JP6968836B2 - スロットダイ添加物製造装置および製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、添加物(additive)を製造する装置および方法、具体的には、粘性媒体、特に放射線硬化性液相中の微粒子の懸濁液である粘性媒体の放射線誘発硬化によって1以上(1つ又はそれよりも多く)の所望の物体を形成することができる方法および装置に関する。
添加物製造は、部分的に形成された物体に材料を連続的に添加することによって物体を製造することを含む。これは物体が形成されるまでバルク材料の部分が除去される減法的製造(subtractive manufacturing)と対照的である。
添加物製造は、高精度またはオーダーメイド部品の費用効果的な構築を可能にする可能性を有し、従来的な減法的製造技法によって容易に達成することができない1つの幾何学的形状の製造も可能にする。
添加物製造の多くのモードにおいて、物体は、構造材料の層を連続的に堆積させる、各々の堆積させられた層の部分を互いに結合させ、それらの部分を直下の層の以前に結合させられた部分と結合させることによって、形成される。物体は、層を通じて延びる隣接して結合させられた領域によって形成される。次に、適切な技法によって、層の非結合部分を除去することができる。
そのような添加物製造技術の例は、インクジェットヘッドおよび粉末床3D印刷、選択的レーザ焼結、および溶融堆積モデリングを含む。
そのような技法では、特定の上層の結合部分は、典型的には、その上層の下に配置される層の結合部分および非結合部分の両方によって支持される。これは添加物製造において使用されてよい材料および技法ならびに見出すことができる部品の幾何学的形状を制約する。
これらの問題を克服するために、意図される製造されるべき物体に加えて、物体の部分の下に位置する層の結合領域によって形成される支持部分を形成することが提案されている。そのような支持部分は物体に接続されてよく或いは物体から分離されてよい。
しかしながら、そのようなアプローチは、材料消費を増加させることがあり、製造時間を増加させることがあり、特定の幾何学的形状を有する部品の製造をより困難にすることがある。
従って、これらの問題を克服する添加物製造技術の必要がある。
例えば、1つの以前に提案された添加物製造技術において、物体は、放射線硬化性液体の層を井戸内に連続的に堆積させ、層への放射線の選択的な適用によって各層の部分を選択的に硬化させて物体を形成することによって、製造される。しかしながら、そのような技法において、各層の硬化部分は、少なくとも部分的には、下の層の未硬化部分によって支持される。液体媒体は流動する傾向を有するので、そのような未硬化部分によって提供される支持は不十分なことがあり、製造された物体にひずみが生じることがある。そのようなひずみを避けるために、完成した物体から後に捨てられなければならない硬化した液体によって形成される支持部分を印刷物体に含めることがしばしば必要であり、上記の欠点をもたらす。
懸濁液(またはコロイド)としての粉末を硬化性液体媒体中に懸濁させ、その液体媒体を構造材料として使用して液体ベース添加物製造プロセスによって物体を形成し、次に、液相プロセスに由来する製造物体を焼結することによって、微粉末からセラミックまたは金属成分を製造するために、そのような技法の改良を使用することも提案されている。
しかしながら、上述のような技法は、典型的には、製造中の液相による製造物体の十分な支持をもたらすことができない。特に、放射線硬化性液体結合剤中の金属またはセラミック粒子の比較的粘性のある懸濁液の層を堆積させることは、以前に堆積させられた層に望ましくない剪断力を加えることなく達成することが困難である。何故ならば、例えば、移動堆積ヘッドによる粘性液体の堆積は、堆積ヘッドの移動方向に下層を引き寄せる傾向を有するからである。
従って、放射線硬化性液体の層の堆積を可能にする一方で、製造速度の増大及び/又は材料消耗の低減を伴う複雑な幾何学的形状の物体の製造を許容する、添加物製造装置および方法の必要がある。
指摘した利点のうちの少なくとも一部が達成されることを可能にする硬化可能な液相中の粒子の懸濁さえも伴って、そのような利点を達成することができる、液相3D製造技術の必要もある。
本発明者は、とりわけ、スロットダイを介した比較的粘性のある液体構造材料を堆積が、上述の利点のうちの一部が達成されることを有利に可能にすることを認識した。
従って、この認識の観点から、本開示は、第1の態様において、添加物製造装置を提供する。添加物製造装置は、物体を形成するために粘性のある構造材料の層を順次式に堆積させるのに適する。装置は、支持面を含む。支持面は、形成中に物体を支持するのに適する。装置は、スロットダイを含む。スロットダイは、内部キャビティ(内部空洞)を有する。キャビティは、スロットダイの下面に形成されるスロットと連通する。スロットは、内部キャビティから構造材料を押し出すのに適する。装置は、キャリッジを含む。キャリッジは、スロットダイを支持する。キャリッジは、移動方向における支持面に亘る並びに支持面より上のスロットダイの移動を可能にする構成される。移動は、押し出される構造材料の層を支持面の上に堆積させるためにある。装置は、駆動機構を含む。駆動機構は、移動方向におけるキャリッジの移動を駆動するように構成される。装置は、投射ユニットを含む。投射ユニットは、放射線を構造領域に選択的に投射するためにある。構造領域は、支持面とスロットダイとの間に配置される。放射線の投射は、物体の部分を形成する押出層の領域を定めるためにある。装置は、コントローラを含む。コントローラは、少なくとも駆動機構を制御するように構成される。装置において、スロットダイおよび支持面は相対的に移動可能である。スロットダイ及び支持面の相対的な移動は、スロットダイと支持面との間で分離方向にある。相対的な移動は、構造材料の層の互いの順次式の堆積を可能にする。
1つの実施形態において、スロットダイは、加熱ユニットを備える。加熱ユニットは、スロットを定めるスロットダイの少なくとも一部分を加熱するためにある。
1つの実施形態において、スロットは、2つのスロット半体によって定められる。スロットダイは、スロットの縁を互いに対して振動させる振動器を備える。
1つの実施形態において、添加物製造装置は、冷却ユニットを備える。冷却ユニットは、構造領域から熱を除去するのに適する。
1つの実施形態において、冷却ユニットは、少なくとも1つのガス供給ポートを含む。少なくとも1つのガス供給ポートは、ガス源に接続可能である。少なくとも1つのガス供給ポートは、構造領域に向かってガスを吹き付けるように構成される。
1つの実施形態において、スロットは、スロット配向方向に向けられる。移動方向は、スロット配向方向に対して垂直である。
1つの実施形態において、分離方向は、スロット配向方向及び移動方向のそれぞれに対して垂直である。
1つの実施形態において、支持面は、平坦である。支持面は、分離方向に対して垂直な平面を定める。
1つの実施形態において、平面は、スロット配向方向と平行である。平面は、移動方向と平行である。1つの実施形態において、添加物製造装置は、ポンプを含む。ポンプは、構造材料の貯槽に接続可能である。スロットダイは、入口ポートを有する。入口ポートは、ポンプに接続される。その接続は、スロットを介してポンプからの圧力の下で貯槽からの構造材料を押し出すことができるような、接続である。
1つの実施形態において、コントローラは、ポンプを制御するように構成される。制御は、構造材料を所定の速度で押し出させるためにある。
1つの実施形態において、コントローラは、押出の容積流量及びキャリッジの移動速度を制御するように構成される。押出の容積流量及びキャリッジの移動速度は、互いに比例して制御される
1つの実施形態において、コントローラは、押出の線形速度及びキャリッジの移動速度を制御するように構成される。押出の線形速度及びキャリッジの移動速度は、互いに等しくなるように制御される。
1つの実施形態において、投射ユニットは、放射源を含む。放射源は、放射線ビームを生成するのに適する。放射ユニットは、パターニングユニット(patterning unit)を含む。パターニングユニットは、放射線ビームによって照明される。照明は、放射線ビームをパターン化する(patterning)のに適するような、照明である。投射ユニットは、投射光学を含む。投射光学は、パターンの画像を平面の上に投射するのに適する。平面は、支持面とスロットダイとの間に定められる。投射は、平面に放射線を選択的に適用するためにある。従って、平面への放射線の選択的に適用は、パターニングユニットによる放射線ビームのパターン化に基づく。
1つの実施形態において、パターニングユニットは、空間光変調器である。
1つの実施形態において、パターニングユニットは、デジタル光プロセッサである。
1つの実施形態において、投射ユニットは、放射源を含む。放射源は、放射線ビームを生成するのに適する。投射ユニットは、走査光学(scanning optics)を含む。走査光学は、平面に亘って放射線ビームを走査(スキャン)するのに適する。平面は、支持面とスロットダイとの間に定められる。
1つの実施形態において、放射線ビームは、断続的な放射線ビームであり、走査は、放射をラスタ画像として平面に選択的に適用するためにある。
1つの実施形態において、走査は、放射をベクトル画像として平面に選択的に適用するためにある
1つの実施形態において、放射線ビームは、電子ビームである。
1つの実施形態において、放射は、紫外光放射又は可視光放射である。
1つの実施形態において、添加物製造装置は、井戸(well)を含む。装置は、エレベータ機構を含む。支持面は、分離方向において井戸内に移動可能である。移動は、エレベータ機構による。
1つの実施形態において、井戸は、内壁を有する。支持面は、縁シール(edge seal)を備える。縁シールは、内壁を封止するように構成される。
1つの実施形態において、井戸の頂部は、傾斜面によって取り囲まれる。傾斜面は、井戸の頂部から離れる方向に下向きに傾斜する
1つの実施形態において、井戸は、1つ又はそれよりも多くの冷却要素を備える。冷却要素は、井戸の壁から熱を除去するのに適する。
1つの実施形態において、井戸は、1つ又はそれよりも多くの冷却要素を備える。1つ又はそれよりも多くの冷却要素は、井戸の壁を冷却するためにある。1つの実施形態において、1つ又はそれよりも多くの冷却要素は、チャネルを含む。チャネルは、冷却源に接続可能である。チャネルは、冷媒を運ぶように構成される。
1つの実施形態において、1つ又はそれよりも多くの冷却要素は、熱電冷却器を含む。
1つの実施形態において、井戸は、一定の断面を有する。支持面は、井戸の断面に対応する形状を有する。
1つの実施形態において、壁は、長方形である。
1つの実施形態において、制御ユニットは、投射ユニットを制御するように構成される。制御は、駆動機構に従う。制御は、支持面に亘るキャリッジの各移動について、一連の異なる部分画像を投射するためにある。各部分画像は、1つ又はそれよりも多くの他の部分画像とオーバーラップする。
1つの実施形態において、制御ユニットは、投射ユニットを制御するように構成される。制御は、各部分画像が隔離されたピクセルを含むような制御である。隔離されたピクセルは、部分画像がオーバーラップさせられるときに、複数の部分画像のうちの他の部分画像によって接続される。1つの実施形態において、制御ユニットは、投射ユニットを制御するように構成される。制御は、部分画像の各々がパターンを有するような制御である。パターンは、均一な被照射領域を形成するように、複数の画像の残余の1つ又はそれよりも多くのパターンと組み合わさるパターンである。
1つの実施形態において、パターンは、疑似乱数パターンである。
1つの実施形態において、構造材料は、液体媒体である。液体媒体は、放射線硬化性である。
1つの実施形態において、液体媒体は、重合可能である。
1つの実施形態において、粒子材料は、セラミックである。
1つの実施形態において、セラミックは、窒化物である。
1つの実施形態において、セラミックは、酸化物である。
1つの実施形態において、セラミックは、炭化物である。
1つの実施形態において、放射線硬化性液体媒体は、紫外光硬化性又は可視光硬化性である。
1つの実施形態において、放射線句苛性液体媒体は、電子ビーム硬化性である。
1つの実施形態において、粒子材料は、金属粉末である。
1つの実施形態において、粒子材料は、5ミクロン未満の平均直径を有する。
1つの実施形態において、粒子材料は、2ミクロン未満の平均直径を有する。
1つの実施形態において、投射ユニットは、10ミクロンより良い解像度を備える画像を投射するように構成される。
1つの実施形態において、投射ユニットは、更なるキャリッジによって支持される。更なるキャリッジは、投射ユニットの投射位置の移動を可能にするように構成される。移動は、移動方向及び横方向において支持面に亘り且つ支持面より上にある。横方向は、移動方向に対して垂直である。添加物製造装置は、移動方向及び横方向における更なるキャリッジの移動を駆動するように構成される。
1つの実施形態において、添加物製造装置は、ガスフードを更に含む。ガスフードは、ガス層の投射ユニットの投射領域にガスを供給するためにある。
1つの実施形態において、ガスフードは、投射ユニットから懸架されている。
1つの実施形態において、ガスフードは、支持面から離れる方向に引っ込み可能である。
1つの実施形態において、ガスフードは、投射ユニットから投射される放射の少なくとも一部分を実質的に取り囲むように配置される。
1つの実施形態において、ガスフードは、下方開口を有する。下方開口は、投射領域に面するように配置される。
1つの実施形態において、ガスフードは、上方開口を有する。上方開口は、投射ユニットから投射される放射が通過することを可能にするためにある。
1つの実施形態において、上方開口は、放射線透過板を備える。
1つの実施形態において、ガスフードの上部は、投射ユニットから投射される放射線が通過するのを可能にするよう放射線を透過する。
1つの実施形態において、ガスフードは、不活性ガスを供給するように構成される。
1つの実施形態において、ガスフードは、冷却ガスを供給するように構成される。
更なる態様において、本開示は物体を形成する方法を提供する。物体の形成は、順次式に堆積させられる構造材料の層からである。方法は、一連のステップを反復的に形成することを含む。ステップは、構造材料の層を支持面より上に堆積させるために移動方向において支持面に亘って並びに支持面より上でスロットダイを相対的に移動させながら、スロットダイの支持面より上に放射線硬化性の構造材料を押し出すことを含む。ステップは、支持面とスロットダイとの間の構造領域に放射線を選択的に投射することにより、押し出される構造材料の部分を硬化させて、物体の部分を形成する押し出される層の領域を定めることを含む。ステップは、スロットダイと支持面との間で分離方向においてスロットダイ及び支持面を相対的に移動させることを含む。
1つの実施において、粘着性の構造材料は、放射線硬化性液体媒体内の粒子材料の懸濁液である。
1つの実施において、粒子材料は、セラミック又は金属粉末である。
1つの実施において、液体媒体は、ポリマーを形成するよう放射線硬化性である。
1つの実施において、粒子材料は、5ミクロン未満の、任意的に、2ミクロン未満の、平均直径を有する。
1つの実施において、放射は、紫外放射、可視光放射又は電子ビーム放射である。
方法は、第1の態様の装置を用いて行われてよく、任意の開示の実施態様の構成が当て嵌まることがある。
本発明をより良く理解するために、並びに、本発明をどのように実施することができるかを示すために、ほんの一例として、添付の図面を参照する。
本開示に従った添加物製造装置の垂直断面図を示している。 図1に示す添加物製造装置の平面図を示している。 押出動作における添加物製造装置のスロットダイの断面図を示している。 投射動作における図1の装置の投射ユニットを示している。 投射の1つのモードを説明するために図1の装置の簡略化された平面図を示している。 投射の他のモードを示す図5の変形を示している。 図1の装置における使用に適した投射ユニットの第1の構成を示している。 図1の装置における使用に適した投射ユニットの代替的な変形を示している。 ガスフードを有する図6の投射ユニットの変形を示している。 ガスフードを有する図6の投射ユニットの更なる変形を示している。 ショット領域内の第1のモードのパターンの重なり合いを示している。 ショット領域内の第2のモードのパターンの重なり合いを示している 図1の装置の制御構成を示すブロック図を示している。 本開示に従った添加物製造方法を例示するフローチャートを示している。
図1は、本開示の原理を実施する添加物製造装置を示している。
図1において、添加物製造装置100(additive manufacturing apparatus)は、構築プラットフォーム120(build platform)の上に懸架されたスロットダイ110を含む。構築プラットフォーム120は、井戸124(well)内に収容されている。スロットダイ110(slot die)は、スロットダイキャリッジ130によって、図の左から右に走る第1の方向(X)において移動可能である。
スロットダイキャリッジ130は、スロットダイキャリッジガイド140の上に支持されている。スロットダイキャリッジガイド140は、(X)方向に走り、スロットダイキャリッジ130がスライドするように配置される支承面(bearing surface)を提供する。例えば、スロットダイキャリッジガイド140は、スロットダイキャリッジ130の下面(lower surface)に設けられるローラベアリングと協働して、スロットダイキャリッジガイド140に対するスロットダイキャリッジ130のスライド移動を可能にする、平坦な上面(upper surface)を提供してよい。代替的に、フラットサイディングベアリング、エアベアリング、または当技術分野において知られている他のベアリングのような、他のベアリングが適用されてよい。
スロットダイキャリッジガイド140は、スロットダイ110からのスロットダイキャリッジ130の移動方向に対して垂直な方向(Y方向)において分離され、スロットダイキャリッジ130は、この方向(Y方向)に延びて、スロットダイキャリッジ130上に支持されたスロットダイ110がスロットダイの移動方向(X方向)に対して垂直な方向及びスロットダイキャリッジガイド140からのスロットダイ110の分離方向(Y方向)においてキャリッジガイド140と交差することを可能にする。
図1に示す装置の平面図である図2を参照して、この構成をより容易に見ることができる。図2には、(Y方向において)互いに分離された2つのスロットダイキャリッジガイド140が設けられていることを見ることができ、スロットダイキャリッジ130をそれらの間に支持している。もちろん、代替的な実施形態では、例えば、1つだけのスロットダイキャリッジガイド140が設けられる必要があるが、スロットダイ110の移動方向に対して垂直な方向におけるスロットダイ110の両側に配置される2つのスロットダイキャリッジガイド140を提供することは、装置の安定性を向上させることがある。
スロットダイキャリッジ130が、スロットダイ110の両側に配置された2つのスロットダイキャリッジ部分をスロットダイの移動方向(X方向)に入らせるように設けられていることも、図2から見ることができる。やはり、代替の実施形態では、1つのスロットダイキャリッジ部分のみが、例えば、スロットダイの一方の側または他方の側に設けられる必要がある。しかしながら、スロットダイキャリッジ部分をスロットダイ110の移動方向におけるスロットダイ110の両側に設けることは、装置の安定性を向上させることができる。いくつかの実施形態では、例えば、スロットダイキャリッジ130は、スロットダイ110と一体的であってよく、或いは、換言すれば、スロットダイ110は、スロットダイキャリッジガイド140によって直接的に支持されてよく、その場合、スロットダイキャリッジガイド140は、スロットダイキャリッジガイドとしてというよりもむしろスロットダイガイドとして機能する。
図1を再び参照すると、スロットダイキャリッジ130は、スロットダイキャリッジ駆動セクション150によってスロットダイ110の移動方向(X方向)において移動可能である。ここで、スロットダイ駆動セクション150は、スロットダイキャリッジ駆動ネジ152を回転させるスロットダイキャリッジ駆動モータ151を含む。スロットダイキャリッジ駆動ネジ152自体は、スロットダイキャリッジガイド140より上で、スロットダイキャリッジガイド140と平行に、スロットダイ110の移動方向(X方向)に向けられている。スロットダイキャリッジ駆動ネジ152は、スロットダイキャリッジ駆動ネジ152の回転がスロットダイ110の移動方向(X方向)に力を加えて、スロットダイ110を支持するスロットダイキャリッジ130をスロットダイ110の移動方向(X方向)に移動させるよう、スロットダイキャリッジ140に形成された協働ネジ山と協働する。スロットダイキャリッジ駆動モータ151によるスロットダイキャリッジ駆動ネジ152の逆回転は、逆方向(負のX方向)におけるスロットダイ110の後退を可能にする。
図2に示すように、対応するスロットダイキャリッジ駆動モータ151および対応するスロットダイキャリッジ駆動ネジ152は、スロットダイキャリッジガイド140より上に類似の方法において配置される。この二重駆動構成は、スロットダイ110の安定した移動に寄与することができる。
しかしながら、他の実施形態では、第2のスロットダイキャリッジ駆動モータと第2のスロットダイキャリッジ駆動ネジとを含むそのような第2のスロットダイキャリッジ駆動手段が設けられる必要はない。更なる実施形態では、第2のスロットダイキャリッジ駆動モータおよびスロットダイキャリッジ駆動ネジの代わりに、例えば、スロットダイキャリッジ130を支持するベアリングを有する簡単な支持レールが設けられてよい。
一層更なる代替的な実施形態において、スロットダイキャリッジ駆動ネジ152および第2のスロットダイキャリッジ駆動ネジ(または必要に応じて支持レール)がスロットダイ110およびスロットダイキャリッジ130の重量を完全に支えることができるならば、別個のスロットダイキャリッジガイド140を省略することが可能な場合がある。
図1に同様に示されているのは、ガス供給ユニット170である。ガス供給ユニット170は、スロットダイ110の移動方向(X方向)におけるスロットダイ110の一方の側に配置されている。本実施形態において、ガス供給ユニット170は、スロットダイ110の移動方向(X方向)に対してスロットダイ110の後端側(trailing side)に配置されている。代替的に、ガス供給ユニット170は、ガス供給ユニットスロットダイ移動方向(X方向)におけるスロットダイ110の前端側(leading side)に配置されてよい。ガス供給ユニット170は、ガス供給ユニット170の下面に形成された、よって、構築プラットフォーム120に面するよう配置された、1以上(1つ又はそれよりも多く)のガス供給ポート171を有する。
ガス供給ユニット170の構成は、図2の平面図にも見ることができ、図2には、ガス供給ユニット170が、構築プラットフォーム120に面するよう配置された複数のガス供給ポート171を有することが示されている。
代替的な構成では、例えば図2のガス供給ポート171によって覆われた領域に亘って延在する単一のガス供給ポートが設けられてよい。
各ガス供給ポートは、ガスの流れを拡散させるために、多孔質セラミック板のような多孔質部材を備えてよい。そのような構成は、スロットダイから堆積させられるガス噴流妨害材料の力を回避することができる。
ガス供給ユニット170は、ガス供給源(図示せず)に接続され、ガス供給源は、装置内に設けられてよく、或いは、例えば、装置110を据え付ける施設で提供される圧縮空気ラインまたは乾燥窒素ラインのような装置に対するサービスとして提供されてよい。
ガス供給ユニット170がスロットダイ110に固定されるので、スロット駆動キャリッジ駆動セクション150によってスロットダイ110の移動方向(X方向)に駆動されると、ガス供給ユニット110は、スロットダイ110と共に移動する。代替的に、様々な実施形態では、ガス供給ユニット170をその独自の独立したキャリッジに設けることができる。
同様に図1に示されているのは、投射ユニット160(projection unit)である。投射ユニット160は、スロットダイ110より上に設けられ、図1に示すような構成ではスロットダイ110の移動方向(X方向)と一致する第1の方向(X方向)における構築プラットフォーム120より上の移動のためにも配置される。投射ユニット160は、投射ユニットキャリッジ194によって支持され、以下において明らかな理由から、以下、投射ユニットキャリッジ194を投射ユニットY駆動キャリッジ194と呼ぶ。
投射ユニット160のための支持構成は、図2を参照して最も容易に理解されるであろう。投射ユニット160は、横方向(cross-direction)(Y方向)と呼ぶスロットダイ110の移動方向(X方向)に対して垂直な方向において移動可能に取り付けられる、投射ユニットY駆動キャリッジ194によって直接的に支持されている。
図1(及び図2)の実施形態において、投射ユニットY駆動キャリッジ194は、例えば、ラック及びピニオン駆動装置(rack-and-pinion drive)又は当技術分野で知られていることがあるような他の適切な駆動装置によって、構築プラットフォーム120より上で横方向(Y方向)に延びる投射ユニットY駆動レール194と協働する、Y駆動モータ(図示せず)を含む。例えば、代替として、ベルト駆動装置(belt drive)またはホイール及び表面駆動装置(wheel-and-surface drive)が、投射ユニット駆動キャリッジ194が投射ユニットY駆動レール194上で横方向(Y方向)において移動可能であることを許容するために均等に使用されることができる。
代替的な実施形態では、投射ユニットY駆動レールのうちの1つだけが設けられる必要がある、投射ユニットY駆動レール194は、投射ユニット160の横方向(Y方向)におけるいずれかの側に配置される投射ユニットX駆動キャリッジ193の間に延在する。
投射ユニットX駆動キャリッジ103は、それぞれ、投射ユニットX駆動レール192上のスロットダイ110の移動方向(X方向)において移動可能であるように配置される。この移動は投射ユニットY駆動レール194上の投射ユニットY駆動キャリッジ194の移動と類似の方法において駆動させられてよい。
投射ユニットX駆動レール192は、対応する投射ユニット駆動支持体191によって支持される。
投射ユニット駆動支持体191、投射ユニットX駆動レール192、投射ユニットX駆動キャリッジ193、投射ユニットY駆動レール194、および投射ユニットY駆動キャリッジ194は、全体的に、投射ユニット駆動セクション190を構成する。
投射ユニットX駆動レール192は、スロットダイ110の移動方向(X方向)に延び、スロットダイ110に対してスロットダイキャリッジガイド140に対して外向きに配置される。
また、図1に示すように、投射ユニット駆動セクション190および投射ユニット160は、スロットダイキャリッジ130およびスロットダイ110より上に配置される。しかしながら、この配置は必須でなく、同じ機能性のうちの少なくとも一部を達成する他の取付け構成が可能である。特に、投射ユニット160がスロットダイ110の移動平面に対して平行な平面内を移動する点において、投射ユニット駆動セクション190は、スロットダイキャリッジ駆動セクション150として対応する座標系に基づくX駆動レール192及びY駆動レール194を有するが、これは必須でない。投射ユニット160の移動のために、代替的な座標系が使用されてよい。例えば、投射ユニット160は、投射ユニットラジアル駆動レールに沿って移動するように配置される他のラジアル駆動キャリッジによって支持されることができ、次に、そのラジアル駆動レールは、投射ユニット160の位置が図1および図2に示すようにデカルト座標というよりもむしろ極座標に関して設定されてよいように、投射ユニット160の移動平面内の一方の端について回転するように配置される。
投射ユニット160は、投射孔161を有してよく、紫外放射、可視光放射、または電子ビーム放射のような放射線が、投射孔を通じて投射ユニット160より下に投射されてよい。投射ユニット駆動セクション190によって提供される投射ユニット160のための移動構成の結果として、放射線は、構築プラットフォーム120上のある範囲の地点より上の位置から投射されることがあり、その範囲は、二次元に広がる。故に、放射線は、所定の領域内の位置から投射されてよい。
同様に、図2を参照して最も容易に見られることがあるように、スロット134を有する。移動方向(X方向)におけるスロットダイ110の移動によって、構築プラットフォーム120上の全ての地点がスロット134の下方に配置されることがあるよう、スロットダイ110は、横方向(Y方向)に延在し、横方向において構築プラットフォーム120の全幅に亘って並びに全幅を越えて延在する。
図2に示すように、構築プラットフォーム120は、上方構築によって定められる平面(XY平面)において概ね長方形の断面を有し、その表面は、概ね平坦であり、スロットダイ110の移動方向(X方向)および横方向(Y方向)と整列させられる。しかしながら、他の実施形態において、構築プラットフォーム120の断面は、他の形状、例えば、正方形、円形、多角形、又はことによると必要とされる他の形状であってよい。
図2から同様に分かることは、構築プラットフォーム170の表面上の実質的に全ての場所にガスを供給することができるように、ガス供給ユニット170のガス供給ポート171が、スロットダイキャリッジ駆動セクション150による並びに構築プラットフォーム120の幅方向(Y方向)に亘るガス供給ポート171の配置によるスロットダイ110の移動を通じて、配置されることである。
代替的に、ガス供給ユニット170は、井戸124より上に移動可能に取り付けられなくてよいが、ガス供給ポートまたは複数のガス供給ポートが冷却ガスを井戸124の開放上方領域の実質的に全体に提供するように配置された状態で、井戸124に対して所定の位置に固定されてよい。例えば、1以上のガス供給ポートを、井戸124を取り囲んで、井戸124より上に配置して、冷却ガスを井戸124の周りの複数の位置から井戸124の開放上方領域の実質的に全体に内向き及び下向きに向けることができる。
また、図1に示すように、構築プラットフォーム121は、構築プラットフォームエレベータ122によって構築プラットフォーム上面121に対して垂直な方向(Z方向)に対して移動可能、特に交替可能である。構築プラットフォームエレベータ122は、図1に示すように、構築プラットフォーム下面123から構築プラットフォーム上面121に対して法線方向(Z方向)に延びるように配置される2つの列として形成され、構築プラットフォームエレベータ122の伸長および収縮を引き起こす駆動ユニと(図示せず)に連結される。
構築プラットフォーム120は、井戸124内に配置される。井戸124は、上部境界124aから、一定の内部断面で、構築プラットフォーム上面121に対して法線方向に延びる。井戸124の断面は、構築プラットフォーム上面121に対して法線方向(Z方向)における構築プラットフォーム120の断面と同じである。これは構築プラットフォーム120が構築プラットフォームエレベータ122によって井戸内で自由に昇降させられることを可能にする。
構築プラットフォーム120の縁と井戸124の壁との間を封止するために、構築プラットフォーム120に隣接するシール120aが設けられる。例えば、構築プラットフォーム120の周りに形成される溝内に設定されるOリングのような連続的な弾性ビードによってそのようなシールを提供することができる。代替的に、当該技術分野で知られているような弾力性ワイパまたは他のシールが設けられてよい。
上述の構成の代わりに、他の構成を設けることができ、構築プラットフォーム120が徐々に上昇させられるというよりもむしろ、スロットダイ110が徐々に下降させられることに留意のこと。これは構築プラットフォーム120に対する井戸124の対応する上昇する壁を用いて或いは用いないで達成されることがある。しかしながら、本構成は構築するのが特に簡単であると考えられる。
従って、スロットダイ110およびスロットダイキャリッジ駆動セクション150のような協働部品ならびに井戸124は、全て、工場床のような安定した表面で装置を支持する装置100(図示せず)のメインフレームによって支持され、構築プラットフォーム120、このメインフレームに対して引っ込められる。
図1に見えるように、井戸124の上部境界124aは、井戸124aの上部境界124aから離れる方向に下向きに傾斜した傾斜面124bを備える。結果的に、井戸124の内部断面の外側になる材料は、重力の影響下で、装置100の作業部から離れる方向に傾斜面を流れて、スライドして、或いは転動して下ることができる。
同様に図1に示されているのは、井戸124を取り囲むよう井戸124の壁に設けられた井戸冷却要素125である。1つの構成において、これらの井戸冷却要素125は、図示しないチラー(chiller)のような、冷却流体源から冷却流体を運ぶように構成されたチャネルであってよい。他の変形において、井戸冷却要素125は、ペルチエ冷却要素または当技術分野において入手可能なことがあるような他の冷却要素のような、熱電冷却器(熱電クーラ)であってよい。井戸冷却要素125は、井戸内から熱を除去するために、井戸の壁124が冷却されることを可能にする。
構築プラットフォーム120は、プラットフォーム冷却要素126の形態の冷却要素も備える。プラットフォーム冷却要素126は、構築プラットフォーム上面121より上の領域から熱を除去するように作用する。プラットフォーム冷却要素は、同じまたは異なる種類の冷却要素並びに冷却要素125であってよい。プラットフォーム冷却要素126は、構築プラットフォーム120内に埋め込まれる。いくつかの実施形態において、プラットフォーム冷却要素126は、構築プラットフォーム上面121の小さな距離だけ下方に位置付けられる。
次に、図3を参照して、スロットダイ110の動作を説明する。スロットダイ110は、主に2つの部分、即ち、第1のスロットダイ部分111および第2のスロットダイ部分112で形成される。第1のスロットダイ部分111および第2のスロットダイ部分112の各々は、スロットダイ100の全幅に延びるよう、横方向(Y方向)に配置される。第1のスロットダイ部分111及び第2のスロットダイ部分112は協働して、スロットダイの実質的に全長を走るスロットダイキャビティ113を定める。
スロットダイキャビティ113は、スロットダイキャビティ壁(図示せず)によって横方向両端(Y向両端)で閉塞される。スロットダイキャビティ113は、スロットダイ入口ポートを備えるスロットダイ110の頂部で開放し、スロットダイ入口ポートは、横方向(Y方向)においてスロットダイ110に亘る全幅に延びなくてよい。スロットダイキャビティ113は、横方向(Y方向)においてスロットダイ110の実質的に全幅に延びるスロット114で、スロットダイ110の底で開放する。よって、スロット114は非常に細長く、横方向において比較的長いが、移動方向において比較的狭い。
例えば、狭い細長いスロットを提供するために、スロット114は、10cmより長くてよく、500ミクロンより狭くてよい。いくつかの構成において、スロットは、300ミクロンより狭くてよく、250ミクロンより狭くてよく、200ミクロンより狭くてよく、或いは100ミクロンより狭くてよく、各々の場合において、その幅は、スロット114の伸長方向に対して垂直に測定される。本実施形態において、スロット114の伸長方向は、横方向(Y方向)に対応する。よって、スロット114は、横方向(Y方向)に向けられている。
もちろん、スロット114は、代替的に、横方向に対して角度付けられてよい。しかしながら、特定の実施形態では、スロットダイ110の移動方向(X方向)に対するスロット伸長方向の角度は、20度未満、15度未満、10度未満、または5度未満であってよいと考えられる。
いくつかの実施形態において、スロット114の幅は調整可能であってよい。例えば、第1のスロットダイ部分111と第2のスロットダイ部分112との間に追加的なシム(剛性スペーサ)を挿入して、スロットダイ部分を互いから分離させる一方で、スロットダイキャビティ113の実質的な完全性を維持して、スロット114の調整可能な幅が提供されてよい。
代替的に、弾力性スペーサ、例えば、ゴムキャスケット(rubber caskets)が設けられてよい。そのような構成を用いるならば、第1のスロットダイ部分111と第2のスロットダイ部分112との間に可変のクランプ力を加えて、弾力性スペーサを圧縮して、スロット114の縁を互いにより近づかせるために、止めネジまたは調整ボルトが設けられてよい。逆に、クランプ力を減少させることは、スロット114の縁が分離することを可能にする。
スロットダイ110は、スロットダイチャネル形成部材116を備え、スロットダイチャネル形成部材116は、キャビティ113を覆い、スロットダイチャネル形成部材116に形成されるチャネルとスロットダイ入口ポート115との間の連通を可能にする。スロットダイキャビティ113を充填するために、液体構造材料が、スロットダイチャネル形成部材116およびスロットダイ入口ポート115を連続的に通じて、ポンプ(図示せず)を介してポンピングされてよい。
スロット114は狭いので、スロットダイキャビティ113が比較的粘性のある液体で満たされるときでさえも、液体はスロット114での表面張力の作用によってスロット114を通じて漏れない傾向を有する。しかしながら、より多くの液体がスロットダイチャネル形成部材116およびスロットダイ入口ポート115を介してスロットダイキャビティ113にポンピングされると、スロットダイキャビティ113内の圧力が上昇し、次に、スロットダイキャビティ113内の材料はスロット114を通じて押し出される。
特定の種類の液体、特にいわゆる剪断減粘性液体(shear-thinning fluids)の場合、液体は、剪断ひずみを受けると、粘度の減少を示す。スロットダイ110は、スロットダイキャビティ113の断面積をキャビティ113の主要部分からスロット114まで漸進的に狭める傾斜面111を有する。キャビティ113の断面積は漸進的に制約されるにつれて、キャビティ113からスロット114に向かって流れる流体は、剪断する傾向を有する。よって、剪断減粘性流体は、適切に増大させられた圧力の下で、スロット114を通じて特別に容易に計量分配される(dispensed)。傾斜面111の圧力が存在しなくても、例えば、傾斜面111が1以上のステップで近似させられる(approximated)場合でも、この効果を観察することができる。
適切に高い圧力の下では、比較的高い粘性を有するにも拘わらず、非剪断減粘性流体(non-shear thinning fluids)さえも、スロット114を通じて成功裡に計量分配することができる。
スロットダイキャビティ113内で達成可能な典型的な圧力は、例えば、2バールを超える圧力を含む。
スロットダイ110は、スロットダイ加熱要素117も備え、本実施形態において、スロットダイ加熱要素117は、スロット114の近傍に配置される。スロットダイ加熱要素117は、スロットダイキャビティ113内の流体に、特にスロット114に接近している流体に、熱を提供する。スロットダイ加熱要素117は、例えば、熱電加熱要素、抵抗加熱要素、または高温流体源(図示せず)から供給される熱水または熱油のような加熱流体を運ぶチャネルであってよい。
3つのそのようなスロットダイ加熱要素117がスロットダイ110の各半分に示されており、合計で6個であるが、これは純粋に例示的であり、代替的な構成では、この数よりも多い又は少ない数が提供されてよい。例えば、そのような加熱要素は、スロットダイキャビティ113の一方の側または他方の側にのみ設けられてよい。
本実施形態において、スロットダイ加熱要素117は、スロットダイキャビティ113の頂部および底部に対してほぼ均等に離間して設けられる。従って、スロットダイ加熱要素117は、スロットダイキャビティ113の全高に熱を加えるように構成される。他の実施形態において、スロットダイ加熱要素117は、スロットの近くにのみ集中させられてよく、スロット114から比較的更に遠い位置ではより少なく密集して提供されてよく、或いは存在しなくてさえよい。
スロットダイ110が銅またはアルミニウムのような比較的高い熱伝導率の材料で作られるならば、スロットダイ110が鋼のような比較的より低い熱伝導率の材料で作られるときの状況と比べて比較的より少ないスロットダイ加熱要素117が設けられてよい。後者の状況では、比較的より多くのスロットダイ加熱要素117が設けられてよい。
いくつかの構成では、スロットダイ110の外部を熱損失に対して絶縁して、スロットダイ加熱要素117でスロットダイを加熱する効率を向上させてよい。
スロットダイ加熱要素117は、スロットダイキャビティ113内の流体の温度を上昇させて、スロット114を介した押出前にその粘度を減少させることができる。従って、スロットダイ要素117を使用して熱を加えることは、スロットを通じる流体の通過を制御することができ、且つ所与の速度でスロット114を通じて材料を押し出すために必要とされる圧力を減少させることができる。
他の実施形態において、スロットダイ加熱要素117は、第1のスロットダイ部分111および第2のスロットダイ部分112の一方または他方を通じて配置されてよい。
スロットダイ110は、スロットダイ振動器118aも備え、スロットダイ振動器118aは、第1のスロットダイ部分111の上に位置付けられ、スロットダイ振動器の駆動ロッド118bへの連結によって、第2のスロットダイ部分112に対して第1のスロットダイ部分111を振動させることができる。本実施形態において、スロットダイ振動器118aは、交互の押す力および引っ張る力をスロットダイ振動器の駆動ロッド118bに加え、駆動ロッド118bは、スロット114の縁を押して離すこと及び互いに引っ張ることを交互に行う。機械的手段によって、例えば、スロットダイ振動器118a内に配置されるスロットダイ振動器118bの端と接触するカムによって、電磁手段によって、例えば、スロットダイ振動器118a内に配置されるスロットダイ振動器駆動ロッド118bの端に連結されるソレノイドを交互に駆動させることによって、スロットダイ振動器118a内に配置される圧電素子がスロットダイ振動器駆動ロッド118bを交互に押すか或いは引っ張る圧電手段によって、そのような振動をもたらすことができる。過度のスロット114での振動ブレードの位置付けまたは単に全体としてスロットダイ全体に機械的振動を提供することを含む、他の振動機構も可能である。そのような振動は、表面張力を破壊する傾向を有し、材料がスロット114を通じてより容易に押し出されることを可能にする。
特定の流体中の低粘稠化(thinning)を誘発するために、振動、特に超音波振動を使用することもできる。いくつかの変形例では、これを達成するために、スロットダイ振動器118aは、高周波または超音波振動を提供するように構成されてよい。
スロットダイ振動器118aの作動を使用して、スロット114を介してスロットダイキャビティ113から流体を押し出すために必要とされる圧力を減少させてよく、或いはそのような押出しが生じる質量速度を変更してよい。
次に、図1も参照して、図3を使用して、装置100の層堆積動作を説明する。
装置100の層堆積動作の開始時に、スロット134が井戸124の上部境界124aの左手側(負のY方向側)に相対的に位置付けられるよう、スロットダイ110は開始位置にある。スロットダイキャビティ113を充填するために、所望の構成液体がスロットダイ入口ポート115を通じてポンプ(図示せず)を介してポンピングされ、加熱要素117およびスロットダイ振動器118aが起動させられる(アクティブ化される)。流体および所望の堆積速度に依存して、スロットダイ加熱要素117およびスロットダイ振動器118aが作動させられる必要はなく、一方または他方のみが作動させられてよいことは注目に値する。いくつかの状況では、スロットダイキャビティ113に材料をポンピングすることにより、スロットダイキャビティ113内の圧力を上昇させて、スロット114を通じたスロットダイキャビティ113からの構造材料の押出しを達成することで十分である。
材料の押出しがひとたび開始すると、井戸124に対するスロット114の位置の結果として、初めに押し出された材料は、傾斜面124bに落ち、重力の作用を通じて、装置100の作業部から運び去られる。ひとたび押出しが開始すると、スロットダイキャリッジ駆動セクション150は、スロット114が井戸124の上部境界124aの最も右側(正のX方向側)に位置付けられるまで、構築プラットフォーム120に亘って制御された速度でスロットダイ110を前進させるように、作動させられる。
ここで図3を参照すると、スロットダイ110が(図1のX方向に対応する)方向Aに移動すると、押し出された材料Mは、スロット114から構築プラットフォーム110上に堆積させられ、堆積層Lを形成する。
材料Mの押出速度は、材料Mの線形押出速度が方向Aにおいてスロットダイ110の移動速度に実質的に対応するか或いは実質的に同じであるように、方向Aにおけるスロットダイ100の移動と協調して制御されることができる。そのような協調の効果は、材料Mが、層Lとして、例えば、カーペットを展開するのと類似の方法において、構築プラットフォーム120上に堆積されることである。剪断力(または引張力(drag force))が、層Lの既に堆積させられた部分または構築プラットフォーム120に加えられる。
単一の層がひとたび堆積させられると、スロットダイ110は、スロットダイキャリッジ駆動セクション150によって初期の(最も左の、負のX方向)位置に戻されることがあり、更なる層が堆積させられることがある。比較的粘性のある堆積材料Mの場合でさえも、更なる層Lが、以前に堆積させられた層Lに実質的な力を加えることなく、以前に堆積させられた層Lの上に堆積させられることがある。
図1および図3において、プラットフォーム120からのスロット114の間隔は、参照の容易さのために誇張されている。1つの実施形態において、スロット114は、井戸124の頂部より上に短い距離だけ離間させられてよい。例えば、スロット114は、井戸124の頂部より上に1ミリメートル未満、500ミクロン未満、300ミクロン未満、200ミクロン未満または100ミクロン未満であってよい。
第1の層がひとたび堆積させられると、更なる層が堆積させられるのに十分な空間を可能にするために、構築プラットフォーム120は、次の層が堆積させられる前に、構築プラットフォームエレベータ122によって、層Lの厚さに対応する短い距離だけ引っ込められてよい。
いくつかの構成では、井戸124の壁が第1の層を安定させるように作用するよう、構築プラットフォーム120は、第1の層が堆積させられる前に、第1の層の厚さに相当する短い距離だけ既に引っ込められていてよい。他の構成では、各層は井戸の壁の上に堆積させられ、次に、層が井戸内に下降すると、井戸124の壁は層を安定させる。
そのようなプロセスによって、いくつかの層は、上層の体積が以前に堆積させられた層に力を加えることなく並びに以前に堆積させられた層を実質的に妨害することなく、順番に堆積させられることがある。
層堆積プロセスにおいて、押出速度は、250ミクロン未満、特に100ミクロン未満の厚さの層を適用するように選択されてよい。本実施形態において、層は、連続する層の間のように均一な厚さを有さなくてよいが、層厚は、必要に応じて変更されてよい。
そのようなプロセスが以前に堆積させられた層を妨害する最上層の堆積を回避する能力は、スロットダイ振動器118aの使用と関連する剪断減粘効果またはスロットダイ加熱要素117の使用と関連する熱効果の使用によって強化されることがある。
具体的には、押出直後の押出材料Mの粘度が、以前に堆積させられた材料の粘度よりも大きいならば、以前に堆積さられた層は、更なる層の堆積中に加えられる任意の力に対してより弾力性がある。
ここで図1を参照すると、井戸冷却要素125及び/又はプラットフォーム冷却要素126の使用は、それらの粘度が増加するよう以前に堆積させられた層を冷却することによって、以前に堆積させられた層の粘度を増加させることにおいて有利である場合があることが理解されるであろう。このアプローチは、更なる層Lの堆積によって妨げられない、安定した一連の層の形成に寄与することもできる。
この目的を達成するために、ガス供給ユニット170は、ガス供給ポート171を通じて冷却ガスを排出するために、堆積動作中の井戸124を横断するスロットダイ110の通過中に作動させられてよい。スロットダイ110がスロットダイ移動方向(X方向)において井戸124を横切って進行するときに、井戸124に向かって方向付けられる、ガス供給ポート171を通じる冷却ガスの適用は、層が堆積させられている間に層を急速に冷却する効果も提供することができる。
代替的に、ガス供給ユニット170を用いて冷却が堆積させられる材料に提供されない、井戸124を横断するスロットダイ110の材料堆積通過の後に、冷却ガスがガス供給ユニット170及びガス供給ポート171を介して供給されるスロットダイ110の引き続きの冷却通過が続くことができる。前述の変形例において、冷却ガスを井戸124の周りの複数の位置から実質的に井戸124の開放頂部領域全体に内向きに及び下向きに方向付けるために、ガス供給ポートが井戸124を取り囲んで井戸124より上に配置される、前述の変形の実施形態では、冷却ガスの流れが連続的に提供されてよい。
従って、開示の装置100のいくつかの特徴は、構築プラットフォーム120が井戸124内に徐々に降下するにつれて、構築プラットフォーム120上に安定した一連の層を形成することを可能にすることができる。
図4は、投射ユニット160の動作を説明している。投射ユニット160は、放射線ビームRが画像平面P上に投射されることがある投射ユニット孔161を有する。画像平面Pは、スロット114と構築プラットフォーム120との間に位置する堆積層Lの厚さ内の画像平面に対応する。画像平面Pは、通常、殆どは最近に堆積させられた層L内に含まれる平面に対応する。図4において、層Lは、構築プラットフォーム上面121上に、換言すると、第1の層として堆積させられている。しかしながら、図4に示す層Lは、前述の堆積プロセスの適用によって、層Lの堆積によって実質的に妨げられなかった、1以上の以前に堆積させられた層の上に同様に十分に堆積させられることができる。
図4に関する議論において、層Lは放射線Rの適用によって固体状態に硬化させられてよい粘性液体構成材料Mで形成されると仮定される。放射線Rは、例えば、紫外(UV)光であってよい。他の実施形態において、放射線Rは、極端紫外放射(EUV)光、X線放射、ガンマ放射、電子ビーム放射のような粒子放射、赤外放射若しくは熱放射、または可視光であってよい。放射の種類は、最新の堆積層Lを選択的に照射するよう制御された方法において方向付け得る限り、特に限定されない。
放射線ビームRが層Lの被照射領域に亘って均一な強度にあるならば、層Lの被照射領域の全体が硬化されるようになる。しかしながら、図4に示す構成では、放射線ビームRを層Lの特定の領域Bに選択的に適用して、それらの特定の領域のみを硬化させる一方で、結合されない他の領域Uを残している。図4の例では、放射線ビームRは、領域Bが高線量の放射を受け取り、領域Uが比較的低い線量の放射を受け取るよう、パターン化されており、比較的低い線量は、放射の線量がないことがある。よって、領域Bのみが放射線硬化されて固体状態になるのに対し、非結合領域U(unbound)は液体状態に留まる。放射線ビームRの強度は、層Lの全厚が硬化させられ、硬化させられた接続が下層の以前に硬化させられた部分に対しても行われる一方で、如何なる下層も実質的に硬化されないままであるよう、調整されてよい。
投射ユニット160は、投射ユニット駆動セクション190の作用によって井戸124より上に位置する平面(XY平面)全体内で、井戸124より上で移動可能であるので、投射ユニット160が任意の所与の時に放射線Rを投射することができる投射領域が、井戸124の断面積よりもずっと小さいことがあるとしても、放射線Rは、投射ユニット160をその移動平面(XY平面)内で移動させることによって、図5に示すように、井戸124内の層L上の一連のショット領域Sに順次式に適用されてよい。従って、井戸124内の層L上のあらゆる地点が硬化されることがある。
図5に示すように、ショット領域S(shot areas)は規則的に配置され、格子(グリッド)または行列(マトリクス)構成において離間させられてよい。しかしながら、これに当て嵌まらなくてもよい。
図5の構成において、ショット領域Sの外側の領域は未結合のままであり、ショット領域Sよりも断面寸法が大きい部分はない。従って、各ショット領域Sは、層Lより下の任意の層の結合領域と共に、層Lの結合領域(bound regions)によって形成される、製造されるべき部分に対応することがある。そのような構成において、その部分は、井戸124の深さに対応する最大長さを有することがあるが、断面寸法は、ショット領域Sの断面寸法内にあることがある。
代替的に、図6に示すように、ショット領域は、ステップアンドスティッチ投射モード(step-and-stitch projection mode)において部分的にオーバーラップさせられる或いは当接させられることがあり、層Lの実質的に全体は、放射線Rで露光されることがある。そのようなアプローチを用いるならば、ショット領域Sは、個々のショット領域Sの寸法よりも大きい寸法を有する一体的な物体の部分に対応することがある。
投射ユニット160の上述の構成が井戸124より上で移動可能であるべきことを考慮すると、放射線ビームが発生する点を定める投射孔161のような、投射ユニット160の投射位置のみが、井戸124より上で移動可能であることも等しく可能である。例えば、放射線Rが生じる放射源は、井戸124に対して固定された場所に設けられてよく、或いは装置100の外部に設けられてさえよい。次に、放射線Rは、導波路、光ファイバ、ミラー又は同等物のような、適切な放射ガイドを介して、投射のために投射孔161に誘導されてよい。ガイドの適切な構成によって、放射源および関連する光学部品は固定されてよいが、放射線が層Lに投射される投射位置は移動可能であってよい。
更なる変形例では、放射線を放射源から投射位置に導くために、ガイドのうちの1以上は、ある経路内で、或いは平面(XY平面)内の軸又は投射位置の移動の平面(XY平面)内の他のもの外の他の軸に沿って移動可能であってよい。例えば、ガイドのうちの1以上は、垂直平面(XZ平面またはYZ平面)内で、または平行な軸(X軸、Y軸)若しくは垂直な軸(Z軸)に沿って、移動可能であってよい。そのような構成において、ガイドは、投射位置が移動する井戸124より上の領域の一方の側にまたはその領域から離れる方向に移動可能に配置されてよい。移動可能な投射位置は、映写レンズ(projection lens)またはリレーミラー(relay mirror)のような光学素子によって定められてよい。
図1乃至図6に関連して装置を記載するとき、投射ユニット160は、小さなショット領域Sのみを正確に照明することができると仮定した。他の実施形態では、投射ユニット160は、例えば、中心照明位置から移動することなく、層Lの全体又は実質的に全体を照明することができることが提供されてよく、中心照明位置は、井戸124の中心より上にあってよい。そのような構成において、投射ユニット160は、装置メインフレームに対して固定されてよく、その場合、投射ユニット駆動セクション190が設けられる必要はない。しかしながら、小さな部品を製造するためには、非常に高解像度の投射システムを有することが必要なことがあり、その場合には、図1乃至図6に関連して示し且つ記載した移動投射ユニット160を設けることがより実際的なことがある。
図4を参照すると、投射ユニット160は、放射線Rでショット領域Sの実質的に全てを同時に照明してよく、或いは少なくともショット領域R内の様々な分散位置に放射を同時に提供して、ショット領域Rにパターン画像を効果的に適用してよい。図7は、ショット領域Sのそのような同時照明を可能にすることがある投射ユニット160の内部構成を示している。
図7において、投射ユニット160は、層Lを形成する材料Mを硬化させるために、エネルギ、波長及び/又は強度のような、適切な特性の放射線Rを生成する、照明源162を含む。照明源162’は、例えば、レーザまたは発光ダイオード(LED)であってよく、特に紫外線レーザまたは紫外線発光ダイオード(LED)であってよい。電子ビーム放射について、照明源は、電子ビーム発生装置であってよい。照明源162からの放射線Rは、空間光変調器164を照明するコリメートされたビームを形成するよう、成形レンズ163(shaping lens)によって成形される(shaped)。
空間光変調器164は、照明された領域および照明されていない領域のパターンを定めるパターニング要素として働く。例えば、空間光変調器は、可動ミラーの行列(マトリクス)を提供してよく、可動ミラーは、第1の向きと第2の向きとの間で移動可能であり、第1の向きは、照明源162からの放射を、大きな角度で投射ユニットの光軸AX及び放射が方向付けられる他の方向に偏向し、或いは小さな角度で光軸AXに偏向する。しかしながら、放射線ビームをパターニングするために、可変透過マスクを使用する空間光変調器のような空間光変調器の他の変形も当該技術分野において知られており、開示の構成に適用されてもよい。
光軸AXに対して小さな角度で向けられた放射線Rは、最終投射要素166を通じて放射線Rを誘導する第1の投射光学要素165によって捕捉される。最終投射要素168は、層Lで空間光変調器164の画像を形成するよう、投射孔161内に配置される。
従って、空間光変調器164は、第1の投射要素165と最終投射要素166とを含む投射光学によって層Lの上に転写されるパターンまたは画像を定める。しかしながら、投射光学の精密な構造は、例示的であるに過ぎず、当業者によって十分に理解されるように、画像が空間光変調器164によって定められ、次に、平面上に投射されることを可能にする、他の光学的構成が、可能である。
従って、投射ユニット160をデジタル光プロセッサ(DLP)として実施することができる。
紫外放射または可視光放射のような荷電された電磁放射が使用されるときには、図7に示す投射ユニット160の着想が採用されてよい。特に、紫外放射または可視光放射は、ミラー面によって容易に反射させられ、従って、紫外放射または可視光放射は、可動ミラーを含む空間光変調器によって容易にパターン化される。
しかしながら、図8を参照すると、代替的な種類の投射ユニット160’が投射ユニット160の代わりに使用されてよい。投射ユニット160’は、放射線ビームRを生成する照明源162’も含む。照明源162’は、狭い直径のコリメートされたビームを提供するよう、ビーム成形光学163’によって成形される、放射を生成する。例えば、ビーム成形光学163’は、照明源162’の出力を取ってよく、円形またはガウス形態の放射線ビームRを生成してよい。そのようなビームは、例えば、直径が10ミクロン未満であってよく、或いは直径が1ミクロン未満であってよい。
次に、放射線ビームRは、折畳みミラー164’の作用によって、第1の操縦ミラー165’(第1のステアリングミラー)の上に導かれ、第1の操縦ミラー165’は、第1の軸の周りでビームを走査(スキャン)するために、ビームを可変角度で第1の方向に偏向させる。第1のステアリングミラー165’は、例えば、検流計スキャナであってよい。次に、第1のステアリングミラー165’からのビームは、第2の操縦ミラー166’(第2のステアリングミラー)に導かれ、第2の操縦ミラー166’は、放射線ビームRを、第1のステアリングミラー165’の第1の軸に対して垂直であってよい第2の軸について偏向させる。第2の操縦166’は、検流計スキャナであってよい。次に、放射線ビームRは、放射線ビームRが層Lに適用される前に、孔161’を通じて方向付けられる。
投射ユニット160’の構成を使用するならば、放射線ビームRは、一度にショット領域Sの全体を照明することができず、むしろ連続的な時にショット領域S内の任意の点に向けられることがある。よって、放射線ビームRは、例えば、ラスタ式に、ショット領域Sの上を走査して、第1の操縦ミラー164’および第2の操縦ミラー165’の案内の下で行毎に進行的に走査してよい。ショット領域S上のラスタ式のビーム走査を用いるならば、ショット領域内の層Lの部分を選択的に照明するために、ビームが走査されるときに、照明源162’自体がパルス化されてよい。代替的に、折畳みミラー164’は、ビームが第1の操縦ミラー165’に向けられる第1の位置と、ビームが第1の操縦ミラー165’から離れる方向に向けられる第2の位置との間で切り替え可能であってよく、それにより、放射線ビームRを選択的に中断してよい。
変形の構成において、ビームは、層L上のパターン、ラスタというよりもむしろ、ベクトルを定めるよう操縦可能である。
電子ビーム放射のような荷電粒子放射が使用されるときには、図8に示す投射ユニット160’の着想が採用されてよい。特に、電子ビーム放射は、磁場によって容易に偏向させられ、従って、電子ビーム放射は、投射領域に亘って容易に走査される。
図7および図8の構成は例示的であり、投射ユニットで層の部分を選択的に照明する他のアプローチが当該技術分野内で利用可能である。
図9Aは、図7または図8の原理に従って動作することがある投射ユニット260が、例えば、ガスフード267を備える、図4の構成に基づく変形の実施形態を示している。ガスフード267は、投射ユニット260によって投射される放射線ビームRのうちの少なくとも一部を取り囲むように位置付け可能なカップ状の部材である。
ガスフード267は、典型的には1cm〜1mmの間の小さな間隙Gがフードの下面267aと堆積層Lとの間に存在するように、位置付け可能である。
ガスフード267は、下面267aによって境界付けられた下方開口267bを有する。ガスフード267は、ガスフード267の上面267dによって境界付けられた上方開口267cも有する。下方開口267bは、放射線ビームRの意図された投射領域の全体より上の領域を取り囲むような適切な形状および寸法にされる。上方開口267aは、本実施形態において、投射ユニット260の少なくとも一部分を取り囲むような形状及び寸法にされる。上方開口267aは、例えば、投射ユニット260の部分にぴったり適合してよく或いは投射ユニット260の部分を封止してよい。従って、ガスフード267は、投射ユニット260と層Lとの間で実質的に放射線ビームRの全体を取り囲む。
ガス供給ユニット170と同様に、ガスフード267は、ガス供給源(図示せず)に接続され、ガス供給源は、装置内に設けられてもよく、或いは、例えば、装置が据え付けられる施設で提供される圧縮空気ラインまたは乾燥窒素ラインのような、装置へのサービスとして提供されてよい。ガスフード267は、ガスがガス供給源からフード267の内部に供給されることを可能にする1以上のガス供給ポート268を有する。各ガス供給ポート268は、ガスの流れを拡散させる、多孔質セラミック板のような、多孔質部材(図示せず)を備えてよい。そのような構成は、フード内の乱流を回避することがある。
ガスフード267は、投射ユニット260の本体に固定構成において配置されてよく、或いは格納可能であってよい。本実施形態において、ガスフード267は、格納可能である。具体的には、ガスフード267は、投射ユニット267の本体とガスフード267との間に配置された引込みユニット269によって引き込まれてよい。ここで、引込みユニット269は、例えば、ロッドまたはケーブルによって、ガスフード267の下端に接続される、ユニットであり、ガスフード267の下端に上向きの力を加えることによって、ガスフード267の下面267aを、図9A中のラベル付けられていない矢印の方向に沿って、層Lから垂直に上昇させる、ユニットである。この実施形態では、ガスフード267の頂部が投射ユニット260に取り付けられ、ガスフード267の少なくとも側壁367eは、フレキシブル(可撓)またはベローズ構造であるので、ガスフード267は、図9Aに示す拡張状態からコンパクト状態に収縮されてよい。ガスフード267を収縮させる他の構成が可能である。
引込みユニット267は、スロットダイ110が下方を通過できるよう、ガスフード267を層Lから離れる方向に上昇させるように作動させられてよい。従って、スロットダイ110が投射ユニット260と構築プラットフォーム121との間を通過するときに、ガスフード267とスロットダイ110との間の機械的干渉を回避することが可能である。
代替的な構成において、投射ユニット260全体は、ガスフード267の間の干渉を避けるために引っ込み可能であってよく、或いは、ガスフード267はフレキシブルでなくてよく或いはベローズ構造でなくてよいが、剛的であってよく、投射ユニット260を下から持ち上げることによって引っ込められてよい。
ガス、任意的に、冷却ガス、および、任意的に、窒素のような酸素処理されていないガス又は不活性ガスが、ガスポート268を介してガス供給フードの内部に導入されるときには、放射線ビームRが加えられると、層Lの改良された硬化挙動を得ることができる。特に、特定の放射線硬化性ポリマーは、遊離酸素の不存在の下でより均一にかつ再現可能に硬化する。従って、硬化時のひずみを回避することができ、不完全なまたは過度の硬化の発生を削減することができる。また、硬化プロセスは層Lを加熱することができるので、ポート268を通じて導入される冷却ガス流は、層Lから余分な熱を除去することができる。
図9Bは、投射ユニット360がガスフード367の代替的な構成を備える、図9Aの構成に基づく更なる変形の実施形態を示している。ガスフード367は、投射ユニット360によって投射された放射線ビームRの少なくとも部分を取り囲むように位置付け可能なキャップ状の部材である、図9Aに示すガスフード267と類似している。図9Aに示すガスフード267に関して、ガスフード367は、ガスがガス供給源からフード367の内部に供給されることを可能にする、1以上のガス供給ポート368を有する。
しかしながら、ガスフード367は、図9Aに示すガスフード267よりも下面と上面との間で短く、よって、放射線ビームRの下部のみを取り囲む。ガスフード367は、ガスフード内のガス及び放射線ビームRが層Lに達することを可能にするよう、下面367aによって境界付けられた下方開口367bを有する。ガスフード367は、ガスフード367の上面367dによって境界付けられた上方開口367cも有する。下方開口367bは、意図される投射領域の全体より上の領域を取り囲む適切な形状及び寸法にされている。上方開口367aは、本実施形態において、放射線ビームRが通過するのを許容するような形状および寸法にされている。
また、上方開口367aは、本実施形態において、放射線ビームRが通過するのを可能にするが、フード内からのガスの逃げを回避する、放射線透過部材367fを備える。例えば、放射線透過部材367fは、ここでは、石英または蛍石プレートのような透明な板として示されている。
他の実施形態において、ガスの漏れが問題と考えられないならば、開口367cは、遮断(ブロック)されないままであってよい。代替的に、開口367cは存在することができず、代わりに、ガスフード367全体またはガスフード367の上面367dのような適切な部分が放射線を透過させることができる。例えば、ガスフード367は、石英または蛍石で作られてよく、或いは石英または蛍石の上部または蓋を有してよい。
ガスフード267とは対照的に、ガスフード367は、投射ユニット360の本体とガスフード367との間に配置される引込みユニット369を介して、層Lより上にある小さな間隙Gで懸架されている。ガスフード267のためのガスフード267に関して、間隙Gは、典型的には、1cmと1mmとの間にあってよい。引込みユニット369は、スロットガイド110が下方を通過することができるよう、ガスフード367の全体を層Lから離れる方向に上昇させるように作動させられてよい。この構成において、ガスフード367は、部分的にまたは全体的に可撓性である必要はなく、或いはベローズ構造を有する必要はないが、剛性であってよい。
図9Bにおいて、ガスフード367は、投射ユニット260によって支持されているが、変形の実施形態において、ガスフード367は、他の部材によって別個に支持されてよい。例えば、適切な時に意図される投射領域より上にガスフード367を導入し且つ除去するために、投射ユニット駆動セクション190に対する類似の機構が設けられてよい。
図9Aの構成におけるように、スロットダイ110が投射ユニット260と構築プラットフォーム121との間を通過するときに、ガスフード267とスロットダイ110との間の機械的干渉を回避することが可能である。
従って、スロットダイ110を使用して放射線硬化性材料の層を堆積させ、次に、その層の選択的な部分を投射ユニット160で連続的に硬化させることによって、並びに、物体が層毎に構築されるようこのプロセスを繰り返すことによって、各層の部分は互いに接合され、下層の部分と接合され、物体全体を構築することができる。開示する構成を使用するならば、上層を堆積する間でさえも、下層内の未硬化材料の乱流は回避される。
加えて、堆積層L内の結合領域のパターンを定めるために投射ユニット160を使用することによって、複数の露光技術を利用して変形を減少させることができる。特に、層Lの広い領域が互いに硬化させられるとき、硬化させられる部分は収縮または膨潤して、ひずみをもたらす傾向を有することがある。従って、ショット領域の単一の露光というよりもむしろ、単一のショット領域の複数の露光が行われてよく、その場合、ショット領域内の全体的な接続パターンは、重ね合わされるときに接続構造を形成する、一連の画像から構築される。このアプローチは、全体的なひずみを減少させるという利点を有する。
例えば、図10Aに示すように、円形領域Cがショット領域S内で硬化されるべきならば、例えば、チェッカー盤パターンを円C内に定めることができ、次に、チェッカー盤パターンの偶数番号の正方形1が第1の部分露光において第1に照明されてよく、次に、チェッカー盤の奇数番号の正方形2が、第1の部分露光に重ね合わされた第2の部分露光において露光されてよい。奇数番号の正方形2の硬化は、偶数番号の正方形内の以前に硬化させられた材料を一緒に接続する。いくつかの状況において、チェッカー盤パターンの正方形は、160まで投射を介して画像投射されるべき画像全体のピクセルに対応してよい。また、そのようなアプローチを適用することによって、収縮の全体的な程度および硬化に起因する層内の全体的な結果として生じる力は減少させられ或いは排除されることがある。
これは単一の露光において円Cの全体を硬化させることに比べてひずみを低減させることがある。
図10Bに示す他のアプローチでは、いくつかの画像が重ね合わされ、それらの各々は、円Cを定めるピクセルnの擬似乱数サブセットを含む。他のアプローチも可能である。このアプローチによっても、収縮の全体的な程度および硬化に起因する層内の全体的な結果として生じる力が減少させられ或いは排除されることがあり、そして、ひずみが減少させられることがある。
図11は、装置100の全体的な制御を示す制御概略図を示している。図11に示す制御概略図は、別個のハードウェアとして提供されてよく、或いは全体的な産業制御システムまたはマイクロコンピュータ内の統合された或いは別個のソフトウェアモジュールとして提供されてよい。
全体的なシステム制御ユニットCONTは、通信インタフェースCOMMを介して装置100の動作に関する命令を受信する。通信リンクCOMMは、装置100の動作についての命令を含むクライアントコンピュータへのネットワークリンクであってよく、ネットワークリンクは、例えば、オブジェクトを、例えば、オブジェクト定義データに従って預けられ、次に、順次選択的に結合されるべき一連の層Lとして定義する、オブジェクト定義データを含んでよい。オブジェクト定義データは、例えば、画像のシーケンスであってよく、或いは、代替的に、ボクセルデータであってよく、或いは、他の形態のオブジェクト定義データは、当該技術分野において知られていることがある。代替的に、通信リンクCOMMは、対話型装置制御セッションをユーザに提供する対話型入出力デバイスに接続されるバスであってよい。代替的に、通信リンクCOMMは、ローカル記憶装置または装置100の動作についての命令を提供する産業コントローラとのリンクであってよい。これらの命令は、例えば、実行されるべき動作のシーケンスを定義するレシピを共に形成してよい。
制御ユニットCONTは、投射ユニット駆動セクション190および投射ユニット160を制御する投射コントローラPROJに接続される。従って、投射制御ユニットPROJは、投射ユニット160の位置、および任意の所与のショット領域に投射されるべきパターン、並びに、例えば、露光時間、適切な場合には走査速度、適切な場合には放射線波長またはエネルギ、放射線ビーム寸法および形状、および他の放射特性のような、投射ユニット160の動作の他の態様を制御する。また、投射コントローラPROJは、投射されるべき大きな画像を、図6に示すようなステップアンドスティッチアプローチのために部分的に重ね合わされるべき一連のより小さな画像に分断するように構成されてよく、或いは、ショット領域Sを、図10A及び図10Bを参照して記載したように、互いに積み重ねられるべき部分画像の連続に分断してよい。
制御ユニットCONTは、ポンプコントローラPUMPにも接続され、ポンプコントローラPUMPは、例えば、スロットダイ110に送達される材料の質量流量またはポンプの内部若しくはスロットダイキャビティ113の内部で得られる圧力に関して、ポンプ(図示せず)の動作を制御する。
制御ユニットCONTは、スロットダイ駆動コントローラDRIVEにもつながり、スロットダイ駆動コントローラDRIVEは、移動方向においてスロットダイ110を位置つけるよう、スロットダイキャリッジ駆動セクション150を制御する。
制御ユニットCONTは、図3に関連して説明したように、材料Mの押出し速度とスロットダイ110の移動速度との間の対応を達成するために、ポンプコントローラPUMP及びスロットダイ駆動コントローラDRIVEの動作を調整してよい。
制御ユニットCONTは、層堆積のための適切なパラメータを達成するために、スロットダイ加熱要素117、スロットダイ振動器118a、およびプラットフォーム冷却要素126及び井戸冷却要素125並びにガス供給ユニットをそれぞれ制御する、ヒータコントローラHEAT、振動コントローラVIBおよび冷却コントローラCOOLにも接続される。
図100の装置の動作についてのフローチャートを図12に示し、以下に記載する。
層堆積ステップS1において、図1乃至図3に関連して説明したように、押し出された構造材料の層を支持面より上に堆積させるために、移動方向において支持面より上で支持面に亘ってスロットダイを相対的に移動させる間に、スロットダイを用いて放射線硬化性構造材料を支持面より上で押し出す。
硬化ステップS2において、図4乃至図8と関連して説明したように、放射線を、支持面とスロットダイとの間の構造領域に選択的に投射し、それにより、押し出された構造材料の部分を硬化させ、物体の部分を形成する押し出された層の領域を定める。
分離ステップS3において、図1乃至図3と関連して説明したように、スロットダイ及び支持面をスロットダイと支持面との間で分離方向に移動させる。
所望の物体が層に亘って並びに層の間に延在する構造材料の連続的な硬化部分によって形成されるまで、ステップS1乃至ステップS3を繰り返す。
この装置および方法は、金属またはセラミックの粉末粒子の懸濁液の堆積に特に適用可能である。特に、この装置および方法は、硬化可能な、特に紫外線硬化性または電子ビーム硬化性液相中に分散された炭化物、酸化物または窒化物セラミックに適用可能である。1つの例示的な懸濁液は、硬化してポリマーを形成する、任意的に光開始剤を含む、モノマー及び/又はオリゴマーの液体混合物中のそのような粒子の懸濁液である。そのような懸濁液は、しばしば粘性が高く、従来的な液体堆積手段を介して取り扱うことが困難である。懸濁液中、粒子は、5ミクロン未満の平均直径、或いはそれどころか2ミクロン未満の平均直径を有してよい。そのような材料を構造材料として採用することは、硬化性バインダの殆どまたは実質的に全てが焼結プロセス中に除去される或いは分解される、金属またはセラミック部品を提供するよう、引き続き一緒に焼結することができる硬化物体を形成することができる、方法および装置を提供することができる。粉末粒子がセラミック粒子であるときには、代替的に、セラミックの他の例、例えば、ホウ化物およびケイ酸塩を、制限なしに使用することができる。
このアプローチは、未硬化の液体を単に除去して再使用することができる一方で、硬化した物体を原則として液体から除去し、洗浄後に、直ちに使用することができるという利点を有する。
上記の開示は、純粋に例示的であり、当業者は、現地の要求および工学的慣行ならびに材料および部品の入手可能性に従って変更されてよい。従って、本発明は、添付の請求項の精神および範囲によってのみ定められると考えられる。

Claims (15)

  1. 支持面と、
    スロットダイであって、スロットダイの下面に形成されるスロットと連通する内部キャビティを有する、スロットダイと、
    該スロットダイを支持するキャリッジであって、移動方向における前記支持面に亘る並びに前記支持面より上の前記スロットダイの移動を可能にするように配置されるキャリッジと、
    前記移動方向における前記キャリッジの前記移動を駆動するように配置される駆動機構と、
    前記支持面と前記スロットダイとの間の構造領域に放射線を選択的に投射する投射ユニットと、
    少なくとも前記駆動機構を制御するように構成されるコントローラとを含み、
    前記スロットダイ及び前記支持面は、前記スロットダイと前記支持面との間で分離方向において相対的に移動可能であり、
    前記スロットは、前記スロットダイを形成する第1のスロットダイ部材と第2のスロットダイ部材とによって定められ、前記スロットダイは、前記スロットの縁を互いに対して振動させる振動器を備えることを特徴とする、
    添加物製造装置。
  2. 当該添加物製造装置は、前記構造領域から熱を除去する冷却ユニットを備え、
    前記冷却ユニットは、任意的に、少なくとも1つのガス供給ポートを含み、該少なくとも1つのガス供給ポートは、ガス源に接続可能であり、前記構造領域に向かってガスを吹き付けるように構成される、
    請求項1に記載の添加物製造装置。
  3. 前記コントローラは、押出の容積流量及び前記キャリッジの移動速度を互いに比例して制御する、ように構成されるか、或いは、
    前記コントローラは、押出の線形速度及び前記キャリッジの移動速度が互いに等しくなるように制御する、ように構成される、
    請求項1又は2に記載の添加物製造装置。
  4. 当該添加物製造装置は、井戸と、エレベータ機構とを含み、前記支持面は、前記エレベータ機構によって、前記分離方向において前記井戸内に移動可能であり、
    前記井戸は、任意的に、内壁を有し、前記支持面は、前記内壁を封止する縁シールを備え、
    前記井戸の頂部は、前記井戸の前記頂部から離れる方向に下向きに傾斜する傾斜面によって取り囲まれる、
    請求項1乃至3のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  5. 前記井戸は、前記井戸の壁を冷却する1つ又はそれよりも多くの冷却要素を備える、請求項4に記載の添加物製造装置。
  6. 前記支持面は、前記支持面から熱を除去する1つ又はそれよりも多くの冷却要素を備える、請求項1乃至5のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  7. 前記1つ又はそれよりも多くの冷却要素は、冷却源に接続可能であり、冷媒を運ぶように構成される、チャネルを含み、
    前記1つ又はそれよりも多くの冷却要素は、熱電冷却器を含む、
    請求項5又は6に記載の添加物製造装置。
  8. 前記制御ユニットは、前記駆動機構に従って前記投射ユニットを制御して、一連の異なる部分画像を異なる時に前記支持面に亘って投射する、ように構成され、各部分画像は、1つ又はそれよりも多くの他の部分画像とオーバーラップする、請求項1乃至7のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  9. 前記制御ユニットは、各部分画像が隔離されたピクセルを含むように、並びに前記部分画像がオーバーラップさせられるときに前記隔離されたピクセルが前記複数の部分画像のうちの他の部分画像によって接続されるように、前記投射ユニットを制御する、ように構成される、請求項1乃至8のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  10. 前記制御ユニットは、前記部分画像の各々が、前記複数の画像の残余の1つ又はそれよりも多くのパターンと組み合わさるパターンを有して、均一な被照射領域を形成するように、前記投射ユニットを制御する、ように構成され、
    前記パターンは、任意的に、疑似乱数パターン又はチェッカー盤パターンである、
    請求項1乃至9のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  11. 前記投射ユニットの投射領域にガスを供給するためのガスフードを更に含む、請求項1乃至10のうちのいずれか1項に記載の添加物製造装置。
  12. 前記ガスフードは、前記投射ユニットから懸架され、及び/又は、
    ガスフードは、前記支持面から離れる方向に後退可能であり、及び/又は、
    前記ガスフードは、前記投射ユニットから投射される前記放射の少なくとも一部分を実質的に取り囲むように配置され、及び/又は、
    前記ガスフードは、前記投射領域に面するように配置される下方開口を有し、及び/又は、
    前記ガスフードは、前記投射ユニットから投射される前記放射が通過することを可能にする上方開口を有し、及び/又は、
    前記上方開口は、任意的に、放射線透過板を備え、及び/又は、
    前記ガスフードの上部は、前記投射ユニットから投射される前記放射線が通過するのを可能にするよう放射線を透過し、及び/又は、
    前記ガスフードは、不活性ガスを供給するように構成され、及び/又は、
    前記ガスフードは、冷却ガスを供給するように構成される、
    請求項11に記載の添加物製造装置。
  13. 順次式に堆積させられる構造材料の層から物体を形成する方法であって、
    押し出される構造材料の層を支持面より上に堆積させるために移動方向において前記支持面に亘って並びに前記支持面より上でスロットダイを相対的に移動させながら、前記スロットダイを用いて前記支持面より上に放射線硬化性の構造材料を押し出す、ステップであって、前記スロットダイは、前記スロットダイの下面に形成されるスロットと連通する内部キャビティを有する、ステップと、
    前記支持面と前記スロットダイとの間の構造領域に放射線を選択的に投射することにより、前記押し出される構造材料の部分を硬化させて、前記物体の部分を形成する前記押し出される層の領域を定める、ステップと、
    前記スロットダイと前記支持面との間で分離方向において前記スロットダイ及び前記支持面を相対的に移動させる、ステップと
    を繰り返し含み、
    当該方法は、前記スロットの縁を互いに対して振動させるステップによって特徴付けられる、
    方法。
  14. 前記粘着性の構造材料は、放射線硬化性液体媒体中の液体材料の懸濁液であり、
    前記粒子材料は、セラミック又は金属粉末であり、
    前記液体媒体は、ポリマーを形成するよう放射線硬化性であり、
    前記粒子材料は、5ミクロン未満の、任意的に2ミクロン未満の、平均直径を有する、
    請求項13に記載の方法。
  15. 前記放射は、紫外光放射、可視光放射又は電子ビーム放射である、請求項13又は14のうちのいずれか1項に記載の方法。
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