JP6958833B2 - 半導体検査装置及び半導体検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態の半導体検査装置1の概略構成図である。図2は、半導体試料9を示す概略断面図である。図3は、実施形態の半導体検査装置1の光照射部20及び電磁波検出部30を示す概略構成図である。
図3に示すように、光照射部20は、フェムト秒レーザ21を備えている。フェムト秒レーザ21は、例えば、300nm(ナノメートル)以上1.5μm(マイクロメートル)以下の可視光領域を含む波長のパルス光LP1を出力する。好適な例としては、中心波長が800nm付近であり、周期が数kHz〜数百MHz、パルス幅が10〜150フェムト秒程度の直線偏光のパルス光LP1が、フェムト秒レーザ21から放射される。もちろん、その他の波長領域(例えば、青色波長(450〜495nm)、緑色波長(495〜570nm)の可視光波長)のパルス光が出射されるようにしてもよい。
電磁波検出部30は、半導体試料9が放射した電磁波LT1を検出する検出器31を備えている。検出器31は、ここでは、光伝導アンテナにより構成されている。検出器31には、ビームスプリッタBE1により分割された他方のパルス光である検出光LP21が入射する。検出器31は、検出光LP21が入射するタイミングで、電磁波LT1の強度を検出する。
遅延部40は、検出光LP21に遅延を与える遅延機構である。遅延部40は、遅延ステージ41及び遅延ステージ駆動部43を備えている。
ステージ駆動部50は、ステージ10をその上面に平行な水平面内に沿って、光照射部20及び電磁波検出部30に対して相対移動させる。これによって、半導体検査装置1は、ステージ10の上面に保持された半導体試料9のパッシベーション膜95を、検査光LP11で走査する。このように、ステージ駆動部50は、走査機構の一例である。
イオン付与部60は、正イオンまたは負イオンを半導体試料9に与える処理を行う装置である。イオン付与部60は、ここでは、放電電極61及び電源部63を有するコロナ放電装置として構成されている。
制御部70は、半導体検査装置1の動作を制御する。制御部70は、一般的なコンピュータとしての構成(CPU、ROM、RAMなど)を備えている。また、制御部70は、記憶部72を備えている。なお、記憶部72は、RAMなどの一時的に情報を記憶するものであってもよい。さらに、制御部70には、各種情報を表示する液晶ディスプレイで構成される表示部74、及び、キーボードやマウス等の各種入力デバイスで構成される操作部76が接続されている。
次に、パッシベーション膜95の検査原理について説明する。
次に、半導体試料9の検査の流れについて説明する。図9は、実施形態の半導体検査装置1の動作の流れを示す図である。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
10 ステージ
20 光照射部
21 フェムト秒レーザ
30 電磁波検出部
31 検出器
40 遅延部
41 遅延ステージ
43 遅延ステージ駆動部
50 ステージ駆動部
60 イオン付与部
61 放電電極
63 電源部
70 制御部
701 イオン付与制御部
702 ステージ駆動制御部
703 遅延ステージ駆動制御部
704 時間波形復元部
705 比較評価部
706 時間設定部
707 画像生成部
72 記憶部
74 表示部
76 操作部
9 半導体試料
91 p型シリコン層
93 n型シリコン層
95 パッシベーション膜
97 pn接合部
900 太陽電池モジュール
LP1 パルス光
LP11 検査光
LP21 検出光
LT1 電磁波
TW10,TW12,TW20,TW22 時間波形
WID1,WID2 電磁波強度分布画像
Claims (11)
- 固定電荷を持つパッシベーション膜が表面に形成された半導体試料を検査する半導体検査装置であって、
前記半導体試料を保持する試料保持部と、
前記パッシベーション膜にイオンを付与する処理を行うイオン付与部と、
前記半導体試料に電磁波を発生させる検査光を照射する光照射部と、
前記検査光の照射に応じて前記半導体試料が放射する前記電磁波を検出する検出器と、
前記イオン付与部による処理前、及び、イオン付与してから所定の時間t経過した処理後の前記半導体試料が放射する前記電磁波各々を比較することによって、前記パッシベーション膜の特性を評価する比較評価部と、
を備える、半導体検査装置。 - 請求項1の半導体検査装置であって、
前記光照射部から出射された検査光で前記半導体試料の表面を走査する走査機構、
をさらに備える、半導体検査装置。 - 請求項2の半導体検査装置であって、
前記イオン付与部は、
前記イオンを付与する領域を、前記半導体試料の表面に対して相対的に変位させる付与領域変位機構、
をさらに備える、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項の半導体検査装置であって、
前記イオン付与部及び前記光照射部を制御する制御部と、
所定の操作入力に基づき、前記時間tを設定する時間設定部と、
を備え、
前記制御部は、
前記イオン付与部が前記イオンを付与してから前記時間設定部により設定された前記時間t経過後に、前記光照射部に前記検査光を照射させる、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項の半導体検査装置であって、
所定の操作入力に基づき、前記イオン付与部が付与する前記イオンの付与条件を設定する、イオン付与条件設定部、
をさらに備える、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項の半導体検査装置であって、
前記イオン付与部は、
針状の放電電極と、
前記放電電極が放電可能な電圧を前記放電電極に印加する電源部と
を含む、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項の半導体検査装置であって、
前記検査光が、パルス状の光であり、
前記検出器は、検出用のパルス光の入射に応じて、前記電磁波の強度を検出する光伝導アンテナを含み、
前記半導体検査装置は、
前記光伝導アンテナに入射する前記電磁波に対して、前記検出用のパルス光の入力時間を遅延させる遅延部、
をさらに備える、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項7のいずれか1項の半導体検査装置であって、
前記イオン付与部は、前記固定電荷とは反対符号のイオンを付与し、
前記比較評価部は、前記電磁波の極性の符号に基づいて、前記パッシベーション膜の特性を評価する、半導体検査装置。 - 請求項8の半導体検査装置であって、
前記パッシベーション膜が窒化ケイ素を含み、
前記イオン付与部が、−1×1013q/cm2以下の電荷密度のイオンを付与可能に構成されている、半導体検査装置。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項の半導体検査装置であって、
前記試料保持部における前記半導体試料に接触する部分が樹脂製である、半導体検査装置。 - 固定電荷を持つパッシベーション膜が表面に形成された半導体試料を検査する半導体検査方法であって、
(a) 前記半導体試料に検査光を照射し、前記半導体試料が放射する電磁波の強度を検出する工程と、
(b) 前記(a)工程の後、前記パッシベーション膜にイオンを付与する処理を行う工程と、
(c) 前記(b)工程の後、前記半導体試料に前記検査光を照射し、前記半導体試料が放射する照射に応じて前記半導体試料が放射する電磁波の強度を検出する工程と、
(d) 前記(a)工程及び前記(c)工程で検出された前記電磁波各々を比較することによって、前記半導体試料における前記パッシベーション膜の特性を評価する工程、
を含む、半導体検査方法。
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