタンク１２側に、開閉弁１４２が設けられる。配管廃液管１５６には開閉弁１４３が設けられる。配管廃液管１５６を介してドレインを行う際には、開閉弁１４２を閉弁してタンク１２への流路を閉塞するとともに、開閉弁１４４を閉弁して処理チャンバー１１への流路を閉塞する。さらに、開閉弁１４３が開弁されることで循環配管１５２を流れる処理液が配管廃液管１５６、廃液配管６１を介して工場廃液配管２００にドレインされる。

開閉弁１４４は、供給管１５１において、管路途中１５１ｐよりも処理チャンバー１１側に設けられる弁であり、例えば、ゲートバルブである。開閉弁１４４が閉弁されることで、タンク１２から処理チャンバー１１への処理液の流路が閉塞され、開閉弁１４４が開弁されることで、タンク１２から処理チャンバー１１への処理液の流路が開放される。

雰囲気供給源１６２は、処理チャンバー１１内の雰囲気（不活性ガス：窒素（Ｎ_２）やアルゴン（Ａｒ）やヘリウム（Ｈｅ）や窒素と水素の混合気体（Ｎ_２＋Ｈ_２）、窒素とヘリウムの混合気体（Ｎ_２＋Ｈｅ））を処理に好適な状態に保ったり、基板に対する処理に用いたりする雰囲気を貯留する。雰囲気供給管１５８は、一端が雰囲気供給源１６２に接
続され、他端が処理チャンバー１１に接続される配管である。雰囲気供給源１６２は、雰囲気供給管１５８を介して、処理チャンバー１１内に雰囲気を供給する。

処理チャンバー１１は、タンク１２から供給される処理液を基板に吐出して基板に対する処理を行う。処理チャンバー１１内の雰囲気は、清浄化した外気を導入したり、雰囲気供給源１６２からの雰囲気を導入したりして、処理に好適な状態に保たれる。

気液配管１１５は、一端が処理チャンバー１１の底部（又はその近傍）に接続され、他端が気液分離ユニット１６１に接続される配管である。処理チャンバー１１で処理に使用された処理液や、処理チャンバー１１内に供給された外気や雰囲気は、気液配管１１５を介して気液分離ユニット１６１に送出される。

気液分離ユニット１６１は、処理チャンバー１１から気液が混合した状態で流入する処理液と気体（例えば、外気や雰囲気）とを分離するユニットである。気液分離ユニット１６１には、回収管１５３と排気配管１５７が接続される。

回収管１５３は、一端が気液分離ユニット１６１に接続され、他端がタンク１２に接続される配管である。回収管１５３には開閉弁１４６が設けられる。回収管１５３は、気液分離ユニット１６１によって分離された処理液をタンク１２へ返送する流路となる。換言すれば、回収管１５３は、処理チャンバー１１において処理に用いられた処理液をタンク１２へ返送する流路となる。

回収廃液管１５９は、一端が回収管１５３に接続され、他端が図１に例示した廃液配管６１に接続される配管である。回収廃液管１５９の一端は、回収管１５３のうち開閉弁１４６よりも気液分離ユニット１６１側に接続される。回収廃液管１５９の管路途中には、開閉弁１４７が設けられる。

処理チャンバー１１における処理後の処理液を再利用する場合には、開閉弁１４６が開弁されることでタンク１２への流路が確保されるとともに、開閉弁１４７が閉弁されて回収廃液管１５９への流路が閉塞される。そして、気液分離ユニット１６１から回収管１５３に流入した処理液は、タンク１２に返送される。

ライフタイムの経過等の理由により処理液の回収が不要な場合には、開閉弁１４６が閉弁されてタンク１２への流路が閉塞されるとともに、開閉弁１４７が開弁されて回収廃液管１５９への流路が確保される。そして、気液分離ユニット１６１から回収管１５３に流入した処理液は、回収廃液管１５９および廃液配管６１を介して工場廃液配管２００にドレインされる。

排気配管１５７は、一端が気液分離ユニット１６１に接続され、他端が排気配管６２に接続される配管である。排気配管１５７は、気液分離ユニット１６１によって分離された気体を排気配管６２に送出する流路となる。気液分離ユニット１６１によって分離された気体は、排気配管６２を介して工場排気配管２１０へ排気される。

＜処理チャンバーの構成＞
図３は、実施形態に係る基板処理装置が有する処理チャンバーの構成の一例を示す図である。処理チャンバー１１は、基板Ｗを載置するテーブル１１１、吐出口１１２、１１６、壁１１３、ファンフィルタユニット１１４および気液配管１１５を有する。図３では、さらに、気液分離ユニット１６１および雰囲気供給源１６２が例示されている。

テーブル１１１は、略円柱形状に形成され、処理対象となる基板Ｗを載置して回転可能
である。吐出口１１２は、供給管１５１を介して供給された処理液をテーブルに載置された基板Ｗに対して吐出する。吐出口１１６は、雰囲気供給管１５８を介して雰囲気供給源１６２から供給された雰囲気を吐出する。テーブル１１１の周囲は壁１１３によって囲まれており、基板Ｗに対して吐出された処理液の飛散が抑制される。ファンフィルタユニット１１４は、フィルタで清浄化した外気をダウンフローとして処理チャンバー１１内に供給する。基板Ｗは、「被処理体」の一例である。

供給管１５１における吐出口１１２の近傍には、積算流量計１１２ａが設けられており、積算流量計１１２ａによって、吐出口１１２から吐出される処理液の流量を測定可能である。また、雰囲気供給管１５８における吐出口１１６の近傍には、積算流量計１１６ａが設けられており、積算流量計１１６ａによって、吐出口１１６から吐出される雰囲気の流量を測定可能である。供給管１５１および雰囲気供給管１５８は、「供給流路」の一例である。積算流量計１１２ａおよび積算流量計１１６ａは、「測定ユニット」の一例である。

ファンフィルタユニット１１４が導入した外気、吐出口１１２から吐出された処理液および吐出口１１６から吐出された雰囲気が混合した気液は、一端が、壁１１３によって区画された領域内における処理チャンバー１１の底部（又はその近傍）に接続された気液配管１１５を介して、気液分離ユニット１６１に送出される。気液分離ユニット１６１は箱状に形成されており、液体を沈殿させることで、導入された気液を気体と液体とに分離する。気液分離ユニット１６１の側面の上方には排気配管１５７が接続され、側面の下方には回収管１５３が接続される。すなわち、気液分離ユニット１６１に導入された気液は、液体が下方に沈殿して回収管１５３に送出される一方、気体は上方の排気配管１５７から排気配管６２に送出される。

＜基板処理装置の機能ブロック＞
基板処理装置１００の機能ブロックについて説明する。図４は、実施形態に係る基板処理装置の機能ブロック図の一例である。上記した基板処理ユニット１０および蓄電ユニット２０は、制御装置５０が有する制御部５５によって統括的に制御される。制御装置５０のハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御装置５０は、各種演算処理を行うＣＰＵ５５１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ５５２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ５５３を有する制御部５５と、制御部５５に接続され、プログラムＰ等を記憶する記憶部５７等を備えている。本実施形態においては、制御部５５のＣＰＵ５５１が記憶部５７に記憶されたプログラムＰを実行することにより、水車発電機７０および風力発電機８０各々の発電量の取得、処理液の温度調整、基板処理ユニットによる基板への処理の実行、処理液のドレイン等が実行される。

＜排水量と水車発電機との関係＞
図５は、排水量と水車発電機が有する水車の回転数との関係を例示する図である。図５では、縦軸が水車７１の単位時間当たりの回転数を示し、横軸が廃液配管６１を単位時間当たりに流れる排水量を示す。以下、本明細書において、単位時間当たりの回転数のことを単に回転数と表記し、単位時間当たりに流れる排水量を単に排水量と表記する。図５を参照すると理解できるように、排水量と回転数とは比例関係にある。すなわち、排水量が増加すると、水車７１の回転数も増加する。

図６は、排水量と水車発電機が発電する発電量との関係を例示する図である。図６では、縦軸が水車発電機７０の単位時間当たりの発電量を示し、横軸が廃液配管６１を単位時間当たりに流れる排水量を示す。以下、本明細書において、単位時間当たりの発電量を単に発電量と表記する。図６を参照すると理解できるように、排水量と発電量とは比例関係
にある。すなわち、排水量が増加すると、水車発電機７０の発電量も増加する。

＜排気量と風力発電機との関係＞
図５および図６を参照して、水車発電機７０が有する水車７１の回転数および水車発電機７０の発電量と、廃液配管６１を排水量との関係を説明した。同様のことは、風力発電機８０が有する風車８１の回転数および風力発電機８０の発電量と、排気配管６２を流れる単位時間当たりの排気量との関係にも言える。以下、本明細書において、単位時間当たりの排気量を単に排気量と表記する。

排気配管６２を流れる排気量と風車８１の回転数とは比例関係にあり、排気配管６２を流れる排気量が増加すると、風車８１の回転数も増加する。また、排気配管６２を流れる排気量と風力発電機８０の発電量とは比例関係にあり、排気配管６２を流れる排気量が増加すると、風力発電機８０の発電量も増加する。

記憶部５７は、例えば、基板処理ユニット１０が正常に運転しているときにおける、水車発電機７０の発電量に基づいて、基板処理ユニット１０で異常が生じていないと判定できる許容範囲（以下、水車発電量許容範囲と称する）を記憶していてもよい。また、記憶部５７は、例えば、基板処理ユニット１０が正常に運転しているときにおける、風力発電機８０の発電量に基づいて、基板処理ユニット１０で異常が生じていないと判定できる許容範囲（以下、風力発電量許容範囲と称する）を記憶していてもよい。制御部５５は、例えば、水車発電機７０の発電量が水車発電量許容範囲を逸脱した場合に、基板処理ユニット１０の異常を検知してもよい。また、制御部５５は、風力発電機８０の発電量が、風力発電量許容範囲を逸脱した場合に、基板処理ユニット１０の異常を検知してもよい。水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲は、「所定の許容範囲」の一例である。

＜異常検知の処理フロー＞
図７は、実施形態に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例である。以下、図７を参照して、実施形態に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例について説明する。

ステップＳ１では、処理チャンバー１１において、基板Ｗに対する処理が行われる。基板Ｗに対する処理では、上記の通り、処理液や雰囲気、清浄化された外気等が用いられる。ステップＳ１の処理は、「処理ステップ」の一例である。

ステップＳ２では、処理に用いられた処理液、雰囲気および外気等が混合された気液が、気液分離ユニット１６１に流入する。気液分離ユニット１６１は、気液を分離し、廃液は廃液配管６１に送出され、排気は排気配管６２に送出される。ステップＳ２は、「通過ステップ」の一例である。

ステップＳ３では、水車発電機７０は、廃液配管６１内を流れる廃液によって水力発電を行う。風力発電機８０は、排気配管６２内を流れる排気によって風力発電を行う。ステップＳ３は、「発電ステップ」の一例である。

ステップＳ４では、制御部５５は、水車発電機７０および風力発電機８０のそれぞれから、発電量を取得する。ステップＳ４の処理は、「検知ステップ」の一例である。

制御部５５は、水車発電機７０から取得した発電量が、記憶部５７に記憶した水車発電量許容範囲を逸脱しているか否かを判定する。また、制御部５５は、風力発電機８０から取得した発電量が、記憶部５７に記憶した風力発電量許容範囲を逸脱しているか否かを判定する。水車発電機７０の発電量および風力発電機８０の発電量の少なくともいずれかに
ついて許容範囲を逸脱している場合、制御部５５は異常を検知し（ステップＳ５でＹＥＳ）、処理はステップＳ６に進められる。異常を検知しない場合（ステップＳ５でＮＯ）、処理は終了する。ステップＳ６の処理を実行する制御部５５は、「判定ユニット」の一例である。ステップＳ６の処理は、「判定ステップ」の一例である。

ステップＳ６では、制御部５５は、ブザー１０２から警報音を出力したり、警告灯１０３を点灯したりして、異常の通知を行う。

＜実施形態の効果＞
実施形態では、制御部５５は、水車発電機７０および風力発電機８０の発電量を取得する。そのため、実施形態によれば、制御部５５は、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量を管理することができる。制御部５５は、水車発電機７０および風力発電機８０の発電量を、例えば、基板処理装置１００の管理者が使用する情報処理装置へ送信してもよい。

実施形態では、制御部５５は、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量と許容範囲とを基に、基板処理ユニット１０の異常を検知した。例えば、基板処理ユニット１０が正常に稼働しているときよりも風力発電機８０の発電量が少ない場合、処理チャンバー１１内の雰囲気が、基板Ｗの処理に好適な状態になっていないことが疑われる。また、例えば、基板処理ユニット１０が正常に稼働しているときよりも、水車発電機７０の発電量が少ない場合、廃液の流路のいずこか（例えば、気液分離ユニット１６１）において、つまりが生じていることが疑われる。実施形態によれば、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量と許容範囲とを基に、このような異常を検知するとともに、基板処理装置１００の管理者に対してブザー１０２や警告灯１０３によって通知することができる。

実施形態では、基板処理ユニット１０全体からの排水を行う廃液配管６１に設けられた水車発電機７０の発電量や、基板処理ユニット１０全体からの排気を行う排気配管６２に設けられた風力発電機８０の発電量を基に、基板処理ユニット１０の異常が判定された。そのため、実施形態によれば、基板処理ユニット１０の各部ではなく、基板処理ユニット１０全体のいずこかで生じた異常を検知することができる。

実施形態では、基板処理ユニット１０の異常を検知するために、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量を用いたが、発電量に代えて、水車発電機７０の水車７１の回転数および風力発電機８０の風車８１の回転数を用いても、同様の方法により、基板処理ユニット１０の異常を検知できる。

実施形態では、水車発電機７０および風力発電機８０は、それぞれ廃液配管６１および排気配管６２に設けられた。廃液配管６１および排気配管６２は、いずれも基板処理ユニット１０の外部に露出しているため、水車発電機７０および風力発電機８０を設けるために、基板処理ユニット１０の内部に対する作業は生じない。そのため、実施形態によれば、水車発電機７０および風力発電機８０を既設の基板処理ユニット１０に対して容易に追加することができる。

実施形態では、処理チャンバー１１から気液が混合した状態で排出された処理液と気体を気液分離ユニット１６１によって分離した後の配管に、水車発電機７０および風力発電機８０を設けた。そのため、廃液中の気体による泡がみ等による水車７１の回転効率の低下が抑制される。また、風力発電機８０においても、気体を想定して設計された風車８１に液体が衝突することが回避されるため、風車８１の故障等が抑制される。

実施形態では、廃液配管６１を流れる廃液や排気配管６２を流れる排気から受ける運動エネルギーを基に、水車発電機７０や風力発電機８０が発電を行った。発電された電力は、蓄電ユニット２０に蓄電されて、基板処理ユニット１０に供給される。このような電力を利用できる実施形態によれば、基板処理装置１００の省エネルギー化を実現できる。

なお、実施形態では、水車発電機７０の発電量および風力発電機８０の発電量の双方を用いて基板処理ユニット１０の異常を判定したが、水車発電機７０の発電量および風力発電機８０の発電量のいずれか一方を用いて基板処理ユニット１０の異常を判定してもよい。

＜第１変形例＞
実施形態では、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量を用いて、基板処理ユニット１０の異常を検知した。第１変形例では、水車発電機７０および風力発電機８０それぞれの発電量を用いて、基板処理ユニット１０の排水量および排気量を測定する。

図５および図６を参照して説明したように、水車７１の回転数や水車発電機７０の発電量と、廃液配管６１を流れる排水量とは比例関係にある。そのため、水車７１の回転数や水車発電機７０の発電量を基に、廃液配管６１を流れる通過量（排水量）を測定することができる。同様に、風車８１の回転数や風力発電機８０の発電量を基に、排気配管６２を流れる排気の通過量（排気量）を測定することができる。

＜排気量および排水量の測定＞
第１変形例では、水車発電機７０の発電量と廃液配管６１を流れる排水量との対応関係（以下、排水量対応関係と称する）をあらかじめ測定しておき、排水量対応関係を記憶部５７に記憶させておく。また、風力発電機８０の発電量と排気配管６２を流れる排気量との対応関係（以下、排気量対応関係と称する）をあらかじめ測定しておき、排気量対応関係を記憶部５７に記憶させておく。制御部５５は、水車発電機７０から受信した発電量と記憶部５７に記憶させた排水量対応関係とを基に、廃液配管６１を流れる排水量を測定する。また、制御部５５は、風力発電機８０から受信した発電量と記憶部５７に記憶させた排気量対応関係とを基に、排気配管６２を流れる排気量を測定する。

＜排気量、排水量の測定フロー＞
図８は、第１変形例における排水量および排気量を測定する処理フローの一例である。図７と同一の処理については同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、図８を参照して、第１変形例における排水量および排気量を測定する処理フローの一例について説明する。

ステップＳ１からステップＳ４の処理は、図７と同一である。そのため、その説明を省略する。ステップＳ１１では、制御部５５は、記憶部５７に記憶させた排水量対応関係および排気量対応関係を取得する。ステップＳ１２では、制御部５５は、ステップＳ４で取得した水車発電機７０の発電量と、ステップＳ１１で取得した排水量対応関係とを基に、廃液配管６１を流れる排水量を測定する。さらに、制御部５５は、ステップＳ４で取得した風力発電機８０の発電量と、ステップＳ１１で取得した排気量対応関係とを基に、排気配管６２を流れる排気量を測定する。ステップＳ１２の処理を実行する制御部５５は、「算出ユニット」の一例である。

＜第１変形例の効果＞
第１変形例では、水車発電機７０の発電量と排水量対応関係とを基に、廃液配管６１を流れる排水量を測定する。そのため、廃液配管６１に別途流量計等を設けなくとも、廃液
配管６１の排水量を測定できる。また、第１変形例では、風力発電機８０の発電量と排気量対応関係とを基に、排気配管６２を流れる排気量を測定する。そのため、排気配管６２に別途流量計等を設けなくとも、排気配管６２を流れる排気量を測定できる。

＜第２変形例＞
実施形態では、発電量と許容範囲とに基づいて、基板処理ユニット１０の異常が検知された。第２変形例では、処理液の供給量と排水量との差の絶対値、および雰囲気の供給量と排気量との差の絶対値に基づいた、基板処理ユニット１０の異常検知について説明する。

まず、処理液の供給量は、図３で説明した積算流量計１１２ａによって測定される。また、雰囲気の供給量は、図３で説明した積算流量計１１６ａによって測定できる。積算流量計１１２ａおよび積算流量計１１６ａの測定結果は制御部５５に送信される。

第２変形例では、基板処理ユニット１０が正常に運転しているときにおける、積算流量計１１２ａによって測定された処理液の供給量と排水量との差を測定しておき、測定結果の絶対値を閾値（排水量差分閾値と称する）として記憶部５７に記憶させる。また、基板処理ユニット１０が正常に運転しているときにおける、積算流量計１１６ａによって測定された雰囲気の供給量と排気量との差を測定しておき、測定結果の絶対値を閾値（排気量差分閾値と称する）として記憶部５７に記憶させる。排水量差分閾値および排気量差分閾値は、「第１閾値」の一例である。

図９は、第２変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例を示す図である。図７および図８と同一の処理には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、図９を参照して、第２変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例について説明する。

ステップＳ１からＳ４の処理の後、ステップＳ１１およびステップＳ１２の処理が行われる。ステップＳ２１では、制御部５５は、積算流量計１１２ａが測定した処理液の供給量を取得する。また、制御部５５は、積算流量計１１６ａが測定した雰囲気の供給量を取得する。

ステップＳ２２では、制御部５５は、ステップＳ２１で取得した処理液の供給量とステップＳ１２で測定した排水量との差の絶対値である排水差分量を算出する。また、制御部５５は、ステップＳ２１で取得した雰囲気の供給量とステップＳ１２で測定した排気量との差の絶対値である排気差分量を算出する。

ステップＳ２３では、制御部５５は、ステップＳ２２で算出した排水差分量が排水量差分閾値を超えている場合に、基板処理ユニット１０に異常が発生していると判定する。また、制御部５５は、ステップＳ２２で算出した排気差分量が排気量差分閾値を超えている場合に、基板処理ユニット１０に異常が発生していると判定する。排水差分量と排水量差分閾値に基づく判定および排気差分量と排気量差分閾値とに基づく判定の少なくとも一方において異常があると判定された場合（ステップＳ２３でＹＥＳ）、処理はＳ６に進められる。排水差分量と排水量差分閾値に基づく判定および排気差分量と排気量差分閾値とに基づく判定のいずれにおいても異常が判定されない場合（ステップＳ２３でＮＯ）、処理は終了する。

＜第２変形例の効果＞
第２変形例では、排水差分量が排水量差分閾値を超えている場合に基板処理ユニット１０に異常が発生していると判定する。排水差分量が排水量差分閾値を超えている場合とは
、処理液の供給量から排水量を減算した値が排水量差分閾値を超えている場合と、排水量から処理液の供給量を減算した値が排水量差分閾値を超えている場合とを含む。処理液の供給量から排水量を減算した値が排水量差分閾値を超えている場合には、正常な排水量よりも排水量が減少していることが理解できる。排水量が減少していることから、例えば、用力の異常な変動や基板処理ユニット１０のいずこかの配管で詰まりや漏れが生じる異常が発生していることが疑われる。

排水量から処理液の供給量を減算した値が排水量差分閾値を超えている場合には、正常な排水量よりも排水量が増加していることが理解できる。排水量が増加していることから、例えば、気液が正常に分離されずに廃液配管６１に流入している場合や、本来他の経路に流れるはずの廃液が廃液配管６１に流入する異常が発生していることが疑われる。

また、第２変形例では、排気差分量が排気量差分閾値を超えている場合に基板処理ユニット１０に異常が発生していると判定する。排気差分量が排気量差分閾値を超えている場合とは、雰囲気の供給量から排気量を減算した値が排気量差分閾値を超えている場合と、排気量から雰囲気の供給量を減算した値が排気量差分閾値を超えている場合とを含む。雰囲気の供給量から排気量を減算した値が排気量差分閾値を超えている場合には、正常な排気量よりも排気量が減少していることが理解できる。排気量が減少していることから、例えば、用力の異常な変動や基板処理ユニット１０のいずこかの配管で詰まりや漏れが生じる異常が生じていることが疑われる。

排気量から雰囲気の供給量を減算した値が排気量差分閾値を超えている場合には、正常な排気量よりも排気量が増加していることが理解できる。排気量が増加していることから、例えば、気液が正常に分離されずに排気配管６２に流入している場合や、本来他の経路に流れるはずの排気が排気配管６２に流入する異常が発生していることが疑われる。

第２変形例によれば、排水差分量が排水量差分閾値を超えている場合に基板処理ユニット１０に異常が発生していると判定することで、上記例示した異常の発生を検知することができる。

なお、ステップＳ２３において、排水差分量と排水量差分閾値とに基づいて基板処理ユニット１０に異常が発生しているか否かを判定する場合、制御部５５は、排水差分量と排水量差分閾値との差が所定の排水許容値以上である場合に、基板処理ユニット１０に異常があると判定してもよい。また、ステップＳ２３において、排気差分量と排気量差分閾値とに基づいて基板処理ユニット１０に異常が発生しているか否かを判定する場合、制御部５５は、排気差分量と排気量差分閾値との差が所定の排気許容値以上である場合に、基板処理ユニット１０に異常があると判定してもよい。

＜第３変形例＞
第３変形例では、基板処理ユニット１０の異常として、気液分離ユニット１６１近傍において詰まりが生じていることの検知について説明する。

基板処理ユニット１０において、回収管１５３における気液分離ユニット１６１近傍の部分は、処理液中の成分が溜まりやすいため、他の箇所と比較して詰まりやすいと考えらえる。詰まりが生じると、処理液の排水が阻害される。そのため、処理液の供給量から排水量を減算した値が、基板処理ユニット１０が正常に運転している場合と比較して、大きくなると考えられる。そこで、詰まりが生じていると判定できる詰まり閾値をあらかじめ決定しておき、詰まり閾値を記憶部５７に記憶させておく。第３変形例では、制御部５５は、図９のステップＳ２１で取得した処理液の供給量からステップＳ１２で測定した排水量を引いた量を算出し、算出した当該引いた量が、詰まり閾値以上である場合に、基板処
理ユニット１０に異常があると判定する。詰まり閾値は、「第２閾値」の一例である。

図１０は、第３変形例に係る気液分離ユニットの一例を示す図である。第３変形例に係る気液分離ユニット１６１ａは、洗浄装置３００を有する点で実施形態に係る気液分離ユニット１６１とは異なる。洗浄装置３００は、配管内部を洗浄する洗浄液をその内部に貯留する。洗浄装置３００は、貯留した洗浄液を図示しないポンプによって圧送することで、配管内を洗浄する。

洗浄装置３００は、洗浄配管３１０によって回収管１５３と接続される。洗浄配管３１０は、一方が洗浄装置３００と接続し、他方が回収管１５３の気液分離ユニット１６１近傍と接続する。この状態で洗浄装置３００が洗浄液を圧送すると、回収管１５３の気液分離ユニット１６１近傍を洗浄することができる。洗浄装置３００は、「洗浄ユニット」の一例である。

図１１は、第３変形例に係る処理液の配管に詰まりが生じていることを検知する処理フローの一例を示す図である。図９と同一の処理には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、図１１を参照して、第３変形例に係る処理液の配管に詰まりが生じていることを検知する処理フローの一例について説明する。

まず、図７のステップＳ１からＳ４の処理の後、図８のステップＳ１１、Ｓ１２および図９のステップＳ２１の処理が実行される。ステップＳ２２ａでは、制御部５５は、ステップＳ２１で取得した処理液の供給量から、ステップＳ１２で測定した排水量を減算する。

ステップＳ２３ａでは、制御部５５は、ステップＳ２２ａにおける減算の結果が、記憶部５７に記憶した詰まり閾値以上である場合に、気液分離ユニット１６１近傍において詰まりが生じていると判定し（ステップＳ２３ａでＹＥＳ）、処理をＳ６に進める。また、制御部５５は、ステップＳ２２ａにおける減算の結果が、記憶部５７に記憶した詰まり閾値未満である場合には（ステップＳ２３ａでＮＯ）、処理を終了する。

ステップＳ６に続いて、ステップＳ３１では、制御部５５は、洗浄装置３００を駆動して、洗浄液を回収管１５３の気液分離ユニット１６１近傍に圧送させる。これにより、気液分離ユニット１６１近傍における回収管１５３の内部を洗浄することができるため、当該箇所の詰まりの状態を改善できる。

＜第３変形例の効果＞
第３変形例では、処理液の供給量から排水量を減算した値が、詰まり閾値以上である場合に、ブザー１０２や警告灯１０３によって通知した。そのため、第３変形例によれば、詰まりが生じている虞があることを基板処理装置１００の管理者に通知することができる。

第３変形例では、詰まりがあると判定すると（ステップＳ２３ａでＹＥＳ）、制御部５５は、洗浄装置３００を駆動して、回収管１５３の気液分離ユニット１６１近傍における詰まりを除去する処理を実行した。そのため、第３変形例によれば、気液分離ユニット１６１近傍が詰まることによる処理液の漏液や排気の不良を抑制することができる。

なお、第３変形例では、詰まりがあると判定すると、通知（ステップＳ６）と詰まり除去（ステップＳ３１）の双方を実行したが、通知（ステップＳ６）と詰まり除去（ステップＳ３１）のいずれか一方のみを実行するとしてもよい。例えば、通知のみを実行する場合、通知を受けた基板処理装置１００の管理者が基板処理装置１００の状態を確認した上
で、キーボード１０１等により指示を行うことで、洗浄装置３００を駆動させてもよい。

＜第４変形例＞
実施形態および第１～第３変形例では、異常を判定する際の水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲は基板処理ユニット１０が実行している処理内容にかかわらず一定であった。第４変形例では、基板処理ユニット１０が実行している処理内容に応じて水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲を変動させる構成について説明する。

基板処理ユニット１０では、上記の通り、基板Ｗに対してエッチング処理や洗浄処理等の一連の処理を実行する。一連の処理における処理夫々では、使用される処理液や雰囲気等の量が異なるため、排水量や排気量も異なることになる。そのため、基板処理ユニット１０が実行している処理に応じて、水車発電機７０や風力発電機８０の発電量も変動する。そこで、第４変形例では、基板処理ユニット１０が実行している処理に応じて、水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲を変更する。

図１２は、第４変形例に係る閾値管理テーブルの一例を示す図である。図１２に例示される許容範囲管理テーブル４００は、例えば、記憶部５７に記憶される。許容範囲管理テーブル４００は、「処理内容」、「水車発電量許容範囲」および「風力発電量許容範囲」の各項目を有する。「処理内容」には、処理の内容を示す情報が格納される。「水車発電量許容範囲」には、処理内容に対応する水車発電量許容範囲が格納される。「風力発電量許容範囲」には、処理内容に対応する風力発電量許容範囲が格納される。すなわち、許容範囲管理テーブル４００は、処理内容の夫々に対する、水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲の対応を管理する。

制御部５５は、基板処理ユニット１０に対してある処理を実行させると、当該処理を示す情報を記憶部５７に記憶させる。例えば、制御部５５は基板処理ユニット１０に対して基板Ｗの水洗処理を実行させると、水洗処理を示す情報を記憶部５７に記憶させる。そして、制御部５５は、記憶部５７に記憶させた処理を示す情報を基に許容範囲管理テーブル４００を参照することで、実行中の処理に対応する水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲を取得することができる。

図１３は、第４変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例である。図７と同一の処理には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、図１３を参照して、第４変形例に係る基板処理ユニットの異常を検知する処理フローの一例について説明する。

ステップＳ４１では、制御部５５は、基板処理ユニット１０に対して、処理の実行を指示する。制御部５５は、実行を指示した処理の内容を示す情報を記憶部５７に記憶させる。

続いて、指示された内容の処理について、ステップＳ１からＳ４の処理が実行される。ステップＳ４２では、制御部５５は、記憶部５７に記憶させた処理の内容を示す情報を取得する。制御部５５は、取得した処理の内容を基に、許容範囲管理テーブル４００を参照して、基板処理ユニット１０が実行している処理に対応する水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲を取得する。

Ｓ５ａでは、制御部５５は、水車発電機７０から取得した発電量が、ステップＳ４２で取得した水水車発電量許容範囲を逸脱しているか否かを判定する。また、制御部５５は、風力発電機８０から取得した発電量が、ステップＳ４２で取得した風力発電量許容範囲を逸脱しているか否かを判定する。水車発電機７０の発電量および風力発電機８０の発電量
の少なくともいずれかについて、許容範囲を逸脱している場合、制御部５５は異常を検知し（ステップＳ５ａでＹＥＳ）、処理はステップＳ６に進められる。異常を検知しない場合（ステップＳ５ａでＮＯ）、処理は終了する。

＜第４変形例の効果＞
第４変形例では、処理内容に応じて水車発電量許容範囲および風力発電量許容範囲を変動させる。そのため、判定を実行する際に実行している処理夫々について、異常の判定をより適切に行うことができる。

＜第５変形例＞
実施形態および第１～第４変形例では、基板処理ユニット１０は一つの処理チャンバー１１を有したが、処理チャンバー１１は複数であってもよい。図１４は、第５変形例に係る基板処理ユニットにおいて、処理チャンバー周辺の構成の一例を示す図である。図１４では、複数の処理チャンバー１１の夫々から気液混合した状態で流入する処理液と排気を気液分離ユニット１６１で分離し、処理液は回収管１５３に、排気は排気配管１５７に流入する。回収管１５３に流入した処理液はタンク１２に貯留され、貯留された処理液はライフタイムの経過等によりタンク１２から廃液配管６１にドレインされる。また、排気配管１５７に流入した排気は、排気配管６２に送出される。

複数の処理チャンバー１１を基板処理ユニット１０が有する場合、処理チャンバー１１の夫々から排水および排気がなされる。処理チャンバー１１の夫々からの排水は、廃液配管６１で合流してドレインされる。また、処理チャンバー１１の夫々からの排気は、排気配管６２で合流して排気される。そのため、処理チャンバー１１が複数ある場合、処理チャンバー１１の夫々からの排水や排気が合流する廃液配管６１に水車発電機７０を設け、排気配管６２に風力発電機８０を設ければよい。このような構成とすることで、複数の処理チャンバー１１のいずれかで異常が発生したことを、水車発電機７０の発電量や風力発電機８０の発電量を基に判定することができる。なお、処理チャンバー１１の夫々に水車発電機７０と風力発電機８０を設けることを妨げるわけではない。

＜第６変形例＞
実施形態では、基板処理ユニット１０内において処理液の温度調整も行われたが、処理液の温度調整は基板処理ユニット１０とは別の装置によって実施されてもよい。第６変形例では、処理液の温度調整は温調制御ユニットが実施し、温度調整された処理液が基板処理ユニット１０ａに供給される構成について説明する。

図１５は、第６変形例に係る基板処理装置の構成の一例を示す図である。第６変形例に係る基板処理装置１００ａは、温調制御ユニット３０を有することと、基板処理ユニット１０ａが温調制御ユニット３０によって温度調整された処理液を処理に用いる点で、実施形態に係る基板処理装置１００と異なる。なお、図１５では、図示の都合上、排気配管６２は省略している。

温調制御ユニット３０は、処理に用いる処理液の加熱および冷却を行う。温調制御ユニット３０は、例えば、処理液の温度を処理に適した温度に調整し、調整した処理液を供給配管４１０を介して基板処理ユニット１０ａに供給する。また、基板処理ユニット１０ａにおいて処理に用いられた処理液は、返送配管４２０を介して温調制御ユニット３０に返送される。返送された処理液は、温調制御ユニット３０によって処理に適した温度に調整され、基板処理ユニット１０ａに供給されることで、基板処理ユニット１０ａにおける処理に再利用される。温調制御ユニット３０は、再利用が続けられたことによりライフタイムが経過した処理液を廃液可能な温度にまで冷却し、冷却した処理液を廃液配管６１ａを介して工場に設けられた廃液配管である工場廃液配管２００にドレイン（排出）する。

廃液配管６１ａの管路途中には、廃液配管６１と同様に、水車発電機７０が設けられる。廃液配管６１ａに設けられた水車発電機７０は、廃液配管６１ａを流れる廃液によって水車７１が回転することで、発電を行う。廃液配管６１ａに設けられた水車発電機７０は、送電線５１ａを介して蓄電ユニット２０に発電した電力を送電する。

送電線５１ａには、送電線５１と同様に、送電線５１ａを流れる電流の電流値を測定する電流計９１ａが設けられる。すなわち、電流計９１ａは、廃液配管６１ａに設けられた水車発電機７０が蓄電ユニット２０に送電する電流の電流値を測定する。基板処理ユニット１０ａの制御装置５０と電流計９１ａとは、通信ケーブル４１ａによって接続される。基板処理ユニット１０ａの制御装置５０は、例えば、通信ケーブル４１ａを介して取得した電流計９１ａの測定結果を基に、廃液配管６１ａに設けられた水車発電機７０の発電量を測定する。

温調制御ユニット３０によって温度調整された処理液が供給されるため、基板処理ユニット１０ａは処理液の加熱に用いるヒーター１３１を省略してもよいし、基板処理ユニット１０が有するヒーターよりも加熱能力の低いヒーターを基板処理ユニット１０ａのヒーターとして採用してもよい。

上記のような構成を有する基板処理装置１００ａでは、実施形態において基板処理ユニット１０の異常を判定したように、廃液配管６１ａに設けられた水車発電機７０の発電量に基づいて、温調制御ユニット３０の異常を検知することができる。図１５では図示の都合上省略したが、排気についても同様に、温調制御ユニット３０からの排気を工場排気配管に送出する配管に風力発電機８０を設けることで、その発電量を基に、温調制御ユニット３０の異常を判定できる。

以上説明した実施形態、第１～第６変形例では、発電は水車７１や風車８１のように、回転体によって行われた。しかしながら、開示の技術における発電は、このような回転体によるものに限定されない。発電は、例えば、廃液配管６１を流れる廃液や排気配管６２を流れる排気の圧力を受けて発電する圧電素子を用いたものであってもよい。また、廃液配管６１や排気配管６２に生じる振動を受けて発電する振動発電素子を用いたものであってもよい。すなわち、廃液や排気から運動エネルギーを受けて電気エネルギーに変換する手段であれば、どのような発電手段も開示の技術に適用することが可能である。

以上で開示した実施形態や変形例はそれぞれ組み合わせる事ができる。

１０、１０ａ・・・基板処理ユニット
１１・・・処理チャンバー
１２・・・タンク
１７・・・処理液供給源
２０・・・蓄電ユニット
２５・・・純水供給源
３０・・・温調制御ユニット
５５・・・制御部
５７・・・記憶部
６１、６１ａ・・・廃液配管
６２・・・排気配管
７０・・・水車発電機
７１・・・水車
７２、８２・・・発電機
８０・・・風力発電機
８１・・・風車
９１、９１ａ、９２・・・電流計
１１２ａ、１１６ａ・・・積算流量計
１６１、１６１ａ・・・気液分離ユニット
１００、１００ａ・・・基板処理装置
１０１・・・キーボード
１０２・・・ブザー
１０３・・・警告灯
３００・・・洗浄装置
２００・・・工場廃液配管
２１０・・・工場排気配管
４００・・・許容範囲管理テーブル

Claims (12)

1. 被処理体を処理する処理ユニットと、
   前記処理ユニットと接続し、前記被処理体の処理に係る流体が通過する流路と、
   前記流路に設けられ、前記流体から受ける運動エネルギーを基に発電する発電ユニットと、
   前記発電ユニットから得られる流体通過評価値を検知する検知ユニットと、
   前記流体通過評価値に基づいて、自装置の異常を判定する判定ユニットと、を備えることを特徴とする、
   処理装置。
2. 前記流体通過評価値と、前記流路を通過する前記流体の通過量との対応関係を記憶する記憶部と、
   前記流体通過評価値と前記対応関係に基づいて、前記流路を通過する流体の通過量を算出する算出ユニットと、をさらに備えることを特徴とする、
   請求項１に記載の処理装置。
3. 前記発電ユニットは、
   前記流体から圧力を受けて回転する回転部と、
   前記回転部が回転する運動エネルギーを電気エネルギーに変換することで発電する発電部と、を有することを特徴とする、
   請求項１または２に記載の処理装置。
4. 前記流路は、前記処理ユニットから排出される流体が通過することを特徴とする、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の処理装置。
5. 前記判定ユニットは、前記流体通過評価値が所定の許容範囲を逸脱する場合に、前記処理装置に異常があると判定する、ことを特徴とする、
   請求項１に記載の処理装置。
6. 前記流路は、前記処理ユニットから排出される流体が通過する流路であり、
   前記処理ユニットに接続し、前記処理ユニットに前記流体を供給する供給流路と、
   前記供給流路に設けられ、前記供給流路を通過する流体の供給量を測定する測定ユニットと、をさらに備え、
   前記判定ユニットは、前記供給量と前記流路を通過する前記流体の通過量とに基づいて、前記処理装置の異常を判定することを特徴とする、
   請求項１から３または５に記載の処理装置。
7. 前記測定ユニットは、前記供給流路に設けられた流量計である、ことを特徴とする、
   請求項６に記載の処理装置。
8. 前記判定ユニットは、前記供給量と前記通過量との差の絶対値が、第１閾値以上である場合に、前記処理装置に異常があると判定する、ことを特徴とする、
   請求項６または７に記載の処理装置。
9. 前記判定ユニットは、前記供給量から前記通過量を減算した値が、第２閾値以上である場合に、前記流路に詰まりが発生していると判定することを特徴とする、
   請求項６から８のいずれか一項に記載の処理装置。
10. 前記流路内を洗浄する洗浄ユニットをさらに備え、
    前記判定ユニットは、前記流路に詰まりが発生していると判定すると、前記洗浄ユニットを駆動して、前記流路内の洗浄を行う、
    請求項９に記載の処理装置。
11. 前記処理装置は、複数の処理を含む一連の処理を被処理体に対して行う装置であり、
    前記一連の処理に含まれる処理の夫々について、当該処理が実行されているときにおける前記流体通過評価値の許容範囲との対応関係を記憶する記憶部をさらに備え、
    前記判定ユニットは、前記判定の時に実行している前記処理に対応付けられた前記許容範囲を前記流体通過評価値が逸脱している場合に、前記処理装置の異常を判定する、
    請求項４から１０のいずれか一項に記載の処理装置。
12. 処理装置によって実行される処理方法であって、
    被処理体を処理する処理ステップと、
    前記被処理体の処理に係る流体を流路に通過させる通過ステップと、
    前記流路を流れる前記流体から受ける運動エネルギーを基に発電する発電ステップと、
    前記発電するステップにおいて得られる流体通過評価値を検知する検知ステップと、
    前記流体通過評価値に基づいて、前記処理方法を実行する装置の異常を判定する判定ステップと、を有することを特徴とする、
    処理方法。

Images