JP7008593B2 - 超音波プローブ及びバッキング製造方法 - Google Patents

超音波プローブ及びバッキング製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7008593B2
JP7008593B2 JP2018155661A JP2018155661A JP7008593B2 JP 7008593 B2 JP7008593 B2 JP 7008593B2 JP 2018155661 A JP2018155661 A JP 2018155661A JP 2018155661 A JP2018155661 A JP 2018155661A JP 7008593 B2 JP7008593 B2 JP 7008593B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
backing
lead
manufacturing
ultrasonic probe
insulating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018155661A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020031328A (ja
Inventor
秀嗣 桂
義弘 田原
和裕 小林
Original Assignee
富士フイルムヘルスケア株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士フイルムヘルスケア株式会社 filed Critical 富士フイルムヘルスケア株式会社
Priority to JP2018155661A priority Critical patent/JP7008593B2/ja
Priority to US16/361,885 priority patent/US11538982B2/en
Publication of JP2020031328A publication Critical patent/JP2020031328A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7008593B2 publication Critical patent/JP7008593B2/ja
Priority to US17/742,857 priority patent/US11903319B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/03Assembling devices that include piezoelectric or electrostrictive parts
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4444Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device related to the probe
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • A61B8/44Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device
    • A61B8/4483Constructional features of the ultrasonic, sonic or infrasonic diagnostic device characterised by features of the ultrasound transducer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/02Forming enclosures or casings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/081Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by coating or depositing using masks, e.g. lift-off
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/084Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by moulding or extrusion
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/024Mixtures
    • G01N2291/02475Tissue characterisation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/10Number of transducers
    • G01N2291/106Number of transducers one or more transducer arrays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/225Supports, positioning or alignment in moving situation
    • G01N29/226Handheld or portable devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49005Acoustic transducer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49121Beam lead frame or beam lead device

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Gynecology & Obstetrics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)

Description

本発明は超音波プローブ及びバッキング製造方法に関し、特に、リードアレイを含むバッキングの構造及び製法に関する。
生体内の三次元空間からボリュームデータを取得するために、いわゆる3Dプローブが利用される。3Dプローブは超音波プローブであり、二次元振動素子アレイ(2D振動素子アレイ)を備える。二次元振動素子アレイは、二次元配列された例えば数百、数千又は数万の振動素子によって構成される。
二次元振動素子アレイを構成する複数の振動素子に対して複数の信号線を接続するために、二次元振動素子アレイの背面側(非生体側)に、リードアレイを含むバッキングが配置される(特許文献1を参照)。それはリードアレイ内蔵バッキングとも称されている。そのバッキングは、二次元振動素子アレイから背面側に放射された超音波を散乱又は吸収するバッキング材料により構成される。バッキング材料は、母材(基材)と所望の音響特性を実現するための1又は複数のフィラーとにより構成される。母材は通常、絶縁性を有する材料で構成される。フィラーの中には導電性を有するものがある。従来において、バッキング内の各リードは、被覆を有しない単なる銅線等によって構成される。
なお、特許文献2には、複数の複合体を密集させることにより構成された特殊な構造を有するバッキングが開示されている。個々の複合体はリード線とそれを包み込む減衰層とにより構成されている。特許文献2には、リード線の外側(リード線と減衰層との間)に絶縁層を設けることも記載されている。
特開2015-228932号公報 特開2003-348693号公報
上記のように、バッキング材料に含まれるフィラーの中には導電性を有するものがある。バッキング内部に各リード線を剥き出しのまま配置した場合、バッキングにおける絶縁性の低下のおそれが生じる。具体的には、例えば、フィラー充填率が高い場合において、リード間でのフィラー粒子の連なりによる短絡のおそれが生じる。あるいは、バッキングが複数のバッキングプレートの積層体として構成されている場合において、バッキングプレート間(界面)でのイオンマイグレーション等の発生が危惧される。イオンマイグレーションは、界面に進入した水分や界面に存在する汚れに起因してイオンが生じ、それによって絶縁性が低下する現象である。
バッキングが複数のバッキングプレートの積層体として構成される場合、複数のバッキングプレートを接着するために接着剤が使用される。バッキング作用の低下を防止するためには、接着材の使用量を低減することが望まれる。
本発明の目的は、リードアレイが埋設されたバッキングについてその絶縁性を高めることにある。あるいは、本発明の目的は、リードアレイが埋設されたバッキングについてその製造時に使用され製造後に残留する接着材の量を低減することにある。
本発明に係る超音波プローブは、二次元配列された複数の振動素子からなる振動素子アレイと、前記振動素子アレイの背面側に設けられ、積層された複数のバッキングプレートからなるバッキングと、を含み、前記各バッキングプレートは、前記振動素子アレイに電気的に接続された複数のリードからなるリード列と、前記複数のリードを収容しつつ前記複数のリードに接着材を介さずに直接的に結合された複数の溝を有し、バッキング材料で構成されたプレート本体と、を含み、前記各リードは、リード線と、前記リード線を包み込む絶縁皮膜と、を含む、ことを特徴とするものである。
本発明に係るバッキング製造方法は、複数のリードフレームに含まれる少なくとも複数のリード列に対して絶縁皮膜を形成する皮膜形成工程と、前記絶縁皮膜の形成後、前記各リードフレームのリード列に対して当該リード列がバッキング材料と一体化されるように前記バッキング材料を流し込むことにより、複数のバッキングプレートを製作するプレート製作工程と、前記複数のバッキングプレートを積層する積層工程と、を含むことを特徴とするものである。
本発明によれば、リードアレイが埋設されたバッキングについてその絶縁性を高められる。あるいは、本発明によれば、リードアレイが埋設されたバッキングについてその製造時に使用され製造後に残留する接着材の量を低減できる。
実施形態に係る超音波プローブを示す模式図である。 実施形態に係るバッキング製造方法を示すフローチャートである。 絶縁皮膜付きリードフレームを示す正面図である。 絶縁皮膜付きリードフレームを示す断面図である。 マスキングシートが接合された絶縁皮膜付きリードフレームを示す断面図である。 型枠が配置された絶縁皮膜付きリードフレームを示す断面図である。 型枠が配置された絶縁皮膜付きリードフレームを示す上面図である。 バッキング材料の流し込み及び成形を示す断面図である。 バッキングプレートを示す断面図である。 バッキングプレートの厚さ調整方法を示す図である。 プレート積層体を示す図である。 プレート積層体に対するカットラインを示す図である。 リードアレイが埋設されたバッキングを示す図である。 バッキングの垂直断面を示す模式図である。 バッキングの水平断面を示す模式図である。 絶縁皮膜付きリードフレームの変形例を示す図である。 スクリーン印刷法の変形例を示す図であり、バッキングプレートの第1層を示す断面図である。 スクリーン印刷法の変形例を示す図であり、絶縁皮膜付きリードフレームの配置を示す断面図である。 スクリーン印刷法の変形例を示す図であり、バッキングプレートの第2層を示す断面図である。
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。
(1)実施形態の概要
実施形態に係る超音波プローブは、振動素子アレイ及びバッキングを含む。振動素子アレイは、二次元配列された複数の振動素子からなるものである。バッキングは、振動素子アレイの背面側に設けられ、複数のバッキングプレートからなるものである。各バッキングプレートは、振動素子アレイに電気的に接続された複数のリードからなるリード列と、複数のリードを収容しつつ複数のリードに接着材を介さずに直接的に結合された複数の溝を有し、バッキング材料で構成されたプレート本体と、を含む。各リードは、リード線と、リード線を包み込む絶縁皮膜と、を含む。
上記構成によれば、各リード線が絶縁皮膜により囲まれているので、リード間での短絡が生じず、あるいは、その可能性を低減できる。これにより導電性フィラーの充填率を上げることも可能となる。また、バッキングプレートにおいて、プレート本体の複数の溝の内面に対して複数のリードが接着材(あるいは他の層)を介さずに直接的に結合されているので、接着材の使用量を低減して、バッキングの音響特性を向上できる。
実施形態においては、バッキング製造過程において、各リードが埋め込まれるように、つまり各リードと各溝の内面との間に隙間が生じず、そのような隙間への接着材の展開が不要となるように、リード列周囲へバッキング材料が流し込まれる。三次元的に広がるリードアレイそれ全体に対してバッキング材料の流し込みを行うと、比重の違いによってバッキング材料に濃度勾配が生じてしまうが、水平姿勢にあるリード列ごとの流し込みによれば、濃度勾配が問題となることもない。換言すれば、バッキングそれ全体にわたってバッキング材料の組成を均一化できる。なお、二次元振動素子アレイの概念には、例えば1.5Dタイプの振動素子アレイも含まれる。
実施形態において、バッキングは、複数のバッキングプレートを相互に接着している接着材を含み、各絶縁皮膜は接着材とは異なる材料によって構成されている。この構成によれば、絶縁皮膜材料として、絶縁性の良好な材料を選択でき、接着剤として、低粘度で粘着強度の高い材料を選択できる。
実施形態において、各絶縁皮膜は、各溝から露出した露出面を有し、各バッキングプレートは、リード列が有する複数の露出面を含む第1平面と、第1平面に対して平行な第2平面と、を含む。この構成において、複数の露出面を含む第1平面が基準面を構成し、その基準面に対して平行となるように、第2平面が形成される。リード列を完全にバッキングプレート内に埋設してしまうことも可能であるが、その場合には、リード列を基準としてバッキングプレートの形状を定めることが困難となる。これに対し、上記構成は、リード列の一方面を基準として(換言すればリード列自体を基準として)バッキングプレートの形状を定めるものである。実施形態において、各絶縁皮膜は10~30μmの範囲内の厚みを有する。具体的な状況次第では、その数値範囲を超える又は下回る厚みも選択され得る。
実施形態に係るバッキング製造方法は、皮膜形成工程、プレート製作工程及び積層工程を含む。皮膜形成工程では、複数のリードフレームに含まれる少なくとも複数のリード列に対して絶縁皮膜が形成される。プレート製作工程では、絶縁皮膜の形成後、各リードフレームのリード列がバッキング材料と一体化されるように当該リード列に対して前記バッキング材料を流し込むことにより、複数のバッキングプレートが製作される。積層工程では、複数のバッキングプレートが積層される。
上記構成は、バッキングプレート単位でバッキング材料の流し込み及び成形を行うものである。これにより、バッキング材料がリード列と一体化し、それらの間に隙間が生じなくなる。これにより接着材の使用量も低減できる。また、上記構成によれば、バッキングプレート単位での製作に際して、バッキング材料の均一性を担保できるので、バッキングの音響特性を高められる。更に、バッキング内部において、個々のリードが絶縁皮膜を備えているので、リード間での短絡を防止又は軽減できる。すなわち、電気的特性を高められる。逆に言えば、導電性フィラーの充填率を高めることが許容される。
実施形態においては、プレート製作工程では、リードフレームごとに、当該リードフレームの一方側にマスキングシートが設けられ、且つ、当該リードフレームの他方側に型枠が設けられ、その上で、マスキングシート及び型枠により囲まれる空間内にバッキング材料が流し込まれる。この構成によれば、一度の流し込みでバッキングプレートを製作することが可能となる。
実施形態においては、マスキングシートは粘着性を有し、リード列がマスキングシート上に仮固定された状態で、空間内にバッキング材料が流し込まれる。この構成によれば、バッキング材料の流し込み時及びバッキング材料の硬化時におけるリード列の変形を防止又は軽減できる。
実施形態においては、皮膜形成工程では、各リードフレームにおける枠体に対しても絶縁皮膜が形成される。この構成によれば、絶縁皮膜の形成を容易に行える。実施形態において、各リードの断面は矩形であるが、それを他の形状とすることも可能である。流し込み方式(スクリーン印刷方式)によれば、リード列が様々な形態を有していても比較的容易にプレート本体を製作することが可能である。
(2)実施形態の詳細
図1には、実施形態に係る超音波プローブが示されている。図示された超音波プローブ10は、生体(被検体)の表面上に当接して用いられる送受波器である。超音波プローブ10によって超音波ビームが形成され、その超音波ビームが電子的に二次元走査される。これにより生体内の三次元空間からボリュームデータが取得される。すなわち、図示された超音波プローブは3Dプローブである。超音波プローブ10は、図示されていない超音波診断装置本体に着脱自在に装着される。超音波プローブと超音波診断装置本体とにより超音波診断装置が構成される。超音波診断装置は、病院等の医療機関において用いられる医療装置である。体腔内挿入型の3Dプローブ等の他の超音波プローブに対して、以下に説明する1又は複数の技術が適用されてもよい。
なお、図1において、z方向はプローブ中心軸に平行な方向であり、それを便宜上、垂直方向と定義する。x方向はz方向に直交した第1水平方向であり、後述するリード列を構成する複数のリードの並び方向である。図示されていないy方向はz方向に直交した第2水平方向であり、それは後述する複数のバッキングプレートの並び方向つまりプレート積層方向である。
詳しくは、超音波プローブ10は、プローブヘッド12、ケーブル14及び図示されていないコネクタを有する。プローブヘッド12は、ユーザーにより保持される中空ケース16を有する。プローブヘッド12の先端部12a内には組立体18が配置されている。組立体18は、生体側から非生体側にかけて設けられた、積層体20、リードアレイ内蔵バッキング(以下、単に「バッキング」という。)22、中継基板24、電子回路26等によって構成される。
積層体20は、二次元振動素子アレイ、その生体側に設けられた整合層、その生体側に設けられた保護層を有し、また、二次元振動素子アレイの背面側(非生体側)に設けられたハードバッキング層を有する。二次元振動素子アレイは、x方向及びy方向に並んだ複数の振動素子によって構成される。ハードバッキング層は、複数の振動素子の背面側に設けられた複数のハードバッキング素子により構成される。個々のハードバッキング素子は、個々の振動素子が有する音響インピーダンスよりも高い音響インピーダンスを有する導電性部材で構成される。これに対して、バッキング22は、それ全体として見て、個々の振動素子が有する音響インピーダンスよりも低い音響インピーダンスを有する。バッキング22は、ハードバッキング層との対比において、ソフトバッキング層として観念され得る。
バッキング22は、y方向に並んだ複数のバッキングプレートからなり、プレート積層体として構成されている。個々のバッキングプレートは、バッキング材料と、リード列とによって構成される。リード列は、x方向に並んだ複数のリードによって構成される。実施形態に係るリード列は、絶縁皮膜付きリード列である。
バッキング材料は、母材(基材、ベース材料)と、それに添加された1又は複数のフィラーと、により構成される。母材を構成する典型的な材料として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、等があげられる。1又は複数のフィラーは、バッキング22の音響特性を所望のものにするために添加される。例えば、音響インピーダンスを高めるためのフィラー、超音波を散乱させるためのフィラー、超音波を吸収するためのフィラー、等が知られている。音響インピーダンスを高めるためのフィラー、あるいは、超音波を散乱させるためのフィラーは、通常、金属材料によって構成される。そのような金属として、タングステン、炭化タングステン、ケイ化タングステン、酸化アルミニウム等があげられる。吸音用のフィラーとして、パウダー状のシリコーン等があげられる。
バッキング材料は、例えば、3~10MRaylの音響インピーダンスを有する。そのような音響インピーダンス範囲は、振動素子アレイが有する音響インピーダンスよりも低い。もっとも、バッキング22それ自体をハードバッキングとして機能させることも可能である。バッキング材料の全体に対するフィラーの体積比は0~20%である。本願明細書に記載する材料及び数値はいずれも例示に過ぎないものである。
個々のバッキングプレートが有するリード列は、x方向に並んだ複数のリードからなり、個々のリードは、リード線と、それを包み込む絶縁皮膜と、からなる。個々のリード線(後述する絶縁被覆形成前のリードフレーム)は、例えば、リン青銅、銅、アルミニウム、等によって構成される。絶縁被覆は、電着塗装、静電塗装、CVD、スパッタリング、等によって製作される。絶縁被覆を構成する材料は、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂、エポキシ樹脂等である。絶縁皮膜の厚さは、例えば、10~30μmの範囲内である。
振動素子アレイを構成する複数の振動素子とリードアレイを構成する複数のリード(リード線)とが一対一の関係をもって電気的に接続される。振動素子間ピッチつまりリード間ピッチは、例えば0.2~0.4mmの範囲内に設定される。個々のリードの一辺の長さは、例えば30~80μmの範囲内に設定される。
リードアレイと電子回路26との間に設けられた中継基板24は配線パターンを変更する機能を有する。中継基板24はインターポーザーとも称されており、それは多層基板によって構成される。電子回路26は、1又は複数のICによって構成される。電子回路26は、サブビームフォーミングによりチャンネルリダクションを行うための回路である。
なお、複数のバッキングプレートの接着時においては、接着材として、例えば、エポキシ系接着材が利用される。かかる材料はバッキング22における母材に近いものであるが、接着材としては、母材に比べて、低粘度で高接着強度の材料が利用される。母材としては、バッキング22の音響特性を所望のものにするための材料が利用される。
図2には、実施形態に係るバッキングの製造方法がフローチャートとして示されている。最初にその製造方法について概説した上で、図3乃至図13を用いて、その製造方法を具体的に説明する。
図2において、S10では、複数のリードフレームに対してそれぞれ絶縁皮膜が形成される。S12では、各リードフレームの一方面にマスキングシートが貼付される。S14では、マスキングシート側を下側にした状態で、リードフレームの他方面(上面)に型枠が設置される。続いて、型枠とマスキングシートで囲まれる空間内に流動性を有するバッキング材料が流し込まれ、その後、バッキング材料を硬化させる処理が施される。これにより、複数のバッキングプレートが製作される。
S16では、個々のバッキングプレートの厚みが調整される。S18では、治具を利用して複数のバッキングプレートが積層される。その過程において又は積層後に、接着材が各界面に導入される。これによってプレート積層体が構成される。S20ではプレート積層体が整形され、その後、S22において、プレート積層体の上面(生体側の面)及び下面(非生体側の面)に、それぞれ電極アレイが形成される。このように製作されたバッキングを用いて組立体が構成され、その組立体がプローブケース内に配置される。
図3には、上記S10の実行結果が示されており、すなわち、絶縁皮膜付きリードフレーム(以下、単に「リードフレーム」という。)30が示されている。上記のように、x方向が第1水平方向であり、z方向が垂直方向である。リードフレーム30は、リード列34とそれを保持する枠体32とからなるものである。リード列34は、x方向に並ぶ複数のリード36によって構成される。リード列34を構成するリードの個数は、振動素子アレイにおけるx方向の振動素子数に対応している。複数のリード36の相互間にはスリット38が生じている。また、リード列34のx方向両側には一対の開口40が生じている。枠体32は、矩形の形態を有し、それには4つの孔42が形成されている。各孔42は複数のバッキングプレートを位置合わせする際に機能する。
図4には、図3におけるA-A’断面(xy断面)が示されている。上記のように、リードフレーム30は、リード36と枠体32とにより構成される。枠体32には絶縁皮膜32aが設けられており、各リード36にも絶縁皮膜36aが設けられている。枠体32はバッキング製造過程において最終的に除去されてしまうので、そこに絶縁皮膜32aを設けなくてもよいが、絶縁皮膜形成時の作業性を良好にするためには、枠体32にも絶縁皮膜32aを設けてしまうのが簡便である。個々のリード36は、具体的には、導電性を有するリード線とそれを包み込む絶縁皮膜36aとからなる。リード線のxy断面は矩形であり、絶縁皮膜36aを含むリード36それ自体のxy断面も矩形である。個々のリード36の断面を矩形以外の形態としてもよい。例えば、円形としてもよい。リード36の断面を矩形とすれば、後に示すように、リード36における特定面を基準として、バッキングプレートを製作することが容易となる。
図5には、上記S12の実行結果が示されている。リードフレーム30は、第1面30Aと第2面30Bとを有し、その内で第1面30Aに対してマスキングシート44が貼付されている。マスキングシート44の一方面(上面)には粘着層46が形成されており、リードフレーム30の第1面30Aが粘着層46に着脱可能に接着(仮接着)されている。マスキングシート44は、上述した複数のスリットや一対の開口の下側を塞ぐ機能を発揮する。また、バッキング材料の流し込みの際に、及び、その後の硬化段階で、個々のリードが容易に変形しないように、その形状や位置を保持する機能を発揮する。個々のリード36において、y方向の一方面が第1面36Aであり、y方向の他方面が第2面36Bである。第1面36Aは、露出面つまり基準面として機能する面である。第2面36Bは、リード36のx方向両側面と共に、バッキング材料に対して隙間なく一体化される面である。マスキングシート44として、例えば、ポリイミド製の粘着テープを利用してもよい。
図6には、S14を実行する前の準備段階が示されている。マスキングシート44が貼付されたリードフレーム30は水平姿勢を有しており、その上側には型枠(ステンシル)48が設置されている。型枠48は矩形の開口部50を有する。型枠48とマスキングシート44とで囲まれる凹部が流し込み空間52となる。なお、図6においては、開口部50の中に部分的に第2面30Bが露出しており、一対の開口の全部がバッキング材料によって塞がれるが、一対の開口における一部分を残しつつ、それ以外の部分がバッキング材料によって塞がれてもよい。
図7には、型枠48が配置されたリードフレームの上面が示されている。図7において、B-B’断面が図6に示した断面に相当する。流し込み空間52は、複数のスリット38及び一対の開口40を覆っている。それらを介してマスキングシートが露出している(符号44’を参照)。符号54は、バッキング材料の流し込みの際において、スキージー(表面ならし部材)を運動させる方向(すき方向)を示している。
図8には、S14の実行過程(流し込み段階)が示されている。流し込み空間52に対して硬化前のバッキング材料56を流し込みながら、あるいは、流し込んだ上で、スキジー(squeegee)58を利用して、バッキング材料56の表面が型枠48の表面と同レベルになるようにならされ、同時に、バッキング材料56の余剰部分が外部へ追い出される。その後、バッキング材料56が加熱され、それが硬化処理される。これによりバッキングプレート(但しその原形)が製作される。バッキング材料の硬化後、型枠及びマスキングシートが取り外される。
図9には、S16の実行前の状態が示されている。バッキングプレート62は、硬化後のバッキング材料からなるプレート本体64と、リードフレーム30と、からなるものである。リードフレーム30におけるリード列34がその一面を露出させつつプレート本体64に埋め込まれている。プレート本体64においては、リード列34に対応して、溝列68が形成されている。溝列68は、複数のリード36に対応する複数の溝70からなるものである。個々の溝70は、バッキング材料が個々のリード36を避けて充填された結果として、生じたものである。各リード36の断面は矩形であり、個々の溝70の断面も矩形である。各リードが有する4側面の内で、図9において下方を向いた側面が露出面(第1面)36Aである。リード列34は複数のリードからなり、リード列34はそれ全体として複数の露出面36Aを有する。符号66は、バッキングプレート62の仮の厚みを示している。
バッキングプレート62は、図9において下面に相当する第1面62Aと、同図において上面に相当する第2面62Bと、を有する。第1面62Aは、複数のリード36の露出面36Aを含み、また、枠体の露出面を含む平面である。以下に説明するように第1面62Aが基準面として機能する。
図10には、S16の実行過程が示されている。バッキングプレート62が台座72上に配置される。台座72は吸着機能を有する台座である。バッキングプレート62の第1面62Aが台座72の上面に吸着されている。第1面62Aを基準として、第2面62Bの高さ及び傾きが調整される。具体的には、バッキングプレート62の厚さが所定の厚さ75となるように、且つ、第2面62Bが第1面62Aに対して完全に平行になるように、第2面62Bが切削又は研削される。その場合、例えば、平面研削盤74が利用される。第1面62Aには、リードフレームの一方面が露出しており、リードフレームの一方面が基準面として機能している。上記のマスキングシートは基準面且つ絶縁皮膜の保護部材として観念され得る。S16の実行の結果として、所定の厚みを有する複数のバッキングプレート62が製作される。但し、この段階においては、各バッキングプレート62は、4つの孔が形成された枠体を含んでいる。
図11には、上記のS18の実行過程が示されている。治具76は、ベース78及び4つのピン80を有し、4つのピン80が4つの孔42を通過するように、複数のバッキングプレート62が順次積層される。例えば、振動素子アレイにおけるy方向の振動素子数に対応する個数のバッキングプレート62が積層される。必要に応じて、端部プレート82も配置される。積層過程においては個々のバッキングプレート間に接着材が導入され、あるいは積層完了後において個々のバッキングプレート間に接着材が導入される。その場合、必要に応じて、プレート積層体86が真空室に配置される。プレート積層体86を加圧84しながら加熱処理することにより、完全な接着状態(熱硬化状態)が形成される。
図12には、熱硬化後のプレート積層体86が示されている。上記のS20では、カッティングライン88で囲まれる部分を残して、それ以外の余計な部分が除去される。すなわち、各リードフレームにおける枠体等が除去される。
図13には、整形後のプレート積層体90が示されている。(A)は上面図を示しており、(B)は第1側面図を示しており、(C)は第2側面図を示している。上記のS22では、プレート積層体90が有する上面及び下面(z方向に直交する2つの面)に対してそれぞれ電極アレイが形成される。これによって、バッキングが完成する。電極アレイの形成に際しては、蒸着法、スパッタリング法、めっき等が利用される。バッキングの内部にはリードアレイが含まれる。リードアレイは、y方向に並ぶ複数のリード列からなるものである。電極アレイは、リードアレイを構成する複数のリードに対応する複数の電極からなるものである。
次に、図14及び図15を用いて、絶縁皮膜の作用効果について説明する。図14には、バッキングのxz断面(垂直断面)が示されている。各リード36は、既に説明したように、リード線36bと、それを包み込む絶縁皮膜36aと、からなる。バッキング材料92は、母材(基材)94と、フィラー96と、を含む。フィラー96の中には、導電性を有するものがある。例えば、図14に誇張して表現されているように、2つのリード36間に複数のフィラー粒子が連なった連接体98がたまたま生じても、絶縁皮膜36aが存在するために、2つのリード線36bの間で電気的な短絡は生じない。電気的な絶縁性を良好にできる。逆に言えば、導電性フィラーの充填率を高められる。
図15には、バッキングのxy断面(水平断面)が示されている。符号100は、隣接する2つのバッキングプレート(プレート本体)の界面を示している。各リード36は矩形の断面を有する。リード線36bは、4つの側面104a,104b,104c,104dを有し、それら全体が絶縁皮膜36aで囲まれている。絶縁皮膜36aは、4つの外面106a,106b,106c,106dを有する。各溝70は、各リード36と同じ形状を有し、それは内面108a,108b,108cを有している。界面100は接着層として構成されているが、各絶縁皮膜36aの外面106a,106b,106cと、各溝70の内面108a,108b,108cは完全に結合して一体化されており、それらの間に接着層(及び他の層)は存在していない。各絶縁皮膜36aの外面(露出面)106dだけが界面100としての接着層に接合されている。
以上のように、本実施形態によれば、個々のリードにおいて露出面を除く3つの側面がプレート本体における個々の溝における3つの内面に密着しており、それらの間に隙間が存在しないので、つまり、それらの間に接着層が存在しないので、バッキング全体として接着材の使用量を少なくすることができる。これにより、バッキングの音響的特性を向上できる。また、界面100の両側に存在する水分等によって金属がイオン化した場合においても(イオンマイグレーション)、個々のリード36に絶縁皮膜36aが設けられているので、電気的な短絡が生じることを効果的に抑制できる。
図16には、リードフレームの変形例が示されている。図示されたリードフレーム109は、絶縁皮膜付きリードフレームであり、それは非直線型のリード列110を有している。例えば、バッキング内部において配列変換を行いたい場合、このようなリード列110が利用される。このようなリードフレーム109であっても、図3に示したリードフレームと同様に、スクリーン印刷技術を利用して、バッキングプレートを容易に製作することが可能である。
次に、図17乃至図19を用いて、バッキングプレート製作方法の変形例を説明する。図17において、台座112上には型枠114が設けられる。型枠114は開口部を有し、その内部にはバッキング材料116が流し込まれる。そのバッキング材料116はプレート本体における第1層を構成するものである。バッキング材料116に対して硬化処理が施される。その後において、図18に示すように、型枠114の上面にリードフレーム118が載置される。リードフレーム118は例えば図3に示した絶縁皮膜付きリードフレームである。次に、図19に示すように、リードフレーム118が有する複数のスリット及び一対の開口に対して、バッキング材料120が流し込まれる。そのバッキング材料120は、先に流し込まれたバッキング材料116と同じものであり、それはプレート本体における第2層を構成するものである。バッキング材料120に対して硬化処理が施される。第1層及び第2層によってプレート本体が構成される。
バッキング材料120の硬化後において、台座112及び型枠114を取り外すことにより、バッキングプレートが構成される。そのバッキングプレートは、図9に示した厚さ調整前のバッキングプレートに相当するものである。
図17乃至図19に示した変形例によっても、スクリーン印刷技術を利用して、バッキングプレートを製作することが可能である。この変形例において、第1層の硬化前に第2層を形成し、それらの両方を一括して硬化処理するようにしてもよい。あるいは、第1層及び第2層を同時に形成するようにしてもよい。その場合において、台座112と型枠114とが一体化された部材を利用してもよい。もっとも、バッキング材料の流し込みの際に、個々のリードの位置及び形状の変化が問題となるような場合には、粘着性を有するマスキングテープを利用した上記スクリーン印刷技術を用いるのが望ましい。いずれにしても、上記実施形態によれば、電気的及び音響的に優れたバッキングを製作でき、また、そのようなバッキングを超音波プローブに組み込むことが可能となる。
10 超音波プローブ、12 プローブヘッド、18 組立体、20 積層体、22 リードアレイ内蔵バッキング、24 中継基板、26 電子回路、30 絶縁皮膜付きリードフレーム、34 リード列、44 マスキングシート、48 型枠、62 バッキングプレート、86 プレート積層体。

Claims (8)

  1. 二次元配列された複数の振動素子からなる振動素子アレイと、
    前記振動素子アレイの背面側に設けられ、積層された複数のバッキングプレートにより構成されたバッキングと、
    を含み、
    前記各バッキングプレートは、
    前記振動素子アレイに電気的に接続された複数のリードからなるリード列と、
    前記複数のリードを収容しつつ前記複数のリードに対して接着層を介さずに直接的に結合された複数の溝を有し、バッキング材料で構成されたプレート本体と、
    を含み、
    前記各リードは、リード線と、前記リード線を包み込む絶縁皮膜と、を含む、
    ことを特徴とする超音波プローブ。
  2. 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
    前記バッキングは、前記複数のバッキングプレートを相互に接着している接着材を含み、
    前記各絶縁皮膜は前記接着材とは異なる材料によって構成されている、
    ことを特徴とする超音波プローブ。
  3. 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
    前記各絶縁皮膜は、前記各溝から露出した露出面を有し、
    前記各バッキングプレートは、
    前記リード列が有する複数の露出面を含む第1平面と、
    前記第1平面に対して平行な第2平面と、
    を含む、ことを特徴とする超音波プローブ。
  4. 請求項1記載の超音波プローブにおいて、
    前記各絶縁皮膜は10~30μmの範囲内の厚みを有する、
    ことを特徴とする超音波プローブ。
  5. 複数のリードフレームに含まれる少なくとも複数のリード列に対して絶縁皮膜を形成する皮膜形成工程と、
    前記絶縁皮膜の形成後、前記各リードフレームのリード列に対して当該リード列とバッキング材料が一体化されるように前記バッキング材料を流し込むことにより、複数のバッキングプレートを製作するプレート製作工程と、
    前記複数のバッキングプレートを積層する積層工程と、
    を含むことを特徴とするバッキング製造方法。
  6. 請求項5記載のバッキング製造方法において、
    前記プレート製作工程では、前記リードフレームごとに、当該リードフレームの一方側にマスキングシートが設けられ、且つ、当該リードフレームの他方側に型枠が設けられ、その上で、前記マスキングシート及び前記型枠により囲まれる空間内に前記バッキング材料が流し込まれる、
    ことを特徴とするバッキング製造方法。
  7. 請求項6記載のバッキング製造方法において、
    前記マスキングシートは粘着性を有し、
    前記リード列が前記マスキングシート上に仮固定された状態で、前記空間内にバッキング材料が流し込まれる、
    ことを特徴とするバッキング製造方法。
  8. 請求項6記載のバッキング製造方法において、
    前記皮膜形成工程では、前記各リードフレームにおける枠体に対しても絶縁皮膜が形成される、
    ことを特徴とするバッキング製造方法。
JP2018155661A 2018-08-22 2018-08-22 超音波プローブ及びバッキング製造方法 Active JP7008593B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018155661A JP7008593B2 (ja) 2018-08-22 2018-08-22 超音波プローブ及びバッキング製造方法
US16/361,885 US11538982B2 (en) 2018-08-22 2019-03-22 Ultrasonic probe
US17/742,857 US11903319B2 (en) 2018-08-22 2022-05-12 Method of manufacturing an ultrasonic probe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018155661A JP7008593B2 (ja) 2018-08-22 2018-08-22 超音波プローブ及びバッキング製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020031328A JP2020031328A (ja) 2020-02-27
JP7008593B2 true JP7008593B2 (ja) 2022-01-25

Family

ID=69583275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018155661A Active JP7008593B2 (ja) 2018-08-22 2018-08-22 超音波プローブ及びバッキング製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (2) US11538982B2 (ja)
JP (1) JP7008593B2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015225898A (ja) 2014-05-26 2015-12-14 アピックヤマダ株式会社 金型、樹脂成形装置、及び、半導体装置の製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5592730A (en) * 1994-07-29 1997-01-14 Hewlett-Packard Company Method for fabricating a Z-axis conductive backing layer for acoustic transducers using etched leadframes
US5586914A (en) * 1995-05-19 1996-12-24 The Whitaker Corporation Electrical connector and an associated method for compensating for crosstalk between a plurality of conductors
US5920145A (en) * 1996-09-09 1999-07-06 Mcdonnell Douglas Corporation Method and structure for embedding piezoelectric transducers in thermoplastic composites
JP3908597B2 (ja) 2002-05-29 2007-04-25 アロカ株式会社 アレイ振動子用バッキング及びその製造方法
JP2009260481A (ja) * 2008-04-14 2009-11-05 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 音響制動部材および音響制動部材の製造方法ならびに超音波探触子および超音波診断装置
JP6147532B2 (ja) * 2013-03-21 2017-06-14 東芝メディカルシステムズ株式会社 超音波プローブ
JP2015228932A (ja) 2014-06-04 2015-12-21 日立アロカメディカル株式会社 超音波探触子及びその製造方法
JP2018027235A (ja) * 2016-08-18 2018-02-22 株式会社日立製作所 リード付きバッキングの製造方法、及びリード付きバッキング

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015225898A (ja) 2014-05-26 2015-12-14 アピックヤマダ株式会社 金型、樹脂成形装置、及び、半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20200060650A1 (en) 2020-02-27
US20220271216A1 (en) 2022-08-25
JP2020031328A (ja) 2020-02-27
US11538982B2 (en) 2022-12-27
US11903319B2 (en) 2024-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101102853B (zh) 用于(多个)微束形成器的重分布互连和医学超声系统
JP6170242B2 (ja) 高周波超音波プローブ
JP6823063B2 (ja) 高周波超音波トランスデューサ及び製造方法
JP2004180301A (ja) 音響バッキング材料を介して超音波変換器に電気的に接続する方法
US6514618B1 (en) Multilayer backing material for 2-D ultrasonic imaging arrays
JP7008593B2 (ja) 超音波プローブ及びバッキング製造方法
JP4669449B2 (ja) 超音波探触子及びその製造方法
JPH07131895A (ja) 2次元アレイ型超音波プローブおよびその製造方法
US10335830B2 (en) Ultrasonic probe
Wodnicki et al. PIN-PMN-PT single crystal composite and 3D printed interposer backing for ASIC integration of large aperture 2D array
EP2953735A1 (en) Ultrasound device
US10516090B2 (en) Backing member
US11415560B2 (en) Backing member and ultrasonic probe
JP4185506B2 (ja) 超音波振動子の製造方法
JP3381375B2 (ja) 電極集合体及びその製造方法ならびに電極集合体を用いたリードフレーム
JP2749488B2 (ja) 超音波探触子の製造方法
JP5349141B2 (ja) 超音波プローブ
JP4263663B2 (ja) 超音波振動子及びその製造方法
JP2004033829A (ja) バッキング製造方法及び超音波振動子
JP7041532B2 (ja) バッキング部材、超音波探触子、及びバッキング部材の製造方法
JP2014023131A (ja) 超音波探触子及びその製造方法
Schiavone et al. Advanced electrical array interconnections for ultrasound probes integrated in surgical needles
US20200289090A1 (en) Ultrasonic probe and method for manufacturing same
JP2017073662A (ja) 超音波探触子及びその製造方法
CN110960261A (zh) 面阵换能器装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210126

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20211109

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211117

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220104

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220111

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7008593

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150