JP6967068B2 - ヒータ素子アレイを使用する、基板キャリアの温度測定 - Google Patents
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Description
[0001]本出願は、「ヒータ素子アレイを使用する、基板キャリアの温度測定(TEMPERATURE MEASUREMENT FOR SUBSTRATE CARRIER USING A HEATER ELEMENT ARRAY)」と題された2016年8月19日出願の米国特許出願第15/241,379号(その優先権は本書によって請求される)に対して、優先権を主張するものである。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
(態様1)
処理中に、キャリアに取り付けられた基板の温度プロファイルを特定するための方法であって、
前記キャリアにおける複数の加熱素子の各々の第1の複合電流負荷を測定することと、
前記複数の加熱素子のうちの第1加熱素子の電力状態を変更することと、
前記第1加熱素子の電力状態を変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第2の複合電流負荷を測定することと、
前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の差異を特定することと、
前記差異を使用して、前記第1加熱素子の温度を特定することと、
前記第1加熱素子の電力状態を前記変更の前の状態に戻し、かつ、前記複数の加熱素子のうちの他の加熱素子の各々について、電力の変更、電流負荷の測定、差異の特定、及び温度の特定を繰り返して、前記複数の加熱素子の各々における温度を特定することとを含む、方法。
(態様2)
前記キャリアにおける前記複数の加熱素子の各々の第1の複合電圧負荷を測定することを更に含み、温度を特定することが、前記第1の複合電圧を使用することを含む、態様1に記載の方法。
(態様3)
前記複合電流負荷の差異を使用して抵抗を特定することを更に含み、温度を特定することが、特定された前記抵抗を使用して温度を特定することを含む、態様1に記載の方法。
(態様4)
温度を特定することが、前記特定された抵抗に直線係数を適用することを含む、態様3に記載の方法。
(態様5)
電力状態を変更することが、前記複数の加熱素子のサブセットの電力状態を変更することを更に含み、温度を特定することが、前記複合電流負荷の差異を前記サブセットの前記加熱素子の間で分散させることと、分散された前記電流の差異を使用して温度を特定することとを含む、態様1に記載の方法。
(態様6)
前記第1加熱素子の電力状態を変更することが、前記第1加熱素子に、ゼロデューティサイクルを有するパルス幅変調信号を送信することを含む、態様1に記載の方法。
(態様7)
前記第1の複合電流を測定する前に、前記複数の加熱素子の各々に電力供給することを更に含み、電力状態を変更することが、前記第1加熱素子から電力を除去することを含む、態様1に記載の方法。
(態様8)
前記第1の複合電流負荷を測定することが、前記抵抗加熱素子が前記第1加熱素子を除いてオン状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記第1加熱素子をオン状態に変更することを含む、態様1に記載の方法。
(態様9)
前記第1の複合電流負荷を測定することが、処理チャンバ内での温度制御されたプロセスの通常稼働中、前記抵抗加熱素子がオン状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記プロセス中に前記第1加熱素子の電力状態を電力が増大したオン状態に変更することを含み、更に、
前記第2の複合電流負荷が測定された後に、前記第1加熱素子の電力状態をオフ状態に変更することと、
電力状態を前記オフ状態に変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第3の複合電流負荷を測定することとを含み、
前記差異を特定することが、前記第2の複合電流負荷と前記第3の複合電流負荷との間の差異を特定することを含む、態様1に記載の方法。
(態様10)
前記第1の複合電流負荷を測定することが、処理チャンバ内でのプロセス中、前記抵抗加熱素子がオフ状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記プロセス中に前記第1加熱素子の電力状態をオン状態に変更することを含む、態様1に記載の方法。
(態様11)
前記複合電流負荷を測定することが、前記抵抗加熱素子の各々に電力供給する電力供給源において、電流負荷を測定することを含む、態様1に記載の方法。
(態様12)
命令を有している機械可読媒体であって、機械によって動作させられると、前記機械に、
基板キャリアにおける複数の加熱素子の各々の第1の複合電流負荷を測定することと、
前記複数の加熱素子のうちの第1加熱素子の電力状態を変更することと、
前記第1加熱素子の電力状態を変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第2の複合電流負荷を測定することと、
前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の差異を特定することと、
前記差異を使用して、前記第1加熱素子の温度を特定することと、
前記第1加熱素子の電力状態を前記変更の前の状態に戻し、かつ、前記複数の加熱素子のうちの他の加熱素子の各々について、電力の変更、電流負荷の測定、差異の特定、及び温度の特定を繰り返して、前記複数の加熱素子の各々における温度を特定することとを含む、工程を実施させる、機械可読媒体。
(態様13)
前記工程が、前記複合電流負荷の差異を使用して抵抗を特定することを更に含み、温度を特定することが、特定された前記抵抗を使用して温度を特定することを含む、態様12に記載の媒体。
(態様14)
前記工程が、前記第1の複合電流を測定する前に、前記複数の加熱素子の各々に電力供給することを更に含み、電力状態を変更することが、前記第1加熱素子から電力を除去することを含む、態様12に記載の媒体。
(態様15)
前記第1の複合電流負荷を測定することが、処理チャンバ内での温度制御されたプロセスの通常稼働中、前記抵抗加熱素子がオン状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記プロセス中に前記第1加熱素子の電力状態を電力が増大したオン状態に変更することを含み、方法は更に、
前記第2の複合電流負荷を測定した後に、前記第1加熱素子の電力状態をオフ状態に変更することと、
電力状態を前記オフ状態に変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第3の複合電流負荷を測定することとを含み、
前記差異を特定することが、前記第2の複合電流負荷と前記第3の複合電流負荷との間の差異を特定することを含む、態様12に記載の媒体。
Claims (8)
- 処理中に、キャリアに取り付けられた基板の温度プロファイルを特定するための方法であって、
前記キャリアにおける複数の加熱素子の各々の第1の複合電流負荷を測定することと、
前記複数の加熱素子のうちの第1加熱素子の電力状態を変更することと、
前記第1加熱素子の電力状態を変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第2の複合電流負荷を測定することと、
前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の差異を特定することと、
前記差異を使用して、前記第1加熱素子の温度を特定することと、
前記第1加熱素子の電力状態を前記変更の前の状態に戻し、かつ、前記複数の加熱素子のうちの他の加熱素子の各々について、電力の変更、電流負荷の測定、差異の特定、及び温度の特定を繰り返して、前記複数の加熱素子の各々における温度を特定することとを含み、
前記第1の複合電流負荷を測定することが、処理チャンバ内での温度制御されたプロセスの通常稼働中、前記複数の加熱素子がオン状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記プロセス中に前記第1加熱素子の電力状態を電力が増大したオン状態に変更することを含み、更に、
前記第2の複合電流負荷が測定された後に、前記第1加熱素子の電力状態をオフ状態に変更することと、
電力状態を前記オフ状態に変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第3の複合電流負荷を測定することとを含み、
前記差異を特定することが、前記第2の複合電流負荷と前記第3の複合電流負荷との間の差異を特定することを含む、方法。 - 前記キャリアにおける前記複数の加熱素子の各々の第1の複合電圧負荷を測定することを更に含み、温度を特定することが、前記第1の複合電圧負荷を使用することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の前記差異を使用して抵抗を特定することを更に含み、温度を特定することが、特定された前記抵抗を使用して温度を特定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 温度を特定することが、前記特定された抵抗に直線係数を適用することを含む、請求項3に記載の方法。
- 電力状態を変更することが、前記複数の加熱素子のサブセットの電力状態を変更することを更に含み、温度を特定することが前記複数の加熱素子がグループ化され、温度がそのグループの加熱素子の間で平均されることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1及び第2の複合電流負荷を測定することが、前記複数の加熱素子の各々に電力供給する電力供給源において、電流負荷を測定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 命令を有している機械可読媒体であって、機械によって動作させられると、前記機械に、
基板キャリアにおける複数の加熱素子の各々の第1の複合電流負荷を測定することと、
前記複数の加熱素子のうちの第1加熱素子の電力状態を変更することと、
前記第1加熱素子の電力状態を変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第2の複合電流負荷を測定することと、
前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の差異を特定することと、
前記差異を使用して、前記第1加熱素子の温度を特定することと、
前記第1加熱素子の電力状態を前記変更の前の状態に戻し、かつ、前記複数の加熱素子のうちの他の加熱素子の各々について、電力の変更、電流負荷の測定、差異の特定、及び温度の特定を繰り返して、前記複数の加熱素子の各々における温度を特定することとを含む、工程を実施させ、
前記第1の複合電流負荷を測定することが、処理チャンバ内での温度制御されたプロセスの通常稼働中、前記複数の加熱素子がオン状態である時に測定を行うことを含み、電力状態を変更することが、前記プロセス中に前記第1加熱素子の電力状態を電力が増大したオン状態に変更することを含み、方法は更に、
前記第2の複合電流負荷を測定した後に、前記第1加熱素子の電力状態をオフ状態に変更することと、
電力状態を前記オフ状態に変更した後に、前記複数の加熱素子の各々の第3の複合電流負荷を測定することとを含み、
前記差異を特定することが、前記第2の複合電流負荷と前記第3の複合電流負荷との間の差異を特定することを含む、機械可読媒体。 - 前記工程が、前記第1の複合電流負荷と前記第2の複合電流負荷との間の前記差異を使用して抵抗を特定することを更に含み、温度を特定することが、特定された前記抵抗を使用して温度を特定することを含む、請求項7に記載の媒体。
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