JP7020904B2 - 圧力センサー - Google Patents
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- 上側ケース(201)と、下側ケース(202、1202)とを備え、該上側ケース(201)と該下側ケース(202、1202)との間に収容室が1つ形成されるように該上側ケース(201)と該下側ケース(202、1202)とを設けたケース(105、1105)と、
前記上側ケース(201)と前記下側ケース(202、1202)との間に設けられ、前記収容室を上側収容室(215)と下側収容室(216)とに仕切るダイヤフラム(210)と、
前記ダイヤフラム(210)の運動に伴って運動するコア(218)と、
を備える圧力センサー(100、1100)であって、
前記ダイヤフラム(210)は、支持体(212)と、該支持体(212)の周りを囲み、該支持体(212)のエッジ(460)から延在した薄膜(213)とを備え、
前記コア(218)は、前記支持体(212)に載置されており、
前記支持体(212)は円盤状であり、
前記支持体(212)の厚さは、前記薄膜(213)の厚さの2倍~5倍であり、
前記支持体(212)の外側の輪郭には、該支持体の外径が含まれ、前記コア(218)には、該コアの外径が含まれており、該支持体の外径は、該コアの外径に対して等しいか、わずかに大きいか、若しくはわずかに小さく設定されているか、又は、
前記支持体の外径と前記コアの外径との比は、0.85~1.6である、ことを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項1に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記ケース(105、1105)に固定され、前記コア(218)と協働して可変インダクタンス型変換器を形成するコイル(251)を更に備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項1に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記コア(218)は、前記支持体(212)に接触していることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項1に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記ダイヤフラム(210)は、前記薄膜(213)の周りを囲むように設けられ、前記上側ケース(201)と前記下側ケース(202、1202)との間に挟持されて前記上側収容室(215)と前記下側収容室(216)とを密封するように仕切るシーリングエッジ(230)を備え、
前記薄膜(213)は、前記支持体(212)のエッジ(460)と前記シーリングエッジ(230)との間に渡って設けられたアーチ部(470)を備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項4に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記薄膜(213)は、前記支持体(212)のエッジ(460)及び前記シーリングエッジ(230)との連結部でせり上がり始め、前記アーチ部(470)を形成していることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項1に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記下側ケース(202、1202)と前記ダイヤフラム(210)との間に介在する該ダイヤフラム(210)用の弾性補償部材(217、250)を更に備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項6に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記弾性補償部材(217、250)は、前記ダイヤフラム(210)の支持体(212)の下部に設けられ、該支持体(212)から下へ延在し、前記下側ケース(202)の底部(252)に接触可能な弾性棒(217)であることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項7に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記弾性棒(217)の少なくとも一部を収容する突出要素(253)が前記下側ケース(253)の前記底部(252)に設けられていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項1に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記コア(218)は、円筒形であり、
前記ダイヤフラム(210)は、前記支持体(212)の上面から延在した取付棒(214)を更に備え、
前記コア(218)は、前記取付棒(214)に被せられていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項5に記載の圧力センサー(100、1100)であって、
前記ダイヤフラム(210)は、弾性材料により一体的に形成されていることを特徴とする、圧力センサー。 - 上側ケース(201)と下側ケース(1202)とを備え、該上側ケース(201)と該下側ケース(1202)との間に収容室が形成されるように該上側ケース(201)と該下側ケース(1202)とを設けたケース(1105)と、
前記上側ケース(201)と前記下側ケース(1202)との間に設けられ、前記収容室を上側収容室(215)と下側収容室(216)とに仕切り、圧力の変化に応じて移動可能なダイヤフラム(210)と、
前記ケース(1105)に設けられ、前記上側ケース(201)との間に収容空間(106)を形成するカバー(1101)と、
前記下側収容室(216)に流体連通された継手管(102)と、
を備える圧力センサー(1100)であって、
該圧力センサー(1100)には、長さ(L)と高さ(H)とがあり、前記継手管(102)は、該圧力センサー(1100)の長さ(L)方向に延在し、
前記カバー(1101)における前記継手管(102)の延在する側には、延在部(1108)があり、該延在部(1108)は、前記収容空間(106)に連通して接する拡張空間(1109)を備える、圧力センサー。 - 請求項11に記載の圧力センサー(1100)であって、
該圧力センサー(1100)の長さ(L)方向に載置され、一方の部分が前記収容空間(106)に取り付けられ、他方の部分が前記拡張空間(1109)に延在する1つのプリント基板(1410)を更に備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項12に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記上側ケース(201)に固定され、両端が前記プリント基板(1410)に直接接続されたコイル(251)を更に備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項12に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記プリント基板(1410)には、少なくとも1つのチップ(703)が実装されていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項12に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記プリント基板(1410)には、少なくとも1つのコンデンサ(630)が実装されていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項11に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記延在部(1108)の端部(1107)は、前記継手管(102)の端部(1103)と略一致しているか、又は該継手管(102)の端部(1103)をわずかに超える程度で延在していることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項12に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記拡張空間(1109)には、前記プリント基板(1410)の素子に電気的に接続されるプラグ(480)を収容することができることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項11に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記下側ケース(1202)には、下側係合機構(1282)が設けられ、前記カバー(1101)の延在部(1108)には、該下側係合機構(1282)に係合する上側係合機構が設けられていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項11に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記カバー(1101)の延在部(1108)は、該圧力センサー(1100)の高さ(H)方向に対して略平行であり、該圧力センサー(1100)の取付けの際の位置決めに用いることが可能な対向する2つの平面(1112、1114)を備えることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項11に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記カバー(1101)は、一体に形成されていることを特徴とする、圧力センサー。 - 請求項19に記載の圧力センサー(1100)であって、
前記2つの平面(1112、1114)は、前記圧力センサー(1100)が取付けられるべきパネル(900)から延在した回転防止板(1558、1559)と組み合わされて、前記パネル(900)に対する前記圧力センサー(1100)の回転を防止することを特徴とする圧力センサー。
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