JP7021536B2 - 液体吐出装置およびその制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置およびその制御方法に関する。

従来から、液室の容積を変化させることによって、液室の液体を、液室に設けられているノズルから吐出する種々の液体吐出装置が提案されている。そうした液体吐出装置には、液室に接続されている液体流路の内壁面を変位させて、その流路抵抗を可変に制御するものがある（例えば、下記の特許文献１，２等）。

特開２００１－６３０４７号公報 特開２０１１－２１３０９４号公報

しかしながら、液体流路の流路抵抗を大きくするために、液体流路の流路断面積が小さくなる方向に内壁面を変位させた場合には、液体流路から液室へと液体が押し出されて、ノズルから液体が漏洩してしまう可能性があることを本願発明の発明者は見出した。また、液体流路の流路断面積を大きくする方向に内壁面を変位させた場合には、液室から液体流路へと液体が流出することによって、ノズルから外気が吸い込まれてしまう可能性があることを本願発明の発明者は見出した。こうした課題は、液室に液体を流入させる流入路と液室から液体を流出させる流出路の両方を備えている液体吐出装置に限らず、液室に接続されている液体の流路の内壁面を変位させる構成を有する液体吐出装置全般に共通する課題である。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

［１］本発明の第１形態によれば、液体を吐出する液体吐出装置が提供される。この形態の液体吐出装置は、ノズルに連通し、液体を収容する液室と；前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と；前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と；前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と；前記液室駆動部と、前記弁部と、を制御する制御部と；を備える。前記制御部は、（ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と；（ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と；のうちの少なくとも一方を実行する。
この形態の液体吐出装置によれば、流路の流路抵抗を大きくするために流路の容積を減少させる第１制御においては、少なくとも、流路の容積の減少によって流路から液室に流入する液体を収容できる分だけ液室の容積が増大する。従って、流路の容積の減少に起因して、ノズルから液体が流出してしまうことが抑制される。また、流路の流路抵抗を小さくするために、流路の容積を増大させる第２制御においては、少なくとも、流路の容積の増大によって液室から流路に流出する液体の体積分だけ液室の容積が減少する。従って、流路の容積の増大に起因して、ノズルから外気が引き込まれてしまうことが抑制される。

［２］上記形態の液体吐出装置において、前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路を含み；前記弁部は、前記流入路に設けられ、前記流入路の容積を変更する供給弁部を含み；前記第１制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積の減少によって前記流入路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１供給弁制御を含み；前記第２制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積の増大によって前記液室から前記流入路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２供給弁制御を含んでよい。
この形態の液体吐出装置によれば、流入路の流路抵抗を大きくするために流入路の容積を減少させる第１供給弁制御において、流入路の容積の減少に起因して、ノズルから液体が流出してしまうことが抑制される。また、流入路の流路抵抗を小さくするために、流入路の容積を増大させる第２供給弁制御において、流入路の容積の増大に起因して、ノズルから外気が引き込まれてしまうことが抑制される。

［３］上記形態の液体吐出装置において、前記液室は、第１ノズルに連通している第１液室と、第２ノズルに連通している第２液室と、を含み；前記液室駆動部は、前記第１液室の容積を変更する第１液室駆動部と、前記第２液室の容積を変更する第２液室駆動部と、を含み、；前記流入路は、前記第１液室に接続されている第１流入路と、前記第２液室に接続されている第２流入路と、を含み；前記供給弁部は、前記第１流入路の容積を変更する第１供給弁部と、前記第２流入路の容積を変更する第２供給弁部と、を含み；前記制御部は、前記第１制御および前記第２制御において、前記第１供給弁部に前記第１流入路の容積を変更させつつ、前記第２供給弁部に前記第２流入路の容積を変更させるのに伴って、前記第１液室駆動部に前記第１液室の容積を変更させつつ、前記第２液室駆動部に前記第２液室の容積を変更させ；前記第１供給弁部と前記第２供給弁部とは、共通の駆動部が発生させる駆動力によって、前記第１流入路と前記第２流入路の容積を変更させてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、第１供給弁部と第２供給弁部の駆動部が共通化されているため、液体吐出装置の小型化が可能である。また、第１供給弁部と第２供給弁部の動作を簡易に同期させることができる。

［４］上記形態の液体吐出装置において、前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み；前記弁部は、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部を含み；前記第１制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の減少によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上となるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１排出弁制御を含み；前記第２制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の増大によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上となるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２排出弁制御を含んでよい。
この形態の液体吐出装置によれば、流出路の流路抵抗を大きくするために流出路の容積を減少させる第１排出弁制御において、流出路の容積の減少に起因して、ノズルから液体が流出してしまうことが抑制される。また、流出路の流路抵抗を小さくするために、流出路の容積を増大させる第２排出弁制御において、流出路の容積の増大に起因して、ノズルから外気が引き込まれてしまうことが抑制される。

［５］上記形態の液体吐出装置において、前記液室は、第１ノズルに連通している第１液室と、第２ノズルに連通している第２液室と、を含み；前記液室駆動部は、前記第１液室の容積を変更する第１液室駆動部と、前記第２液室の容積を変更する第２液室駆動部と、を含み；前記流入路は、前記第１液室に接続されている第１流入路と、前記第２液室に接続されている第２流入路と、を含み；前記流出路は、前記第１液室に接続されている第１流出路と、前記第２液室に接続されている第２流出路と、を含み；前記排出弁部は、前記第１流出路の容積を変更する第１排出弁部と、前記第２流出路の容積を変更する第２排出弁部と、を含み；前記制御部は、前記第１制御および前記第２制御において、前記第１排出弁部に前記第１流出路の容積を変更させつつ、前記第２排出弁部に前記第２流出路の容積を変更させるのに伴って、前記第１液室駆動部に前記第１液室の容積を変更させつつ、前記第２液室駆動部に前記第２液室の容積を変更させ；前記第１排出弁部と前記第２排出弁部とは、共通の駆動部が発生させる駆動力によって、前記第１流出路と前記第２流出路の容積を変更させてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、第１排出弁部と第２排出弁部の駆動部が共通化されているため、液体吐出装置の小型化が可能である。また、第１排出弁部と第２排出弁部の動作を簡易に同期させることができる。

［６］上記形態の液体吐出装置において、前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み；前記弁部は、前記流入路の内壁面を変位させて前記流入路の容積を変更する供給弁部と、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部と、を含み；前記第１制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を減少させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのにともなって、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の増大によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１弁制御を含み；前記第２制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を増大させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の増大によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２弁制御を含んでよい。
この形態の液体吐出装置によれば、流入路および流出路の流路抵抗を大きくするためにそれらの容積を減少させる第１弁制御において、ノズルから液体が流出してしまうことが抑制される。また、流入路および流出路の流路抵抗を小さくするために、それらの容積を増大させる第２弁制御において、流入路および流出路の容積の増大に起因して、ノズルから外気が引き込まれてしまうことが抑制される。

［７］上記形態の液体吐出装置おいて、前記供給弁部と前記排出弁部とは、共通の駆動部が発生させる駆動力によって、前記流出路の容積および前記流入路の容積を変更させてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、液体吐出装置の小型化が可能である。また、供給弁部と排出弁部の動作を簡易に同期させることができる。

［８］上記形態の液体吐出装置は、さらに、前記流出路に排出された前記液体を前記流入路へと循環させるための循環路を備えてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、液室における液体の滞留を抑制することができ、液体の劣化を抑制することができる。

［９］本発明の第２形態によれば、ノズルに連通し、液体を収容する液室と、前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と、前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と、前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と、を備える液体吐出装置の制御方法が提供される。この形態の制御方法は、（ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と；（ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と、のうちの少なくとも一方を実行する工程を備える。
この形態の制御方法によれば、流路の流路抵抗を大きくするために流路の容積を減少させる第１制御において、流入路の容積の減少に起因して、ノズルから液体が流出してしまうことが抑制される。また、流入路の流路抵抗を小さくするために、流入路の容積を増大させる第２制御において、流入路の容積の増大に起因して、ノズルから外気が引き込まれてしまうことが抑制される。

上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。

本発明は、液体吐出装置およびその制御方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体吐出システムや、液体吐出装置が備えるヘッド、液体吐出システムやヘッドの制御方法、そうした制御方法を実現するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。

第１実施形態における液体吐出装置の構成を示す概略ブロック図。 第１実施形態におけるヘッド部の内部構成を示す概略断面図。 第１実施形態における吐出制御のフローを示す説明図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第１の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第２の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第３の概略図。 供給側移動体積の求め方を説明するための概略図。 第１実施形態における待機制御のフローを示す説明図。 第２実施形態における液体吐出装置の構成を示す概略ブロック図。 第２実施形態におけるヘッド部の内部構成を示す概略断面図。 第２実施形態における吐出制御のフローを示す説明図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第１の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第２の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第３の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第４の概略図。 排出側移動体積の求め方を説明するための概略図。 第２実施形態における待機制御のフローを示す説明図。 第３実施形態におけるヘッド部の内部構成を示す概略断面図。 第３実施形態における吐出制御のフローを示す説明図。 第３実施形態における待機制御のフローを示す説明図。 第４実施形態におけるヘッド部の内部構成を示す概略断面図。 第４実施形態におけるヘッド部の内部構成を模式的に表した概略斜視図。 第４実施形態の吐出制御のフローを示す説明図。 第４実施形態の吐出制御におけるタイミングチャートを示す説明図。 移動体積の求め方を説明するための概略図。 第４実施形態の待機制御のフローを示す説明図。 第５実施形態のヘッド部の内部構成を模式的に表した第１の概略斜視図。 第５実施形態のヘッド部の内部構成を模式的に表した第２の概略斜視図。 第６実施形態のヘッド部の内部構成を模式的に表した概略斜視図。 第７実施形態の吐出制御のフローを示す概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第１の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第２の概略図。 吐出制御におけるヘッド部の動作を示す第３の概略図。

Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態における液体吐出装置１００Ａの全体構成を示す概略ブロック図である。液体吐出装置１００Ａは、タンク１０と、圧力調整部１５と、供給路３０と、ヘッド部４０Ａと、制御部８０と、を備える。

タンク１０には液体が収容されている。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが収容される。タンク１０内の液体は、ヘッド部４０Ａに接続されている供給路３０を通じてヘッド部４０Ａに供給される。

供給路３０には、圧力調整部１５が設けられている。圧力調整部１５は、ヘッド部４０Ａに供給される液体の圧力を予め決められた圧力に調整する。ヘッド部４０Ａは、タンク１０から液体を吸引するポンプや、ヘッド部４０Ａ側の圧力が所定の圧力になるように開閉するバルブなどによって構成される（図示は省略）。ヘッド部４０Ａに供給された液体は、ヘッド部４０Ａにより吐出される。ヘッド部４０Ａの動作は、制御部８０により制御される。ヘッド部４０Ａの構成については後述する。

制御部８０は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、液体吐出装置１００Ａを制御するための種々の機能を実現する。制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。

図２は、ヘッド部４０Ａの内部構成を示す概略断面図である。図２は、ノズル４１の中心軸と流入路３１とを通る切断面におけるヘッド部４０Ａの構成を模式的に表している。ヘッド部４０Ａは、液体ＬＱを吐出するノズル４１と、ノズル４１に連通している液室４２と、を備える。

液室４２は、液体ＬＱが供給される部屋である。液室４２は、金属製の筐体の内部空間として構成されている。ノズル４１は、液室４２の底面４２ｅにおいて開口する貫通孔として設けられている。本実施形態では、ノズル４１は重力方向に開口している。なお、ヘッド部４０Ａは、ノズル４１と液室４２とそれぞれ２つ以上、備えていてもよい。

液室４２には、液室駆動部４３が設けられている。液室駆動部４３は、制御部８０（図１）の制御下において、液室４２の容積を変化させて、ノズル４１から液体ＬＱを吐出させるための駆動力を発生させる。液室４２の上面である天面４５は、金属製の薄膜状部材や弾性ゴムなどの撓み変形可能な部材によって、振動板（ダイヤフラム）として構成されている。液室駆動部４３は、この天面４５の上部に連結されており、天面４５に外力を付与して撓み変形させることにより、天面４５を上下方向に変位させて液室４２の容積を変更する。本実施形態では、液室駆動部４３は、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されている。ノズル４１から液体ＬＱを吐出させる液室駆動部４３の動作については後述する。

ヘッド部４０Ａの内部には、供給路３０（図１）と液室４２とを接続し、供給路３０から供給される液体ＬＱを液室４２に流入させる流路である流入路３１が設けられている。流入路３１には、供給弁部３３が設けられている。供給弁部３３は、制御部８０の制御下において、流入路３１の容積を変更して、流入路３１の流路抵抗を変化させることによって、液室４２と流入路３１との間の液体ＬＱの流れを制御する。

供給弁部３３は、流路壁部材３４と、駆動部３５と、を有する。流路壁部材３４は、流入路３１の内壁面の一部を構成している。流路壁部材３４は、金属薄膜や弾性ゴムなどの撓み変形可能な部材によって構成される。本実施形態では、流路壁部材３４は、流入路３１の上面側において上下方向に撓み変形するように配置されている。駆動部３５は、流路壁部材３４に連結されており、制御部８０の制御下において、流路壁部材３４を撓み変形させる外力を、流路壁部材３４に付与する。本実施形態では、駆動部３５は、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されている。

駆動部３５が伸縮変形して、供給弁部３３を撓み変形させることによって、供給弁部３３が設けられている部位における流入路３１の流路断面積が変化し、流入路３１の流路抵抗が変化する。本実施形態では、供給弁部３３は、流路壁部材３４を対向する内壁面に接触するまで撓み変形させて流入路３１を途中で遮断することができる。なお、供給弁部３３は、流入路３１の流路抵抗を増減させることができればよく、流入路３１を完全に遮断できなくともよい。

図３、図４Ａ～図４Ｃ、および、図５を参照して、制御部８０（図１）が実行するヘッド部４０Ａの吐出制御の一例を説明する。図３は、吐出制御のフローを示す説明図である。図４Ａ～図４Ｃは、吐出制御における各制御工程でのヘッド部４０Ａの動作を示す概略図である。

制御部８０は、吐出制御の実行前に、ヘッド部４０Ａを初期状態にする。この初期状態では、圧力調整部１５によって、液室４２の内圧がノズル４１のメニスカス耐圧以下の予めきめられた基準圧力に調整される。また、制御部８０は、液室４２の容積を予め決められた基準容積にし、流入路３１の容積を予め決められた基準容積にする。液室４２の基準容積は、液室駆動部４３に伸縮運動のための電圧が印加されず、天面４５を撓み変形させていないときの液室４２の容積としてもよい。同様に、流入路３１の基準容積は、供給弁部３３の駆動部３５に伸縮運動のための電圧が印加されず、流路壁部材３４を撓み変形させていないときの流入路３１の容積としてもよい。以下では、基準容積のときの流入路３１の流路抵抗を「基準抵抗」とも呼ぶ。

ステップＳ１０は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始する準備のための工程である。ステップＳ１０では、制御部８０は、流入路３１の容積を減少させて、流入路３１の流路抵抗を基準抵抗から増大させつつ、液室４２の容積を基準容積から拡大させる（図４Ａ）。本実施形態では、ステップＳ１０において、制御部８０は、流入路３１の容積を予め決められた最小容積まで減少させる。最小容積は、上述した流入路３１が遮断される容積であるとしてもよい。

ここで、ステップＳ１０における液室４２の容積の増加方向の変化量ΔＶ_Ｒは、供給弁部３３が流入路３１の容積を変動させることによって流入路３１から液室４２に流入する液体ＬＱの体積Ｖ_Ａ以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ａ）。この体積Ｖ_Ａは、供給弁部３３が流入路３１の容積を減少させることによって、流入路３１から液室４２に押し出される液体ＬＱの量に相当する。また、供給弁部３３が流入路３１の容積を増大させることによって、液室４２から流入路３１へと引き込まれる液体ＬＱの量に相当する。以下では、この液体ＬＱの体積Ｖ_Ａを「供給側移動体積Ｖ_Ａ」とも呼ぶ。供給側移動体積Ｖ_Ａの求め方については後述する。

ステップＳ１０では、液室４２における変化量ΔＶ_Ｒの容積の増加により、少なくとも、供給側移動体積Ｖ_Ａの液体ＬＱを受け入れることができるバッファー空間が液室４２に形成される。よって、流入路３１を閉じる方向への供給弁部３３の動作によって液室４２へと押し出された液体ＬＱによって、ノズル４１からの液体ＬＱの漏洩が生じてしまうことが抑制される。

ステップＳ１０での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ノズル４１からの外気の進入を抑制するために、ノズル４１にメニスカスが形成された状態が維持される範囲で設定されていることが望ましい。また、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、供給側移動体積Ｖ_Ａに、以下の工程におけるノズル４１からの液体ＬＱの吐出量に応じた液体ＬＱの体積を加算した値であってもよい。

ステップＳ１３は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始させる工程である。ステップＳ１３では、制御部８０は、液室駆動部４３を急激に伸長させて、液室４２の容積を低減させる（図４Ｂ）。これによって、液室４２から液体ＬＱが押し出されて、ノズル４１から液体ＬＱが噴出し始める。このとき、ステップＳ１０において流入路３１の流路抵抗が増大されているため、液体ＬＱの吐出のための液室４２の圧力が、流入路３１側に逃げてしまうことが抑制される。

ステップＳ１６は、ノズル４１から吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして分離させるための工程である。ステップＳ１６では、制御部８０は、ノズル４１から液体ＬＱが吐出されている間に液室駆動部４３を収縮させて、液室４２の容積を拡大させることによって、液室４２の圧力を低下させる（図４Ｃ）。これによって、ノズル４１から液室４２へと液体ＬＱを引き戻す吸引力が生じ、ノズル４１の外に吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして、ノズル４１の液体ＬＱから分離させて飛翔させることができる。

ステップＳ１６では、制御部８０は、供給弁部３３によって流入路３１の容積を緩やかに増大させて、流入路３１の容積を基準容積に戻し、流入路３１の流路抵抗を基準抵抗とする。流入路３１の容積の増大速度は、液室４２の容積の増大速度に応じて適宜調整されることが望ましい。流入路３１の容積の増大速度は、液滴ＤＲを分離させるための上述した吸引力が小さくなりすぎず、かつ、ノズル４１から外気が吸い込まれるほど大きくなりすぎないように調整されることが望ましい。

図５は、供給側移動体積Ｖ_Ａの求め方を説明するための概略図である。供給側移動体積Ｖ_Ａは、以下のようにして求めることができる。流入路３１および液室４２を液体ＬＱで満たして、ヘッド部４０Ａを上述した初期状態にし、このときのノズル４１でのメニスカスの位置を記録する。そして、液室駆動部４３に液室４２の容積を変更させることなく、供給弁部３３によって、流入路３１の容積を最小容積まで低減させ、初期状態における上記のメニスカスの位置からの液体ＬＱの増加量を求める。この増加量が、供給側移動体積Ｖ_Ａに相当する。供給側移動体積Ｖ_Ａは、流入路３１の容積を最小容積から基準容積まで戻したときの液室４２およびノズル４１における液体ＬＱの減少量として求められてもよい。

図６を参照して、制御部８０（図１）が実行するヘッド部４０Ａの待機制御の一例を説明する。図６は、待機制御のフローを示す説明図である。ステップＳ２０では、制御部８０は、ヘッド部４０Ａを待機状態にするか否かの判定をする。制御部８０は、予め決められた期間（例えば、数分～数時間程度）、液体ＬＱの吐出制御が実行されなかった場合に、ヘッド部４０Ａを待機状態にすることを決定する。制御部８０は、液体吐出装置１００Ａのユーザーによるヘッド部４０Ａを待機状態にする操作を受け付けたときにヘッド部４０Ａを待機状態にすることを決定するものとしてもよい。

ヘッド部４０Ａを待機状態にすることを決定すると、制御部８０は、ステップＳ２２の処理を実行する。ステップＳ２２では、制御部８０は、吐出制御でのステップＳ１０（図３，図４Ａ）と同様に、供給弁部３３に流入路３１の容積を減少させつつ、液室駆動部４３によって液室４２の容積を増大させて、ヘッド部４０Ａを待機状態とする。なお、ステップＳ２２での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、液室４２における圧力変化を無駄に生じさせないように、吐出制御のステップＳ１０での変化量ΔＶ_Ｒ以下の値であることが望ましい。また、ステップＳ２２では、供給弁部３３によって、流入路３１がほぼ遮断された状態になっていることが望ましい。

ステップＳ２２では、供給弁部３３の閉弁動作に伴って、液室４２の容積が増大するため、流入路３１から押し出される液体ＬＱに起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。また、待機状態では、供給弁部３３によって、供給弁部３３の上流側からの液体ＬＱの流入が抑制された状態にされるため、待機状態中にノズル４１から液体ＬＱが誤って漏洩してしまうことが抑制される。

制御部８０は、吐出制御の実行指令が発行されるまで、あるいは、ユーザーによる待機状態の解除操作を受け付けるまで、この待機状態を維持する（ステップＳ２５）。待機状態を解除するときには、制御部８０は、ステップＳ２６の処理を実行する。ステップＳ２６では、制御部８０は、供給弁部３３に流入路３１の容積を増大させる開弁動作をおこなわせつつ、液室駆動部４３に液室４２の容積を減少させて液室４２の容積を基準容積に戻す。ステップＳ２６における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ステップＳ２２と同様に、供給側移動体積Ｖ_Ａ以上の値である。

ステップＳ２６では、供給弁部３３の開弁動作をおこないつつ、液室４２の容積を減少させるため、流入路３１の容積が大きくなり始めた直後に生じる流入路３１へと液体ＬＱを引き込む力に起因して、ノズル４１から外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。ステップＳ２６において、供給弁部３３が開弁することによって、液体吐出装置１００Ａにおける待機制御が完了する。

制御部８０によるヘッド部４０Ａの制御のうち、上記のステップＳ１０，Ｓ２２のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが供給側移動体積Ｖ_Ａ以上になるように、流入路３１の容積を減少させつつ、液室４２の容積を増大させる制御を「第１供給弁制御」と呼ぶ（図３，図６）。また、上記のステップＳ２６のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが供給側移動体積Ｖ_Ａ以上になるように、流入路３１の容積を増大させつつ、液室４２の容積を減少させる制御を「第２供給弁制御」と呼ぶ（図６）。

本実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、第１供給弁制御によって、供給弁部３３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制されている。また、第２供給弁制御によって、供給弁部３３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２へと外気が進入してしまうことが抑制されている。その他に、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａおよびその制御方法によれば、上記の第１実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。

Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態における液体吐出装置１００Ｂの全体構成を示す概略ブロック図である。第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂは、以下に説明する点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａ（図１）の構成ほぼ同じである。液体吐出装置１００Ｂは、圧力調整部１５の代わりに、加圧ポンプ２０を備えており、ヘッド部４０Ａの代わりにヘッド部４０Ｂを備えている。また、液体吐出装置１００Ｂでは、さらに、排出路５０と、液体貯留部７０と、負圧発生源７５と、循環路９０と、が追加されている。

加圧ポンプ２０は、タンク１０内の液体を、供給路３０を通じてヘッド部４０Ｂに供給する。第２実施形態のヘッド部４０Ｂの構成およびその動作、制御方法については後述する。排出路５０は、ヘッド部４０Ｂと液体貯留部７０とを接続している。ヘッド部４０Ｂによって吐出されなかった液体は、排出路５０を通じて液体貯留部７０に排出される。液体貯留部７０には、負圧発生源７５が接続されている。負圧発生源７５は、液体貯留部７０内を負圧にすることにより、排出路５０を通じてヘッド部４０Ｂから液体を吸引する。負圧発生源７５は、各種のポンプによって構成される。

液体吐出装置１００Ｂでは、加圧ポンプ２０および負圧発生源７５は、供給路３０と排出路５０とに差圧を発生させてヘッド部４０Ｂに液体を供給する液体供給部として機能する。なお、加圧ポンプ２０および負圧発生源７５のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ２０または負圧発生源７５のいずれか単体で液体供給部を構成してもよい。液体吐出装置１００Ｂでは、吐出されなかった液体がヘッド部４０Ｂから排出されるので、ヘッド部４０Ｂ内での液体内の沈降成分の堆積や液体の蒸発に伴う液体の濃度変化など、ヘッド部４０Ｂにおける液体の滞留によって生じる液体の劣化が抑制される。

循環路９０は、液体貯留部７０とタンク１０とを接続している。排出路５０を通じてヘッド部４０Ｂから排出され、液体貯留部７０に貯留された液体は、循環路９０を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ２０によってヘッド部４０Ｂに供給される。循環路９０には、液体貯留部７０から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。なお、液体吐出装置１００Ｂでは、循環路９０を省略し、液体を循環させない構成が適用されてもよい。

図８は、ヘッド部４０Ｂの内部構成を示す概略断面図である。図８は、ノズル４１の中心軸と流入路３１と流出路５１とを通る切断面におけるヘッド部４０Ｂの構成を模式的に表している。第２実施形態のヘッド部４０Ｂの構成は、流入路３１の供給弁部３３が省略され、流出路５１と、排出弁部５３と、が追加されている点以外は、第１実施形態のヘッド部４０Ａ（図２）の構成とほぼ同じである。ヘッド部４０Ｂは、第１実施形態のヘッド部４０Ａと同様に、ノズル４１と液室４２とそれぞれ２つ以上、備えていてもよい。

流出路５１は、排出路５０（図７）と液室４２とを接続し、液室４２から排出される液体ＬＱが流れる流路である。流出路５１はヘッド部４０Ｂの内部に設けられている。流出路５１には、排出弁部５３が設けられている。排出弁部５３は、制御部８０（図７）の制御下において、流出路５１の容積を変更して、流出路５１の流路抵抗を変化させることによって、液室４２と流出路５１との間の液体ＬＱの流れを制御する。

排出弁部５３は、と、流路壁部材５４と、駆動部５５と、を有する。流路壁部材５４は、流出路５１の内壁面の一部を構成している。流路壁部材５４は、金属薄膜や弾性ゴムなどの撓み変形可能な部材によって構成される。流路壁部材５４は、流出路５１の上面側において上下方向に撓み変形するように配置されている。駆動部５５は、流路壁部材５４に連結されており、制御部８０（図７）の制御下において、流路壁部材５４を撓み変形させる外力を、流路壁部材５４に付与する。駆動部５５は、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されている。

駆動部５５が伸縮変形して、流路壁部材５４を撓み変形させることによって、流路壁部材５４が設けられている部位における流出路５１の流路断面積が変化し、流出路５１の流路抵抗が変化する。排出弁部５３は、対向する内壁面に接触するまで流路壁部材５４を撓み変形させて流出路５１を途中で遮断することができる。なお、排出弁部５３は、流出路５１の流路抵抗を増減させることができればよく、流出路５１を完全に遮断できなくともよい。

図９、図１０Ａ～図１０Ｄ、および、図１１を参照して、制御部８０が実行するヘッド部４０Ｂの吐出制御の一例を説明する。図９は、第２実施形態の吐出制御のフローを示す説明図である。図１０Ａ～図１０Ｄは、各制御工程でのヘッド部４０Ｂの動作を示す概略図である。

制御部８０は、吐出制御の実行前に、ヘッド部４０Ｂを初期状態にする。この初期状態では、制御部８０は、ノズル４１からの液体ＬＱの漏洩が生じないように、液室４２の内圧がノズル４１のメニスカス耐圧以下の予め決められた基準圧力になるように液室４２における液体ＬＱの流入量および流出量を調整する。また、制御部８０は、液室４２の容積を予め決められた基準容積にし、流出路５１の容積を予め決められた基準容積にする。液室４２の基準容積は、第１実施形態と同様に、液室駆動部４３に伸縮運動のための電圧が印加されず、天面４５を撓み変形させていないときの液室４２の容積としてもよい。また、流出路５１の基準容積は、排出弁部５３の駆動部５５に伸縮運動のための電圧が印加されず、流路壁部材５４を撓み変形させていないときの流出路５１の容積としてもよい。以下では、基準容積のときの流出路５１の流路抵抗を「基準流路抵抗」とも呼ぶ。

ステップＳ３０は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始する準備のための工程である。ステップＳ３０では、制御部８０は、流出路５１の容積を減少させて、流出路５１の流路抵抗を基準抵抗から増大させつつ、液室４２の容積を基準容積から増大させる（図１０Ａ）。制御部８０は、流出路５１の容積を予め決められた最小容積まで減少させる。最小容積は、上述した流出路５１が遮断される容積であるとしてもよい。

ここで、ステップＳ３０における液室４２の容積の増加方向の変化量ΔＶ_Ｒは、排出弁部５３が流出路５１の容積を変動させることによって流出路５１から液室４２に流入する液体ＬＱの体積Ｖ_Ｂ以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ｂ）。この体積Ｖ_Ｂは、排出弁部５３が流出路５１の容積を減少させることによって、流出路５１から液室４２に押し出される液体ＬＱの量に相当する。また、排出弁部５３が流出路５１の容積を増大させることによって、液室４２から流出路５１へと引き込まれる液体ＬＱの量に相当する。以下では、この液体ＬＱの体積Ｖ_Ｂを「排出側移動体積Ｖ_Ｂ」とも呼ぶ。排出側移動体積Ｖ_Ｂの求め方については後述する。

ステップＳ３０では、液室４２における変化量ΔＶ_Ｒの容積の増加により、少なくとも、排出側移動体積Ｖ_Ｂに相当する液体ＬＱを受け入れることができるバッファー空間が液室４２に形成される。よって、流出路５１を閉じる方向への排出弁部５３の動作によって液室４２へと押し出された液体ＬＱに起因して、ノズル４１からの液体ＬＱの漏洩が生じてしまうことが抑制される。

ステップＳ３０での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ノズル４１からの外気の進入を抑制するために、ノズル４１にメニスカスが形成された状態が維持される範囲で設定されていることが望ましい。液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、排出側移動体積Ｖ_Ｂに、以下の工程におけるノズル４１からの液体ＬＱの吐出量に応じた液体ＬＱの体積を加味した値であってもよい。

ステップＳ３３は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始させる工程である。ステップＳ３３では、制御部８０は、液室駆動部４３を急激に伸長させて、液室４２の容積を低減させる（図１０Ｂ）。これによって、液室４２から液体ＬＱが押し出されて、ノズル４１から液体ＬＱが噴出し始める。このとき、ステップＳ３０において流出路５１の流路抵抗が増大されているため、液体ＬＱの吐出のための液室４２の圧力が、流出路５１側に逃げてしまうことが抑制される。

ステップＳ３６は、ノズル４１から吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして分離させるための工程である。ステップＳ３６では、制御部８０は、ノズル４１から液体ＬＱが吐出されている間に、液室駆動部４３を収縮させて、液室４２の容積を拡大させることによって、液室４２の圧力を低下させる（図１０Ｃ）。これによって、ノズル４１から液室４２へと液体ＬＱを引き戻す力が生じ、ノズル４１の外に吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして、ノズル４１の液体ＬＱから分離させて飛翔させることができる。

また、ステップＳ３６では、制御部８０は、ステップＳ３８での排出弁部５３の開弁動作の準備のために、液室４２の容積を基準容積よりも大きくする。制御部８０は、以下に説明するステップＳ３８での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒに相当する分だけ、液室４２の容積を基準容積よりも大きくすることが望ましい。

ステップＳ３８では、制御部８０は、排出弁部５３に流出路５１の容積を増大させる開弁動作をおこなわせつつ、液室駆動部４３に液室４２の容積を減少させて液室４２の容積を基準容積に戻す（図１０Ｄ）。また、ステップＳ３８では、制御部８０は、流出路５１の容積を基準容積まで増大させて、流出路５１の流路抵抗を基準抵抗にする。

ステップＳ３８における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ステップＳ３０と同様に、排出側移動体積Ｖ_Ｂ以上の値である。ステップＳ３８では、排出弁部５３の開弁動作をおこないつつ、液室４２の容積を減少させるため、流出路５１の容積の増大によって生じる排出弁部５３へと液体ＬＱを引き込む力に起因して、ノズル４１から液室４２に外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。

図１１は、排出側移動体積Ｖ_Ｂの求め方を説明するための概略図である。排出側移動体積Ｖ_Ｂは、以下のようにして求めることができる。流入路３１と流出路５１と液室４２とを液体ＬＱで満たして、ヘッド部４０Ｂを上述した初期状態にし、このときのノズル４１でのメニスカスの位置を記録する。そして、液室駆動部４３に液室４２の容積を変更させることなく、排出弁部５３によって、流出路５１の容積を最小容積まで低減させ、初期状態における上記のメニスカスの位置からの液体ＬＱの増加量を求める。この増加量が、排出側移動体積Ｖ_Ｂに相当する。排出側移動体積Ｖ_Ｂは、流出路５１の容積を最小容積から基準容積まで戻したときの液室４２およびノズル４１における液体ＬＱの減少量として求められてもよい。

図１２を参照して、制御部８０（図７）が実行するヘッド部４０Ｂの待機制御の一例を説明する。図１２は、第２実施形態の待機制御のフローを示す説明図である。第２実施形態の待機制御のフローは、供給弁部３３を駆動するステップＳ２２，Ｓ２６の代わりに、排出弁部５３を駆動するステップＳ２３，Ｓ２７が設けられている点以外は、第１実施形態の待機制御のフロー（図６）と同様である。

制御部８０は、ステップＳ２０においてヘッド部４０Ｂを待機状態にすることを決定すると、ステップＳ２３の処理を実行する。ステップＳ２３では、制御部８０は、吐出制御でのステップＳ３０（図９，図１０Ａ）と同様に、排出弁部５３に流出路５１の容積を減少させつつ、液室駆動部４３によって液室４２の容積を増大させて、ヘッド部４０Ｂを待機状態とする。ステップＳ２３では、排出弁部５３の閉弁動作に伴って、液室４２の容積が増大するため、流出路５１から押し出される液体ＬＱに起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。なお、ステップＳ２３での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、液室４２における圧力変化を無駄に生じさせないように、吐出制御のステップＳ３０での変化量ΔＶ_Ｒ以下の値であることが望ましい。また、ステップＳ２３では、排出弁部５３によって、流出路５１がほぼ遮断された状態になっていることが望ましい。

待機状態を解除するときには、制御部８０は、ステップＳ２７の処理を実行する。ステップＳ２７では、制御部８０は、吐出制御でのステップＳ３８（図９，図１０Ｄ）と同様に、排出弁部５３に流出路５１の容積を増大させる開弁動作をおこなわせつつ、液室駆動部４３に液室４２の容積を減少させて液室４２の容積を基準容積に戻す。ステップＳ２７における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ステップＳ２３と同様に、排出側移動体積Ｖ_Ｂ以上の値である。ステップＳ２７では、吐出制御でのステップＳ３８と同様に、排出弁部５３の開弁動作に伴って、ノズル４１から外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。

制御部８０によるヘッド部４０Ｂの制御のうち、上記のステップＳ３０，Ｓ２３のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが排出側移動体積Ｖ_Ｂ以上になるように、流出路５１の容積を減少させつつ、液室４２の容積を増大させる制御を「第１排出弁制御」と呼ぶ（図９，図１２）。また、上記のステップＳ３８，Ｓ２７のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが排出側移動体積Ｖ_Ｂ以上になるように、流出路５１の容積を増大させつつ、液室４２の容積を減少させる制御を「第２排出弁制御」と呼ぶ（図９，図１２）。

第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂによれば、第１排出弁制御によって、排出弁部５３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制されている。また、第２排出弁制御によって、排出弁部５３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２へと外気が進入してしまうことが抑制されている。その他に、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂおよびその制御方法によれば、上記の第１実施形態および第２実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。

Ｃ．第３実施形態：
図１３は、第３実施形態における液体吐出装置が備えるヘッド部４０Ｃの内部構成を示す概略断面図である。図１３は、ノズル４１の中心軸と流入路３１と流出路５１とを通る切断面におけるヘッド部４０Ｃの構成を模式的に表している。

第３実施形態の液体吐出装置は、第２実施形態のヘッド部４０Ｂの代わりに、第３実施形態のヘッド部４０Ｃを備えている点以外は、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂの構成（図７）とほぼ同じである。第３実施形態のヘッド部４０Ｃは、流入路３１に第１実施形態で説明した供給弁部３３が設けられている点以外は、第２実施形態のヘッド部４０Ｂの構成（図８）とほぼ同じである。ヘッド部４０Ｃは、ノズル４１と液室４２とそれぞれ２つ以上、備えていてもよい。

図１４を参照して、第３実施形態の液体吐出装置において制御部８０（図７）が実行するヘッド部４０Ｃの吐出制御の一例を説明する。図１４は、吐出制御のフローを示す説明図である。第３実施形態の吐出制御では、第１実施形態の吐出制御（図３）と第２実施形態の吐出制御（図９）とが組み合わされている。

ステップＳ４０は、第１実施形態で説明した第１供給弁制御である。ステップＳ４０では、第１実施形態で説明したステップＳ１０（図３）と同様に、制御部８０は、流入路３１の容積を減少させて、流入路３１の流路抵抗を基準抵抗から増大させつつ、液室４２の容積を基準容積から拡大させる。ステップＳ４０における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、第１実施形態で説明した供給側移動体積Ｖ_Ａ（図５）以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ａ）。これによって、供給弁部３３の閉弁動作に伴って、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。

ステップＳ４２は、第２実施形態で説明した第１排出弁制御である。ステップＳ４２では、第２実施形態で説明したステップＳ３０（図９）と同様に、制御部８０は、流出路５１の容積を減少させて、流出路５１の流路抵抗を基準抵抗から増大させつつ、液室４２の容積を増大させる。ステップＳ４２では、液室４２の容積は、ステップＳ４０において増大された容積から、さらに増大する。ステップＳ４２における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、第２実施形態で説明した排出側移動体積Ｖ_Ｂ（図１１）以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ａ）。これによって、排出弁部５３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。

ステップＳ４５では、第１実施形態のステップＳ１３（図３）と同様に、制御部８０は、液室駆動部４３を急激に伸長させて、液室４２の容積を低減させる。これによって、液室４２から液体ＬＱが押し出されて、ノズル４１から液体ＬＱが噴出し始める。このとき、ステップＳ４０，Ｓ４２において流入路３１および流出路５１の流路抵抗が増大されているため、液体ＬＱの吐出のための液室４２の圧力が、流入路３１および流出路５１に逃げてしまうことが抑制される。

ステップＳ４６では、制御部８０は、ノズル４１から液体ＬＱが吐出されている間に液室４２の容積を増大させて、ノズル４１から液室４２へと液体ＬＱを引き戻す吸引力を生じさせる。これによって、ノズル４１の外に吐出された液体ＬＱがノズル４１の液体ＬＱから分離して液滴ＤＲとして飛翔する。また、制御部８０は、流入路３１の容積を基準容積まで緩やかに増大させて、流入路３１の流路抵抗を基準抵抗に戻す。制御部８０は、流入路３１の容積を変動させている間に、液室４２の容積を基準容積よりも増大させる。

ステップＳ４８は、第２実施形態で説明した第２排出弁制御である。ステップＳ４８では、第２実施形態で説明したステップＳ３８（図９）と同様に、制御部８０は、排出弁部５３に流出路５１の容積を基準容積まで増大させる開弁動作をおこなわせつつ、液室駆動部４３に液室４２の容積を減少させて液室４２の容積を基準容積に戻す。ステップＳ４８における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、第２実施形態で説明した排出側移動体積Ｖ_Ｂ（図１１）以上の値である。これによって、供給弁部３３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２に外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。

図１５を参照して、第３実施形態の液体吐出装置において制御部８０が実行するヘッド部４０Ｃの待機制御の一例を説明する。図１５は、第３実施形態の待機制御のフローを示す説明図である。第３実施形態の吐出制御では、第１実施形態の待機制御（図６）と第２実施形態の待機制御（図１２）とが組み合わされている。

第３実施形態の制御フローでは、制御部８０は、ステップＳ２０において、ヘッド部４０Ｃを待機状態にすることを決定した場合には、ステップＳ２２とステップＳ２３とを順に実行する。ステップＳ２２は、第１実施形態で説明した第１供給弁制御である（図６）。ステップＳ２３は、第２実施形態で説明した第１排出弁制御である（図１２）。ステップＳ２２とステップＳ２３の実行順序は入れ替えられてもよい。

制御部８０は、ヘッド部４０Ｃの待機状態を解除する場合には、ステップＳ２６とステップＳ２７とを順に実行する。ステップＳ２６は、第１実施形態で説明した第２供給弁制御である（図６）。ステップＳ２７は、第２実施形態で説明した第２排出弁制御である（図１２）。ステップＳ２６とステップＳ２７の実行順序は入れ替えられてもよい。

第３実施形態の液体吐出装置によれば、第１供給弁制御によって、供給弁部３３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制されている。また、第１排出弁制御によって、排出弁部５３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制されている。第３実施形態の液体吐出装置によれば、第２供給弁制御によって、供給弁部３３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２へと外気が進入してしまうことが抑制されている。また、第２排出弁制御によって、排出弁部５３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２へと外気が進入してしまうことが抑制されている。その他に、第３実施形態の液体吐出装置およびその制御方法によれば、上記の各実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。

Ｄ．第４実施形態：
図１６および図１７を参照して、第４実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部４０Ｄの構成を説明する。図１６は、第４実施形態におけるヘッド部４０Ｄの内部構成を示す概略断面図である。図１６は、ノズル４１の中心軸と流入路３１と流出路５１とを通る切断面におけるヘッド部４０Ｄの構成を模式的に表している。図１７は、ヘッド部４０Ｄの内部構成を模式的に表した概略斜視図である。

第４実施形態の液体吐出装置の構成は、ヘッド部４０Ｂの代わりに、ヘッド部４０Ｄを有している点以外は、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂの構成（図７）とほぼ同じである。第４実施形態のヘッド部４０Ｄの構成は、２つの駆動部３５，５５の代わりに、１つの駆動部６０を備えている点と、連結部材６５を備えている点以外は、第３実施形態のヘッド部４０Ｃの構成（図１３）とほぼ同じである。

第４実施形態のヘッド部４０Ｄは、供給弁部３３と排出弁部５３とに共通の駆動部６０を備えている。駆動部６０は、制御部８０（図７）の制御下において、供給弁部３３と排出弁部５３とに流入路３１および流出路５１の容積を変更させるための駆動力を付与する。駆動部６０は、連結部材６５を介して、供給弁部３３の流路壁部材３４と、排出弁部５３の流路壁部材５４と、を撓み変形させる外力を前記の駆動力として付与する。駆動部６０は、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されており、上下方向に伸縮運動することによって、連結部材６５に連結されている供給弁部３３の流路壁部材３４と排出弁部５３の流路壁部材５４とをともに上下に撓み変形させる。

連結部材６５は、架設部６６と、２つの連結部６７と、を有する。架設部６６は、供給弁部３３と排出弁部５３とに跨がって架設されている柱状部位として構成されている。架設部６６は、液室４２およびその上部に配置されている液室駆動部４３の上方に配置されている。各連結部６７は、架設部６６から下方に向かって突出している凸部として構成されている。第１の連結部６７の下端部が供給弁部３３の流路壁部材３４に連結され、第２の連結部６７の下端部が排出弁部５３の流路壁部材５４に連結されている。駆動部６０が伸縮運動すると連結部材６５が上下に変位し、各流路壁部材３４，５４が撓み変形する。ヘッド部４０Ｄでは、流入路３１の流路抵抗の変化の周期と流出路５１の流路抵抗の変化の周期とが同期する。

図１８、図１９、および、図２０を参照して、制御部８０が実行するヘッド部４０Ｄの吐出制御の一例を説明する。図１８は、第４実施形態の吐出制御のフローを示す説明図である。図１９は、第４実施形態の吐出制御における液室４２の容積の変化と流路抵抗の変化とを示すタイミングチャートである。図１９の横軸は経過時間を示している。図１９の紙面左側の縦軸は、液室４２の容積の基準容積からの変化量である容積変更量を示している。容積変更量は、その値が大きいほど、液室４２の容積が小さいことを表す。図１９での容積変更量ΔＶ_１，ΔＶ_２，ΔＶ_３，ΔＶ_４は、ΔＶ_１＜ΔＶ_２＜ΔＶ_３＜ΔＶ_４の関係を満たしている。図１９の紙面右側の縦軸は、流入路３１および流出路５１における流路抵抗を示している。流路抵抗の値が大きいほど、駆動部６０の伸長変形量が大きく、供給弁部３３および排出弁部５３における容積が小さい。図１９では、容積変更量の時間変化を実線のグラフＧａで図示してあり、流路開度の時間変化を一点鎖線のグラフＧｂで図示してある。

制御部８０は、吐出制御の実行前に、ヘッド部４０Ｄを初期状態にする（図１９）。制御部８０は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始する前の時刻ｔ_０において、液室４２の容積を基準容積からΔＶ_１だけわずかに減少させた容積とする。また、流入路３１および排出弁部５３のそれぞれの流路抵抗を最大値Ｒ１にする。流路抵抗が最大値Ｒ１のときには、駆動部６０の伸長量が最大であり、流入路３１および流出路５１がほとんど閉塞された状態である。

ステップＳ５０（図１８）は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始させる工程である。ステップＳ５０では、以下に説明するように、前述した初期状態から流入路３１および流出路５１の容積を増大させつつ、液室４２の容積を減少させてノズル４１から液体ＬＱを吐出させる。

ステップＳ５０は、時刻ｔ_１～ｔ_２（図１９）において実行される。制御部８０は、時刻ｔ_１～ｔ_２において、液室駆動部４３を急激に伸長変形させて、液室４２の容積を、基準容積からΔＶ_３だけ減少させ、液室４２の圧力を急激に高める。すると、この圧力を駆動力として、ノズル４１から液体が噴出し始める。一方で、制御部８０は、時刻ｔ_１の前後において、駆動部６０の収縮変形を開始させ、流入路３１および流出路５１における流路抵抗を減少させていく。流路抵抗の変化速度は、液室４２の容積の変化速度よりも遅い。時刻ｔ_１～ｔ_２の間には、まだ、流路抵抗が比較的高い状態であるため、液室駆動部４３の駆動によって付与される液体の吐出のための液室４２の圧力が流入路３１や流出路５１から逃げてしまうことが抑制される。

ステップＳ５２（図１８）は、ノズル４１から液体ＬＱが吐出されている間に、流入路３１および流出路５１を開放する工程である。ステップＳ５２では、以下に説明するように、流入路３１および流出路５１の容積がさらに増大されていくとともに、液室４２の容積がさらに減少される。

ステップＳ５２は、時刻ｔ_２～ｔ_３において実行される（図１９）。制御部８０は、時刻ｔ_２から、液室駆動部４３が伸長する速度を低下させて、時刻ｔ_１～ｔ_２のときよりも緩やかに液室４２の容積を減少させ、時刻ｔ_３において、液室４２の容積を基準容積からΔＶ_４だけ減少させた液室４２の容積が最小の状態にする。一方で、制御部８０は、時刻ｔ_２の後も、駆動部６０の収縮変形を継続して流入路３１および流出路５１における流路抵抗を減少させていき、時刻ｔ_３よりも前に、流路抵抗を最小値Ｒ０にする。

時刻ｔ_２～ｔ_３の間に、流路抵抗を最小値Ｒ０にして、流入路３１および流出路５１を開いた状態にすることによって、液室４２の圧力を急激に低下させることができ、ノズル４１の液体ＬＱを液室４２の方へと引き戻す吸引力を生じさせることができる。この吸引力によって、ノズル４１から流出している液体ＬＱを、ノズル４１内の液体ＬＱから分離させることができ、ノズル４１から吐出された液体ＬＱを液滴として飛翔させることができる。

時刻ｔ_２～ｔ_３における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ΔＶ_４とΔＶ_３との差として求められる。この容積の変化量ΔＶ_Ｒは、流入路３１および流出路５１の容積の変動によって流入路３１および流出路５１のそれぞれと液室４２との間を移動する液体ＬＱの体積の合計Ｖ_Ｃ以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ａ）。この体積Ｖ_Ｃは、供給弁部３３と排出弁部５３とが流入路３１および流出路５１の容積を減少させることによって、流入路３１および流出路５１から液室４２に押し出される液体ＬＱの量に相当する。また、供給弁部３３と排出弁部５３とが流入路３１および流出路５１の容積を増大させることによって液室４２から流入路３１および流出路５１へと引き込まれる液体ＬＱの量に相当する。以下では、この液体ＬＱの体積Ｖ_Ｃを「移動体積Ｖ_Ｃ」とも呼ぶ。移動体積Ｖ_Ｃの求め方については後述する。

時刻ｔ_２～ｔ_３において、液室４２の容積を、移動体積Ｖ_Ｃ以上の変化量ΔＶ_Ｒで増大させることによって、各弁部３３，５３の開弁動作に伴う液室４２からの液体ＬＱの流出が抑制される。従って、上述したノズル４１の液体ＬＱを吸引する吸引力が大きくなりすぎることが抑制され、ノズル４１から液室４２に外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。

ステップＳ５４（図１８）は、液室駆動部４３を収縮させて液室４２の容積を中間容積まで低減させつつ、液室４２の液体ＬＱを循環させる工程である。液室４２の中間容積は、液室４２の容積の最小値と最大値の間の予め決められた容積である。

ステップＳ５４は、時刻ｔ_３～ｔ_５において実行される（図１９）。時刻ｔ_３～ｔ_４において、制御部８０は、液室４２の容積を基準容積からΔＶ_２だけ減少させた中間容積まで増大させる。時刻ｔ_３～ｔ_４における液室４２の容積の変化速度は、ノズル４１からの外気の進入が抑制されるように、ノズル４１にメニスカスが形成されている状態を維持できる比較的緩やかな速度である。制御部８０は、次の吐出タイミングが到来する前の時刻ｔ_５まで、液室４２の容積を中間容積に維持する。

時刻ｔ_３～ｔ_５の間、制御部８０は、流入路３１および流出路５１を、流路抵抗が最小値Ｒ０の開かれた状態のままにし、循環路９０（図７）を介して液室４２の液体ＬＱを循環流動させる。これによって、次の吐出までに液体ＬＱが滞留して劣化してしまうことが抑制される。

ステップＳ５６（図１８）は、次の吐出のためにヘッド部４０Ｄを初期状態に遷移させる工程である。ステップＳ５６では、流入路３１と流出路５１の容積を最小容積になるまで減少させつつ、液室４２の容積を上述した初期状態のときの容積まで増加させる。

ステップＳ５６は、時刻ｔ_５～ｔ_６において実行される（図１９）。時刻ｔ_５は吐出指令が発行されるタイミングであり、時刻ｔ_６は、次の吐出の開始タイミングである。制御部８０は、時刻ｔ_５において、流路抵抗が増大するように、駆動部６０の伸長変形を開始させるとともに、液室４２の容積が大きくなるように、液室駆動部４３の収縮変形を開始する。制御部８０は、時刻ｔ_６において、流入路３１および流出路５１の流路抵抗を最大値Ｒ１まで高めるとともに、液室４２の容積を基準容積からΔＶ_１だけ減少させた容積まで拡大させて、ヘッド部４０Ｄを初期状態にする。

時刻ｔ_５～ｔ_６における液室４２の容積の変化量ΔＶ_ＲはΔＶ_２とΔＶ_１との差として求められる。この容積の変化量ΔＶ_Ｒは、上述した移動体積Ｖ_Ｃ以上の量である（ΔＶ_Ｒ≧Ｖ_Ｃ）。なお、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、移動体積Ｖ_Ｃに、次の吐出においてノズル４１から吐出される液体ＬＱの体積を加算した値としもよい。この液室４２における変化量ΔＶ_Ｒの容積の増加により、少なくとも、移動体積Ｖ_Ｃに相当する液体ＬＱを受け入れることができるバッファー空間が液室４２に形成される。よって、各弁部３３，５３における閉弁動作によって液室４２へと押し出される液体ＬＱに起因して、ノズル４１からの液体ＬＱの漏洩が生じてしまうことが抑制される。

図２０は、移動体積Ｖ_Ｃの求め方を説明するための概略図である。移動体積Ｖ_Ｃは、以下のようにして求めることができる。流入路３１および流出路５１を、流路抵抗が最小の開放された状態にする。そして、液体吐出装置の通常の駆動時と同様の条件で、液体ＬＱを循環させつつ、流入路３１、流出路５１、および、液室４２を液体ＬＱで満たし、ノズル４１でのメニスカスの位置を記録する。その後、液室駆動部４３に液室４２の容積を変更させることなく、供給弁部３３および排出弁部５３によって、流入路３１および流出路５１の容積を最小容積まで低減させ、記録してあるメニスカスの位置からの液体ＬＱの増加量を求める。この増加量が、移動体積Ｖ_Ｃに相当する。移動体積Ｖ_Ｃは、流入路３１および流出路５１の容積を最小容積から基準容積まで戻したときの液室４２およびノズル４１における液体ＬＱの減少量として求められてもよい。

図２１を参照して、制御部８０が実行するヘッド部４０Ｄの待機制御の一例を説明する。図２１は、第４実施形態の待機制御のフローを示す説明図である。第４実施形態の待機制御のフローは、ステップＳ２２，Ｓ２６の代わりに、ステップＳ２４，Ｓ２９が設けられている点以外は、第２実施形態の待機制御のフロー（図１２）と同様である。

ステップＳ２４では、制御部８０は、駆動部６０を伸長変形させて、流入路３１および流出路５１の容積を最小容積まで減少させつつ、液室駆動部４３を収縮変形させて、液室４２の容積を増大させ、ヘッド部４０Ｄを待機状態とする。ステップＳ２４における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、上述した移動体積Ｖ_Ｃ以上である。なお、ステップＳ２４での液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、液室４２における圧力変化を無駄に生じさせないように、上述した吐出制御のステップＳ５６での変化量ΔＶ_Ｒよりも小さい値であることが望ましい。また、ステップＳ２４では、排出弁部５３によって、流出路５１がほぼ遮断された状態になっていることが望ましい。

ステップＳ２４の工程によって、ヘッド部４０Ｄは、流入路３１および流出路５１が閉じられ、液室４２からの液体ＬＱの流入・流出が抑制された状態になるため、ノズル４１から誤って液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。また、液室４２の容積が、少なくとも移動体積Ｖ_Ｃ分、増大するため、各弁部３３，５３の閉弁動作に伴って流入路３１および流出路５１から押し出される液体ＬＱに起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制される。

ステップＳ２９では、制御部８０は、駆動部６０を収縮変形させて、流入路３１および流出路５１の容積を基準容積まで増大させつつ、液室駆動部４３を伸長変形させて、液室４２の容積を基準容積まで減少させ、ヘッド部４０Ｄの待機状態を解除する。ステップＳ２９における液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ステップＳ２４と同様に、移動体積Ｖ_Ｃ以上の値である。ステップＳ２９での容積の変化量ΔＶ_Ｒは、ステップＳ２７のときと同じ値であるとしてもよい。ステップＳ２９では、液室４２の容積が、少なくとも移動体積Ｖ_Ｃ分減少するため、各弁部３３，５３の開弁動作に伴って、ノズル４１から外気が吸い込まれてしまうことが抑制される。

制御部８０によるヘッド部４０Ｄの制御のうち、上記のステップＳ５６，Ｓ２４のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが移動体積Ｖ_Ｃ以上になるように、流入路３１および流出路５１の容積を減少させつつ、液室４２の容積を増大させる制御を「第１弁制御」と呼ぶ（図１８，図２１）。また、上記のステップＳ５２，Ｓ２９のように、液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒが移動体積Ｖ_Ｃ以上になるように、流入路３１および流出路５１の容積を増大させつつ、液室４２の容積を減少させる制御を「第２弁制御」と呼ぶ（図１８，図２１）。

第４実施形態の液体吐出装置によれば、第１弁制御によって、各弁部３３，５３の閉弁動作に起因して、ノズル４１から液体ＬＱが漏洩してしまうことが抑制されている。また、第２弁制御によって、各弁部３３，５３の開弁動作に起因して、ノズル４１から液室４２へと外気が進入してしまうことが抑制されている。その他に、第４実施形態の液体吐出装置およびその制御方法によれば、上記の各実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。

Ｅ．第５実施形態：
図２２および図２３を参照して、第５実施形態における液体吐出装置が備えるヘッド部４０Ｅの構成を説明する。図２２および図２３はそれぞれ、ヘッド部４０Ｅの内部構成を模式的に表した概略斜視図である。図２２は、分解図であり、便宜上、連結部材６５Ｅを分離させた状態を図示してある。図１３は、使用時におけるヘッド部４０Ｅの状態を示している。

第５実施形態の液体吐出装置の構成は、ヘッド部４０Ａの代わりに、第５実施形態のヘッド部４０Ｅを有している点以外は、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂ（図７）とほぼ同じである。第５実施形態のヘッド部４０Ｅの構成は、以下に説明する点以外は、第４実施形態のヘッド部４０Ｄの構成（図１６，図１７）とほぼ同じである。

ヘッド部４０Ｅは、ノズル４１を有し、流入路３１および流出路５１が接続されている複数の液室４２を備える。各流入路３１には、供給弁部３３を構成する流路壁部材３４が設けられ、各流出路５１には排出弁部５３を構成する流路壁部材５４が設けられている。ヘッド部４０Ｅは、駆動部６０が発生させる撓み変形のための外力を、連結部材６５Ｅを各流路壁部材３４および流路壁部材５４に伝達するための連結部材６５Ｅを有している。

第５実施形態の連結部材６５Ｅは、複数の連結部６７が設けられている連結板６８を有する。連結板６８は、各液室４２に設けられた供給弁部３３の流路壁部材３４および排出弁部５３の流路壁部材５４を覆う板状の部材によって構成され、各液室４２および各液室駆動部４３の上方に配置されている。複数の連結部６７は、連結板６８の下面から下方に突起しており、各供給弁部３３の流路壁部材３４および排出弁部５３の流路壁部材５４に当接して連結されている。駆動部６０は、連結板６８の上面に設置されている。駆動部６０は、伸縮変形して、連結部材６５Ｅを上下に変位させることによって、各流路壁部材３４，５４を撓み変形させる。

第５実施形態の液体吐出装置では、制御部８０（図７）は、ヘッド部４０Ｅに対して第４実施形態で説明したのと同様な制御を実行する。第５実施形態の液体吐出装置によれば、液室４２ごとに駆動部６０を設ける構成よりも、ヘッド部４０Ｅを小型化することが可能である。また、単一の駆動部６０によって、複数の供給弁部３３および複数の排出弁部５３の駆動を簡易に同期させることができる。その他に、第５実施形態の液体吐出装置によれば、第４実施形態で説明した第１弁制御および第２弁制御による効果や、上記の各実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。

Ｆ．第６実施形態：
図２４を参照して、第６実施形態における液体吐出装置が備えるヘッド部４０Ｆの構成を説明する。図２４は、第６実施形態のヘッド部４０Ｆの内部構成を模式的に表した概略斜視図である。第６実施形態の液体吐出装置の構成は、第２実施形態のヘッド部４０Ｂの代わりに、第６実施形態のヘッド部４０Ｆを有している点以外は、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂの構成（図７）とほぼ同じである。第６実施形態のヘッド部４０Ｆは、複数の供給弁部３３が共通の駆動部３５Ｆで駆動し、複数の排出弁部５３が共通の駆動部５５Ｆで駆動するように構成されている点以外は、第３実施形態のヘッド部４０Ｃの構成（図１３）とほぼ同じである。

ヘッド部４０Ｆは、少なくとも第１ノズル４１ａと第２ノズル４１ｂとを含む複数のノズル４１のそれぞれから液体ＬＱを吐出するように構成されている。ヘッド部４０Ｆは、各ノズル４１が連通している複数の液室４２を備える。複数の液室４２には、少なくとも、第１ノズル４１ａが連通している第１液室４２ａと、第２ノズル４１ｂが連通している第２液室４２ｂと、が含まれている。各液室４２には、液室駆動部４３が設けられている。ヘッド部４０Ｆが有する複数の液室駆動部４３には、第１液室４２ａの容積を変更する第１液室駆動部４３ａと、第２液室４２ｂの容積を変更する第２液室駆動部４３ｂと、が含まれている。

各液室４２には、供給弁部３３を有する流入路３１と、排出弁部５３を有する各流出路５１がひとつずつ接続されている。ヘッド部４０Ｆが有する複数の流入路３１には、少なくとも、第１液室４２ａに接続されている第１流入路３１ａと、第２液室４２ｂに接続されている第２流入路３１ｂと、が含まれている。ヘッド部４０Ｆが有する複数の流出路５１には、少なくとも、第１液室４２ａに接続されている第１流出路５１ａと、第２液室４２ｂに接続されている第２流出路５１ｂと、が含まれている。ヘッド部４０Ｆが有する複数の供給弁部３３には、少なくとも、第１流入路３１ａの容積を変更する第１供給弁部３３ａと、第２流入路３１ｂの容積を変更する第２供給弁部３３ｂと、が含まれている。ヘッド部４０Ｆが有する複数の排出弁部５３には、少なくとも、第１流出路５１ａの容積を変更する第１排出弁部５３ａと、第２流出路５１ｂの容積を変更する第２排出弁部５３ｂと、が含まれている。

ヘッド部４０Ｆでは、第１供給弁部３３ａと第２供給弁部３３ｂとを含む各供給弁部３３は、共通の駆動部３５Ｆが発生する駆動力によって、第１流入路３１ａと第２流入路３１ｂとを含む各流入路３１の容積を変更する。以下、駆動部３５Ｆを「供給側共通駆動部３５Ｆ」とも呼ぶ。供給側共通駆動部３５Ｆは、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されている。供給側共通駆動部３５Ｆは、上下方向への伸縮運動によって生じる外力を、流入路３１の容積を変化させる駆動力として付与する。

供給側共通駆動部３５Ｆは、連結部材６５Ｆｓを介して、各流路壁部材３４に前記の外力を付与する。連結部材６５Ｆｓは、架設部６６と、複数の連結部６７と、を有する。架設部６６は、各流路壁部材３４に跨がって架設されている柱状部位として構成されている。複数の連結部６７のそれぞれは、架設部６６から下方の各流路壁部材３４に向かって突出している凸部として構成されており、各流路壁部材３４に当接して連結されている。供給側共通駆動部３５Ｆが伸縮運動することによって、連結部材６５Ｆｓが上下に変位して、各流路壁部材３４が撓み変形する。

ヘッド部４０Ｆでは、第１排出弁部５３ａと第２排出弁部５３ｂとを含む各排出弁部５３は、共通の駆動部５５Ｆが発生する駆動力によって、第１流出路５１ａと第２流出路５１ｂとを含む各流出路５１の容積を変更する。以下、駆動部５５Ｆを「排出側共通駆動部５５Ｆ」とも呼ぶ。排出側共通駆動部５５Ｆは、上下方向に伸縮可能なピエゾアクチュエーターによって構成されている。排出側共通駆動部５５Ｆは、上下方向への伸縮運動によって生じる外力を、流出路５１の容積を変化させる駆動力として付与する。

排出側共通駆動部５５Ｆは、連結部材６５Ｆｅを介して、各流路壁部材５４に前記の外力を付与する。連結部材６５Ｆｅは、流入路３１側に設けられている連結部材６５Ｆｓと同様な構成を有しており、架設部６６と、複数の連結部６７と、を有する。排出側共通駆動部５５Ｆが伸縮運動することによって、連結部材６５Ｆｅが上下に変位し、連結部６７を介して連結部材６５Ｆｅに連結されている各流路壁部材５４が撓み変形する。

第６実施形態の液体吐出装置では、制御部８０（図７）は、ヘッド部４０Ｆに対して第３実施形態で説明したのと同様な制御を実行する。第６実施形態の液体吐出装置によれば、流入路３１ごとに駆動部３５を設け、流出路５１ごとに駆動部５５を設ける第３実施形態の構成よりも、ヘッド部４０Ｆを小型化することが可能である。また、共通の駆動部３５，５５Ｆによって、各供給弁部３３の駆動を簡易に同期させることができるとともに、各排出弁部５３の駆動を簡易に同期させることができる。加えて、第６実施形態の液体吐出装置によれば、第３実施形態の液体吐出装置と同様に、供給弁部３３と排出弁部５３とを別々に動作させることができる。その他に、第６実施形態の液体吐出装置によれば、上記の各実施形態で説明した第１供給弁制御および第２供給弁制御による効果や、第２排出弁制御および第２排出弁制御による効果をはじめとする上記の各実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。

Ｇ．第７実施形態：
図２５とともに、図２６Ａ、図４Ｂ、図２６Ｂ、図２６Ｃを順に参照して、第７実施形態における吐出制御を説明する。図２５は、第７実施形態における吐出制御のフローを示す説明図である。図２６Ａ～図２６Ｃは、吐出ヘッドにおけるヘッド部の動作を示す概略図である。図４Ｂは、第１実施形態において参照した図である。

第７実施形態の吐出制御は、第１実施形態で説明した液体吐出装置１００Ａ（図１，図２に図示）において実行される。第７実施形態の吐出制御（図２５）は、ステップＳ１０，Ｓ１６の代わりに、ステップＳ１１，Ｓ１７が実行され、最後に、第２供給弁制御を実行するステップＳ１８が実行される点が、第１実施形態の吐出制御（図３）と異なっている。

ステップＳ１１は、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始する準備のための工程である。ステップＳ１１では、制御部８０は、供給弁部３３に閉弁動作をさせる。制御部８０は、駆動部３５を伸長させて流入路３１の容積を減少させる（図２６Ａ）。制御部８０は、流入路３１の容積を予め決められた最少容積まで減少させる。最少容積は、第１実施形態で説明した流入路３１が遮断される容積であるとしてもよい。

なお、制御部８０は、ステップＳ１１の実行前に、ステップＳ１１において流入路３１の容積を低減させた後の液室４２の内圧がノズル４１のメニスカス耐圧以下になるように、液室４２の圧力を予め調整しておくことが望ましい。これによって、流入路３１の容積を減少させたときのノズル４１からの液体ＬＱの流出が抑制される。

ステップＳ１３では、第１実施形態で説明したのと同様に、制御部８０は、液室駆動部４３を駆動させて、液室４２の容積を低減させ、ノズル４１からの液体ＬＱの吐出を開始させる（図４Ｂ ）。このとき、ステップＳ１１において、流入路３１の流路抵抗が増大されているため、液体ＬＱの吐出のために液室４２に生じさせた圧力が、流入路３１の方に抜けてしまうことが抑制される。

ステップＳ１７は、ノズル４１から吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして分離させるための工程である。ステップＳ１７では、制御部８０は、ノズル４１から液体ＬＱが吐出されている間に、液室駆動部４３を収縮させて、液室４２の容積を拡大させることによって、液室４２の圧力を低下させる（図２６Ｂ）。これによって、ノズル４１から液室４２へと液体ＬＱを引き戻す吸引力が生じ、ノズル４１の外に吐出された液体ＬＱを液滴ＤＲとして、ノズル４１の液体ＬＱから分離させて飛翔させることができる。

ステップＳ１７では、制御部８０は、液室４２の容積をその基準容積よりも増大させる。これによって、液室４２により大きな負圧を生じさせることができ、ノズル４１の液体ＬＱから液滴ＤＲをより確実に分離させることができる。よって、液滴ＤＲの飛翔状態が改善される。

ステップＳ１７では、供給弁部３３によって流入路３１の容積が基準容積よりも小さいままであり、流入路３１の流路抵抗が大きい状態が維持されている。そのため、流入路３１からの液体ＬＱの供給によって、液室４２に発生させた負圧が低減されてしまうことが抑制される。

ステップＳ１８では、制御部８０は、第２供給弁制御を実行する。制御部８０は、液室４２の容積を基準容積まで減少させつつ、流入路３１の容積を基準容積まで増大させる（図２６Ｃ）。このときの液室４２の容積の変化量ΔＶ_Ｒは、流入路３１の容積を増大させる供給弁部３３の開弁動作によって液室４２から流入路３１へと流出する液体ＬＱの体積Ｖ_Ａ以上である。これによって、供給弁部３３の開弁動作によって流入路３１へと液体ＬＱが流出し、液室４２にノズル４１から外気を吸い込む負圧が発生してしまうことが抑制される。

以上のように、第７実施形態の吐出制御によれば、液体ＬＱの吐出後における第２供給弁制御によって、ノズル４１を通じて液室４２に外気が進入してしまうことが抑制される。その他に、第７実施形態における液体吐出装置１００Ａによれば、第７実施形態中で説明した種々の作用効果に加えて、上記の各実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することもできる。

Ｈ．他の実施形態：
上記の各実施形態で説明した種々の構成は、例えば、以下のように変更することも可能である。以下に説明する他の実施形態の構成はいずれも、上記の各実施形態と同様に、発明を実施するための形態の一例として位置づけられる。

Ｈ１．他の実施形態１：
上記の各実施形態（第２実施形態を除く）では、供給弁部３３は、流入路３１の内壁面の一部として構成された流路壁部材３４を撓み変形させることによって、流入路３１の容積を変更している。これに対して、供給弁部３３は、他の構成によって、流入路３１の容積を変更してもよい。供給弁部３３は、例えば、流入路３１を横切るように変位して、流入路３１の流路断面積を変更するシャッター壁部によって構成されていてもよい。この構成であっても、シャッター壁部が変位した分だけ、流入路３１の容積が変化する。また、供給弁部３３は、流入路３１の内壁面全体を変形させて、流入路３１の容積を変更してもよい。

Ｈ２．他の実施形態２：
上記の各実施形態（第１実施形態および第７実施形態を除く）では、排出弁部５３は、流出路５１の内壁面の一部として構成された流路壁部材５４を撓み変形させることによって、流出路５１の容積を変更している。これに対して、排出弁部５３は、他の構成によって、流出路５１の容積を変更してもよい。排出弁部５３は、例えば、流出路５１を横切るように変位して、流出路５１の流路断面積を変更するシャッター壁部によって構成されていてもよい。この構成であっても、シャッター壁部が変位した分だけ、流出路５１の容積が変化する。また、排出弁部５３は、流出路５１の内壁面全体を変形させて、流出路５１の容積を変更してもよい。

Ｈ３．他の実施形態３：
上記の各実施形態では、駆動部３５，５５，６０は、ピエゾアクチュエーターによって構成されている。これに対して、駆動部３５，５５，６０は、ピエゾアクチュエーター以外のアクチュエーターによって構成されていてもよい。駆動部３５，５５，６０は、例えば、エアシリンダーやソレノイド、磁歪素子などの他のアクチュエーターによって構成されてもよい。

Ｈ４．他の実施形態４：
上記の各実施形態では、液室駆動部４３は、ピエゾアクチュエーターによって構成されている。これに対して、液室駆動部４３は、ピエゾアクチュエーター以外のアクチュエーターによって構成されていてもよい。液室駆動部４３は、エアシリンダーやソレノイド、磁歪素子などの他のアクチュエーターによって構成されてもよい。

Ｈ５．他の実施形態５：
上記の各実施形態で説明した制御部８０によるヘッド部４０Ａ～４０Ｅの制御は、あくまで一例であり、制御部８０による制御の内容は、上記の各実施形態で説明した制御に限定されることはない。例えば、上記の第３実施形態において、第４実施形態で説明した吐出制御（図１８，図１９）や待機制御（図２１）が実行されてもよい。上記の第１実施形態、第３実施形態において、第１供給弁制御と第２供給弁制御のうちのいずれか一方が実行されないものとしてもよい。また、第１供給弁制御や第２供給弁制御が、吐出制御や待機制御以外の制御において実行されてもよい。同様に、上記の第２実施形態、第３実施形態において、第１排出弁制御と第２排出弁制御のうちのいずれか一方が実行されないものとしてもよい。また、第１排出弁制御や第２排出弁制御が、吐出制御や待機制御以外の制御において実行されてもよい。上記の第４実施形態および第５実施形態において、第１弁制御と第２弁制御のいずれか一方が実行されないものとしてもよい。また、第１弁制御や第２弁制御が、吐出制御や待機制御以外の制御において実行されてもよい。第１弁制御や第２弁制御が、待機制御でのみ実行される構成でもよい。この場合、上記の第４実施形態および第５実施形態では、以下の吐出制御が実行されてもよい。流入路３１および供給弁部３３の容積を基準容積から最小容積へと減少させつつ、液室駆動部４３によって液室４２の容積を急激に低減させて、ノズル４１から液体を吐出する。そして、液室４２の容積を増加させて基準容積に戻しつつ、流入路３１および供給弁部３３の容積を増大させて基準容積に戻す。

Ｈ６．他の実施形態６：
上記の各実施形態で説明した第１供給弁制御および第２供給弁制御では、供給弁部３３が駆動する期間と液室駆動部４３が駆動する期間とが一致していなくてもよいし、重なり合っていなくてもよい。つまり、第１供給弁制御および第２供給弁制御では、液室駆動部４３が液室４２の容積を変動させる動作は、供給弁部３３が流入路３１の容積を変動させる動作に伴って実行されればよい。ここでの「伴って実行される」とは、「連動して実行される」ことを意味する。第１供給弁制御および第２供給弁制御において、供給弁部３３の駆動期間の始期および終期と、液室駆動部４３の駆動期間の始期および終期とは、流入路３１と液室４２との間を液体ＬＱが移動する時間を考慮して適切に調整されて設定されればよい。第１排出弁制御および第２排出弁制御における排出弁部５３の駆動期間の始期および終期と液室駆動部４３の駆動期間の始期および終期についても同様である。また、第１弁制御および第２弁制御における供給弁部３３の駆動期間の始期および終期と、排出弁部５３の駆動期間の始期および終期と、液室駆動部４３の駆動期間の始期および終期についても同様である。この「伴って」の用語の解釈に従えば、流入路３１の容積を減少させるのに伴って、液室４２の容積を増大させる第１供給弁制御には、流入路３１の容積をわずかに低減させた後、液室４２の容積をわずかに増大させる動作を交互に繰り返す制御態様が含まれる。また、流入路３１の容積を増大させるのに伴って、液室４２の容積を減少させる第２供給弁制御には、流入路３１の容積をわずかに増大させた後、液室４２の容積をわずかに減少させる動作を交互に繰り返す制御態様が含まれる。同様に、流出路５１の容積を減少させるのに伴って液室４２を増大させる第１排出弁制御には、流出路５１の容積をわずかに低減させた後、液室４２の容積をわずかに増大させる動作を交互に繰り返す制御態様が含まれる。また、流出路５１の容積を増大させるのに伴って、液室４２の容積を減少させる第２排出弁制御には、流出路５１の容積をわずかに増大させた後、液室４２の容積をわずかに減少させる動作を交互に繰り返す制御態様が含まれる。

Ｈ７．他の実施形態７：
上記の第１実施形態の液体吐出装置１００Ａにおいて、第２実施形態以降で説明したような液室４２に接続される流出路５１を設ける構成が適用されてもよい。

Ｈ８．他の実施形態８：
上記の第６実施形態において、排出弁部５３のみが排出側共通駆動部５５Ｆによって駆動し、供給弁部３３が、第３実施形態のヘッド部４０Ｃと同様に、供給弁部３３ごとに設けられた駆動部３５によって駆動する構成が適用されてもよい。逆に、供給弁部３３のみが供給側共通駆動部３５Ｆによって駆動し、排出弁部５３が、第３実施形態のヘッド部４０Ｃと同様に、排出弁部５３ごとに設けられた駆動部５５によって駆動する構成が適用されてもよい。

Ｈ９．他の実施形態９：
上記の各実施形態において、複数の流入路３１や複数に流出路５１には、供給弁部３３や排出弁部５３が設けられていないものが含まれていてもよい。また、上記の第４実施形態のヘッド部４０Ｄを複数のノズル４１から液体ＬＱを吐出する構成にした場合において、供給弁部３３と排出弁部５３とが別々の駆動部によって駆動されるものが含まれていてもよい。第５実施形態のヘッド部４０Ｅにおいても、複数組の供給弁部３３と排出弁部５３には、共通の駆動部６０とは別の駆動部によって駆動されるものが含まれていてもよい。第６実施形態のヘッド部４０Ｆにおいても、複数の供給弁部３３には、供給側共通駆動部３５Ｆとは別の駆動部によって駆動される供給弁部３３が含まれていてもよいし、複数の排出弁部５３には、排出側共通駆動部５５Ｆとは別の駆動部によって駆動される排出弁部５３が含まれていてもよい。

Ｈ１０．他の実施形態１０：
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。

Ｈ１１．他の実施形態１１：
上記実施形態において、ソフトウェアによって実現された機能及び処理の一部又は全部は、ハードウェアによって実現されてもよい。また、ハードウェアによって実現された機能及び処理の一部又は全部は、ソフトウェアによって実現されてもよい。ハードウェアとしては、例えば、集積回路、ディスクリート回路、または、それらの回路を組み合わせた回路モジュールなど、各種回路を用いることができる。

本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須ではないと説明されているものに限らず、その技術的特徴が本明細書中に必須であると説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

上記の各実施形態における「流入路３１」および「流出路５１」は、「流路」の下位概念に相当する。「供給弁部３３」および「排出弁部５３」は、「弁部」の下位概念に相当する。「第１供給弁制御」、「第１排出弁制御」、および、「第１弁制御」はそれぞれ、液室の容積の変化量が、流路の容積が変動している間に前記流路から前記液室に流入する液体の体積以上になるように、弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、液室駆動部に前記液室の容積を増大させる「第１制御」の下位概念に相当する。「第２供給弁制御」、「第２排出弁制御」、および、「第２弁制御」はそれぞれ、前記液室の容積の変化量が、前記流路の容積が変動している間に前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる「第２制御」の下位概念に相当する。

本明細書において、「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であればよく、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。また、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。

１０…タンク、１５…圧力調整部、２０…加圧ポンプ、３０…供給路、３１…流入路、３１ａ…第１流入路、３１ｂ…第２流入路、３３…供給弁部、３３ａ…第１供給弁部、３３ｂ…第２供給弁部、３４…流路壁部材、３５…駆動部、３５Ｆ…駆動部（供給側共通駆動部）、４０Ａ…ヘッド部、４０Ｂ…ヘッド部、４０Ｃ…ヘッド部、４０Ｄ…ヘッド部、４０Ｅ…ヘッド部、４０Ｆ…ヘッド部、４１…ノズル、４１ａ…第１ノズル、４１ｂ…第２ノズル、４２…液室、４２ａ…第１液室、４２ｂ…第２液室、４２ｅ…底面、４３…液室駆動部、４５…天面、５０…排出路、５１…流出路、５１ａ…第１流出路、５１ｂ…第２流出路、５３…排出弁部、５３ａ…第１排出弁部、５３ｂ…第２排出弁部、５４…流路壁部材、５５…駆動部、５５Ｆ…駆動部（排出側共通駆動部）、６０…駆動部、６５…連結部材、６５Ｅ…連結部材、６５Ｆｅ…連結部材、６５Ｆｓ…連結部材、６６…架設部、６７…連結部、６８…連結板、７０…液体貯留部、７５…負圧発生源、８０…制御部、９０…循環路、１００Ａ…液体吐出装置、１００Ｂ…液体吐出装置、ＤＲ…液滴、ＬＱ…液体、Ｖ_Ａ…供給側移動体積、Ｖ_Ｂ…排出側移動体積、Ｖ_Ｃ…移動体積、ΔＶ_Ｒ…変化量

Claims (7)

1. 液体吐出装置であって、
   ノズルに連通し、液体を収容する液室と、
   前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と、
   前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と、
   前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と、
   前記液室駆動部と、前記弁部と、を制御する制御部と、
   を備え、
   前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み、
   前記弁部は、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部を含み、
   前記制御部は、
   （ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と、
   （ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と、
   のうちの少なくとも一方を実行し、
   前記第１制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の減少によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１排出弁制御を含み、
   前記第２制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の増大によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２排出弁制御を含む、液体吐出装置。
2. 請求項１記載の液体吐出装置であって、
   前記液室は、第１ノズルに連通している第１液室と、第２ノズルに連通している第２液室と、を含み、
   前記液室駆動部は、前記第１液室の容積を変更する第１液室駆動部と、前記第２液室の容積を変更する第２液室駆動部と、を含み、
   前記流入路は、前記第１液室に接続されている第１流入路と、前記第２液室に接続されている第２流入路と、を含み、
   前記流出路は、前記第１液室に接続されている第１流出路と、前記第２液室に接続されている第２流出路と、を含み、
   前記排出弁部は、前記第１流出路の容積を変更する第１排出弁部と、前記第２流出路の容積を変更する第２排出弁部と、を含み、
   前記制御部は、前記第１制御および前記第２制御において、前記第１排出弁部に前記第１流出路の容積を変更させつつ、前記第２排出弁部に前記第２流出路の容積を変更させるのに伴って、前記第１液室駆動部に前記第１液室の容積を変更させつつ、前記第２液室駆動部に前記第２液室の容積を変更させ、
   前記第１排出弁部と前記第２排出弁部とは、共通の駆動部が発生させる駆動力によって、前記第１流出路と前記第２流出路の容積を変更させる、液体吐出装置。
3. 液体吐出装置であって、
   ノズルに連通し、液体を収容する液室と、
   前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と、
   前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と、
   前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と、
   前記液室駆動部と、前記弁部と、を制御する制御部と、
   を備え、
   前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み、
   前記弁部は、前記流入路の内壁面を変位させて前記流入路の容積を変更する供給弁部と、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部と、を含み、
   前記制御部は、
   （ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と、
   （ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と、
   のうちの少なくとも一方を実行し、
   前記第１制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を減少させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の減少によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１弁制御を含み、
   前記第２制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を増大させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の増大によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２弁制御を含む、液体吐出装置。
4. 請求項３記載の液体吐出装置であって、
   前記供給弁部と前記排出弁部とは、共通の駆動部が発生させる駆動力によって、前記流出路の容積および前記流入路の容積を変更させる、液体吐出装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
   前記流出路に排出された前記液体を前記流入路へと循環させるための循環路を備える、液体吐出装置。
6. ノズルに連通し、液体を収容する液室と、前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と、前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と、前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、
   前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み、
   前記弁部は、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部を含み、
   前記制御方法は、
   （ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と、
   （ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と、
   のうちの少なくとも一方を実行する工程を備え、
   前記第１制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の減少によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１排出弁制御を含み、
   前記第２制御は、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流出路の容積の増大によって前記流出路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２排出弁制御を含む、制御方法。
7. ノズルに連通し、液体を収容する液室と、前記液室の容積を変更して前記ノズルから前記液体を吐出させる液室駆動部と、前記液室に接続され、前記液体が流れる流路と、前記流路の内壁面を変位させて前記流路の容積を変更することによって、前記流路の流路抵抗を変化させて、前記液室と前記流路との間の前記液体の流れを制御する弁部と、を備える液体吐出装置の制御方法であって、
   前記流路は、前記液室に供給される前記液体が流れる流入路と、前記液室から排出される前記液体が流れる流出路と、を含み、
   前記弁部は、前記流入路の内壁面を変位させて前記流入路の容積を変更する供給弁部と、前記流出路の内壁面を変位させて前記流出路の容積を変更する排出弁部と、を含み、
   前記制御方法は、
   （ｉ）前記弁部に前記流路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の減少によって前記流路から前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１制御と、
   （ｉｉ）前記弁部に前記流路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流路の容積の増大によって前記液室から前記流路に流出する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２制御と、
   のうちの少なくとも一方を実行する工程を備え、
   前記第１制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を減少させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を減少させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の減少によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を増大させる第１弁制御を含み、
   前記第２制御は、前記供給弁部に前記流入路の容積を増大させつつ、前記排出弁部に前記流出路の容積を増大させるのに伴って、前記液室の容積の変化量が前記流入路の容積と前記流出路の容積の増大によって前記流入路と前記流出路とから前記液室に流入する前記液体の体積以上になるように、前記液室駆動部に前記液室の容積を減少させる第２弁制御を含む、制御方法。

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