JP7008598B2 - 電子銃および電子線装置 - Google Patents
電子銃および電子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7008598B2 JP7008598B2 JP2018166784A JP2018166784A JP7008598B2 JP 7008598 B2 JP7008598 B2 JP 7008598B2 JP 2018166784 A JP2018166784 A JP 2018166784A JP 2018166784 A JP2018166784 A JP 2018166784A JP 7008598 B2 JP7008598 B2 JP 7008598B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- switch
- electrode
- electron gun
- switch member
- emitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/063—Geometrical arrangement of electrodes for beam-forming
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/027—Construction of the gun or parts thereof
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/50—Repairing or regenerating used or defective discharge tubes or lamps
- H01J9/505—Regeneration of cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/0203—Protection arrangements
- H01J2237/0206—Extinguishing, preventing or controlling unwanted discharges
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
電子を所定電圧で加速させて放出する電子銃であって、
エミッタと、
電子銃電極と、
前記エミッタと前記電子銃電極とを同電位にするためのショート機構部と、
を含み、
前記ショート機構部は、
前記エミッタに接続された第1スイッチ電極および前記電子銃電極に接続された第2スイッチ電極が設けられた第1スイッチ部材と、
第3スイッチ電極が設けられた第2スイッチ部材と、
前記第1スイッチ部材および前記第2スイッチ部材の少なくとも一方を動作させて、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが接触している第1状態と、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間している第2状態と、を切り替える駆動部と、
を有し、
前記駆動部は、前記第1状態および前記第2状態の両方において、前記所定電圧と同電位である。
前記エミッタに電気的に接続された端子、および前記電子銃電極に電気的に接続された端子が設けられたターミナルプレートを含み、
前記ショート機構部は、前記ターミナルプレートに設けられていてもよい。
エミッタと、
電子銃電極と、
前記エミッタと前記電子銃電極とを同電位にするためのショート機構部と、
前記エミッタに電気的に接続された端子、および前記電子銃電極に電気的に接続された端子が設けられたターミナルプレートと、
を含み、
前記ショート機構部は、
前記エミッタに接続された第1スイッチ電極および前記電子銃電極に接続された第2スイッチ電極が設けられた第1スイッチ部材と、
第3スイッチ電極が設けられた第2スイッチ部材と、
前記第1スイッチ部材および前記第2スイッチ部材の少なくとも一方を動作させて、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが接触している状態と、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間している状態と、を切り替える駆動部と、
を有し、
前記ショート機構部は、前記ターミナルプレートに設けられている。
前記電子銃電極は、複数設けられ、
前記第1スイッチ部材には、複数の前記第2スイッチ電極が設けられていてもよい。
前記駆動部は、モーターの動作により、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極を前記第3スイッチ電極に接触させてもよい。
前記駆動部は、ナット部と、前記ナット部に螺合されているネジ軸と、前記ネジ軸を回転させるモーターと、を有し、
前記モーターで前記ネジ軸を回転させることで、前記第1スイッチ部材を移動させてもよい。
前記ナット部は、前記第1スイッチ部材に設けられた切欠き部に挿入されていてもよい。
前記第1スイッチ部材の前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極が設けられた面は、凸面であり、
前記第2スイッチ部材の前記第3スイッチ電極が設けられた面は、凹面であってもよい。
前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間しているか否かを検出する検出部を含んでいてもよい。
前記第1スイッチ部材は、回転可能に構成され、
前記第1スイッチ部材には、ミラーが設けられ、
前記検出部は、
前記ミラーに光を照射する発光素子と、
前記ミラーで反射された光を検出する受光素子と、
を有していてもよい。
本発明に係る電子銃を含む。
1.1. 電子銃の構成
まず、本実施形態に係る電子銃について図面を参照しながら説明する。図1および図2は、本実施形態に係る電子銃100の構成を示す図である。なお、図1では、電子銃100のオペレーションモードを図示しており、図2では、電子銃100のコンディショニングモードを図示している。
る電流によって加熱される。
図3および図4は、本実施形態に係る電子銃100のショート機構部10を模式的に示す斜視図である。図3および図4では、ショート機構部10を見る方向が異なっている。
加速電極9に電気的に接続されている。スイッチ電極160は、スイッチ電極151~155と対向するように配置されている。
5とスイッチ電極160とが接触して、コンディショニングモードとなる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
図10および図11は、第1変形例に係る電子銃のショート機構部10を模式的に示す図である。なお、図10は電子銃のオペレーションモードを図示しており、図11は電子銃のコンディショニングモードを図示している。以下、本変形例に係る電子銃において、上述した電子銃100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図12および図13は、第2変形例に係る電子銃の検出部140を模式的に示す図である。なお、図12は電子銃のオペレーションモードを図示しており、図13は電子銃のコンディショニングモードを図示している。以下、本変形例に係る電子銃において、上述した電子銃100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
diode)などである。
上述した電子銃100では、図5および図6に示すように、駆動部130が第1スイッチ部材110を移動させてモードを切り替えていたが、図示はしないが駆動部130が第2スイッチ部材120を移動させてモードを切り替えてもよい。また、図示はしないが駆動部130が第1スイッチ部材110および第2スイッチ部材120の両方を移動させてモードを切り替えてもよい。
上述した電子銃100では、図7に示すように、1つの第1スイッチ部材110に複数のスイッチ電極151~155が設けて、1組のスイッチ部材110,120で5つのスイッチ11~15を構成していたが、図示はしないが、1つの第1スイッチ部材110に1つのスイッチ電極を設けて、5組のスイッチ部材110,120で5つのスイッチ11~15を構成してもよい。
上述した電子銃100では、駆動部130が第1スイッチ部材110を移動させることで、モードの切り替えを行っていたが、図示はしないが、手動で操作部材を操作して、第1スイッチ部材110を移動させることで、モードの切り替えを行ってもよい。すなわち、本変形例では、電子銃が、2つのモード切り替え手段(駆動部130による切り替え、手動による切り替え)をそなえていてもよい。操作部材は、例えば、第1スイッチ部材110にアクセス可能なロッドである。ユーザーが電子銃チャンバーの外からロッドを操作することで、第1スイッチ部材110を回転させてモードを切り替えることができる。
次に、本実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図15は、本実施形態に係る電子顕微鏡1000を模式的に示す図である。
ー136)に送り、駆動部130を動作させる。受信器1140は、電子銃チャンバー1001内に配置されている。
そして、上述したコンディショニングモードに切り替える際と同様に、処理部1120は、電子銃100がオペレーションモードであることを表示部(図示せず)などに表示して、ユーザーに通知する。
Claims (11)
- 電子を所定電圧で加速させて放出する電子銃であって、
エミッタと、
電子銃電極と、
前記エミッタと前記電子銃電極とを同電位にするためのショート機構部と、
を含み、
前記ショート機構部は、
前記エミッタに接続された第1スイッチ電極および前記電子銃電極に接続された第2スイッチ電極が設けられた第1スイッチ部材と、
第3スイッチ電極が設けられた第2スイッチ部材と、
前記第1スイッチ部材および前記第2スイッチ部材の少なくとも一方を動作させて、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが接触している第1状態と、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間している第2状態と、を切り替える駆動部と、
を有し、
前記駆動部は、前記第1状態および前記第2状態の両方において、前記所定電圧と同電位である、電子銃。 - 請求項1において、
前記エミッタに電気的に接続された端子、および前記電子銃電極に電気的に接続された端子が設けられたターミナルプレートを含み、
前記ショート機構部は、前記ターミナルプレートに設けられている、電子銃。 - エミッタと、
電子銃電極と、
前記エミッタと前記電子銃電極とを同電位にするためのショート機構部と、
前記エミッタに電気的に接続された端子、および前記電子銃電極に電気的に接続された端子が設けられたターミナルプレートと、
を含み、
前記ショート機構部は、
前記エミッタに接続された第1スイッチ電極および前記電子銃電極に接続された第2スイッチ電極が設けられた第1スイッチ部材と、
第3スイッチ電極が設けられた第2スイッチ部材と、
前記第1スイッチ部材および前記第2スイッチ部材の少なくとも一方を動作させて、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが接触している状態と、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間している状態と、を切り替える駆動部と、
を有し、
前記ショート機構部は、前記ターミナルプレートに設けられている、電子銃。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記電子銃電極は、複数設けられ、
前記第1スイッチ部材には、複数の前記第2スイッチ電極が設けられている、電子銃。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記駆動部は、モーターの動作により、前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極を前記第3スイッチ電極に接触させる、電子銃。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記駆動部は、ナット部と、前記ナット部に螺合されているネジ軸と、前記ネジ軸を回転させるモーターと、を有し、
前記モーターで前記ネジ軸を回転させることで、前記第1スイッチ部材を移動させる、電子銃。 - 請求項6において、
前記ナット部は、前記第1スイッチ部材に設けられた切欠き部に挿入されている、電子銃。 - 請求項1ないし7のいずれか1項において、
前記第1スイッチ部材の前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極が設けられた面は、凸面であり、
前記第2スイッチ部材の前記第3スイッチ電極が設けられた面は、凹面である、電子銃。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記第1スイッチ電極および前記第2スイッチ電極と前記第3スイッチ電極とが離間しているか否かを検出する検出部を含む、電子銃。 - 請求項9において、
前記第1スイッチ部材は、回転可能に構成され、
前記第1スイッチ部材には、ミラーが設けられ、
前記検出部は、
前記ミラーに光を照射する発光素子と、
前記ミラーで反射された光を検出する受光素子と、
を有している、電子銃。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の電子銃を含む、電子線装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017172063 | 2017-09-07 | ||
JP2017172063 | 2017-09-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019050199A JP2019050199A (ja) | 2019-03-28 |
JP7008598B2 true JP7008598B2 (ja) | 2022-01-25 |
Family
ID=65632386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018166784A Active JP7008598B2 (ja) | 2017-09-07 | 2018-09-06 | 電子銃および電子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11302509B2 (ja) |
JP (1) | JP7008598B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024018568A1 (ja) * | 2022-07-20 | 2024-01-25 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140048727A1 (en) | 2012-08-15 | 2014-02-20 | Varian Medical Systems, Inc. | Internally mounted collimators for stereotactic radiosurgery and stereotactic radiotherapy |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2192751B (en) * | 1986-07-14 | 1991-02-13 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Method of making a thermionic cathode structure. |
JPS63269521A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Canon Inc | 電子線描画装置 |
JP2796305B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1998-09-10 | 株式会社日立製作所 | 電界放射電子銃 |
JPH0740478B2 (ja) * | 1989-09-13 | 1995-05-01 | 日本電子株式会社 | 電極短絡機構 |
JPH08279339A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
JP3406755B2 (ja) | 1995-12-06 | 2003-05-12 | 日本電子株式会社 | 操作部材 |
JP3499690B2 (ja) * | 1996-09-13 | 2004-02-23 | 株式会社東芝 | 荷電粒子顕微鏡 |
JP3510077B2 (ja) * | 1997-02-28 | 2004-03-22 | 日本電子株式会社 | スイッチ |
JPH1125873A (ja) * | 1997-07-03 | 1999-01-29 | Kobe Steel Ltd | 金属イオン源 |
WO2002091421A1 (fr) * | 2001-05-01 | 2002-11-14 | Nikon Corporation | Appareil a faisceau d'electrons et son utilisation pour la fabrication |
JP4322919B2 (ja) * | 2004-03-23 | 2009-09-02 | パイオニア株式会社 | 電子ビーム描画装置 |
JP5191542B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2013-05-08 | パイオニア株式会社 | 電子ビーム記録装置及びその制御装置並びに制御方法 |
JP5290238B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2013-09-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
US9941627B2 (en) * | 2015-09-30 | 2018-04-10 | Apple Inc. | Magnetic surface contacts |
-
2018
- 2018-09-06 US US16/123,297 patent/US11302509B2/en active Active
- 2018-09-06 JP JP2018166784A patent/JP7008598B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140048727A1 (en) | 2012-08-15 | 2014-02-20 | Varian Medical Systems, Inc. | Internally mounted collimators for stereotactic radiosurgery and stereotactic radiotherapy |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019050199A (ja) | 2019-03-28 |
US11302509B2 (en) | 2022-04-12 |
US20190080878A1 (en) | 2019-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4037533B2 (ja) | 粒子線装置 | |
GB2130433A (en) | Scanning electron microscope with as optical microscope | |
JP7008598B2 (ja) | 電子銃および電子線装置 | |
JPH08185823A (ja) | 走査形電子顕微鏡及びそれを用いた試料像観察方法 | |
JP5952048B2 (ja) | イオンビーム装置 | |
US20020100873A1 (en) | Electron microscope and method of photographing TEM images | |
US11164716B2 (en) | Charged particle beam device | |
JP4150535B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
JP2003151484A (ja) | 走査型荷電粒子ビーム装置 | |
CN100355323C (zh) | X射线管调整装置、x射线管调整系统及x射线管调整方法 | |
JP2020027688A (ja) | 荷電粒子線装置および制御方法 | |
JP7054633B2 (ja) | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の制御方法 | |
JPS63216256A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JPH0696710A (ja) | 自動焦点合わせ機能を備えた電子顕微鏡 | |
JP6339734B2 (ja) | 荷電粒子線応用装置、及び、収差補正器 | |
CA1061477A (en) | Electron microscope | |
JP2019169434A (ja) | 荷電粒子ビーム軸合わせ装置、荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム軸合わせ方法 | |
JP2018116835A (ja) | イオンビーム装置 | |
JP7068069B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2006349384A (ja) | 絶縁物試料の帯電又は電位歪みを抑制した放射電子顕微鏡装置及び試料観察方法 | |
JPH0429439Y2 (ja) | ||
JP2647949B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡のアライメント装置 | |
JP2023134357A (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の制御方法 | |
JPS5954154A (ja) | 電界放射形電子銃を有する粒子線装置 | |
JP2001110350A (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7008598 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |