JP6995030B2 - ミラー - Google Patents
ミラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP6995030B2 JP6995030B2 JP2018161680A JP2018161680A JP6995030B2 JP 6995030 B2 JP6995030 B2 JP 6995030B2 JP 2018161680 A JP2018161680 A JP 2018161680A JP 2018161680 A JP2018161680 A JP 2018161680A JP 6995030 B2 JP6995030 B2 JP 6995030B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- hole
- members
- contact
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Telescopes (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
B 0601(2013)に準拠して測定することにより求めることができる。なお、測定条件としては、例えば、測定長さを5mm以上、カットオフ値を0.8mmとし、触針の走査速度を1.0mm/秒に設定すればよい。そして、接触面において、少なくとも5ヵ所以上測定し、その平均値を求めればよい。
、点線で囲まれた領域である。また、言い換えるならば、図2に示す例では、凹部5とは、第1面1を有する上壁と、上壁に続く、第2面2を有する側壁とに囲まれた領域である。
に振動等が加わっても、隣り合う部材3の第1面1同士の高さがずれるおそれが減るため、各部材3の第1面1の集合により構成される反射面4の面精度が向上する。
したり、部材3に第1貫通孔6や穴部8を形成してもよい。また、第2貫通孔9を有する板状体11は、上述した部材3と同様の製造方法で作製すればよい。
2:第2面
3:部材
4:反射面
5:凹部
6:第1貫通孔
7:第1締結部材
8:穴部
9:第2貫通孔
10:ミラー
11:板状体
12:第2締結部材
Claims (6)
- 第1面と、該第1面に交わる第2面とを有する部材を複数備え、
それぞれにおける前記部材の前記第2面同士が接触し、
それぞれの前記部材における前記第1面の集合による反射面を有し、
前記部材は、
前記第1面の反対から前記第1面に向かって窪んだ凹部と、
隣り合うそれぞれの前記第2面における接触面に開口する第1貫通孔と、
前記第1面の反対から前記第1面に向かう穴部と、を有し、
隣り合う前記部材は、
それぞれの該第1貫通孔を連通する第1締結部材と、隣り合う前記部材に跨る大きさであり、第2貫通孔を有する板状体を介して、前記第2貫通孔および前記穴部に挿入される第2締結部材と、により係合されている
ミラー。 - 第1面と、該第1面に交わる第2面とを有する部材を複数備え、
それぞれにおける前記部材の前記第2面同士が接触し、
それぞれの前記部材における前記第1面の集合による反射面を有し、
前記部材は、
前記第1面の反対から前記第1面に向かって窪んだ凹部を有し、
前記部材の少なくとも1つは、
前記凹部における、前記第1面に垂直に交わる方向の距離である厚みが、前記反射面の
中央から離れる方向に段階的に薄くなっている
ミラー。 - 隣り合う前記部材は、
それぞれの前記第2面における接触面に開口する第1貫通孔を有し、
それぞれの該第1貫通孔を連通する第1締結部材により係合されている請求項2に記載のミラー。 - 隣り合う前記部材は、
それぞれ前記第1面の反対から前記第1面に向かう穴部を有し、
隣り合う前記部材に跨る大きさであり、第2貫通孔を有する板状体を介して、
前記第2貫通孔および前記穴部に挿入される第2締結部材により係合されている請求項2または請求項3に記載のミラー。 - 前記第2面における接触面は、粗さ曲線から求められる算術平均粗さRaが0.8μm以下であるとともに、単位長さ当たりの平面度が5μm以下である請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のミラー。
- 前記部材は、セラミックスからなる請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のミラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018161680A JP6995030B2 (ja) | 2018-08-30 | 2018-08-30 | ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018161680A JP6995030B2 (ja) | 2018-08-30 | 2018-08-30 | ミラー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020034757A JP2020034757A (ja) | 2020-03-05 |
JP6995030B2 true JP6995030B2 (ja) | 2022-01-14 |
Family
ID=69667965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018161680A Active JP6995030B2 (ja) | 2018-08-30 | 2018-08-30 | ミラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6995030B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005195706A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hisanori Sako | 分解組み立て可能凹面鏡 |
JP2009205108A (ja) | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 軽量化ミラーおよびその製造方法 |
JP2010277022A (ja) | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Nec Toshiba Space Systems Ltd | 光学装置 |
JP2011175144A (ja) | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Mitaka Koki Co Ltd | ビームダウン型太陽集光装置の二次ミラー |
JP2012230149A (ja) | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | 軽量化ミラー |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02109302U (ja) * | 1989-02-20 | 1990-08-31 | ||
JP2884555B2 (ja) * | 1993-09-30 | 1999-04-19 | 信越石英株式会社 | 軽量反射鏡 |
-
2018
- 2018-08-30 JP JP2018161680A patent/JP6995030B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005195706A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hisanori Sako | 分解組み立て可能凹面鏡 |
JP2009205108A (ja) | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 軽量化ミラーおよびその製造方法 |
JP2010277022A (ja) | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Nec Toshiba Space Systems Ltd | 光学装置 |
JP2011175144A (ja) | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Mitaka Koki Co Ltd | ビームダウン型太陽集光装置の二次ミラー |
JP2012230149A (ja) | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | 軽量化ミラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020034757A (ja) | 2020-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5700631B2 (ja) | コーディエライト質焼結体 | |
JP2012162449A (ja) | 軽量構造を有する基板 | |
JP6995030B2 (ja) | ミラー | |
US20030181310A1 (en) | Ceramic sintered body and process for producing the same | |
JP4460325B2 (ja) | 天体望遠鏡用ミラー | |
JP7325533B2 (ja) | ミラー | |
JP2022102601A (ja) | 支持機構および望遠鏡支持装置 | |
TW201930236A (zh) | 燒成用承燒板 | |
JP2010254484A (ja) | C/SiCハニカム複合体及びその製造方法 | |
JP6199696B2 (ja) | 光学部品 | |
JP2022028405A (ja) | ミラーおよび望遠鏡 | |
JP6679560B2 (ja) | 焼成用セッター | |
WO2020262674A1 (ja) | ミラー装着部材、これを使用した位置計測用ミラー、および露光装置 | |
JP5458246B2 (ja) | 光学部品保持部材およびその作製方法 | |
JP6715616B2 (ja) | 位置決めステージ用のテーブルおよびこれを用いた位置決め方法 | |
WO2018070374A1 (ja) | 中間部材 | |
JP6382579B2 (ja) | コージェライト接合体 | |
JP6706457B2 (ja) | 中空部材 | |
JP7019830B2 (ja) | コーディエライト質セラミックスおよび望遠鏡用部材 | |
JP2015051921A (ja) | コーディエライト質焼結体 | |
JP4521350B2 (ja) | レンズアレイ用型、レンズアレイ用型の製造方法 | |
WO2023286758A1 (ja) | 接合体 | |
JP4417189B2 (ja) | ハニカム構造体 | |
WO2018221379A1 (ja) | 支持基板 | |
JP4517913B2 (ja) | セッター及びそれを用いた圧電セラミック基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20190712 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6995030 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |