JP6978911B2 - 動翼監視システム、動翼監視装置、動翼監視方法、プログラム - Google Patents

Description

本発明は、動翼監視システム、動翼監視装置、動翼監視方法、プログラムに関する。

タービンの管理者はタービン運転中にタービンを構成する動翼に発生する振動の計測を行う。管理者はこのような計測を行うことにより動翼の振動特性が設計計画通りであるか否かを検証する。また担当者はこのような計測を行い、運転条件の変化による動翼の振動特性の変化を確認し、タービン製品の信頼性の向上を図る。動翼の振動の計測技術に、一例として、動翼にひずみゲージを貼り付けてタービン装置の運転中に振動を計測するテレメータ計測技術がある。また動翼の振動の他の計測技術に、動翼と対向するケーシング部に動翼の通過を検知するセンサを設置し、動翼がセンサを通過する時間差から動翼の振動を分析する技術がある。なお関連する技術が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている技術は、回転翼の軸方向上流側と下流側に回転翼の回転方向に複数のセンサを設置し、ブレードの振動振幅（変形量）を計測する技術である。

特許第５５４２３１１号公報

ところで、動翼と対向するケーシング部等のステータ側に動翼の通過を検知するセンサを設置し、動翼がセンサを通過する時間差から動翼の振動を計測することがある。この際、計測精度が良くなるように受感領域が小さいレーザセンサ等のセンサを設置すると、動翼近傍の蒸気などの影響により動翼の通過を検知した信号にノイズが含まれる場合がある。このような場合には、動翼の振動振幅の検知精度が低下する。

そこでこの発明は、上述の課題を解決することのできる動翼監視システム、動翼監視装置、動翼監視方法、プログラムを提供することを目的としている。

本発明の第１の態様によれば、動翼監視システムは、軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサと、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定部、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成部、及び、前記校正値を出力する出力部を有する動翼監視装置と、を備えることを特徴とする。

上述の動翼監視システムにおいて、前記第一センサと前記第二センサとが前記動翼の回転方向に所定の間隔を隔てて設けられてよい。

また上述の動翼監視システムにおいて、前記校正値生成部は、前記第一センサの前記検出値である前記動翼の第一通過タイミングと、前記第二センサの前記検出値である前記動翼の第二通過タイミングとに基づいて校正係数を算出し、当該校正係数を前記第一通過タイミングに基づく前記動翼の翼振動の振動振幅に乗じて前記校正値を生成してよい。

上述の動翼監視システムにおいて、前記出力部は、前記第二センサの検出値である前記動翼の第二通過タイミングを用いて前記動翼の翼振動の振動振幅を出力し、前記第二通過タイミングの検出値にノイズが発生した場合に前記振動振幅の前記校正値を出力してよい。

上述の動翼監視システムにおいて、前記動翼監視装置は、前記動翼に関する属性に応じた前記校正値を記憶部に記録する記録部と、現在の前記属性に基づく前記校正値を前記記憶部から読み出する振動幅特定部と、を備えてよい。

本発明の第２の態様によれば、動翼監視装置は、軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサとのそれぞれから検出値を取得する取得部と、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定部、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成部と、前記校正値を出力する出力部と、を備えることを特徴とする。

本発明の第３の態様によれば、動翼監視方法は、渦電流式の第一センサが、軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出し、第二センサが、前記第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出し、動翼監視装置が前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出し、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成し、その校正値を出力することを特徴とする。

本発明の第４の態様によれば、プログラムは、動翼監視装置のコンピュータを、軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサとのそれぞれから検出値を取得する取得手段、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定手段、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成手段、前記校正値を出力する出力手段、として機能させることを特徴とする。

本発明によれば、動翼の振動振幅の検知精度を向上させることができる。

本発明の一実施形態によるタービンの構成を示す図である。 本発明の一実施形態による動翼監視装置を示す図である。 本発明の一実施形態による翼通過検知信号を示す図である。 本発明の一実施形態による監視結果の一例を示す図である。 本発明の一実施形態による第一センサと第二センサの検知範囲を示す図である。 本発明の一実施形態による動翼監視装置のハードウェア構成を示す図である。 本発明の一実施形態による動翼監視装置の機能ブロック図である。 本発明の一実施形態による動翼監視装置の処理フローを示す図である。

以下、本発明の一実施形態による動翼監視装置、動翼監視方法、プログラムを図面を参照して説明する。
図１は本実施形態によるタービンの構成を示す図である。
図１に示すタービンシステム１００は空気圧縮機２、燃焼器３、タービン４を備える。タービン４は、回転するタービンロータ９（ロータ）と、このタービンロータ９を回転可能に覆うタービンケーシング１０とを有している。タービンロータ９は、回転軸９ａを軸中心に有し、複数の動翼列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・・を備える。動翼列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・それぞれはタービンロータ９の軸方向に間を空けて設けられている。タービンケーシング１０の内面の複数の動翼列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・・の各間には、複数の静翼１１が取り付けられている。タービンケーシング１０には、動翼列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・の通過を検出するための通過検出センサ対２０が取り付けられている。なお空気圧縮機２は、圧縮機ロータ５と、これを回転可能に覆う圧縮機ケーシング６とを有している。燃焼器３は、燃料ガス及び空気圧縮機２からの圧縮空気を受け入れてこれらを噴出する燃料供給器７と、燃料供給器７から燃料ガス及び圧縮空気が内部に噴射されて、燃料ガスの燃焼領域を形成する燃焼筒８とを有している。

図２は本実施形態による動翼監視システムを示す図である。
動翼監視システム２００は、動翼監視装置１と通過検出センサ対２０により構成される。動翼列Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３・・はタービンロータ９の周方向に取り付けられた複数の動翼Ｂによりそれぞれが構成される。図２は一例として動翼列Ｙ１に設けられた複数の動翼Ｂ（Ｂ１−１，Ｂ１−２，Ｂ１−３・・・）を示している。動翼監視装置１は動翼Ｂが回転する周囲に対向するタービンケーシング１０の内面の位置に複数の通過検出センサ対２０を備える。通過検出センサ対２０は第一センサ２１と第二センサ２２とが対となってタービンケーシング１０においてタービンロータ９の周方向に取り付けられている。なお第一センサ２１と第二センサ２２は本実施形態においては対となっている場合を例にして説明するが、それらは対となって隣接して順に並ばずにそれぞれがタービンロータ９の周方向に離間した位置に設けられていてもよい。また本実施形態においては、第二センサ２２が動翼Ｂを先に検知し、第一センサ２１が同じ動翼Ｂを時間的に後に検知するようそれらが周方向に並んで取り付けられている。第二センサ２２と第一センサ２１の並び順は反対であってもよい。通過検出センサ対２０はタービンケーシング１０の内面に周方向全体に間隔を空けて設けられてよい。他の動翼列Ｙに対向するタービンケーシング１０の位置にも同様に第一センサ２１と第二センサ２２とを含む複数の通過検出センサ対２０が周方向に並んで取り付けられている。第一センサ２１と第二センサ２２は動翼監視装置１の本体と電気信号ケーブルを介して接続されている。動翼監視装置１はタービンロータ９の１回転を検出する回転検出センサ３０を備える。回転検出センサ３０はタービンロータ９の１回転を検出して、その検出時を示す所定のパルス波を出力するための機構を有している。

第一センサ２１は渦電流センサである。渦電流センサはセンサコイルから高周波磁束を発生させる。金属である動翼Ｂの表面には渦電流が発生する。この渦電流の大きさは渦電流センサと動翼Ｂとの距離により変化する。渦電流センサである第一センサ２１はこの渦電流に基づいて第一センサ２１と動翼Ｂとの距離に応じた電圧値を示す翼通過検知信号を出力する。
第二センサ２２は光学式センサである。一例として光学式センサは、レーザ光を動翼Ｂに照射し、動翼Ｂにおいて反射した反射光を検知するレーザセンサである。光学式センサである第二センサ２２は受光した反射光の強度が大きいほど電圧値の大きい翼通過検知信号を出力する。
動翼監視装置１はこれら翼通過検知信号に基づいて第一センサ２１や第二センサ２２の設置位置を動翼Ｂが通過したことを検知する。

図３は本実施形態による翼通過検知信号を示す図である。
一例として第一センサ２１の出力する翼通過検知信号を図３に示す。この図が示すように本実施形態の翼通過検知信号は第一センサ２１の直近を動翼Ｂが通過した際に大きな電圧値となる。したがって翼通過検知信号は、動翼がタービンロータ９の周方向に放射状に等間隔に設けられている場合には、当該信号の極大値が定期的に現れる波形となる。動翼監視装置１は翼通過検知閾値ｔｈ１以上の電圧値の翼通過検知信号から各動翼Ｂの通過時刻を、時間を追って順次検出し、その通過時刻に基づいて動翼Ｂの振動振幅などの状態を監視する。なお、翼通過検知信号は第一センサ２１の直近を動翼Ｂが通過した際に閾値以下の低い電圧値となる信号であってもよい。

図４は監視結果の一例を示す図である。
図４の上図（４１）は、ある動翼列Ｙの周方向に順に取り付けられた複数の第一センサ２１−１，２１−２，２１−３，・・・，２１−ｎで検出した、各動翼Ｂ１−１，Ｂ１−２，Ｂ１−３，・・・，Ｂ１−Ｎの通過検知タイミングを示す。上図（４１）の動翼Ｂ１−１についてみると、第一センサ２１−１，２１−２，２１−３，・・・，２１−ｎにおいて、基準のタイミングよりもτ１，τ２，τ３，・・・，τＮの時間差が生じている。振動幅特定部１１３は、このような信号を用いて、図４の下図（４２）で示すような振動振幅の変位δを示す振動変位波形を各動翼ごとに生成してもよい。振動幅特定部１１３は図４の下図（４２）の監視結果を出力部１１５に出力するようにしもよい。この振動変位波形の振幅が大きい場合には、その動翼が異常であると判定することができる。振動幅特定部１１３の算出する動翼Ｂの振動振幅は、図４（４２）で示す振動変位に等しい。

図５は第一センサと第二センサの検出範囲を示す図である。
図５（ａ）は渦電流センサである第一センサ２１の検出範囲２１１を示し、図５（ｂ）は光学式センサである第二センサ２２の検出範囲２２１を示している。図中の矢印は動翼Ｂの回転方向であり、第一センサ２１、第二センサ２２のそれぞれは、直線Ｌ上の動翼Ｂを検知する。
ここで第一センサ２１の渦電流センサはセンサコイルの構成により検出範囲２１１が広い。一方で、第二センサ２２の光学式センサは動翼Ｂの通過を検知する為にはレーザ光を照射しその反射光を受光すればよいため光源や受光部の小型化がより顕著で、渦電流センサと比較して検出範囲２２１を狭くすることができるというメリットがある。よってより狭い検出範囲２２１を通過する物体の一点の通過時間は、より広い検出範囲２１１を通過する物体の一点の通過時間よりも短いため、物体の通過検知の立ち上がりや立下りが明確となり、第一センサ２１の渦電流センサよりも第二センサ２２の光学式センサの方が、より通過タイミングを精度よく検出することができる。より広い検出範囲２１１を有する第一センサ２１は検出範囲２１１が広い分、検出感度が弱く動翼通過タイミングの検出が遅れる場合がある。そうすると、第一センサ２１で検出した動翼通過タイミングは、第二センサ２２で検出した動翼通過タイミングよりも遅れ、これにより振動振幅が小さく算出されることがある。したがって本実施形態による動翼監視装置１は通常は第二センサ２２から得られた動翼通過信号を用いて動翼Ｂの振動振幅を算出する。

しかしながら、動翼Ｂと第二センサ２２との間に蒸気が含まれている場合、第二センサ２２は動翼Ｂで反射する反射光を十分に検出できず翼通過検知信号にノイズが発生する、または翼通過を検知できないというデメリットがある。他方、第一センサ２１の渦電流センサは動翼との間に蒸気が含まれている場合であってもその機能上、蒸気の影響を受けずに動翼Ｂの通過を示す翼通過検知信号にノイズが発生することが少ない。したがって本実施形態による動翼監視システム２００は、通常は第二センサ２２の検出値である翼通過検知信号の値に基づく動翼Ｂの通過タイミングを用いて動翼Ｂの翼振動の振動振幅を算出する。動翼Ｂの通過タイミングは図３の信号で示す閾値ｔｈ１を超えた信号立ち上がりのタイミングである。または翼通過検知信号が動翼Ｂの通過した際に検出される閾値以下の低い電圧値となる信号である場合には閾値以下の信号の立下りのタイミングであってもよい。そして動翼監視システム２００は、第二センサ２２の検出値である翼通過検知信号にノイズが発生するなど信号に異常が発生した場合には、第一センサ２１の翼通過検知信号による振動振幅を、第二センサ２２の過去の翼通過検知信号を用いて校正し、その校正された振動振幅を示す校正値を出力する。ノイズの発生した翼通過検知信号とは、図３で示す信号の波形が乱れた場合や、閾値ｔｈ１を超えない場合が継続する場合等であってよい。

図６は本実施形態による動翼監視装置のハードウェア構成を示す図である。
図６で示すように動翼監視装置１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１、ＲＯＭ（Read Only Memory）１０２、ＲＡＭ（Random Access Memory）１０３、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１０４、信号受信モジュール１０５を備えるコンピュータである。

図７は本実施形態による動翼監視装置の機能ブロック図である。
動翼監視視置１のＣＰＵ１０１は予め自装置で記憶する動翼監視プログラムを実行することにより、制御部１１１、検出値取得部１１２、振動幅特定部１１３、校正値生成部１１４、出力部１１５の各構成を備える。

制御部１１１は動翼監視装置１に備わる各機能部を制御する。
検出値取得部１１２は、第一センサ２１と、第二センサ２２とのそれぞれから検出値である翼通過検知信号を取得する。
振動幅特定部１１３は、第二センサ２２から得られた翼通過検知信号が正常である場合には、その翼通過検知信号に基づいて動翼Ｂの振動振幅を特定する。振動幅特定部１１３は、第二センサ２２から得られた翼通過検知信号が異常を示す場合には、校正値生成部１１４に振動振幅の校正を指示する。
校正値生成部１１４は、第二センサ２２から得られた翼通過検知信号が異常を示す場合に、第一センサ２１から得られた翼通過検知信号を、第二センサ２２から得られた過去の翼通過検知信号を用いて校正する。
出力部１１５は、振動幅特定部１１３または校正値生成部１１４の算出した振動振幅の値を出力する。

図８は本実施形態による動翼監視装置の処理フローを示す図である。
次に動翼監視装置１の処理フローについて順を追って説明する。
動翼監視装置１の検出値取得部１１２はタービンシステム１００が駆動しロータ９が回転している間、第一センサ２１と第二センサ２２のそれぞれから動翼検知信号を取得する（ステップＳ１０１）。検出値取得部１１２は第二センサ２２から得られた動翼検知信号に異常がないかを判定する（ステップＳ１０２）。検出値取得部１１２は第二センサ２２から得られた動翼検知信号に異常がない場合には、その動翼検知信号を振動幅特定部１１３へ出力する。振動幅特定部１１３は通常は第二センサ２２の動翼検知信号に基づいて動翼Ｂの振動振幅を算出する（ステップＳ１０３）。出力部１１５は算出された振動振幅を入力し、その振動振幅を所定の装置や処理部へ出力する（ステップＳ１０４）。また記録部１１６は算出された振動振幅を第二センサ２２のＩＤに対応付けてＨＤＤ１０４に記録していく。つまり振動幅特定部１１３は、振動振幅の算出は動翼Ｂの各翼Ｂ１−１，Ｂ１−２，・・・それぞれについて順次算出し、記録部１１６が当該振動振幅を記録する。

ステップＳ１０２において第二センサ２２から得られた動翼検知信号に異常が発生すると、検出値取得部１１２は第一センサ２１から得られた動翼検知信号を振動幅特定部１１３へ出力する。振動幅特定部１１３は第一センサ２１から得られた動翼検知信号に基づく動翼Ｂの振動振幅Ｘと第二センサ２２から得られた動翼検知信号による振動振幅Ｙとを算出する（ステップＳ１０５）。振動幅特定部１１３は第一センサ２１から得られた動翼検知信号に基づいて算出した動翼Ｂの振動振幅を校正値生成部１１４へ出力する。

校正値生成部１１４は第一センサ２１から得られた動翼検知信号に基づく動翼Ｂの振動振幅Ｘと、第二センサ２２から得られた動翼検知信号に基づく動翼Ｂの振動振幅Ｙとを用いて校正係数αを算出する（ステップＳ１０６）。具体的には縦軸を振動振幅Ｙ、横軸を振動振幅Ｘとして、上記ステップＳ１０５で算出した振動振幅Ｘと振動振幅Ｙとをプロットしたグラフにおける各振動振幅のプロット値の近似直線の傾きを校正係数αとして算出する。そして校正値生成部１１４はステップＳ１０５で算出された第一センサ２１から得られた動翼検知信号による振動振幅Ｘに校正係数αを乗じて振動振幅の校正値を算出する（ステップＳ１０７）。出力部１１５は算出された振動振幅の校正値を入力し、その振動振幅を所定の装置や処理部へ出力する（ステップＳ１０８）。また記録部１１６は算出された振動振幅を第一センサ２１のＩＤに対応付けてＨＤＤ１０４に記録していく。

以上の処理により、動翼が通過する各センサとの間の空間に蒸気などが含まれることにより動翼検知信号が異常であった場合でも、動翼の振動振幅の検知精度を向上させることができる。

動翼監視システム２００において、第二センサ２２を光学センサの一つであるレーザセンサの代わりに、電磁センサを利用してもよい。電磁センサも渦電流センサと比較して、検出範囲が狭い。したがって上述の処理と同様に、電磁センサから取得した動翼検知信号に異常がない場合には当該電磁センサから取得した動翼検知信号に基づいて振動振幅を算出し、動翼検知信号に異常がある場合には、電磁センサから取得した動翼検知信号に基づく振動振幅を同様に校正する。

上述の処理において動翼監視装置１の記録部１１６は、振動振幅が算出された時点における動翼Ｂ近傍の温度などの環境属性値を取得し、その属性値に対応付けて振動振幅や動翼検知タイミングの値を記録してもよい。そして動翼監視装置１の校正値生成部１１４は、第二センサ２２の動翼検知信号に異常がある場合には、現在の温度などの環境属性値に応じた振動振幅や動翼検知タイミングを取得し、それらの値に基づいて校正係数を算出するようにしてもよい。環境属性値は温度以外の環境についての値を示すものであってもよい。この校正係数の算出処理は上記と同様である。このような処理により、渦電流センサのみで、動翼の振動振幅をより精度高く算出することができる。

上述の動翼監視装置１は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、動翼監視装置１に上述した各処理を行わせるためのプログラムは、当該動翼監視装置１のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムを動翼監視装置１のコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。

また、上記プログラムは、前述した各処理部の機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。

１・・・動翼監視装置
２１・・・第一センサ
２２・・・第二センサ
３０・・・回転検出センサ
Ｂ・・・動翼
Ｙ・・・動翼列
１１１・・・制御部
１１２・・・検出値取得部
１１３・・・振動幅特定部
１１４・・・校正値生成部
１１５・・・出力部
１０１・・・ＣＰＵ
１０２・・・ＲＯＭ
１０３・・・ＲＡＭ
１０４・・・ＨＤＤ
１０５・・・信号受信モジュール

Claims (8)

1. 軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、
   該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサと、
   前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定部、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成部、及び、前記校正値を出力する出力部を有する動翼監視装置と、
   を備える動翼監視システム。
2. 前記第一センサと前記第二センサとが前記動翼の回転方向に所定の間隔を隔てて設けられている
   請求項１に記載の動翼監視システム。
3. 前記校正値生成部は、前記第一センサの前記検出値である前記動翼の第一通過タイミングと、前記第二センサの前記検出値である前記動翼の第二通過タイミングとに基づいて校正係数を算出し、当該校正係数を前記第一通過タイミングに基づく前記動翼の翼振動の振動振幅に乗じて前記校正値を生成する
   請求項１または請求項２に記載の動翼監視システム。
4. 前記出力部は、前記第二センサの検出値である前記動翼の第二通過タイミングを用いて前記動翼の翼振動の振動振幅を出力し、前記第二通過タイミングの検出値にノイズが発生した場合に前記振動振幅の前記校正値を出力する
   請求項１から請求項３の何れか一項に記載の動翼監視システム。
5. 前記動翼監視装置は、
   前記動翼に関する属性に応じた前記校正値を記憶部に記録する記録部と、
   現在の前記属性に基づく前記校正値を前記記憶部から読み出する振動幅特定部と、
   を備える請求項１から請求項４の何れか一項に記載する動翼監視システム。
6. 軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサとのそれぞれから検出値を取得する取得部と、
   前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定部、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成部と、
   前記校正値を出力する出力部と、
   を備える動翼監視装置。
7. 渦電流式の第一センサが、軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出し、
   第二センサが、前記第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出し、
   動翼監視装置が前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出し、前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成し、その校正値を出力する
   動翼監視方法。
8. 動翼監視装置のコンピュータを、
   軸線回りに回転する動翼の通過をステータ側から非接触で検出する渦電流式の第一センサと、該第一センサよりも小さい受感領域を有し、前記動翼の通過をステータ側から非接触で検出する第二センサとのそれぞれから検出値を取得する取得手段、
   前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に基づいて前記動翼の振動振幅を算出する振動振幅特定手段、
   前記第二センサにより前記動翼の通過を検出した信号が示す検出値に異常が発生した場合に、前記第二センサの過去の検出値に基づいて、前記第一センサの検出値の校正値を生成する校正値生成手段、
   前記校正値を出力する出力手段、
   として機能させるプログラム。

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