JP6994931B2 - 蛍光x線分析装置および分析方法 - Google Patents
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Description
一次X線を発生させるX線管と、
試料に前記一次X線が照射されることによって前記試料から放射された二次X線を検出する検出器と、
前記検出器から出力された検出信号に基づく前記試料のスペクトルを取得するスペクトル取得部と、
前記試料のスペクトルと標準試料のスペクトルを比較して、前記試料のスペクトルと前記標準試料のスペクトルの一致度である第1の一致度を求める分析処理部と、
前記標準試料のスペクトル情報が登録されたデータベースが記憶された記憶部と、
を含み、
前記標準試料のスペクトル情報は、
前記標準試料のスペクトル波形の情報と、
複数のエネルギー範囲の情報と、
前記複数のエネルギー範囲の各々に設定された重みの情報と、
を含み、
前記分析処理部は、
前記複数のエネルギー範囲の各々において、前記試料のスペクトル波形と前記標準試料のスペクトル波形の一致度である第2の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲の各々で求められた前記第2の一致度、および、前記重みに基づいて、前記第1の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第1エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第1元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第2エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第2元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記標準試料において、前記第1元素の割合は、前記第2元素の割合よりも大きく、
前記第1エネルギー範囲の前記重みは、前記第2エネルギー範囲の前記重みよりも大きく、
前記重みは、前記標準試料に含まれる元素のうちの割合が大きい元素のピークを含むエネルギー範囲ほど大きく設定される。
X線管で発生した一次X線が試料に照射されることによって前記試料から放射された二
次X線を検出して得られた、前記試料のスペクトルを取得する工程と、
前記試料のスペクトルと標準試料のスペクトルを比較して、前記試料のスペクトルと前記標準試料のスペクトルの一致度である第1の一致度を求める工程と、
を含み、
前記第1の一致度を求める工程では、
複数のエネルギー範囲の各々において、前記試料のスペクトル波形と前記標準試料のスペクトル波形の一致度である第2の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲の各々で求められた前記第2の一致度、および、前記複数のエネルギー範囲の各々に設定された重みに基づいて、前記第1の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第1エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第1元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第2エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第2元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記標準試料において、前記第1元素の割合は、前記第2元素の割合よりも大きく、
前記第1エネルギー範囲の前記重みは、前記第2エネルギー範囲の前記重みよりも大きく、
前記重みは、前記標準試料に含まれる元素のうちの割合が大きい元素のピークを含むエネルギー範囲ほど大きく設定される。
1.1. 蛍光X線分析装置
まず、第1実施形態に係る蛍光X線分析装置について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る蛍光X線分析装置100の構成を示す図である。
検出器である。
次に、第1実施形態に係る分析方法について説明する。
蛍光X線分析装置100および第1実施形態に係る分析方法は、例えば、以下の特徴を有する。
上述した実施形態では、データベース36は、図2に示すように、試料Sのスペクトルと標準試料のスペクトルの比較の際に着目するエネルギー範囲として、2つのエネルギー範囲(エネルギー範囲A、エネルギー範囲B)が登録されている場合について説明したが、着目するエネルギー範囲は3つ以上であってもよい。
2.1. 蛍光X線分析装置
次に、第2実施形態に係る蛍光X線分析装置について説明する。図7は、第2実施形態に係る蛍光X線分析装置200の構成を示す図である。図8は、データベース36に登録
されている情報を説明するための図である。
次に、第2実施形態に係る分析方法について説明する。図9は、蛍光X線分析装置200の処理部40の処理の流れの一例を示すフローチャートである。
アルミニウム合金の標準試料との一致度Kが最も高いため、測定条件取得部46は、測定条件M1(図8参照)を試料Sの測定条件とする。
蛍光X線分析装置200では、データベース36に登録されている標準試料のスペクトル情報は、各標準試料の測定条件の情報を含む。また、蛍光X線分析装置200では、測定条件取得部46が、データベース36から、一致度Kに基づいて試料Sの測定条件を取得する。そのため、蛍光X線分析装置200では、試料Sについて、最適な測定条件で測定を行うことができる。
3.1. 蛍光X線分析装置
次に、第3実施形態に係る蛍光X線分析装置について説明する。第3実施形態に係る蛍光X線分析装置の構成は、図1に示す蛍光X線分析装置の構成と同じであり、図示を省略する。
スペクトル波形の一致度を求めて、試料Sのスペクトルと標準試料のスペクトルの一致度Kを求める。
次に、第3実施形態に係る分析方法について説明する。
第3実施形態に係る蛍光X線分析装置では、一次X線を発生させるX線管2と、試料Sに一次X線が照射されることによって試料Sから放射された二次X線を検出する検出器7と、検出器7から出力された検出信号に基づく試料Sのスペクトルを取得するスペクトル取得部42と、試料Sのスペクトルと標準試料のスペクトルを比較して、試料Sのスペクトルと標準試料のスペクトルの一致度Kを求める分析処理部44と、標準試料のスペクトル情報が登録されたデータベース36が記憶された記憶部34と、を含む。また、標準試料のスペクトル情報は、X線管2のターゲットに由来するコンプトン散乱線およびレイリー散乱線を検出して得られるスペクトル波形である散乱スペクトル波形Ss1,Ss2,Ss3,Ss4,Ss5の情報を含む。また、分析処理部44は、試料Sの散乱スペクトル波形と標準試料の散乱スペクトル波形の相関係数γCを求めて一致度とする。
トルと標準試料のスペクトルの一致度Kを求める工程と、を含む。また、一致度Kを求める工程では、試料Sの散乱スペクトル波形と、標準試料の散乱スペクトル波形の相関係数γCを求めて一致度Kとする。
上述した第2実施形態に係る蛍光X線分析装置200の構成は、第3実施形態に係る蛍光X線分析装置にも適用可能である。すなわち、第3実施形態に係る蛍光X線分析装置において、処理部40は、測定条件取得部46と、制御部48と、を含んでおり、データベース36には各標準試料の測定条件の情報が登録されていてもよい。
Claims (6)
- 一次X線を発生させるX線管と、
試料に前記一次X線が照射されることによって前記試料から放射された二次X線を検出する検出器と、
前記検出器から出力された検出信号に基づく前記試料のスペクトルを取得するスペクトル取得部と、
前記試料のスペクトルと標準試料のスペクトルを比較して、前記試料のスペクトルと前記標準試料のスペクトルの一致度である第1の一致度を求める分析処理部と、
前記標準試料のスペクトル情報が登録されたデータベースが記憶された記憶部と、
を含み、
前記標準試料のスペクトル情報は、
前記標準試料のスペクトル波形の情報と、
複数のエネルギー範囲の情報と、
前記複数のエネルギー範囲の各々に設定された重みの情報と、
を含み、
前記分析処理部は、
前記複数のエネルギー範囲の各々において、前記試料のスペクトル波形と前記標準試料のスペクトル波形の一致度である第2の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲の各々で求められた前記第2の一致度、および、前記重みに基づいて、前記第1の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第1エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第1元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第2エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第2元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記標準試料において、前記第1元素の割合は、前記第2元素の割合よりも大きく、
前記第1エネルギー範囲の前記重みは、前記第2エネルギー範囲の前記重みよりも大きく、
前記重みは、前記標準試料に含まれる元素のうちの割合が大きい元素のピークを含むエネルギー範囲ほど大きく設定される、蛍光X線分析装置。 - 請求項1において、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第3エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第3元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記標準試料において、前記第3元素の割合は、前記第1元素の割合および前記第2元素の割合よりも小さく、
前記第3エネルギー範囲の前記重みは、前記第1エネルギー範囲の前記重みおよび前記第2エネルギー範囲の前記重みよりも小さい、蛍光X線分析装置。 - 請求項1または2において、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第4エネルギー範囲は、前記X線管のターゲットに由来するコンプトン散乱線およびレイリー散乱線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲である、蛍光X線分析装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記標準試料のスペクトル情報は、前記標準試料の測定条件の情報を含む、蛍光X線分析装置。 - 請求項4において、
前記データベースから、前記第1の一致度に基づいて前記試料の測定条件の情報を取得する測定条件取得部を含む、蛍光X線分析装置。 - X線管で発生した一次X線が試料に照射されることによって前記試料から放射された二次X線を検出して得られた、前記試料のスペクトルを取得する工程と、
前記試料のスペクトルと標準試料のスペクトルを比較して、前記試料のスペクトルと前記標準試料のスペクトルの一致度である第1の一致度を求める工程と、
を含み、
前記第1の一致度を求める工程では、
複数のエネルギー範囲の各々において、前記試料のスペクトル波形と前記標準試料のスペクトル波形の一致度である第2の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲の各々で求められた前記第2の一致度、および、前記複数のエネルギー範囲の各々に設定された重みに基づいて、前記第1の一致度を求め、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第1エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第1元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記複数のエネルギー範囲のうちの第2エネルギー範囲は、前記標準試料に含まれる第2元素に固有のエネルギーを持つ特性X線を検出して得られるピークを含むエネルギー範囲であり、
前記標準試料において、前記第1元素の割合は、前記第2元素の割合よりも大きく、
前記第1エネルギー範囲の前記重みは、前記第2エネルギー範囲の前記重みよりも大きく、
前記重みは、前記標準試料に含まれる元素のうちの割合が大きい元素のピークを含むエネルギー範囲ほど大きく設定される、分析方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004151045A (ja) | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡またはx線分析装置及び試料の分析方法 |
US20140117234A1 (en) | 2012-10-26 | 2014-05-01 | Fei Company | Mineral Identification Using Mineral Definitions Having Compositional Ranges |
JP2017020924A (ja) | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 株式会社島津製作所 | 樹脂判別装置及び樹脂判別方法 |
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