JP7015364B1 - 気密試験装置および気密試験方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<気密試験装置1の構成>
図1は、本発明の実施形態1に係る気密試験装置1の全体構成を示す模式図である。図1において、管T1からフード10に向かう方向をY方向、管T1の延伸方向をZ方向、Y方向およびZ方向の両方に直交する方向をX方向とする。正のY方向は上方向である。X方向、Y方向およびZ方向は、図1以外の他の図においても同様の方向を示すものとする。
図2は、図1に示す気密試験装置1が備えるフード10の断面構成を示す断面図である。また、図2は、フード10が管T1の上側に配置されるとともに管T1に接触していない状態を示す。フード10は、管固定部20に固定された管T1を覆うためのものである。図1および図2に示すように、フード10は、フード上面部11と、一対のフード側面部12と、を有する。
管固定部20は、管T1を所定の位置で固定するためのものである。図1に示すように、管固定部20は、固定端21と、押圧端22と、を備える。固定端21は、気密試験装置1において一定の位置に固定されている。管T1の一端には、他の管T1の挿し口を挿入可能な受口が形成され、管T1の他端には、他の管T1の受口に挿入可能な挿し口が形成されており、固定端21には管T1の受口側の端面が当接する。なお、挿し口および受口が形成された管T1は一例であり、管T1は、必ずしも挿し口および受口が形成されているものに限定されない。
ガス注入器40は、フード10が管T1を覆った状態で、フード10と管T1の外面との間の空間に検知用ガスを注入する。検知用ガスは、大気中における存在比率が極めて小さいガスである。検知用ガスの具体例として、He(ヘリウム)が挙げられる。
真空ポンプ45は、管T1の内部を真空にするポンプである。真空ポンプ45は、配管46を介して管T1の内部と連通する。配管46の一端は真空ポンプ45に接続されている。配管46における一端と他端との間の一部は貫通孔21Aの内部に配置される。真空ポンプ45には、排気の成分を分析する分析器(不図示)が接続されている。
複数の台座61にはそれぞれ、台座ローラ50が設けられている。台座ローラ50には管T1が載置される。台座ローラ50に載置された管T1は、台座ローラ50の回転により、Z方向に移動可能である。台座ローラ50は、管T1の外径または気密試験の進行に応じて、Y方向に移動可能であってもよい。この場合、台座61における台座ローラ50の載置面がモータ(不図示)により昇降される。
図1および図2に示すように、ワイヤーW1は、フード上面部11とフード側面部12の下端との間で張架される。換言すると、ワイヤーW1は、フード上面部11とフード側面部12の下端部12Aとの間で張架される。一対のフード側面部12が、気密試験が行われる位置に配置された状態において、ワイヤーW1は、フード側面部12における、フード10と管T1の外面との間の空間に対向する側に配置される。ワイヤーW1は、フード側面部12の延伸方向、つまり、Z方向に複数本設けられる。
気密試験装置1による気密試験方法としては、まず、管T1を昇降させる昇降装置(不図示)に管T1を設置する。次に、昇降装置によって管T1を所定の高さまで持ち上げ、昇降装置によって持ち上げられた管T1を、管固定部20により所定の位置で固定する。このとき、管固定部20の固定端21および押圧端22を、パッキン(不図示)を介して管T1の端面に当接させることにより、管T1の内部を密閉する。
図4は、図3に示す管T1の外径よりも小さい外径を有する管T2がフード10に覆われる状態を示す図である。図4に示すように、フード10が管T2を覆う場合、一対のフード側面部12がフード上面部11に対して回転可能に取り付けられていることにより、フード10が管T1を覆う場合に比べて、一対のフード側面部12が互いに近づいて配置される。
本発明の実施形態2について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態1にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。図5は、本発明の実施形態2に係る気密試験装置が備えるフード10Aが管T1を覆う状態を示す図である。なお、実施形態2で説明する内容については、管T1の外径よりも小さい外径を有する管T2の場合も同様である。
10、10A フード
11 フード上面部
12、121 フード側面部
12B 摺動部材
12C 重り
12D 屈曲部
20 管固定部
A1 管の中心軸
C1 第1接続箇所
C2 第2接続箇所
CS フード上面部の切断面
D1 所定距離
ED 管の外径
T1、T2 管
W1 ワイヤー
Claims (9)
- 管を所定の位置で固定するための管固定部と、
前記管固定部に固定された前記管を覆うためのフードと、を備え、
前記フードは、
前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部と、
前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部と、を有し、
前記第1接続箇所と前記第2接続箇所との間の前記所定距離は、前記管の外径よりも小さいことを特徴とする気密試験装置。 - 管を所定の位置で固定するための管固定部と、
前記管固定部に固定された前記管を覆うためのフードと、を備え、
前記フードは、
前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部と、
前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部と、を有し、
前記一対のフード側面部のそれぞれが、前記管の表面に対して摺動する摺動部材を有することを特徴とする気密試験装置。 - 管を所定の位置で固定するための管固定部と、
前記管固定部に固定された前記管を覆うためのフードと、を備え、
前記フードは、
前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部と、
前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部と、を有し、
前記一対のフード側面部のそれぞれが、当該フード側面部の下端に設けられる重りを有することを特徴とする気密試験装置。 - 前記一対のフード側面部が、前記管の気密性を試験する気密試験が行われる位置に配置された状態で、前記一対のフード側面部のそれぞれには、当該フード側面部が前記管の断面形状に沿って屈曲するように少なくとも1つの屈曲部が形成されることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の気密試験装置。
- 管を所定の位置で固定するための管固定部と、
前記管固定部に固定された前記管を覆うためのフードと、を備え、
前記フードは、
前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部と、
前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部と、を有し、
前記フード上面部と前記フード側面部の下端との間で張架されるワイヤーを備え、
前記ワイヤーは、前記フード側面部の延伸方向に複数本設けられることを特徴とする気密試験装置。 - 管を所定の位置で固定する管固定ステップと、
前記管固定ステップにて固定した前記管をフードにより覆う管被覆ステップと、を含み、
前記管被覆ステップで、以下の構成(i)、(ii)および(iii)を有する前記フードを用いることを特徴とする気密試験方法。
(i)前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部;
(ii)前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部;
(iii)前記第1接続箇所と前記第2接続箇所との間の前記所定距離が、前記管の外径よりも小さい。 - 管を所定の位置で固定する管固定ステップと、
前記管固定ステップにて固定した前記管をフードにより覆う管被覆ステップと、を含み、
前記管被覆ステップで、以下の構成(i)、(ii)および(iii)を有する前記フードを用いることを特徴とする気密試験方法。
(i)前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部;
(ii)前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部;
(iii)前記一対のフード側面部のそれぞれが、前記管の表面に対して摺動する摺動部材を有する。 - 管を所定の位置で固定する管固定ステップと、
前記管固定ステップにて固定した前記管をフードにより覆う管被覆ステップと、を含み、
前記管被覆ステップで、以下の構成(i)、(ii)および(iii)を有する前記フードを用いることを特徴とする気密試験方法。
(i)前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部;
(ii)前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部;
(iii)前記一対のフード側面部のそれぞれが、当該フード側面部の下端に設けられる重りを有する。 - 管を所定の位置で固定する管固定ステップと、
前記管固定ステップにて固定した前記管をフードにより覆う管被覆ステップと、を含み、
前記管被覆ステップで、以下の構成(i)、(ii)および(iii)を有する前記フードを用いることを特徴とする気密試験方法。
(i)前記フードが前記管の上側に配置された状態で、前記管の延伸方向に沿って延伸するフード上面部;
(ii)前記フード上面部について前記管の中心軸に直交する平面で切断した切断面において、所定距離を隔して配された第1接続箇所および第2接続箇所のそれぞれに対して、前記管の周方向に回転可能に取り付けられるとともに、それぞれが前記管の延伸方向に沿って延伸する一対のフード側面部;
(iii)前記フード側面部の延伸方向に複数本設けられるワイヤーが、前記フード上面部と前記フード側面部の下端との間で張架される。
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JP2020188897A JP7015364B1 (ja) | 2020-11-12 | 2020-11-12 | 気密試験装置および気密試験方法 |
JP2022006811A JP2022078015A (ja) | 2020-11-12 | 2022-01-20 | 気密試験装置および気密試験方法 |
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JP2020188897A JP7015364B1 (ja) | 2020-11-12 | 2020-11-12 | 気密試験装置および気密試験方法 |
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JPS59231433A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-26 | Kubota Ltd | 管のリ−クテスト装置 |
US20110259509A1 (en) * | 2010-04-27 | 2011-10-27 | Pirie Strewn S | Pipe Joint Coating |
JP2018100680A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社クボタ | 管検査装置 |
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2020
- 2020-11-12 JP JP2020188897A patent/JP7015364B1/ja active Active
-
2022
- 2022-01-20 JP JP2022006811A patent/JP2022078015A/ja active Pending
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JPS59231433A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-26 | Kubota Ltd | 管のリ−クテスト装置 |
US20110259509A1 (en) * | 2010-04-27 | 2011-10-27 | Pirie Strewn S | Pipe Joint Coating |
JP2018100680A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社クボタ | 管検査装置 |
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