JP7002739B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
14:回路部(励磁部・磁気検出部)
22:電流供給部(電源装置)
42:導体部(めっきカソード)
44:軟磁性膜(磁性材料部)
44a:第1層
44b:第2層
50:コイル(磁気検出部)
52:めっき材料(めっきアノード)
Be:印加磁界
Ip:めっき電流(電着電流)
Ib:バイアス電流(電着電流)
Claims (7)
- 磁性材料部と、
該磁性材料部に時間的に変化する印加磁界を加える励磁部と、
前記磁性材料部が発生する磁界を検出する磁気検出部と、を備え、
前記磁性材料部の磁気モーメントが前記印加磁界の印加されていない状態と前記印加磁界によって磁化させられた状態との間で変化することによって生ずる検出磁界を前記磁気検出部が検出することによって、磁界を計測する磁気センサであって、
前記励磁部は、長手状に形成された導電材料を含んで構成され、
前記磁性材料部は、複数の層からなる軟磁性膜を含み、前記複数の層の一つは該導電材料の外周側面全体に密着して設けられるとともに、前記複数の層は相互に密着して設けられ、
前記磁性材料部の磁気モーメントは、前記導電材料の長手方向に直交する該導電材料の周方向に配向されたものであり、
前記複数の層からなる軟磁性膜のそれぞれの層における磁気モーメントは、前記導電材料の長手方向に直交する一の方向もしくは該一の方向と逆方向に配向されており、
前記磁性材料部は、磁気モーメントが前記一の方向に配向された第1層と、磁気モーメントが前記一の方向とは逆方向に配向された第2層とを少なくとも一層ずつ有するとともに、
前記磁性材料部は、相互に反対向きの磁気モーメントが略等量に分布していること、
を特徴とする磁気センサ。 - 前記磁気検出部はソレノイドコイルであり、
該ソレノイドコイルは、その円筒状の空間内に前記磁性材料部が設けられた前記導電材料を該ソレノイドコイルの長手方向と該導電材料の長手方向とが一致した状態で収容するように配置され、
該ソレノイドコイルの両端に発生する起電力に基づいて磁気検出を行うこと、
を特徴とする請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記磁性材料部は、その組成に鉄(Fe)およびニッケル(Ni)を含むこと、
を特徴とする請求項1または2に記載の磁気センサ。 - 前記磁性材料部は、鉄(Fe)を15~25%の割合で含むこと、
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1に記載の磁気センサ。 - 外部磁界の大きさが-50[μT]以上、50[μT]以下の範囲内において、前記励磁部による励磁電流の周波数が100[MHz]以下である場合において、前記導電材料のインピーダンス変化量が5%以下であること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載の磁気センサ。 - 長手状の導電材料の外周側面全体に磁性材料を形成させて得られる、磁気センサ用磁性材料部の製造方法であって、
該導電材料の長手方向の一の向きに形成電流を流し、磁性材料を形成させる第1の形成工程と、
該導電材料の長手方向の該一の向きとは逆向きに形成電流を流し、磁性材料を形成させる第2の形成工程と、を含み、
前記第1の形成工程において流される形成電流の総量と前記第2の形成工程において流される形成電流の総量とが略等しいこと、
を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1の磁気センサ用の磁性材料部の製造方法。 - 前記形成電流は、めっきカソードとしての前記導電材料とメッキアノードとの間に電位差を生じさせるためのめっき電流と、前記磁性材料における磁気モーメントを整列させるためのバイアス電流とを含むこと、
を特徴とする請求項6に記載の磁気センサ用磁性材料部の製造方法。
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