JP7016451B1 - ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法 - Google Patents

ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7016451B1
JP7016451B1 JP2021530267A JP2021530267A JP7016451B1 JP 7016451 B1 JP7016451 B1 JP 7016451B1 JP 2021530267 A JP2021530267 A JP 2021530267A JP 2021530267 A JP2021530267 A JP 2021530267A JP 7016451 B1 JP7016451 B1 JP 7016451B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gauge
optical fiber
carrier
central region
holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021530267A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2022157963A1 (ja
Inventor
和規 高垣
洋平 伊藤
広紀 小林
達也 小山
茂 内海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Application granted granted Critical
Publication of JP7016451B1 publication Critical patent/JP7016451B1/ja
Publication of JPWO2022157963A1 publication Critical patent/JPWO2022157963A1/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/353Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
    • G01D5/35338Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using other arrangements than interferometer arrangements
    • G01D5/35354Sensor working in reflection
    • G01D5/35358Sensor working in reflection using backscattering to detect the measured quantity
    • G01D5/35364Sensor working in reflection using backscattering to detect the measured quantity using inelastic backscattering to detect the measured quantity, e.g. using Brillouin or Raman backscattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/165Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/353Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
    • G01D5/35306Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement
    • G01D5/35309Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement using multiple waves interferometer
    • G01D5/35316Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement using multiple waves interferometer using a Bragg gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/353Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
    • G01D5/35338Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using other arrangements than interferometer arrangements
    • G01D5/35354Sensor working in reflection
    • G01D5/35358Sensor working in reflection using backscattering to detect the measured quantity
    • G01D5/35361Sensor working in reflection using backscattering to detect the measured quantity using elastic backscattering to detect the measured quantity, e.g. using Rayleigh backscattering
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/18Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge using photoelastic elements
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/02123Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
    • G02B6/02142Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating based on illuminating or irradiating an amplitude mask, i.e. a mask having a repetitive intensity modulating pattern
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/02171Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by means for compensating environmentally induced changes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

ゲージキャリア(200)は、ひずみの検出に用いられる既定の長さのゲージ部(101)が軸方向の一部に設けられる光ファイバ(100)を保持する。中央領域(201)は、既定の剛性を有し、ゲージキャリア(200)の長手方向の長さがゲージ部(100)の長さ以上であり、ゲージ部(100)を保持する。2つの分割領域(202)は、各々が中央領域(201)の剛性と異なる剛性を有し、各々のゲージキャリア(200)の長手方向の長さの合計の長さが中央領域(201)のゲージキャリア(200)の長手方向の長さよりも長く、一方がゲージキャリア(200)の前方に配置されてゲージ部(101)の前方の光(100)の部位を保持し、他方がゲージキャリア(200)の後方に配置されてゲージ部(101)の後方の光ファイバ(100)の部位を保持する。

Description

本開示は、光ファイバを保持するゲージキャリアと、光ファイバ及びゲージキャリアを備える光ファイバ変位センサに関する。
光学観測衛星では、判読性に優れ、画質の安定した高分解能画像を撮影できることが望まれている。そのため、光学観測衛星には、安定した光学観測性能を長期にわたって軌道上で維持可能なことが求められる。そのような光学観測衛星の実現には、寸法安定性の高い支持構造体と、当該支持構造体の安定性を評価するセンサが必要になる。
従来、対象物の変形及びひずみを検知するセンサとして、抵抗体を備えたひずみゲージが広く使用されている。この種のひずみゲージは電気抵抗の変化に基づきひずみ量を取得するため、電磁ノイズの対策が必要となる。また、各センサで配線が必要なため、多点の計測に際しては、配設及び取扱いが煩雑である。更に、狭小部へのセンサ取り付けが困難であるという問題もあった。
そこで、近年、光ファイバを備える光ファイバ式ひずみゲージの使用が広がっている。光ファイバ式ひずみゲージは、光ファイバ内部を伝送する光の反射及び散乱状態の変化に基づきひずみ量を取得すため、電磁ノイズの対策が不要である。また、1本の光ファイバに多数の計測点を設けられるため多点計測が容易である。更に、光ファイバ式ひずみゲージは電気式ひずみゲージに比べてサイズが小さいため、極小部への配設も可能である。
また、光ファイバ式ひずみゲージを保持するゲージキャリアを使用することで光ファイバ式ひずみゲージ単体では得られない効果を達成することもできる。
特許文献1は、光ファイバひずみセンサを開示している。
特許文献1の光ファイバひずみセンサは、くびれ部を備え、長手方向の断面が変化するゲージキャリアとFBG(Fiber Bragg Gratings)を用いた光ファイバ式ひずみゲージを備える。そして、特許文献1の光ファイバひずみセンサでは、光ファイバ式ひずみゲージのFBG部がゲージキャリアのくびれ部に配置される。
特開2008-134155号公報
特許文献1が開示する技術では、光ファイバ式ひずみゲージのFBG部がゲージキャリアのくびれ部に配置される構成であるため、FBG部のひずみが顕著に現れ、ひずみの検出感度を向上させることができる。また、くびれ部の代わりにゲージキャリアの幅を広げることでひずみの検出感度を低下させることも可能である。
しかしながら、特許文献1の光ファイバひずみセンサではゲージキャリアの形状によってはひずみの検出感度を有効に向上又は抑制できないという課題がある。
本開示は、上述のような課題を解決することを主な目的とする。より具体的には、本開示は、ひずみの検出感度を有効に向上又は抑制できるようにすることを目的とする。
本開示に係るゲージキャリアは、
ひずみの検出に用いられる既定の長さのゲージ部が軸方向の一部に設けられる光ファイバを保持するゲージキャリアであって、
既定の剛性を有し、前記ゲージキャリアの長手方向の長さが前記ゲージ部の長さ以上である、前記ゲージ部を保持する第1の保持部と、
各々が前記第1の保持部の剛性と異なる剛性を有し、各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記第1の保持部の前記ゲージキャリアの長手方向の長さよりも長く、一方が前記第1の保持部の前方に配置されて前記ゲージ部の前方の前記光ファイバの部位を保持し、他方が前記第1の保持部の後方に配置されて前記ゲージ部の後方の前記光ファイバの部位を保持する、2つの第2の保持部とを備える。
本開示によれば、ひずみの検出感度を有効に向上又は抑制することができる。
実施の形態1に係る光ファイバを示す図。 実施の形態1に係る光ファイバにおけるFBG部を示す図。 実施の形態1に係るFBG部において得られる反射スペクトルの特性を示す図。 実施の形態1に係る光ファイバ変位センサを示す斜視図。 実施の形態1に係る光ファイバ変位センサを示す側面図、正面図及び下面図。 実施の形態1に係る光ファイバ変位センサを計測対象物に取り付けた状態を示す図。 実施の形態2に係る光ファイバ変位センサを示す斜視図。 実施の形態2に係る光ファイバ変位センサを示す側面図及び正面図。 実施の形態2に係る光ファイバ変位センサの曲面への配設を示す図。 実施の形態3に係る光ファイバ変位センサを示す斜視図。 実施の形態3に係る光ファイバ変位センサを示す側面図及び正面図。 実施の形態4に係る光ファイバ変位センサの製造工程を示す図。
以下、実施の形態に係るゲージキャリ及び光ファイバ変位センサを、図面を参照して詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一部分または相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
実施の形態1.
前述のように、特許文献1の技術では、ゲージキャリアの形状によってはひずみの検出感度を有効に向上又は抑制できないという課題がある。更には、特許文献1の技術は、光ファイバに比べゲージキャリアが大きく、狭小部へ配設ができないという課題もある。
これらの課題に鑑み、本実施の形態では、ひずみの検出感度を有効に向上又は抑制することができ、また、狭小部へ配設が可能なゲージキャリア及び光ファイバ変位センサを説明する。
***構成の説明***
まず、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサの構成要素の1つである光ファイバを説明する。
光ファイバには、多点型の光ファイバと分布型の光ファイバとがある。多点型の光ファイバでは、1本の光ファイバ内の1点または複数の点において物理量が測定される。分布型の光ファイバでは、1本の光ファイバにおいて連続的に物理量が測定される。多点型の光ファイバでは、1点または複数の点がゲージ部となる。一方で、分布型の光ファイバでは、光ファイバ全体がゲージ部となる。ゲージ部は、物理量(具体的には、ひずみ)の検出に用いられる部位である。
光ファイバを用いた物理量の測定では、測定位置での反射光又は散乱光の周波数変化を基に物理量が算出される。反射光としては、例えば、光ファイバに設けられたFBG(Fiber Bragg Gratings)部での反射光が使用される。散乱光としては、例えば、レイリー散乱光、ブリルアン散乱光、ラマン散乱光等が使用される。
図1は、本実施の形態に係る光ファイバ100を示す。
本実施の形態に係る光ファイバ100は、多点型光ファイバである。
光ファイバ100は、コア103と、コア103の外周を覆うクラッド104と、クラッド104の外周を覆う被覆部105とを備えている。また、コア103の一部にゲージ部101が設けられている。つまり、ゲージ部101は、光ファイバ100の軸方向の一部に設けられている。具体的には、ゲージ部101は、コア103内に、光ファイバ100の軸方向に5mm程度の範囲に渡って配置されている。前述したように、ゲージ部101は、ひずみの検出に用いられる部位である。
被覆部105の直径は、例えば、250μmである。クラッド104の直径は、例えば、125μmである。コア103の直径は、例えば、8μmである。
被覆部105を構成する材料としては、例えば、アクリレート樹脂、ポリイミド樹脂、鉛、アルミニウム合金、金等が挙げられる。
図2は、コア部103の詳細を示す。
図2に示すように、コア103には、ゲージ部101としてFBG部102が設けられている。つまり、本実施の形態に係る光ファイバ100では、FBG部102がゲージ部101として用いられる。
FBG部102は、コア103に周期Λで屈折率変調を与えた部分である。屈折率変調を形成する方法としては、例えば、位相マスクを使用し、コア103にレーザービームを照射する手法が使用される。光ファイバ100に広帯域の光を入射するとFBG部102において、FBG部102の周期Λ及び屈折率nに応じた狭帯域の光が反射する。
図3は、図2のFBG部102において得られる反射スペクトルの特性を示すグラフである。得られる反射スペクトルの光強度が最も大きくなる波長をブラッグ波長λという。ブラッグ波長λと、周期Λと、屈折率nとの関係は、下記の式(1)で表される。
λ=2nΛ (1)
周期Λは、FBG部102の温度TおよびFBG部102で生じるひずみεによって変化する。また、式(1)で表されるブラッグ波長λの変化量Δλは下記の式(2)に近似される。
Δλ=CΔT+CεΔε (2)
ここで、CとCεは温度とひずみに対する係数である。
ブラッグ波長λの変化量Δλから温度の影響を補償することでひずみを計測することができる。なお、反射スペクトルの計測器としては、例えば、光スペクトラムアナライザ又はファブリペロー干渉計を使用した波長計等が使用される。
次に、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサの別の構成要素であるゲージキャリアを説明する。
図4及び図5は、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサ1を示す。
図4は、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサ1を示す斜視図である。
図5の(a)は、光ファイバ変位センサ1の側面図である。図5の(b)は、光ファイバ変位センサ1の正面図である。図5の(c)は、光ファイバ変位センサ1の下面図である。
ゲージキャリア200は、1つの中央領域201と2つの分割領域202とからなる。中央領域201及び分割領域202は、各々、板状体である。
中央領域201は、第1の保持部に相当する。分割領域202は、第2の保持部に相当する。
中央領域201は、分割領域202の間にある。
光ファイバ100の少なくとも1つのゲージ部101は中央領域201上に固定されるように配置され、センサ部として機能する。中央領域201は、ゲージ部101を保持する。
中央領域201は、ゲージキャリア200の長手方向(光ファイバ100の軸方向)の長さがゲージ部101の長さ以上である。なお、以下では、ゲージキャリア200の長手方向を単に長手方向という。
分割領域202の各々は、中央領域201の剛性とは異なる剛性を有する。
また、2つの分割領域202の長手方向の長さの合計の長さは、中央領域201の長手方向の長さよりも長い。
一方の分割領域202が中央領域201の前方に配置されてゲージ部101の前方の光ファイバ100の部位を保持する。また、他方の分割領域202が中央領域201の後方に配置されてゲージ部101の後方の光ファイバ100の部位を保持する。
本実施の形態では、前方は、光ファイバ100内で入射光が直進する方向を意味する。なお、前方及び後方は相対的であるため、いずれの方向を前方としてもよい。
2つの分割領域202はそれぞれ中央領域201から離れた端部に貼付け部203を有する。
中央領域201と分割領域202は長手方向断面の接触面204で固定される。中央領域201と分割領域202は、例えば、接着剤211による接着で固定される。また、中央領域201と分割領域202のそれぞれの接触面204に研削紙による研磨等の加工を行うことで接着力を向上させることができる。
また、ゲージキャリア200には、光ファイバ100の配設性を向上させるために、光ファイバ100の配設部に溝205が設けられていてもよい。
つまり、図5の(b)に示すように、中央領域201及び分割領域202の各々に、光ファイバ100を保持するための溝205が長手方向に設けられていてもよい。
光ファイバ100のゲージ部101を含む部位はゲージキャリア200の中央領域201に固定されている。中央領域201と光ファイバ100は、例えば、接着剤211による接着で固定される。また、中央領域201の光ファイバ100が固定される部位に研磨紙による研削等の加工を行うことで接着力を向上させることができる。
光ファイバ100は分割領域202と固定されていてもよいし、固定されていなくてもよい。しかしながら、光ファイバ100と分割領域202との固定状態がゲージ部101でのひずみ検知精度に影響を与える可能性があるため、光ファイバ100は分割領域202に固定されていない(分離している)ほうが望ましい。
また、光ファイバ100に予め張力を与えた状態で光ファイバ100をゲージキャリア200に固定することができる。予め光ファイバ100に張力を与えることで、圧縮方向のひずみの測定が可能になる。
図6は、光ファイバ変位センサ1を計測対象物300に取り付けた状態を示す。
図6に示すように、光ファイバ変位センサ1は、ゲージキャリア200に設けられた貼付け部203の全体または一部のみで計測対象物300に固定される。光ファイバ変位センサ1と計測対象物300は、例えば、貼付け用接着剤301による接着で固定される。
計測対象物300が荷重、熱等を受け変形すると、計測対象物300に貼り付けられたゲージキャリア200に変形が伝達する。ゲージキャリア200の中央領域201と分割領域202は剛性が異なるため、それぞれの領域のひずみ量に差が生じる。具体的には、分割領域202の剛性を中央領域201の剛性に比べ大きくすることが考えられる。この場合は、分割領域202に比べ中央領域201の方が変形しやすく、中央領域201の変形の方が分割領域202の変形よりも大きい。その結果、中央領域201に生じるひずみは、計測対象物300に生じるひずみよりも大きい。つまり、中央領域201において、ひずみが増幅する。光ファイバ100のゲージ部101は中央領域201に固定されているため、光ファイバ100には、中央領域201のひずみと同等のひずみが生じる。そのため、計測対象物300よりも大きなひずみが光ファイバ100のゲージ部101に生じ、検出感度を向上することができる。
中央領域201の剛性をE、分割領域202の剛性をE、中央領域201の長手方向の長さをl1、分割領域202の長手方向の合計の長さをlとしたとき、計測対象物300のひずみに対する中央領域201のひずみの倍率αは下記の式(3)となる。
Figure 0007016451000001
ゲージキャリア200は、分割領域202の長手方向の合計の長さが中央領域201の長手方向の長さより長い(l<l)ため、分割領域202の剛性Eを中央領域201の剛性Eに比べ十分高くすることで、2倍以上のひずみ増幅効果を得られる。また、ある倍率α以上にひずみを増幅するには、下記の式(4)を満たすように、中央領域201の剛性をE、分割領域202の剛性E、中央領域201の長さl、及び分割領域202の合計の長さlを設定すればよい。
Figure 0007016451000002
倍率αは、例えば、10とすることができる。
なお、図5の(a)では、分割領域202の片側の長さをx、もう一方の長さをl―xとして示している。
中央領域201の剛性と分割領域202の剛性の差を得るための方法としては、例えば、分割領域202と中央領域201で異なる材料を使用することがある。この場合に、2つの分割領域202の材料は同じである。
この方法により、ゲージキャリア200の幅を変えずに、光ファイバ変位センサ1を小型化することができる。具体的には、分割領域202の材料としてSUS304を用い、中央領域201の材料としてエポキシ樹脂を用いることが考えられる。SUS304の弾性率(193GPa)はエポキシ樹脂(2.4GPa)の約100倍であるため、分割領域202の断面形状を変えることなく大きな剛性差を得ることができる。ゲージキャリア200の形状は例えば、中央領域201で幅5mm、高さ2mm、長さ(l)10mm、分割領域202で幅5mm、高さ2mm、長さ(l)140mm、とすることができる。この場合、計測対象物300のひずみに対する中央領域201のひずみの倍率αは式(3)より、約12.8倍となる。この結果、ひずみ検出感度の高い、小型の光ファイバ変位センサ1を実現することができる。
***実施の形態の効果の説明***
本実施の形態よれば、ひずみの検出感度を有効に向上又は抑制することができるゲージキャリア20及び光ファイバ変位センサ1を実現することができる。また、本実施の形態によれば、狭小部に配設可能な光ファイバ変位センサ1を実現することができる。
以上説明したように、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサ1は、ゲージ部101を有する光ファイバ100と、光ファイバ100を保持するゲージキャリア200で構成される。
ゲージキャリア200は2つの分割領域202と、分割領域202の間にあり分割領域202と剛性の異なる中央領域201からなり、分割領域202全体の長手方向の長さは中央領域201の長手方向の長さより長い。
また、光ファイバ100のゲージ部101が中央領域201上に固定されており、ゲージキャリア200の2つの分割領域202はそれぞれ中央領域201から離れた端部に貼付け部203を有する。ゲージキャリア200に設けられた貼付け部203で固定された計測対象物300に変形が生じた際、ゲージキャリア200の中央領域201と分割領域202は剛性が異なるため、それぞれの領域のひずみ量に差が生じる。
このため、光ファイバ100のゲージ部101に生じるひずみを増幅または抑制し、ひずみ検出感度を向上または抑制することができる。また、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサ1は、狭小部に配設することができる。
なお、本実施の形態ではグレーティング長さ(ゲージ部101の長さ)を5mm程度としたが、光が十分に反射するのであれば他のグレーティング長さを用いてもよい。例えば、1mm、2mm、10mm、25mm等のグレーティング長さを用いてもよい。
また、本実施の形態においては、分割領域202の剛性が中央領域201の剛性に比べ大きく、ひずみを増幅する例を説明した。しかしながら、光ファイバ変位センサ1では、分割領域202の剛性と中央領域201の剛性とが異なればよい。分割領域202の剛性が中央領域201の剛性に比べて小さい場合は、中央領域201でのひずみを抑制することができる。これにより、計測対象物300の変形が大きい場合でも光ファイバ100を破断することなく、ひずみを計測することができる。
また、本実施の形態では、ゲージキャリア200と光ファイバ100の固定方法及び中央領域201と分割領域202の固定方法を接着剤211による接着とした。ゲージキャリア200と光ファイバ100及び中央領域201と分割領域202がそれぞれ固定されるのであれば他の方法を用いてもよい。例えば、ジョイント金具、組手等を用いてもよい。
なお、接着剤211として、例えば、アクリル系、エポキシ系、シリコン系、フェノール系、ポリエチレン系、ポリイミド系、ウレタン系、ポリウレタン系等の接着剤を使用することができる。接着剤211を硬化させる条件は、使用する接着剤211によって異なる。
また、本実施の形態では固定面への前処理として、研磨紙による研削を行う例を説明した。研磨紙による研削に代えて、研磨布、ワイヤブラシ、サンドブラスティング等を用いた研削を行ってもよい。また、研削以外に化学的処理、プライマー処理、紫外線照射処理、プラズマ処理等を行ってもよい。
また、本実施の形態では、ひずみの増幅αを10としたが、計測対象物300で想定されるひずみに応じて他の増幅を用いてもよい。例えば、2、3、5、25、50、100等の増幅を用いてもよい。
また、本実施の形態では、中央領域201の剛性と分割領域202の剛性の差を得るための方法として、中央領域201と分割領域202で異なる材料を用いたが、中央領域201と分割領域202で異なる厚みとしてもよい。この場合に、2つの分割領域202の厚さは同じである。
厚みが異なると、断面積が異なるため、中央領域201と分割領域202で同一の材料を使用した場合でも剛性の差を得ることができる。
また、本実施の形態では、分割領域202の材料としてSUS304を用い、中央領域201の材料としてエポキシ樹脂を用いる例を説明した。SUS304とエポキシ樹脂以外の材料を用いてもよい。例えば、シリコン、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ナイロン樹脂、クロロブレンゴム、シリコーンゴム、ステンレス鋼、アルミニウム合金、スーパーインバー等を用いることができる。
また、本実施の形態1では、単一の中央領域201を用いる例を説明した。しかし、光ファイバ100及び分割領域202と固定した後に一体化した中央領域201が得られればよく、2以上の部材で構成される中央領域201を用いてもよい。この場合は、2以上の部材を接着剤等で固定することで、一体化した中央領域201を得る。
実施の形態2.
図7及び図8は、実施の形態2に係る光ファイバ変位センサ1を示す。
図7は、実施の形態2に係る光ファイバ変位センサ1を示す斜視図である。
図8の(a)は、光ファイバ変位センサ1を示す側面図である。図8の(b)は、光ファイバ変位センサ1を示す正面図である。
図9の(a)は、実施の形態1に係る光ファイバ変位センサ1を曲面上へ配設した例を示す。図9の(b)は、実施の形態2に係る光ファイバ変位センサ1を曲面上へ配設した例を示す。
実施の形態1に係るゲージキャリア200の断面形状は長方形である。これに対して、実施の形態2に係るゲージキャリア200の断面形状は、中空閉断面形状である。つまり、実施の形態1では、中央領域201及び分割領域202の各々が板状体であるが、実施の形態2では、中央領域201及び分割領域202の各々が閉断中空円柱体である。中央領域201と2つの分割領域202は、接触面204で例えば接着剤により固定されている。
また、実施の形態2では、中央領域201及び分割領域202の各々に光ファイバ100を保持するための穴206が設けられている。穴206は、中央領域201及び分割領域202の略中央に設けられている。
そして、実施の形態2では、穴206に光ファイバ100が挿入される。光ファイバ100のゲージ部101を含む部位はゲージキャリア200の中央領域201の内表面(穴206)に固定されている。
実施の形態2に係るゲージキャリア200はこのような構成であるため、図9の(b)に示すように円筒等の曲面形状への取り付けが容易である。
実施の形態2に係るゲージキャリア200の寸法は、以下が考えられる。例えば、中央領域201の外直径を3mm、内直径を0.4mm、長さ(l)を10mmとすることが考えられる。また、分割領域202の外直径を3mm、内直径を0.4mm、長さ(l)を140mmとすることが考えられる。
実施の形態1と同様に、分割領域202の材料としてSUS304、中央領域201の材料としてエポキシ樹脂を用いる場合、計測対象物300のひずみに対する中央領域201のひずみの倍率αは式(3)より、約12.8倍となる。その他の構成は、実施の形態1と同様である。
以上説明したように、実施の形態2に係る光ファイバ変位センサ1は、ゲージキャリア200の断面形状が中空閉断面形状である。
これにより、実施の形態2に係る光ファイバ変位センサ1は、実施の形態1と同様の効果に加えて、円筒等の曲面形状にも容易に取り付けることができるとの効果を得ることができる。
なお、本実施の形態では、ゲージキャリア200の中空閉断面を略円形としたが、略円形でなく略半円形、略扇形、略楕円形、略長方形、略正方形等でもよい。つまり、中央領域201及び分割領域202の各々が、閉断中空半円柱体、閉断中空扇形柱体、閉断中空楕円柱体及び閉断中空角柱体のいずれかであってもよい。
また、本実施の形態では、中央領域201及び分割領域202の各々が閉断中空柱体である例を説明したが、中央領域201及び分割領域202の各々が、穴206が開通した中実柱体であってもよい。
実施の形態3.
図10及び図11は、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1を示す。
図10は、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1を示す斜視図である。
図11の(a)は、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1を示す側面図である。
図11の(b)は、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1を示す正面図である。
実施の形態1及び実施の形態2では、ゲージキャリア200の中央領域201と分割領域202が長手方向の断面の接触面204で固定される構成を説明した。これに対して、実施の形態3に係るゲージキャリア200では、中央領域201と分割領域202の全域に位置する中空の内部柱体207と、分割領域202のみに位置する別の中空の外部柱体208で構成され、分割領域202が二重構造となっている。
本実施の形態では、中央領域201は、内部柱体207の中間部位である。
また、中央領域201の前方に配置される分割領域202は、内部柱体207の中間部位の前方の部位と、当該前方の部位を覆う外部柱体208である。
また、中央領域201の後方に配置される分割領域202は、内部柱体207の中間部位の後方の部位と、当該後方の部位を覆う外部柱体208である。
このような構成により、中央領域201と分割領域202の間で破損が生じにくく、また光ファイバ変位センサ1の製造性が向上する。
また、本実施の形態では、中央領域201の厚みと分割領域202との厚みが異なるため、中央領域201の剛性と分割領域202の剛性が異なる。
本実施の形態では、光ファイバ100は内部柱体207に挿入される。光ファイバ100のゲージ部101を含む部位は内部柱体207の中央領域201の位置の内表面に固定されている。
図10及び図11に示すように、本実施の形態に係るゲージキャリア200の形状は略円筒形状である。つまり、本実施の形態では、内部柱体207と外部柱体208はそれぞれ中空円柱体である。
外部柱体208の内径は内部柱体207の外径よりも大きい。内部柱体207は外部柱体208の内表面に配置される。
なお、本実施の形態では、図10及び図11に示すように、内部柱体207は2つの部材で構成される。以下、内部柱体207を構成する2つの部材をそれぞれ構成部材217という。
図10及び図11の例では、内部柱体207は、中央領域201の中央より前方の構成部材217と中央領域201の中央より後方の構成部材217とで構成される。つまり、各構成部材217は、内部柱体207の半分の長さである。そして、製造時に2つの構成部材217が接触面209で固定されて、一体化した内部柱体207となる。2つの構成部材217は、例えば、接着剤211による接着で固定される。
このように、本実施の形態では、中央領域201は、長手方向に垂直の方向で二分割されている。
実施の形態3に係るゲージキャリア200の寸法は、以下が考えられる。例えば、内部柱体207の外直径を1.5mm、内直径を0.4mm、長さを150mmとすることが考えられる。また、外部柱体208の外直径を3.0mm、内直径を2.0mm、長さ(l)を100mmとすることが考えられる。
また、内部柱体207の材料としてエポキシ樹脂、外部柱体208の材料としてSUS304を用いる場合、計測対象物300のひずみに対する中央領域201のひずみの倍率αは式(3)より、約12.7倍となる。
その他の構成は、実施の形態1と同様である。なお、その他の構成は、実施の形態2と同様であってもよい。
以上説明したように、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1は、分割領域202と中央領域201の全域に位置する内部柱体207と、分割領域202のみに位置する外部柱体208からなり、分割領域202が二重構造となっている。
これにより、実施の形態3に係る光ファイバ変位センサ1は、実施の形態1と同様の効果に加えて、分割領域202と中央領域201の間で破断が生じにくいという効果を得ることができる。また、実施の形態3によれば、光ファイバ変位センサ1の製造性を向上させることができる。
なお、実施の形態3では、内部柱体207が2つの構成部材217で構成され、製造時に2つの構成部材217が接続される構造を説明したが、内部柱体207が2つの構成部材217に分かれておらず、当初から一体化されていてもよい。
また、実施の形態1及び実施の形態2に示す中央領域201が、実施の形態3の中央領域201のように、長手方向に垂直の方向で二分割されていてもよい。
実施の形態4.
次に、実施の形態4として、実施の形態1から実施の形態3に示した光ファイバ変位センサ1の製造方法を説明する。
図12は、実施の形態4に係る光ファイバ変位センサ1の製造方法を示す。
図12では、一例として、実施の形態3に係る、内部柱体207と外部柱体208で構成される二重構造の光ファイバ変位センサ1の製造方法を示す。また、図12では、実施の形態3で説明したように、2つの構成部材217を接続して内部柱体207を形成する例を示す。
図12に示す製造方法は、第一製造工程と第二製造工程に大別される。
第一製造工程では、ゲージキャリア200が製造される。
まず、図12の(a)に示すように、2つの構成部材217の、外部柱体208との接触面210に接着剤211が塗布される。
図12の(a)では、構成部材217の外径面の接触面210のみに接着剤211が塗布された例を示している。これに加え又はこれに代えて、外部柱体208の内径面に接着剤211が塗布されてもよい。
なお、接着剤211の塗布に先立ち、接着性を向上させるために構成部材217の接触面210に前処理が行われてもよい。前処理としては、例えば、研磨紙による研削加工が考えられる。
次に、図12の(b)に示すように、構成部材217を外部柱体208に挿入し、図12の(c)に示すように、構成部材217と外部柱体208の端が揃う位置に構成部材217と外部柱体208を配置する。そして、図12の(c)に示す状態で、接着剤211が硬化するまで、構成部材217と外部柱体208の位置関係を保持する。
次に、第二製造工程では、ゲージキャリア200と光ファイバ100を組み合わせ、光ファイバ変位センサ1を製造する。
まず、図12の(d)に示すように光ファイバ100がゲージキャリア200内に配置される。具体的には、2つの構成部材217内に光ファイバ100が通される。
次に、図12の(e)に示すように、2つの構成部材217の、光ファイバ100を固定する部位に接着剤211が塗布される。つまり、中央領域201に相当する部位に接着剤211が塗布される。
また、構成部材217の接触面209にも接着剤211が塗布される。
なお、接着剤211の塗布に先立ち、接着性を向上させるために接着剤211が塗布される面に前処理が行われてもよい。前処理としては、例えば、研磨紙による研削加工が考えられる。
そして、図12の(f)に示すように、2つの構成部材217の接触面209が接触する位置に構成部材217と外部柱体208を配置する。そして、図12の(f)に示す状態で、接着剤211が硬化するまで、構成部材217と外部柱体208の位置関係を保持する。
また、このとき、光ファイバ100に張力を与えた状態で構成部材217と外部柱体208の位置関係を保持してもよい。光ファイバ100に予め張力が生じた状態で光ファイバ100が構成部材217に固定されることで、圧縮方向のひずみの測定が可能になる。
図12の(f)の状態で接着剤211が硬化すると、2つの構成部材217が一体化されて内部柱体207が形成される。この結果、光ファイバ変位センサ1が完成する。
以上より、本実施の形態に係る光ファイバ変位センサ1の製造方法は、中央領域201と分割領域202を組み合わせてゲージキャリア200を製造する第一製造工程と、ゲージキャリア200と光ファイバ100を組み合わせて光ファイバ変位センサ1を製造する第二製造工程とを備える。
本実施の形態では、実施の形態3に示した光ファイバ変位センサ1の製造方法を説明したが、実施の形態1に示した光ファイバ変位センサ1、実施の形態2に示した光ファイバ変位センサ1も同様の方法により製造することができる。
実施の形態1に示した光ファイバ変位センサ1は、例えば、以下の方法で製造することができる。
(1)中央領域201の2つの接触面204に接着剤211が塗布される。
(2)2つの接触面204に分割領域202が固定される。
(3)中央領域201の溝205に接着剤211が塗布される。
(4)中央領域201及び2つの分割領域202の溝205に光ファイバ100が配置される(中央領域201の溝205の接着剤211で光ファイバ100が固定される)。
また、実施の形態2に示した光ファイバ変位センサ1は、例えば、以下の方法で製造することができる。
(1)中央領域201の穴206に接着剤211が塗布される。
(2)穴206に光ファイバ100が挿入される(中央領域201の穴206で光ファイバ100が固定される)。
(3)中央領域201の2つの接触面204に接着剤211が塗布される。
(4)分割領域202の穴206に光ファイバ100を通し、2つの接触面204に分割領域202が固定される。
以上、実施の形態1~4を説明したが、これらの実施の形態のうち、2つ以上を組み合わせて実施しても構わない。
あるいは、これらの実施の形態のうち、1つを部分的に実施しても構わない。
あるいは、これらの実施の形態のうち、2つ以上を部分的に組み合わせて実施しても構わない。
また、これらの実施の形態に記載された構成及び手順を必要に応じて変更してもよい。
1 光ファイバ変位センサ、100 光ファイバ、101 ゲージ部、102 FBG部、103 コア、104 クラッド、105 被覆部、200 ゲージキャリア、201 中央領域、202 分割領域、203 貼付け部、204 接触面、205 溝、206 穴部、207 内部柱体、208 外部柱体、209 接触面、210 接触面、211 接着剤、217 構成部材、300 計測対象物、301 貼付け用接着剤。

Claims (5)

  1. ひずみの検出に用いられる既定の長さのゲージ部が軸方向の一部に設けられる光ファイバを保持し、計測対象物に固定されるゲージキャリアであって、
    各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記ゲージ部の長さ以上である二つの構成部材が前記ゲージキャリアの長手方向に垂直の方向で固定されて構成されている、既定の剛性を有する、前記ゲージ部を保持する第1の保持部と、
    各々が前記第1の保持部の剛性と異なる剛性を有、各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記第1の保持部の前記ゲージキャリアの長手方向の長さよりも長く、一方が前記第1の保持部の前方に配置されて前記ゲージ部の前方の前記光ファイバの部位を保持し、他方が前記第1の保持部の後方に配置されて前記ゲージ部の後方の前記光ファイバの部位を保持する、2つの第2の保持部とを備えるゲージキャリア。
  2. 前記第1の保持部と、前記第2の保持部の各々が、それぞれ、閉断中空柱体である請求項1に記載のゲージキャリア。
  3. 前記第1の保持部と、前記第2の保持部の各々が、それぞれ、閉断中空円柱体、閉断中空半円柱体、閉断中空扇形柱体、閉断中空楕円柱体及び閉断中空角柱体のいずれかである請求項2に記載のゲージキャリア。
  4. ひずみの検出に用いられる既定の長さのゲージ部が軸方向の一部に設けられる光ファイバと、前記光ファイバを保持し、計測対象物に固定されるゲージキャリアとを備え、
    前記ゲージキャリアが、
    各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記ゲージ部の長さ以上である二つの構成部材が前記ゲージキャリアの長手方向に垂直の方向で固定されて構成されている、既定の剛性を有する、前記ゲージ部を保持する第1の保持部と、
    各々が前記第1の保持部の剛性と異なる剛性を有、各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記第1の保持部の前記ゲージキャリアの長手方向の長さよりも長く、一方が前記第1の保持部の前方に配置されて前記ゲージ部の前方の前記光ファイバの部位を保持し、他方が前記第1の保持部の後方に配置されて前記ゲージ部の後方の前記光ファイバの部位を保持する、2つの第2の保持部とを備え
    記光ファイバが、少なくとも前記第1の保持部に固定されている光ファイバ変位センサ。
  5. ひずみの検出に用いられる既定の長さのゲージ部が軸方向の一部に設けられる光ファイバと、前記光ファイバを保持し、計測対象物に固定されるゲージキャリアとを備える光ファイバ変位センサの製造方法であって、
    各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記ゲージ部の長さ以上である二つの構成部材が前記ゲージキャリアの長手方向に垂直の方向で固定されて構成されている、既定の剛性を有する、前記ゲージ部を保持する第1の保持部と、
    各々が前記第1の保持部の剛性と異なる剛性を有、各々の前記ゲージキャリアの長手方向の長さの合計の長さが前記第1の保持部の前記ゲージキャリアの長手方向の長さよりも長く、一方が前記第1の保持部の前方に配置されて前記ゲージ部の前方の前記光ファイバの部位を保持し、他方が前記第1の保持部の後方に配置されて前記ゲージ部の後方の前記光ファイバの部位を保持する、2つの第2の保持部とを組み合わせて、前記ゲージキャリアを製造する工程と、
    前記光ファイバを、少なくとも前記第1の保持部に固定する工程とを有する、光ファイバ変位センサの製造方法。
JP2021530267A 2021-01-25 2021-01-25 ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法 Active JP7016451B1 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2021/002392 WO2022157963A1 (ja) 2021-01-25 2021-01-25 ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP7016451B1 true JP7016451B1 (ja) 2022-02-04
JPWO2022157963A1 JPWO2022157963A1 (ja) 2022-07-28

Family

ID=80815893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021530267A Active JP7016451B1 (ja) 2021-01-25 2021-01-25 ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20240053139A1 (ja)
EP (1) EP4283251A4 (ja)
JP (1) JP7016451B1 (ja)
WO (1) WO2022157963A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000111319A (ja) * 1998-09-30 2000-04-18 Ntt Advanced Technology Corp 光ファイバセンサ
CN2646666Y (zh) * 2003-09-05 2004-10-06 刘育梁 增敏型光纤光栅应变传感器
JP2005337831A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバセンサ複合ケーブルと光ファイバ監視システム用ネット
JP2008275489A (ja) * 2007-04-29 2008-11-13 Kajima Corp 光ファイバセンサ
JP2012088155A (ja) * 2010-10-19 2012-05-10 Hitachi Ltd Fbgセンサを用いた計測方法およびその装置
JP2016217852A (ja) * 2015-05-19 2016-12-22 株式会社東京測器研究所 変位量測定システム及び変位量測定方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4897445B2 (ja) 2006-11-28 2012-03-14 株式会社共和電業 光ファイバ式ひずみゲージ
NL2020872B1 (en) * 2018-05-03 2019-11-12 Fugro Tech Bv Sensor assembly for monitoring an artifact

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000111319A (ja) * 1998-09-30 2000-04-18 Ntt Advanced Technology Corp 光ファイバセンサ
CN2646666Y (zh) * 2003-09-05 2004-10-06 刘育梁 增敏型光纤光栅应变传感器
JP2005337831A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Mitsubishi Electric Corp 光ファイバセンサ複合ケーブルと光ファイバ監視システム用ネット
JP2008275489A (ja) * 2007-04-29 2008-11-13 Kajima Corp 光ファイバセンサ
JP2012088155A (ja) * 2010-10-19 2012-05-10 Hitachi Ltd Fbgセンサを用いた計測方法およびその装置
JP2016217852A (ja) * 2015-05-19 2016-12-22 株式会社東京測器研究所 変位量測定システム及び変位量測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2022157963A1 (ja) 2022-07-28
EP4283251A4 (en) 2024-03-06
WO2022157963A1 (ja) 2022-07-28
US20240053139A1 (en) 2024-02-15
EP4283251A1 (en) 2023-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1816432B1 (en) Fiber optic strain gage
JP6409123B2 (ja) センサ組立体
US7720324B2 (en) Optical strain gauge strips
JP2006525501A (ja) ブラッググレーティング光ファイバを使用する1軸性の熱的および/または機械的な変形測定用の装置、システム、および方法
US9146165B2 (en) Fiber optic cable
JP2006517669A (ja) 走査ミラーを有する干渉計
JP2019522791A (ja) ファイバブラッググレーティングセンサを用いた変位測定装置及びその感度並びに耐久性調節方法
JP2005055450A (ja) 光ファイバ式ひずみゲージ
JP7016451B1 (ja) ゲージキャリア、光ファイバ変位センサ及び光ファイバ変位センサの製造方法
WO2015080222A1 (ja) 歪みセンサ及び歪みセンサの製造方法
WO2017150476A1 (ja) 光ファイバセンサ
JP2002286563A (ja) 光ファイバ式ひずみゲージ
JP2006516734A (ja) 干渉計の走査可能ミラー装置
WO2007107693A1 (en) Fiber optic cable
JP2005249861A (ja) 光ファイバセンサ、及び光ファイバセンサモジュール
Caucheteur et al. Simultaneous bend and temperature sensor using tilted FBG
JP5638312B2 (ja) 内輪へのひずみセンサ内蔵型転がり軸受の荷重分布測定方法及びその装置
JP5287799B2 (ja) 管材の引張試験用供試材及び引張試験方法
JP7047366B2 (ja) 光ファイバセンサ
CN112683185A (zh) 光纤检测装置及使用光纤检测装置的机械应变的检测方法
JP5973748B2 (ja) ファイバ湾曲センサ
JPWO2016186054A1 (ja) 歪みセンサ及び歪みセンサの取付治具
US11099005B2 (en) Optical fibre sensor for measuring deformation, said sensor operating in a harsh environment
JP6397369B2 (ja) 変位量測定システム及び変位量測定方法
JP3035533B2 (ja) 光ファイバ式ひずみゲ―ジ及びひずみ測定システム

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210527

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210527

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20210527

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211005

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211109

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20211228

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220125

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7016451

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150