JP6948244B2 - 電磁流量計の電位検出用電極 - Google Patents

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Description

本発明は、接液部を含む本体部が導電性を有する材料で覆われた電磁流量計の電位検出用電極に関する。
従来の電磁流量計としては、測定管内を流れる流体に発生する起電力を電位検出用電極によって取り出す構成のものがある。この電位検出用電極を形成する材料は、ステンレス鋼が一般的であるが、検出対象の腐食性に応じて種々の材料が用いられている。耐食性が高くなる電極材料は、例えば特許文献1に開示されている白金などの貴金属材料が多い。貴金属材料は、材料強度が低いために作成できない形状があるという不具合がある。このような不具合を解消するためには、貴金属ではない材料を下地金属として電極を形成し、特許文献1に記載されているように、この電極を貴金属材料で覆うことが考えられる。
しかし、測定管内を流れる流体に摩耗性の物体が混入している場合は、電極を覆う貴金属材料が剥がれることがある。また、測定管に衝撃が加えられたり、測定管の腐食や製造時の欠陥などによって電極を覆う貴金属材料が剥がれることがある。
この貴金属材料が剥がれると、下地金属と貴金属材料との電位差により電気化学的なノイズが発生する。このノイズは、電磁流量計の出力ノイズとなる。
電極を覆う金属材料が剥がれてノイズが生じるという問題は、本願の出願人が特許文献2において提案しているように、電極本体を絶縁体によって形成し、絶縁体の表面を貴金属材料で覆ってこの貴金属材料を導電経路とすることにより解消することができる。特許文献2中には、図8に示すように、絶縁体であるセラミックスによって形成された母材1が耐食性を有する金属からなる導電体2で覆われた構造の電位検出用電極3が記載されている。この電位検出用電極3は、測定管4に形成された電極挿通用の穴5に挿入される第1の小径部3aと、測定管4の外側に位置する大径部3bと、この大径部3bから第1の小径部3aとは反対方向に突出する第2の小径部3cとを有している。第2の小径部3cにはリード線6が接続されている。
大径部3bには、図9に示すように、環状溝7が形成されることがある。図9において、図8によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し、詳細な説明は省略する。この環状溝7は、ガスケット8を収容する溝であり、第1の小径部3aと同一軸線上に位置する環状に形成されている。ガスケット8は、測定管4の中の流体通路4aと電位検出用電極3の大径部3bとの間をシールするためのものである。
このように環状溝7を有する電位検出用電極3の導電体2は、環状溝7の内周面7a、底面7bおよび外周面7cが均等に覆われるように、金属ペースト(図示せず)を使用して形成することが望ましい。金属ペーストは、金属粉を含むペーストで、母材1に塗布された状態で母材1とともに焼成し、金属ペースト焼結を行うことによって、導電体2となる。
実開平2−16024号公報 特願2017−038984
図9に示すように環状溝7を含めて導電体2で覆われた電位検出用電極3においては、図10および図11に示すように、環状溝7の外周壁から導電体2の一部2aが剥がれるおそれがあった。この理由は、焼成時に線膨脹係数の差から線膨張係数の大きい材料がより大きく収縮し、収縮応力が生じるからである。その収縮応力は、径方向の内方に向けて生じる。すなわち、大径部3bのセラミックスからなる母材1と導電体2との密着性が不足していると、導電体2が母材1より大きく収縮し、環状溝7の外周壁から径方向の内側に向けて剥離することになる。
また、電位検出用電極3の外側に向けて突出する角部は、導電体2の厚みが薄くなり易く、信号検出に必要な厚みを確保することができないおそれがあった。角部で厚みが薄くなると、導通の信頼性が低くなり、信号検出に必要な導電性を確保できなくなる。図9に示すように、大径部3bに環状溝7が形成されていると、環状溝7より径方向の外側に筒状部分9が形成されることになり、その分だけ導電体2が薄くなる角部の数が増え、導通の信頼性が低くなってしまう。このような信頼性の問題は、ガスケット8を収容する環状溝7を有する電位検出用電極3だけでなく、他の理由で環状溝が形成される電極にも同様に生じる。
本発明の目的は、導電体で覆われた環状溝を有しているにもかかわらず、導通の信頼性が高い電位検出用電極を提供することである。
この目的を達成するために、本発明に係る電磁流量計の電位検出用電極は、電磁流量計の測定管の中に露出する接液部を有し、導電性を有する材料によって母材が覆われて形成された本体部と、前記導電性を有する材料に電気的に接続された端子部とを備え、前記本体部は、前記測定管の電極挿入穴に挿入されて一端が前記接液部になる円柱状の小径部と、前記小径部の他端から径方向の外側に延びる円板状の大径部とを有し、前記大径部は、前記測定管内に向けて開放される環状溝と、この環状溝から径方向の外側に延びて前記大径部の外周面に開口する切欠きとを有しているものである。
本発明は、前記電磁流量計の電位検出用電極において、前記大径部における前記環状溝より前記径方向の内側には、一端が前記環状溝の底面に接続されるとともに他端が前記小径部の外周面に接続される溝が形成されていてもよい。
本発明によれば、大径部の外周面となる導電体と、環状溝の底面となる導電体とが、切欠きの底面に形成された導電体によって接続される。このため、環状溝の外周壁から導電体が剥離したとしても、本体部の導通状態に影響を及ぼすことはない。また、環状溝より径方向外側の筒状部分に形成された導電体が導電経路になる場合と較べると、導通信頼性の障害となり易い角部が一つ減るために、導通の信頼性が高くなる。
したがって、この実施の形態によれば、環状溝を有する本体部が導電体で覆われているにもかかわらず、導通の信頼性が高い電磁流量計の電位検出用電極を提供することができる。
本発明に係る電位検出用電極を備えた電磁流量計の断面図である。 第1の実施の形態による電位検出用電極の管路側から見た正面図である。 図2におけるIII-III線断面図である。 第1の実施の形態による母材の斜視図である。 第2の実施の形態による電位検出用電極の管路側から見た正面図である。 図5におけるVI-VI線断面図である。 第2の実施の形態による母材の斜視図である。 従来の電位検出用電極の断面図である。 従来の環状溝を有する電位検出用電極の断面図である。 導電体の一部が剥離した従来の電位検出用電極の正面図である。 図10におけるXI-XI線断面図である。
(第1の実施の形態)
以下、本発明に係る電磁流量計の電位検出用電極の一実施の形態を図1〜図4を参照して詳細に説明する。この実施の形態による電位検出用電極は、請求項1に記載された電位検出用電極の一例となるものである。
図1に示す電位検出用電極11(以下、単に電極11という。)は、電磁流量計12の測定管13に流体通路14の外側から取付けられている。
測定管13は、本体15と、この本体15の内面に設けられたライニング16と、電極11を収容する有底円筒状の電極キャップ17などを備えている。ライニング16には、電極用取付座18が一体に設けられている。この電極用取付座18には、電極11を挿入するための電極挿入穴19が穿設されている。
この実施の形態による電極11は、ライニング16の電極挿入穴19に挿入された本体部21と、この本体部21とは別体に形成されて本体部21に重ねられた端子部22とを備えている。
本体部21は、詳細は後述するが、図1〜図3に示すように、一端が測定管13内の流体通路14に臨む円柱状の小径部23と、この小径部23の他端から径方向の外側に延びる円板状の大径部24とによって形成されている。
この本体部21の一端は、測定管13内に露出し、測定管13内を流れる流体(図示せず)に接触する接液部25になる。大径部24は、小径部23より外径が大きくなる円板状に形成されており、後述する圧縮コイルばね26のばね力によって、電極用取付座18に向けて付勢されている。大径部24と電極用取付座18との間にはガスケット27が設けられている。
端子部22は、導電性を有する材料によって円柱状に形成されており、図示していない取付構造によって本体部21の大径部24に取付けられている。
また、端子部22は、図1に示すように、絶縁体からなる筒体31で覆われており、電極キャップ17の底壁17aを貫通して電極キャップ17の外に突出している。この底壁17aには貫通穴32が穿設されており、端子部22と筒体31は、この貫通穴32の中に通されている。端子部22の突出側端部には、リード線用端子(図示せず)を接続するためのねじ孔33が形成されている。
電極キャップ17は、圧縮コイルばね26を保持する機能を有している。この電極キャップ17は、内部に圧縮コイルばね26を収容した状態で本体15のねじ穴34に螺着されている。圧縮コイルばね26は、中心部に端子部22が挿入された状態で圧縮されて電極キャップ17の中に収容されている。圧縮コイルばね26の一端は、ワッシャ35を介して本体部21の大径部24を電極用取付座18に向けて押し、他端は、環状の絶縁板36を介して電極キャップ17の底壁17aを本体部21とは反対方向に押している。
電極11の本体部21は、図3に示すように、絶縁材料であるセラミックスによって形成された母材41と、この母材41を覆う導電性を有する材料とによって構成されている。この実施の形態では、便宜上、この母材41を覆う導電性を有する材料を単に「導電体42」という。上述した端子部22は、本体部21の大径部24に重ねられることによって、導電体42に電気的に接続されている。
母材41のセラミックス原料としては、SiC、Al23、ZrO2、Y23、Si34、SiOなどを使用することができる。母材41は、セラミックス原料を型(図示せず)によって本体部21の形状に成形し、この成形物を焼成することによって形成されている。
導電体42は、導電性を有する材料によって形成されている。この導電体42を形成する導電性を有する材料は、例えば、Pt、Ti、Au、Ta、WCなどの耐食性を有する金属材料を用いることができるし、半田や、導電性を有する合成樹脂材料や、導電性インクなども使用することが可能である。この実施の形態による導電体42は、焼成前の母材41に塗布された金属ペースト(図示せず)を母材41と共に焼成することによって形成されている。金属ペーストは、金属の粉体と溶剤とを混ぜて形成されている。この金属ペーストが焼成されることによって、金属の粉体が溶融し、母材41の外表面を全域にわたって覆う導電体42となる。
本体部21の母材41は、上述した導電体42と協働して小径部23を構成する円柱部43と、上述した導電体42と協働して大径部24を構成する円板部44とによって形成されている。円柱部43と円板部44とは、一体に形成されている。
円板部44は、図2および図4に示すように、環状の溝部45と、この環状の溝部45から径方向の外側に延びて円板部44の外周面に開口する切欠き部46とを有している。
環状の溝部45は、ガスケット27を収容するための溝で、円板部44と同一軸線上に位置しており、測定管13内に向けて開放される形状に形成されている。
切欠き部46は、図2に示すように、円板部44を周方向に4等分する位置にそれぞれ設けられている。
このように構成された電位検出用電極11においては、母材41の外表面に金属ペーストを塗布してこれらを焼成することにより、母材41の外表面が導電体42で覆われた本体部21が形成される。この本体部21は、母材41の円柱部43が導電体42で覆われてなる小径部23と、母材41の円板部44が導電体42で覆われてなる大径部24とによって構成される。
また、図3に示すように、円板部44の環状の溝部45が導電体42で覆われることにより、大径部24に、測定管13内に向けて開放される環状溝51が形成される。また、円板部44の切欠き部46が導電体42で覆われることにより、大径部24に切欠き52が形成される。この切欠き52は、環状溝51から径方向の外側に延びて大径部24の外周面24aに開口する。
このため、図3に示すように、大径部24の外周面となる導電体42aと、大径部24の環状溝51の底面となる導電体42bとが大径部24の切欠き52の底面となる導電体42cを介して接続されるようになる。この本体部21においては、環状溝51の外周壁51aとなる導電体42が母材41から剥離したとしても、この本体部21の導通状態に影響を及ぼすことはない。また、この本体部21によれば、従来の電極、すなわち環状溝51より径方向外側の筒状部分53に形成された導電体42が導電経路になる電極と較べると、導通信頼性の障害となり易い角部が一つ減るために、導通の信頼性が高くなる。
したがって、この実施の形態によれば、導電体42で覆われた環状溝51を有しているにもかかわらず、導通の信頼性が高い電位検出用電極を提供することができる。
(第2の実施の形態)
本発明に係る電位検出用電極の本体部は図5〜図7に示すように構成することができる。図5〜図7において、図1〜図4によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。この実施の形態による電位検出用電極は、請求項2に記載された電位検出用電極の一例となるものである。
図5〜図7に示す本体部21は、環状溝51から小径部23に延びる溝61を有している。この溝61は、図5に示すように、大径部24を周方向に4等分する位置にそれぞれ設けられている。この実施の形態による溝61は、大径部24の周方向において、上述した切欠き52と同一の位置に設けられている。
これらの溝61は、母材41の円板部44の凹部62(図7参照)が導電体42で覆われることにより形成されている。この凹部62は、図7に示すように、円板部44の環状の溝部45から径方向の内側に延び、円柱部43の外周面に接続されるように形成されている。
溝61は、図5に示すように、本体部21の大径部24における環状溝51より径方向の内側に形成されている。この溝61の一端は、図6に示すように、環状溝51の底面51bに接続され、他端は、小径部23の外周面23aに接続されている。
このように環状溝51より径方向の内側に溝61が形成されていることにより、図6に示すように、環状溝51の底面となる導電体42bと、小径部23の外周面となる導電体42dとが溝61の底面となる導電体42eによって接続される。このため、環状溝51の内周壁51cを経由する電導経路を使用する場合と較べて、導通信頼性の障害となり易い角部が一つ減るために、導通の信頼性がより一層高くなる。
したがって、この実施の形態によれば、導通の信頼性がより一層高い高い電位検出用電極を提供することができる。
11…電位検出用電極、12…電磁流量計、13…測定管、19…電極挿入穴、21…本体部、22…端子部、23…小径部、23a…小径部の外周面、24…大径部、25…接液部、41…母材、42…導電体、43…円柱部、44…円板部、51…環状溝、51b…環状溝の底面、52…切欠き、61…溝。

Claims (2)

  1. 電磁流量計の測定管の中に露出する接液部を有し、導電性を有する材料によって母材が覆われて形成された本体部と、
    前記導電性を有する材料に電気的に接続された端子部とを備え、
    前記本体部は、
    前記測定管の電極挿入穴に挿入されて一端が前記接液部になる円柱状の小径部と、
    前記小径部の他端から径方向の外側に延びる円板状の大径部とを有し、
    前記大径部は、
    前記測定管内に向けて開放される環状溝と、
    この環状溝から径方向の外側に延びて前記大径部の外周面に開口する切欠きとを有していることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
  2. 請求項1記載の電磁流量計の電位検出用電極において、
    前記大径部における前記環状溝より前記径方向の内側には、一端が前記環状溝の底面に接続されるとともに他端が前記小径部の外周面に接続される溝が形成されていることを特徴とする電磁流量計の電位検出用電極。
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Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3771361A (en) * 1972-04-20 1973-11-13 Emerson Electric Co Ultrasonically cleaned electrode and flowmeter using it
JPS62174227U (ja) * 1986-04-24 1987-11-05
KR890017063A (ko) 1988-05-04 1989-12-15 제이.유.뉴컴 사출 공정 및 장치
JPH0216024U (ja) * 1988-07-19 1990-02-01
JPH0430425U (ja) * 1990-07-05 1992-03-11
US5247837A (en) * 1991-09-25 1993-09-28 Rosemount Inc. Magnetic flowmeter electrode
JP2794146B2 (ja) * 1993-01-11 1998-09-03 株式会社山武 電磁流量計の電極取付構造
JP3340891B2 (ja) * 1995-08-29 2002-11-05 株式会社山武 電磁流量計
JP2004233203A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Yamatake Corp 電磁流量計用測定管
KR20110073461A (ko) * 2008-09-24 2011-06-29 쿠리타 고교 가부시키가이샤 다이아몬드 전극 및 다이아몬드 전극의 제조 방법
IN2012DN00703A (ja) * 2009-08-18 2015-06-19 Takahata Prec R & D Ct Co Ltd
JP5351655B2 (ja) * 2009-08-19 2013-11-27 アズビル株式会社 電磁流量計
DE102010030229A1 (de) * 2010-06-17 2011-12-22 Endress + Hauser Flowtec Ag Verfahren zur Herstellung eines magnetisch-induktiven Durchflussmessgeräts
CN203587150U (zh) * 2013-11-12 2014-05-07 江苏杰创流量仪表有限公司 插入式电极的电磁流量计
CN105157768A (zh) * 2015-09-23 2015-12-16 燕山大学 用于水平井油气水多相流流量测量的电磁阵列相关传感器及系统
KR102396377B1 (ko) 2015-09-30 2022-05-11 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
CN205300666U (zh) * 2016-01-04 2016-06-08 德阳市新泰自动化仪表有限公司 一种带接地电极的电磁流量计
US10031008B2 (en) * 2016-06-02 2018-07-24 Sensus USA, Inc. Electromagnetic flow meter
CN206132144U (zh) * 2016-08-31 2017-04-26 上海一诺仪表有限公司 高压电磁流量计的高压电极结构
JP6754312B2 (ja) 2017-03-02 2020-09-09 アズビル株式会社 電磁流量計の電極構造
JP6940392B2 (ja) * 2017-12-15 2021-09-29 アズビル株式会社 電磁流量計の電位検出用電極
JP6970001B2 (ja) * 2017-12-15 2021-11-24 アズビル株式会社 電磁流量計の電位検出用電極
JP7039276B2 (ja) * 2017-12-15 2022-03-22 アズビル株式会社 電磁流量計の電位検出用電極

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