JP6937673B2 - 真空室異常検出装置および隔膜真空計並びに真空室異常検出方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る隔膜真空計1の外観を示す図である。隔膜真空計1は、下部に本体部100と上部に回路部200とを有している。本体部100は、実際に被測定媒体の圧力検出を行うセンサ本体部分である。また、回路部200は、回路基板を有し、本体部100から送られる静電容量に係る信号を、圧力値(測定値)に変換等する処理を行う部分である。特に、実施の形態1においては、回路部200は、真空室異常検出装置210となって、真空室異常検出方法の工程を実行し、圧力測定の基準となる隔膜真空計1内の基準真空室の真空度測定等に係る処理を行う。
上述した実施の形態1では、異常判定用閾値th100の20%の圧力および80%の圧力における傾きから、真空基準室内の真空度低下が、基準真空室外からの流体流入によるものか基準真空室内のデガスによるものかを判定した。実施の形態2の真空室異常検出装置210においては、3つの圧力における傾きの値に基づいて判定を行うようにしたものである。
図8は、本発明の実施の形態3に係るデガスによる基準真空室内の圧力と経過時間との関係を示す図である。ここで、図8(b)は、図8(a)の圧力変化に対し、ゲッター190による吸着速度が落ち、基準真空室内の圧力が上昇してからの圧力変化の一部を拡大したものである。
図9は、本発明の実施の形態4に係る隔膜真空計1の本体部100の要部を示す図である。前述した実施の形態1においては、可動参照電極116と固定参照電極117との間に電圧を印加させ、真空基準室内で放電させた。放電に係る新たな電極を必要としないことから、流体の流入経路の削減、コスト低減等をはかることができる。ただ、電極が放電専用に調整されているものではなく、意図する精度が得られない可能性がある。
上述した実施の形態1および実施の形態2においては、隔膜真空計1内の回路部200が真空室異常検出装置210を有するものとして説明したが、これに限定するものではない。例えば、真空室異常検出装置210を、隔膜真空計1においてセンサチップ110を有する本体部100と別体の外部装置として構成してもよい。
Claims (10)
- 対向する複数の電極が設置された真空空間である真空室の異常を検出する真空室異常検出装置であって、
前記電極間の放電電圧から前記真空室内の圧力を検出する真空度測定部と、
前記真空室内の前記圧力の経時変化に基づき、前記真空室外からの流体の流入であるか前記真空室を囲む壁からの気体放出であるかを判定する推定機能部と
を備えることを特徴とする真空室異常検出装置。 - 前記推定機能部は、設定された2以上の前記圧力における前記圧力の傾き値を算出し、前記傾き値により、判定を行うことを特徴とする請求項1に記載の真空室異常検出装置。
- 前記推定機能部は、3以上の前記圧力の値と時間との関係を、関数に当てはめて、判定を行うことを特徴とする請求項1に記載の真空室異常検出装置。
- 前記推定機能部は、当てはまった前記関数が一次関数のときには前記真空室外からの流体の流入であると判定し、上に凸の曲線として表される関数のときには前記真空室を囲む壁からの気体放出であると判定することを特徴とする請求項3に記載の真空室異常検出装置。
- 前記推定機能部の判定に基づく異常予告信号を送信する信号送信部をさらに備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の真空室異常検出装置。
- 前記電極間に放電電圧を印加させる放電制御部をさらに備える請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の真空室異常検出装置。
- 被測定媒体が加える圧力により、ダイアフラムとともに変位する可動電極と、
該可動電極に対向して設けられた固定電極とを真空室内に備え、
さらに、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の真空室異常検出装置を有することを特徴とする隔膜真空計。 - 前記ダイアフラムの周縁部分に設置された可動参照電極と、
該可動参照電極に対向して設けられた固定参照電極とをさらに有し、
前記可動参照電極と固定参照電極の間で、前記真空室内の圧力を検出する放電を行うことを特徴とする請求項7に記載の隔膜真空計。 - 前記真空室内の圧力を検出する放電を行う放電電極をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の隔膜真空計。
- 対向する2つの電極が設置された真空空間である真空室の異常を検出する真空室異常検出方法であって、
前記電極間で放電させる工程と、
前記電極間の放電電圧から前記真空室内の圧力を検出する工程と、
前記真空室内の前記圧力の経時変化に基づき、前記真空室外からの流体の流入であるか前記真空室を囲む壁からの気体放出であるかを判定する工程と、
前記判定に基づく信号を送信する工程と
を有することを特徴とする真空室異常検出方法。
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JP2017229203A JP6937673B2 (ja) | 2017-11-29 | 2017-11-29 | 真空室異常検出装置および隔膜真空計並びに真空室異常検出方法 |
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