JP6946253B2 - 磁気記憶装置 - Google Patents
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図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(d)は、第1実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
実施形態に係る磁気記憶装置110aは、導電部材41、磁性素子15及び制御部70を含む。
磁気記憶装置110bについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置111aについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置111bについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置112aについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置112bについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置113aについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置113bについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置114aについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置114bについて、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
図11(a)〜図11(d)は、第2実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
実施形態に係る磁気記憶装置120aは、半導体部材51、磁性素子15及び制御部70を含む。
この場合、第3電位V3は、第1電位V1よりも高く、第2電位V2よりも高い。第6電位V6は、第4電位V4よりも高く、第5電位V5よりも高い。第7電位V7は、例えば、第1電位V1以下であり、第2電位V2以下である。第8電位V8は、例えば、第4電位V4以下であり、第5電位V5以下である。
以下、磁気記憶装置120bについて、磁気記憶装置120aとは異なる部分について説明する。
以下、磁気記憶装置121aについて、磁気記憶装置120aとは異なる部分について説明する。
以下、磁気記憶装置121bについて、磁気記憶装置121aとは異なる部分について説明する。
以下、磁気記憶装置122aについて、磁気記憶装置120aとは異なる部分について説明する。
以下、磁気記憶装置122bについて、磁気記憶装置120aとは異なる部分について説明する。
図17(a)〜図17(d)は、第3実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
実施形態に係る磁気記憶装置130aは、半導体部材51、磁性素子15及び制御部70を含む。
実施形態に係る磁気記憶装置130bにおいては、例えば、半導体部材51は、p形導電性を有する。これ以外の磁気記憶装置130bの構成は、磁気記憶装置130aの構成と同じである。
図19(a)〜図19(f)は、第4実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
図19(a)〜図19(f)に示すように、磁気記憶装置120aA、120bA、121aA、121bA、130aA及び130bAにおいては、半導体部材51は、第1部材領域51P及び第2部材領域51Qを含む。第2部材領域51Qは、第1部材領域51Pと磁性素子15との間に設けられる。これ以外の構成は、例えば、磁気記憶装置120a、120b、121a、121b、122a及び122bと同様である。
図20(a)〜図20(j)及び図21(a)〜図21(h)は、第5実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
これらの図に示すように、磁気記憶装置110aB、110bB、111aB、111bB、112aB、112bB、113aB、113bB、114aB、114bB、120aB、120bB、121aB、121bB、122aB、122bB、130aB及び130bBは、化合物層25を含む。これ以外の構成は、第1〜第2実施形態に関して説明した構成が適用できる。
図22(a)〜図22(j)及び図23(a)〜図23(f)は、第6実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
これらの図に示すように、磁気記憶装置110aC、110bC、111aC、111bC、112aC、112bC、113aC、113bC、114aC、114bC、120aC、120bC、121aC、121bC、122aC及び122bCにおいては、導電層21のX軸方向に沿う長さが、第2磁性層11cのX軸方向に沿う長さよりも長い。X軸方向は、第1部分41a(または第1部分51a)から第2部分41b(または第2部分51b)への方向に対応する。
図24(a)〜図24(d)は、第7実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
磁気記憶装置131について、磁気記憶装置110aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置131において、半導体層31の代わりに、積層膜35が設けられている。積層膜35は、導電部材41の第3部分41cと、導電層21と、の間に設けられる。例えば、第1磁性層11と第3部分41cとの間に積層膜35が設けられ、第1磁性層11と積層膜35との間に導電層21が設けられる。
磁気記憶装置132について、磁気記憶装置131とは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置132においては、積層膜35は、第1膜35a及び第2膜35bを含む。第2膜35bは、第1膜35aと第3部分41cとの間に設けられる。第1膜35aは、例えば、金属膜である。第2膜35bは、絶縁膜である。導電部材41は、金属を含む。例えば、導電部材41及び積層膜35により、MIMダイオードが形成される。MIMの非線形特性により、上記の第1〜第4動作OP1〜OP4が得られる。
図26(a)〜図26(d)は、第8実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的断面図である。
磁気記憶装置133について、磁気記憶装置113aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置133において、半導体層31及び導電層21が設けられる。磁気記憶装置133においては、Z軸方向(第1磁性層11から第2磁性層11cへの方向)と交差する方向において、半導体層31の少なくとも一部は、導電層21の一部と、導電層21の別の一部と、の間にある。この例では、少なくともX軸方向において、半導体層31の少なくとも一部は、導電層21の一部と、導電層21の別の一部と、の間にある。磁気記憶装置133においては、半導体層31と導電層21とが対向する面積が増える。例えば、半導体層31と導電層21との接触面積が増える。これにより、より効率的な書き込み動作が実施できる。
磁気記憶装置134について、磁気記憶装置120aとは異なる部分の例について説明する。
磁気記憶装置134において、導電部材51及び導電層21が設けられる。磁気記憶装置133においては、Z軸方向(第1磁性層11から第2磁性層11cへの方向)と交差する方向において、導電部材51の少なくとも一部は、導電層21の一部と、導電層21の別の一部と、の間にある。この例では、少なくともX軸方向において、導電部材51の少なくとも一部は、導電層21の一部と、導電層21の別の一部と、の間にある。磁気記憶装置134においては、導電部材51と導電層21とが対向する面積が増える。例えば、導電部材51と導電層21との接触面積が増える。これにより、より効率的な書き込み動作が実施できる。
図28は、第9実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的斜視図である。
図28に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置210は、半導体部材51、複数の磁性素子及び制御部70を含む。複数の磁性素子は、例えば、第(i−1)磁性素子15(i−1)、第i磁性素子15(i)、及び、第(i+1)磁性素子15(i+1)などを含む。例えば、第i磁性素子15(i)は、例えば、磁性素子15などに対応する。
図29は、第10実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式的斜視図である。
図29に示すように、実施形態に係る磁気記憶装置220は、複数の半導体部材(半導体部材51及び半導体部材51Aなど)、複数の配線(配線61及び配線61Aなど)、及び、複数の磁性素子(磁性素子15、及び、磁性素子15A〜15Cなど)が設けられる。複数の半導体部材と、複数の配線と、の間に、複数の磁性素子の1つが設けられる。
図30は、第11実施形態に係る磁気記憶装置を例示する模式図である。
磁気記憶装置230は、部材55と、第1磁性素子(例えば、磁性素子15A)、及び、第2磁性素子(例えば磁性素子15B)と、制御部70と、を含む。部材55は、例えば、上記の導電部材41または半導体部材51に対応する。磁性素子15A及び磁性素子15Bは、上記の任意の磁性素子15に対応する。
(構成1)
第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む導電部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた半導体層と、
前記第1磁性層と前記半導体層との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
前記半導体層は、
n形半導体領域と、
前記n形半導体領域と前記導電層との間に設けられたp形半導体領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成1記載の磁気記憶装置。
前記半導体層は、
n形半導体領域と、
前記n形半導体領域と前記導電部材との間に設けられたp形半導体領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成1記載の磁気記憶装置。
前記半導体層は、
第1n形半導体領域と、
前記第1n形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2n形半導体領域と、
を含み、
前記第1n形半導体領域におけるn形不純物の濃度は、前記第2n形半導体領域における前記n形不純物の濃度よりも高く、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成1記載の磁気記憶装置。
前記半導体層は、
第1n形半導体領域と、
前記第1n形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2n形半導体領域と、
を含み、
前記第1n形半導体領域におけるn形不純物の濃度は、前記第2n形半導体領域における前記n形不純物の濃度よりも低く、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成1記載の磁気記憶装置。
前記半導体層は、
第1p形半導体領域と、
前記第1p形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2p形半導体領域と、
を含み、
前記第1p形半導体領域におけるp形不純物の濃度は、前記第2p形半導体領域における前記p形不純物の濃度よりも低く、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成1記載の磁気記憶装置。
前記半導体層は、
第1p形半導体領域と、
前記第1p形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2p形半導体領域と、
を含み、
前記第1p形半導体領域におけるp形不純物の濃度は、前記第2p形半導体領域における前記p形不純物の濃度よりも高く、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成1記載の磁気記憶装置。
前記導電部材の仕事関数は、前記導電層の仕事関数よりも低く、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成1記載の磁気記憶装置。
前記導電部材の仕事関数は、前記導電層の仕事関数よりも高く、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成1記載の磁気記憶装置。
第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む半導体部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む半導体部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
前記半導体部材は、インジウム、錫及び酸素を含む化合物、インジウム、亜鉛及び酸素を含む化合物、InGaAs、GaAs及びGaSeよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成11記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、n形導電性を有し、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成10〜12のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、p形導電性を有し、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成10〜12のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、n形導電性を有し、
前記磁性素子は、p形の半導体層をさらに含み、
前記半導体層は、前記第3部分と前記第2磁性層との間に設けられ、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成10記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、p形導電性を有し、
前記磁性素子は、n形の半導体層をさらに含み、
前記半導体層は、前記第3部分と前記第2磁性層との間に設けられ、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成10記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、
n形部材領域と、
前記n形部材領域と前記磁性素子との間に設けられたp形部材領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、構成10記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、
p形部材領域と、
前記p形部材領域と前記磁性素子との間に設けられたn形部材領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、構成10記載の磁気記憶装置。
前記半導体部材は、
第1部材領域と、
前記第1部材領域と前記磁性素子との間に設けられた第2部材領域と、
を含み、
前記第2部材領域は、Pt、Pd、Au、Ag、C、Co、Ni、Se、Rh、Te、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Rb、Sr、Y、I、Cs、Ba、Ce、Pr、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb及びLuよりなる群から選択された少なくとも1つの第1元素を含み、
前記第2部材領域における前記第1元素の濃度は、前記第1部材領域における前記第1元素の濃度よりも高い、構成10〜18のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記第2磁性層と前記第3部分との間に設けられ、Si、Al、Hf、Mg、Ca、Sr、Ti、V、Nb、Cr、Zn、Ga、Ge、Se、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Cd、In、Sn、Sb、Ta、W、Ir、Bi、Cs、St、La及びCeよりなる群から選択された少なくとも1つ含む化合物層をさらに備えた、構成10〜19のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記第1磁性層から前記第2磁性層への方向と交差する方向において、前記導電部材の少なくとも一部は、前記導電層の一部と、前記導電層の別の一部と、の間にある、構成10〜20のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
前記第1磁性層から前記第2磁性層への方向と交差する方向において、前記半導体層の少なくとも一部は、前記導電層の一部と、前記導電層の別の一部と、の間にある、構成1〜9のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む導電部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた積層膜と、
前記第1磁性層と前記積層膜との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記積層膜は、
金属を含む第1膜と、
絶縁性の第2膜と、
を含み、
前記第2膜は、前記第1膜と前記第3部分との間に設けられ、
前記導電材料は、金属を含み、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む導電部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた積層膜と、
前記第1磁性層と前記積層膜との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記積層膜は、
金属を含む第1膜と、
絶縁性の第2膜と、
金属を含む第3膜と、
を含み、
前記第2膜は、前記第1膜と前記第3部分との間に設けられ、
前記第3膜は、前記第2膜と前記第3部分との間に設けられ、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
前記制御部は、第4動作をさらに実施し、
前記第4動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第4電位に設定し、前記第2部分を前記第5電位に設定し、前記第1磁性層を第8電位に設定し、前記磁性素子は、前記第4動作の前の状態である、構成1〜24のいずれか1つに記載の磁気記憶装置。
Claims (9)
- 第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む導電部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた半導体層と、
前記第1磁性層と前記半導体層との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記導電層は、Ta、W、Pt及びAuよりなる群から選択された少なくとも1つを含み、
前記半導体層は、前記第3部分と接し、
前記導電層は、前記半導体層と接し、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
n形半導体領域と、
前記n形半導体領域と前記導電層との間に設けられたp形半導体領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
n形半導体領域と、
前記n形半導体領域と前記導電部材との間に設けられたp形半導体領域と、
を含み、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
第1n形半導体領域と、
前記第1n形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2n形半導体領域と、
を含み、
前記第1n形半導体領域におけるn形不純物の濃度は、前記第2n形半導体領域における前記n形不純物の濃度よりも高く、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
第1n形半導体領域と、
前記第1n形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2n形半導体領域と、
を含み、
前記第1n形半導体領域におけるn形不純物の濃度は、前記第2n形半導体領域における前記n形不純物の濃度よりも低く、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
第1p形半導体領域と、
前記第1p形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2p形半導体領域と、
を含み、
前記第1p形半導体領域におけるp形不純物の濃度は、前記第2p形半導体領域における前記p形不純物の濃度よりも低く、
前記第3電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高く、
前記第6電位は、前記第4電位よりも高く、前記第5電位よりも高く、
前記第7電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下である、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記半導体層は、
第1p形半導体領域と、
前記第1p形半導体領域と前記導電層との間に設けられた第2p形半導体領域と、
を含み、
前記第1p形半導体領域におけるp形不純物の濃度は、前記第2p形半導体領域における前記p形不純物の濃度よりも高く、
前記第3電位は、前記第1電位以下であり、前記第2電位以下であり、
前記第6電位は、前記第4電位以下であり、前記第5電位以下であり、
前記第7電位は、前記第1電位よりも高く、前記第2電位よりも高い、請求項1記載の磁気記憶装置。 - 第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む半導体部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた導電層と、
前記第1磁性層と前記導電層との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記磁性素子の全体は、前記第3部分と対向し、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。 - 第1部分と、第2部分と、前記第1部分と前記第2部分との間の第3部分と、を含む半導体部材と、
磁性素子と、
制御部と、
を備え、
前記磁性素子は、
第1磁性層と、
前記第1磁性層と前記第3部分との間に設けられた第2磁性層と、
前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられた非磁性層と、
を含み、
前記磁性素子の全体は、前記第3部分と対向し、
前記制御部は、第1動作、第2動作及び第3動作を実施し、
前記第1動作において、前記制御部は、前記第1部分を第1電位に設定し、前記第2部分を第2電位に設定し、前記第1磁性層を第3電位に設定して、前記磁性素子を第1記憶状態に書き込み、前記第1電位は、前記第2電位よりも高く、
前記第2動作において、前記制御部は、前記第1部分を第4電位に設定し、前記第2部分を第5電位に設定し、前記第1磁性層を第6電位に設定し、前記磁性素子を前記第1記憶状態とは異なる第2記憶状態に書き込み、前記第4電位は、前記第5電位よりも低く、 前記第3動作において、前記制御部は、前記第1部分を前記第1電位に設定し、前記第2部分を前記第2電位に設定し、前記第1磁性層を第7電位に設定し、前記磁性素子は、前記第3動作の前の状態である、磁気記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018202240A JP6946253B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | 磁気記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018202240A JP6946253B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | 磁気記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020068047A JP2020068047A (ja) | 2020-04-30 |
JP6946253B2 true JP6946253B2 (ja) | 2021-10-06 |
Family
ID=70390509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018202240A Active JP6946253B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | 磁気記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6946253B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9230626B2 (en) * | 2012-08-06 | 2016-01-05 | Cornell University | Electrically gated three-terminal circuits and devices based on spin hall torque effects in magnetic nanostructures apparatus, methods and applications |
US20170117027A1 (en) * | 2015-10-21 | 2017-04-27 | HGST Netherlands B.V. | Top pinned sot-mram architecture with in-stack selector |
JP6270934B2 (ja) * | 2015-12-14 | 2018-01-31 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US9881660B2 (en) * | 2015-12-14 | 2018-01-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic memory |
JP6374452B2 (ja) * | 2016-08-04 | 2018-08-15 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
US10319901B2 (en) * | 2016-10-27 | 2019-06-11 | Tdk Corporation | Spin-orbit torque type magnetization reversal element, magnetic memory, and high frequency magnetic device |
JP6926760B2 (ja) * | 2016-10-27 | 2021-08-25 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化反転素子、磁気メモリ及び高周波磁気デバイス |
JP6290487B1 (ja) * | 2017-03-17 | 2018-03-07 | 株式会社東芝 | 磁気メモリ |
JP7024204B2 (ja) * | 2017-04-21 | 2022-02-24 | Tdk株式会社 | スピン流磁化回転素子、磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
WO2019159428A1 (ja) * | 2018-02-19 | 2019-08-22 | Tdk株式会社 | スピン軌道トルク型磁化回転素子、スピン軌道トルク型磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ |
-
2018
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020068047A (ja) | 2020-04-30 |
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