JP7017607B2 - 光ビームのコヒーレンス量の調整 - Google Patents
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Description
この出願は、2016年9月2日に出願された米国特許出願第15/256,196号の優先権を主張し、その米国出願は、参照によりその全体において本明細書に援用される。
Claims (21)
- 光カプラと、第1の光学素子を含む第1の光学システムと、第2の光学素子を含む第2の光学システムと、前記第1の光学システムと前記第2の光学システムとの間の利得媒体と、を含む光源用のシステムであって、
前記第1の光学素子、前記第2の光学素子、及び前記光カプラが、閉路を規定し、
前記閉路の少なくとも一部が、前記利得媒体を通過し、
前記第1の光学素子及び前記第2の光学素子の1つ又は複数が、前記閉路を伝搬する光ビームと相互作用するように配置された光反射面を含み、
前記面が、複数の部分を含み、
前記部分の少なくとも1つが、他のセグメントの表面プロファイルとは相異なる前記表面プロファイルを有し、
前記部分が、互いに隣接し、
可撓性部材が、少なくとも1つの部分が隣接部分に対して可動なように、何れかの2つの隣接部分間にある、システム。 - 前記第1の光学素子が、複数の部分を含む面を含み、
前記部分の少なくとも1つが、ミラーを含み、
前記部分の少なくとも1つが、格子を含む、請求項1に記載のシステム。 - 何れかの部分が、隣接部分に対して可動である、請求項1に記載のシステム。
- 部分における前記表面プロファイルが、前記部分の曲率半径及び表面特徴の1つ又は複数によって決定される、請求項1に記載のシステム。
- 光カプラと、第1の反射光学素子を含む第1の光学システムと、第2の反射光学素子を含む第2の光学システムと、前記第1の光学システムと前記第2の光学システムとの間の利得媒体と、を含む光源用のシステムであって、
前記第1の反射光学素子、前記第2の反射光学素子、及び前記光カプラが、閉路を規定し、
前記閉路の少なくとも一部が、前記利得媒体を通過し、
前記第2の反射光学素子が、複数の別個の反射面を含み、
前記別個の反射面の第1の面が、前記利得媒体から光ビームを受信するように、且つ、前記別個の反射面の第2の面に前記光ビームを反射するように、配置され、
前記別個の反射面の前記第2の面が、前記第1の別個の反射面から前記光ビームを受信するように、且つ、前記利得媒体に前記光ビームを反射するように、配置され、
前記第2の反射光学素子は、前記別個の反射面の前記第1の面及び前記第2の面の双方が設けられたベース体と、前記別個の反射面の前記第1の面が設けられた第1の翼体と、前記別個の反射面の前記第2の面が設けられた第2の翼体と、を有し、
前記第1の翼体及び前記第2の翼体は、前記ベース体から物理的に分離されており、かつ、前記ベース体を通過し所定の方向に延在する軸を中心に対称の位置に配置されている、システム。 - 前記第2の光学素子の前記別個の反射面の少なくとも1つが、他の反射面に対して可動であり、
前記第2の光学システムが、前記少なくとも1つの可動な反射面に結合されたアクチュエータを更に含み、
前記アクチュエータが、コマンド信号に応じて前記可動な反射面を移動させるように構成される、請求項5に記載のシステム。 - 繰り返し率を有するパルス光ビームを増幅するように構成された光学システムであって、光カプラと、第1の光学素子と、利得媒体と、第2の光学素子であって、前記利得媒体が、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との間にあり、前記第1の光学素子、前記第2の光学素子、及び前記光カプラが、前記利得媒体を通過する閉路を規定する、第2の光学素子と、を含む、光学システムと、
前記増幅されたパルス光ビームを受信するように構成されたリソグラフィ露光装置と、
前記光学システム及び前記リソグラフィ露光装置に結合された制御システムであって、第1の繰り返し率から第2の繰り返し率に前記パルス光ビームの前記繰り返し率を変更する要求を受信するように、前記第2の繰り返し率で前記パルス光ビームの特性の値を決定するように、前記特性の前記値が許容可能かどうかを決定するように、前記特性の前記値が許容可能ではない場合に、前記特性の前記決定値に基づいてコマンド信号を生成し、前記光学システムに前記コマンド信号を供給し、前記コマンド信号が、前記光学システムの前記閉路を伝搬する光と相互作用する制御可能な光学素子を物理的に修正するのに十分であるように、構成された、制御システムと、
を含む、システム。 - 前記パルス光ビームの前記特性の前記値が、前記パルス光ビームにおける1つ又は複数のパルスのコヒーレンスの尺度である、請求項7に記載のシステム。
- 前記制御システムが、前記コマンド信号を前記光学システムに供給した後で、前記特性の前記値が許容可能かどうかを決定するように更に構成される、請求項7に記載のシステム。
- 前記第2の繰り返し率で前記パルス光ビームの前記特性の値を決定することが、前記制御可能な光学素子に印加された力量の値にアクセスすることを含み、
前記制御可能な光学素子に前記コマンド信号を供給することが、前記制御可能な光学素子に相異なる力量を印加することを含む、請求項8に記載のシステム。 - 前記第2の繰り返し率で前記パルス光ビームの前記特性の値を決定することが、前記光学システムが前記第2の繰り返し率で動作する場合に、前記パルス光ビームの発散度を測定することを含む、請求項8に記載のシステム。
- 前記第2の繰り返し率で前記パルス光ビームの前記特性の値を決定することが、電子記憶装置に格納された前記パルス光ビームの前記特性の値にアクセスすることを含む、請求項8に記載のシステム。
- 電子記憶装置に格納された前記パルス光ビームの前記特性の前記値が、以前に、且つ前記光学システムが前記第2の繰り返し率で動作した間に測定された値を含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記繰り返し率を変更する前記要求が、前記リソグラフィ露光装置から受信される、請求項7に記載のシステム。
- 前記制御システムが、オペレータインターフェイスを更に含み、
前記オペレータインターフェイスが、前記リソグラフィ露光装置とのオペレータ相互作用を可能にするように構成され、
前記繰り返し率を変更する前記要求が、前記オペレータインターフェイスから受信される、請求項7に記載のシステム。 - 前記制御可能な光学素子が、前記第1の光学素子及び前記第2の光学素子の1つ又は複数である、請求項7に記載のシステム。
- 光学システムを制御する方法であって、
複数の動作条件で光学システムから放射された光ビームの特性の値を取得することであって、前記特性の前記取得値が、前記光ビームにおけるコヒーレンス量と関連付けられ、前記動作条件のそれぞれが、光学素子に関係する1つ又は複数の動作パラメータ及び状態情報と関連付けられ、前記光学素子が、前記光ビームの前記特性の前記取得値を少なくとも部分的に決定するために、前記光ビームと相互作用する光学面を含むこと、
各動作条件用に前記光学素子に関係する前記特性の前記取得値及び前記状態情報を格納すること、
現在の動作条件で前記光学システムを操作することであって、前記現在の動作条件が、前記光学素子に関係する前記動作パラメータ及び現在の状態情報の1つ又は複数における現在値に関連付けられること、
前記光学システムの前記現在の動作条件における変更の表示を受信することであって、変更の前記表示が、前記動作パラメータの1つ又は複数における新しい値を含むこと、
前記新しい値に関連する前記光学素子に関係する状態情報を前記格納データから決定すること、及び
前記決定された状態情報に基づいたコマンド信号を前記光学素子に印加すること、を含む、方法。 - 前記光ビームの前記特性の前記取得値が、前記複数の動作条件のそれぞれのための前記光ビームにおける許容可能なコヒーレンス量と関連付けられ、
前記決定された状態情報を前記光学素子に印加した後で、前記光ビームの前記特性の前記値を測定することによって、前記光ビームの前記特性の別の値を取得すること、
前記許容可能なコヒーレンス量に関連する前記特性の前記取得値と前記別の値を比較すること、及び
比較に基づいて、前記特性の前記別の値が許容可能であるかどうかを決定すること、
を更に含む、請求項17に記載の方法。 - 前記状態情報及び前記決定された状態情報が、前記光学素子に印加される力量を含み、
前記特性の前記別の値が許容可能ではない場合に、前記新しい力及び所定に定数に基づいて、第3の力量を決定すること、及び
前記第3の力量を前記光学素子に印加すること、
を更に含む、請求項18に記載の方法。 - 前記光学素子に関係する前記状態情報が、前記光学素子の前記面の位置を含む、請求項17に記載の方法。
- 前記光学素子に関係する前記状態情報が、前記光学素子に印加される力量を含み、前記力が、前記光学素子の前記面の位置を決定するのに十分である、請求項17に記載の方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9945730B2 (en) * | 2016-09-02 | 2018-04-17 | Cymer, Llc | Adjusting an amount of coherence of a light beam |
US10606073B1 (en) * | 2017-11-01 | 2020-03-31 | Lockheed Martin Corporation | Single lens head-up display apparatus |
CN113785453B (zh) * | 2019-06-11 | 2023-06-13 | 极光先进雷射株式会社 | 激光系统和电子器件的制造方法 |
US11297289B2 (en) * | 2019-12-26 | 2022-04-05 | Himax Technologies Limited | Structured light projector |
CN115023656A (zh) | 2020-03-16 | 2022-09-06 | 极光先进雷射株式会社 | 光传输单元、激光装置和电子器件的制造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004531068A (ja) | 2001-04-09 | 2004-10-07 | サイマー, インコーポレイテッド | ライン選択及び弁別を用いる注入シード方式f2レーザ |
JP2005527848A (ja) | 2002-04-11 | 2005-09-15 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 基板の上にマスクを結像させる方法および装置 |
JP2008225380A (ja) | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 位相制御光学系、該光学系を備えたレーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
JP2008277618A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Gigaphoton Inc | 露光用放電励起レーザ装置 |
JP2008277616A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Gigaphoton Inc | 露光用放電励起レーザ装置 |
JP2011249832A (ja) | 2011-07-27 | 2011-12-08 | Komatsu Ltd | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 |
JP2014160211A (ja) | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Canon Inc | ミラーユニットおよび画像取得装置 |
Family Cites Families (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63167227A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-11 | Shimadzu Corp | 干渉計 |
JP2564452B2 (ja) * | 1992-09-02 | 1996-12-18 | 防衛庁技術研究本部長 | 補償光学制御装置 |
US6192064B1 (en) | 1997-07-01 | 2001-02-20 | Cymer, Inc. | Narrow band laser with fine wavelength control |
US6201608B1 (en) * | 1998-03-13 | 2001-03-13 | Optical Biopsy Technologies, Inc. | Method and apparatus for measuring optical reflectivity and imaging through a scattering medium |
US6625191B2 (en) | 1999-12-10 | 2003-09-23 | Cymer, Inc. | Very narrow band, two chamber, high rep rate gas discharge laser system |
US6392743B1 (en) | 2000-02-29 | 2002-05-21 | Cymer, Inc. | Control technique for microlithography lasers |
US6704339B2 (en) | 2001-01-29 | 2004-03-09 | Cymer, Inc. | Lithography laser with beam delivery and beam pointing control |
US6509972B2 (en) * | 2001-03-15 | 2003-01-21 | Axsun Technologies, Inc. | Tunable filter system with out-of-band reference |
EP1692750B1 (en) * | 2003-11-13 | 2010-01-27 | Cymer, Inc. | Laser output light pulse stretcher |
US7538889B2 (en) * | 2004-02-18 | 2009-05-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Calibration feedback-control circuit for diffraction light devices |
US7180605B2 (en) | 2004-09-28 | 2007-02-20 | Agilent Technologies, Inc. | Vibration sensor utilizing a feedback stabilized fabry-perot filter |
US7999915B2 (en) | 2005-11-01 | 2011-08-16 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7920616B2 (en) | 2005-11-01 | 2011-04-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7885309B2 (en) | 2005-11-01 | 2011-02-08 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7715459B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-05-11 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7778302B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-08-17 | Cymer, Inc. | Laser system |
US7643529B2 (en) * | 2005-11-01 | 2010-01-05 | Cymer, Inc. | Laser system |
JP5506194B2 (ja) | 2005-11-01 | 2014-05-28 | サイマー インコーポレイテッド | レーザシステム |
US7728954B2 (en) | 2006-06-06 | 2010-06-01 | Asml Netherlands B.V. | Reflective loop system producing incoherent radiation |
US8126322B2 (en) * | 2009-03-13 | 2012-02-28 | Panasonic Corporation | Interchangeable lens, camera body, and camera system |
US8767119B2 (en) | 2009-03-13 | 2014-07-01 | Panasonic Corporation | Interchangeable lens, camera body, and camera system |
US8014432B2 (en) | 2009-03-27 | 2011-09-06 | Cymer, Inc. | Regenerative ring resonator |
US8320056B2 (en) | 2009-08-20 | 2012-11-27 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Spatial filters for high average power lasers |
JP2012199425A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Gigaphoton Inc | マスタオシレータ、レーザシステム、およびレーザ生成方法 |
JP5740190B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-06-24 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
JP5844535B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2016-01-20 | ギガフォトン株式会社 | レーザシステムおよびレーザ生成方法 |
DE102011122230B8 (de) * | 2011-12-23 | 2023-07-06 | Menlo Systems Gmbh | Optikanordnung und Verfahren zum Untersuchen oder Bearbeiten eines Objekts |
JP5580358B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2014-08-27 | ギガフォトン株式会社 | 露光用放電励起レーザ装置 |
JP5439530B2 (ja) | 2012-03-23 | 2014-03-12 | ギガフォトン株式会社 | 露光用放電励起レーザ装置 |
US8563956B1 (en) * | 2012-07-28 | 2013-10-22 | Cymer, Llc | Intracavity loss element for power amplifier |
US9529182B2 (en) * | 2013-02-13 | 2016-12-27 | KLA—Tencor Corporation | 193nm laser and inspection system |
US8624209B1 (en) * | 2013-03-14 | 2014-01-07 | Cymer, Llc | Controlling spatial properties in an excimer ring amplifier |
US9715180B2 (en) | 2013-06-11 | 2017-07-25 | Cymer, Llc | Wafer-based light source parameter control |
CN105794056B (zh) * | 2013-11-13 | 2019-02-19 | 丹麦科技大学 | 用于生成压缩光脉冲的方法 |
US9945730B2 (en) * | 2016-09-02 | 2018-04-17 | Cymer, Llc | Adjusting an amount of coherence of a light beam |
-
2016
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004531068A (ja) | 2001-04-09 | 2004-10-07 | サイマー, インコーポレイテッド | ライン選択及び弁別を用いる注入シード方式f2レーザ |
JP2005527848A (ja) | 2002-04-11 | 2005-09-15 | ハイデルベルク・インストルメンツ・ミクロテヒニツク・ゲー・エム・ベー・ハー | 基板の上にマスクを結像させる方法および装置 |
JP2008225380A (ja) | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 位相制御光学系、該光学系を備えたレーザ照射装置、及びレーザ照射方法 |
JP2008277618A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Gigaphoton Inc | 露光用放電励起レーザ装置 |
JP2008277616A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Gigaphoton Inc | 露光用放電励起レーザ装置 |
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