JP6940444B2 - 発熱体、加熱装置および炭化珪素の製造方法 - Google Patents
発熱体、加熱装置および炭化珪素の製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1(a)、(b)は、それぞれ加熱装置を示す側断面図および正断面図である。加熱装置10は、容器11、電極15a、15b、発熱体17を備えており、処理物をジュール熱で加熱する。加熱装置10は、いわゆるアチソン炉であることが好ましい。
容器11は、鉛直上端面が大気開放され、内壁面に電極15a、15bを備え、処理物20を収容する。容器11の形状は特に問わないが、平行な対向する二面を有することが好ましく、直方形に形成されていることが好ましい。容器11の材質は特に問わないが、通電時に黒鉛粉末原料からの伝熱により壁面が高温になるため、充填材と接触する部分には耐火性の高い材料を使うことが望ましい。例えば、高アルミナ質耐火れんが、珪酸カルシウムボード等が好適である。容器11は、反応ガスが過剰に発生した際にガスを抜き、その濃度を適度に保つためのスリットを有してもよい。
電極15a、15bは、容器の内壁に形成され、電圧が印加される。電極15a、15bは、容器内側の対向する両端面に設けられていることが好ましい。電極15a、15bは、発熱体17に接触し、電圧印加により発熱体17は通電する。電極15a、15bは、発熱体17からの伝熱の影響を受けることから、高温にも耐性のある黒鉛成型体が好適である。
発熱体17は、処理物20内に埋設され、電極15a、15bに接続され、黒鉛質の粉体で形成されている。加熱装置10の構成上、発熱体17の周囲に処理物20が配置されているため、発熱体17は処理物20から生じるガスの影響を受けやすい。しかし、発熱体17を形成する黒鉛質の粉体は、かさ比重0.16以上であるため、低電圧で長時間加熱しなくても処理物から生じるガスで徐々に発熱体が吹き飛ばされるのを防止できる。また、抵抗の変化が小さいため、電流制御が容易で、断線のリスクを低減できる。その結果、発熱体に高電流(電圧)を印加することが可能になることで、焼成時間を短縮し、生産性の向上をもたらす。
(処理物)
処理物は、加熱処理時にガスの発生を伴うものである。このような処理物には無機珪酸質原料および炭素質原料の混合材料が挙げられる。この場合、全体の系としては、以下の反応が生ずる。
SiO2(s)+3C(s)→SiC(s)+2CO(g)
SiO2(s,l)+C(s)→SiO(g)+CO(g)
SiO2(s)+2C(s)→SiC(β)+CO(g)
SiC(β)→SiC(α)
SiO(g)+SiC(s)→2Si(l,g)+CO(g)
2Si(l,g)+CO(g)→SiC(α,β)+SiO(g)
(s、l、gは固体、液体、気体を示し、α、βは粒子の結晶構造を示す)
発熱体17の埋設は、無機珪酸質粒子および炭素質粒子が混合された処理物20の内部に容器11内の電極15a、15b間を接続するように行なう。
(条件)
上記の加熱装置および処理物の処理方法を基準に実験を行なった。加熱装置として長さ850mm、幅600mm、高さ600mmの箱型で、長手方向に発熱体を配置したアチソン炉を用いた。発熱体はφ100mmで形成した。平均粒径が1mmより小さい珪石とカーボンブラックを2軸ミキサーで混合し、処理物を作製した。混合比はC/Si=3(モル)である。この処理物を炉内(容器内)に800kg充填した。そして、電極に電圧を印加し、2時間で50kWまで電力を上げて、8h保持し、その後0kWまで下げた。この条件で発熱体のかさ比重を変えて焼成を繰り返し行なった。
上記のように評価を行なったところ、実施例1〜3の焼成では、発熱体の抵抗変化が小さく、断線も生じなかった。一方、比較例1の焼成では、発熱体の抵抗変化が大きく、焼成の後半では電源の制御電圧上限での焼成となった。比較例2の焼成では、焼成中に発熱体が断線し、焼成が不可能になった。以上より、発熱体のかさ比重を0.16以上にすることで断線を防止でき、0.4以下にすることで抵抗変化を電圧制御可能な範囲に収めることができることを確認できた。
11 容器
15a、15b 電極
17 発熱体
20 処理物
Claims (4)
- 加熱処理時にガスの発生を伴う処理物をジュール熱で加熱するための発熱体であって、
かさ比重0.16以上の黒鉛質の粉体で形成されることを特徴とする発熱体。 - かさ比重が0.4以下であることを特徴とする請求項1記載の発熱体。
- 鉛直上端面が大気開放され、前記処理物を収容する容器と、
前記容器の内壁に形成され、電圧が印加される電極と、
前記処理物内に埋設され、前記電極に接続される請求項1または請求項2記載の発熱体と、を備えることを特徴とする加熱装置。 - 請求項3記載の加熱装置を用いた炭化珪素の製造方法であって、
前記容器内に前記処理物として珪酸質原料および炭素質原料が混合された混合材料を充填するとともに、前記処理物内に前記発熱体を埋設する工程と、
前記発熱体に電圧を印加し通電する工程と、を含むことを特徴とする炭化珪素の製造方法。
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