KR102194952B1 - 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법 - Google Patents

유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치에 관한 것으로, 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 이상 여부를 판단하기 위한 이상 기준데이터를 입력받는 이상 기준데이터 입력부; 상기 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 정상 여부를 판단하기 위한 정상 기준데이터를 입력받은 정상 기준데이터 입력부; 및 상기 이온 게이지의 측정데이터와 기 설정된 이상 기준데이터 및 정상 기준데이터를 비교하여 판단하는 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하는 제어부;를 포함한다.

Description

유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법{APPARATUS FOR DETECTING ABNORMALITY OF ION GAUGE USING SIMILARITY MEASURE AND METHOD THEREOF}
본 발명은 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 설비의 진공도를 측정하는 이온 게이지로부터 송신되는 시계열 데이터를 이용하여 이온 게이지의 이상을 검출할 수 있도록 하는, 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조공정에서 증착장치는 진공챔버를 이용하여 웨이퍼 표면 상에 불순물 이온들을 주입하거나 절연막들을 형성하는 데에 널리 사용되고 있다. 이러한 증착장치의 진공챔버는 고진공 환경 또는 저진공 환경을 필요로 한다. 따라서, 상기 진공챔버에 진공펌프를 연결시켜 상기 진공챔버 내부의 진공환경을 조성한다. 즉, 상기 진공챔버에 연결된 상기 진공펌프가 상기 진공챔버 내의 기체를 배출시킴으로써 상기 진공챔버 내부의 진공환경을 조성할 수 있다.
이때 상기 진공챔버에는 이온 게이지가 장착된다.
그리고 상기 이온 게이지가 연결된 컨트롤러는 상기 이온 게이지의 측정치로부터 진공챔버의 진공도를 판단할 수 있다.
그런데 상기 이온 게이지에도 이상이 발생할 수 있으며, 따라서 이온 게이지의 이상을 검출할 수 있는 방법이 필요한 상황이다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허 10-2006-0104514호(2006.10.09. 공개, 반도체 소자 제조용 진공장비)에 개시되어 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 반도체 설비의 진공도를 측정하는 이온 게이지로부터 송신되는 시계열 데이터를 이용하여 이온 게이지의 이상을 검출할 수 있도록 하는, 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치는, 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 이상 여부를 판단하기 위한 이상 기준데이터를 입력받는 이상 기준데이터 입력부; 상기 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 정상 여부를 판단하기 위한 정상 기준데이터를 입력받은 정상 기준데이터 입력부; 및 상기 이온 게이지의 측정데이터와 기 설정된 이상 기준데이터 및 정상 기준데이터를 비교하여 판단하는 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 이온 게이지의 측정데이터는, 진공도 상태를 측정한 시계열 데이터인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 이상 기준데이터, 및 정상 기준데이터를 미리 내부 메모리에 저장하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정데이터의 정상 상태 혹은 이상 상태를 판단하기 위하여, 평균 기울기를 이용하거나, DTW(Dynamic Time Wrapping) 알고리즘을 이용하여 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부는, 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하되, 상기 측정데이터는, 정상 상태, 상승 트렌드 이상 상태, 하강 트렌드 이상 상태, 노이즈성 헌팅 이상 상태, 및 진동성 헌팅 이상 상태 중 어느 하나의 상태인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 미만의 차이에서 유사할 경우 정상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 상승 상태인 경우 상승 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 하강 상태인 경우 하강 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고, 상기 측정데이터와 노이즈성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 노이즈성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며, 상기 측정데이터와 진동성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 진동성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 방법은, 제어부가 이온 게이지의 측정 데이터를 입력받는 단계; 상기 제어부가 상기 측정데이터를 기 설정된 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터와 비교하는 단계; 상기 제어부가 상기 측정데이터와 상기 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터의 비교 결과를 바탕으로 유사도를 판단하는 단계; 및 상기 제어부가 상기 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 유사도를 판단하는 단계에서, 상기 제어부는, 상기 측정데이터의 정상 상태, 상승 트렌드 이상 상태, 하강 트렌드 이상 상태, 노이즈성 헌팅 이상 상태, 및 진동성 헌팅 이상 상태 중 어느 하나를 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 미만의 차이에서 유사할 경우 정상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 상승 상태인 경우 상승 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며, 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 하강 상태인 경우 하강 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고, 상기 측정데이터와 노이즈성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 노이즈성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며, 상기 측정데이터와 진동성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 진동성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 기 설정된 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터와 비교하는 단계에서, 상기 제어부는, 기 검출된 정상 데이터를 입력받아 누적하고, 상기 누적된 정상 데이터의 통계 평균값을 계산하여, 상기 계산된 통계 평균값을 정상 기준데이터로 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 기 설정된 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터와 비교하는 단계에서, 상기 제어부는, 사용자로부터 룰 베이스(rule base)를 설정받고, 상기 룰 베이스에 기초한 노이즈성 헌팅 데이터 및 진동성 헌팅 데이터를 생성하여, 상기 생성된 두 헌팅 데이터를 이상 기준데이터로 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 반도체 설비의 진공도를 측정하는 이온 게이지로부터 송신되는 시계열 데이터를 이용하여 이온 게이지의 이상을 검출할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치의 개략적인 구성을 보인 예시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 3은 상기 도 2에 있어서, 정상 기준데이터를 설정하는 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 4는 상기 도 2에 있어서, 이상 기준데이터를 설정하는 방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 5는 상기 도 2에 있어서, 측정 데이터의 정상 상태 및 이상 상태를 그래프 형태로 비교하기 위하여 보인 예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치 및 방법의 일 실시예를 설명한다.
이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치의 개략적인 구성을 보인 예시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치는, 이상 기준데이터 입력부(110), 정상 기준데이터 입력부(120), 제어부(130), 측정데이터 입력부(140), 및 이상 출력부(150)를 포함한다.
상기 이상 기준데이터 입력부(110)는 이온 게이지(미도시)에서 측정된 데이터(즉, 측정데이터)와 비교하여 유사도 판단을 통해 이상 여부를 판단하기 위한 기준데이터이다.
상기 정상 기준데이터 입력부(120)는 이온 게이지(미도시)에서 측정된 데이터(즉, 측정데이터)와 비교하여 유사도 판단을 통해 정상 여부를 판단하기 위한 기준데이터이다.
상기 제어부(130)는 이온 게이지(미도시)에서 측정된 데이터(즉, 측정데이터)와 기 설정된 기준데이터(예 : 이상 기준데이터, 정상 기준데이터)를 비교하여 이온 게이지의 상태(예 : 정상, 이상)를 판단하여 상기 이상 출력부(150)를 통해서 출력한다.
상기 이온 게이지에서 측정된 데이터(즉, 측정데이터)는 초 단위(시계열 데이터)로서 진공도 상태를 측정한 값이다.
상기 제어부(130)는 상기 기준데이터(예 : 이상 기준데이터, 정상 기준데이터)를 미리 내부 메모리(미도시)에 저장할 수 있다.
상기 측정데이터 입력부(140)는 이온 게이지(미도시)에서 측정된 데이터(즉, 진공도 측정 데이터)를 입력받아 상기 제어부(130)에 전달한다.
상기 제어부(130)는 상기 진공도 측정 데이터를 분석하여 정상 상태, 상승 트렌드 이상 상태(예 : 평균 대비 기울기가 지정된 비율(예 : 20%) 이상 상승 상태), 하강 트렌드 이상 상태(예 : 평균 대비 기울기가 지정된 비율(예 : 20%) 이상 하강 상태), 노이즈성 헌팅(hunting) 이상 상태, 및 진동(oscillation)성 헌팅(hunting) 이상 상태를 판단한다.
이때 상기 제어부(130)는 상기 상승 트렌드 이상 상태(즉, 급상승 트렌드 이상 상태), 및 하강 트렌드 이상 상태(즉, 급하강 트렌드 이상 상태)를, 평균 기울기를 이용하거나, DTW(Dynamic Time Wrapping) 알고리즘을 이용하여 판단할 수 있으며, 정상 데이터 전체통계(Min-Max 범위)에서 지정된 비율(예 : ± 20%) 이상 기울기 변화가 있을 때를, 급상승 또는 급하강 트렌드 이상 상태로 판단한다.
참고로 상기 DTW 알고리즘은, 두 개의 시계열 데이터가 있다고 가정할 때 그 둘 간의 유사도를 알아내기 위한 알고리즘 중 하나이다. 예컨대 IoT 센서에서 시간마다 생성되는 데이터를 비교하여, 현재 데이터 흐름은 과거의 어떤 흐름과 매칭되는지 체크하는데 사용된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 제어부(130)는 이온 게이지로부터 측정 데이터를 입력받는다(S101). 그리고 상기 제어부(130)는 상기 측정데이터를 기 설정된 기준데이터(예 : 정상 기준데이터, 이상 기준데이터)와 비교한다(S102).
이때 상기 기준데이터의 설정은, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
상기 제어부(130)는 상기 측정데이터와 상기 기준데이터(예 : 정상 기준데이터, 이상 기준데이터)의 비교 결과를 바탕으로 유사도를 판단하여(S103), 상기 측정데이터의 정상 상태, 상승 트렌드 이상 상태(즉, 급상승 트렌드 이상 상태), 하강 트렌드 이상 상태(즉, 급하강 트렌드 이상 상태), 노이즈성 헌팅 이상 상태, 및 진동성 헌팅 이상 상태를 판단한다.
이때 상기 제어부(130)는 평균 기울기를 이용하거나, DTW 알고리즘을 이용하여 유사도를 판단할 수 있다.
상기 제어부(130)는 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율(예 : 20%) 미만의 차이에서 유사할 경우 정상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고(S104)(도 5의 (a) 참조), 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율(예 : 20%) 이상 상승 상태인 경우 상승 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며(S105), 상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율(예 : 20%) 이상 하강 상태인 경우 하강 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고(S106)(도 5의 (b) 참조), 상기 측정데이터와 노이즈성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율(예 : 20%) 이상 유사한 상태인 경우 노이즈성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며(S107)(도 5의 (c) 참조), 상기 측정데이터와 진동성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율(예 : 20%) 이상 유사한 상태인 경우 진동성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단한다(S108)(도 5의 (d) 참조).
이에 따라 상기 제어부(130)는 상기와 같이 비정상 상태의 측정데이터를 출력하는 경우 이온 게이지에 이상이 있는 것으로 판단할 수 있다.
도 3은 상기 도 2에 있어서, 정상 기준데이터를 설정하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 4는 상기 도 2에 있어서, 이상 기준데이터를 설정하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 상기 제어부(130)는 기 검출된 정상 데이터를 입력받아 누적하고(S201), 상기 누적된 정상 데이터의 통계(예 : 평균값)를 계산한다(S202). 그리고 상기 제어부(130)는 상기 계산된 통계(예 : 평균값)을 정상 기준데이터로 설정한다(S203).
이때 S201 단계에서, 상기 제어부(130)는 상기 도 2에서 판단된 정상 데이터를 계속 누적할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 제어부(130)는 사용자로부터 룰 베이스(rule base)를 설정받고(S301), 상기 룰 베이스에 기초한 헌팅 데이터(예 : 노이즈성 헌팅 데이터, 진동성 헌팅 데이터)를 생성한다(S302).
그리고 상기 제어부(130)는 상기 생성된 헌팅 데이터를 이상 기준데이터로 설정한다(S303).
이에 따라 상기 제어부(130)는 내부 메모리(미도시)에 상기 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터를 저장하여 유사도 판단에 사용한다.
이때 상기 측정데이터, 정상 기준데이터, 및 이상 기준데이터는, 비진공 상태에서 펌핑을 통해 진공 상태로 변환되는 전체 범위(Min-Max 범위)를 복수의 구간(또는 상태 구간)으로 구분하고, 각 구간별로 측정데이터와 기준데이터(정상 기준데이터, 이상 기준데이터)를 비교하여 유사도를 판단할 수도 있다.
상기와 같이 본 실시예는 반도체 설비의 진공도를 측정하는 이온 게이지로부터 송신되는 시계열 데이터를 이용하여 이온 게이지의 이상을 검출할 수 있도록 하는 효과가 있다.
이상으로 본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다. 또한 본 명세서에서 설명된 구현은, 예컨대, 방법 또는 프로세스, 장치, 소프트웨어 프로그램, 데이터 스트림 또는 신호로 구현될 수 있다. 단일 형태의 구현의 맥락에서만 논의(예컨대, 방법으로서만 논의)되었더라도, 논의된 특징의 구현은 또한 다른 형태(예컨대, 장치 또는 프로그램)로도 구현될 수 있다. 장치는 적절한 하드웨어, 소프트웨어 및 펌웨어 등으로 구현될 수 있다. 방법은, 예컨대, 컴퓨터, 마이크로프로세서, 집적 회로 또는 프로그래밍가능한 로직 디바이스 등을 포함하는 프로세싱 디바이스를 일반적으로 지칭하는 프로세서 등과 같은 장치에서 구현될 수 있다. 프로세서는 또한 최종-사용자 사이에 정보의 통신을 용이하게 하는 컴퓨터, 셀 폰, 휴대용/개인용 정보 단말기(personal digital assistant: "PDA") 및 다른 디바이스 등과 같은 통신 디바이스를 포함한다.
110 : 이상 기준데이터 입력부
120 : 정상 기준데이터 입력부
130 : 제어부
140 : 측정데이터 입력부
150 : 이상 출력부

Claims (5)

  1. 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 이상 여부를 판단하기 위한 이상 기준데이터를 입력받는 이상 기준데이터 입력부;
    상기 이온 게이지의 측정데이터와 비교하여 유사도 판단을 통해 정상 여부를 판단하기 위한 정상 기준데이터를 입력받은 정상 기준데이터 입력부; 및
    상기 이온 게이지의 측정데이터와 기 설정된 이상 기준데이터 및 정상 기준데이터를 비교하여 판단하는 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는,
    측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하되,
    상기 측정데이터는,
    정상 상태, 상승 트렌드 이상 상태, 하강 트렌드 이상 상태, 노이즈성 헌팅 이상 상태, 및 진동성 헌팅 이상 상태 중 어느 하나의 상태인 것을 특징으로 하는 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 미만의 차이에서 유사할 경우 정상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 상승 상태인 경우 상승 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 하강 상태인 경우 하강 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고,
    상기 측정데이터와 노이즈성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 노이즈성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며,
    상기 측정데이터와 진동성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 진동성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 장치.
  4. 제어부가 이온 게이지의 측정 데이터를 입력받는 단계;
    상기 제어부가 상기 측정데이터를 기 설정된 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터와 비교하는 단계;
    상기 제어부가 상기 측정데이터와 상기 정상 기준데이터 및 이상 기준데이터의 비교 결과를 바탕으로 유사도를 판단하는 단계; 및
    상기 제어부가 상기 측정데이터의 유사도 판단 결과를 바탕으로 이온 게이지의 상태를 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 유사도를 판단하는 단계에서,
    상기 제어부는,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 미만의 차이에서 유사할 경우 정상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 상승 상태인 경우 상승 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며,
    상기 측정데이터와 정상 기준데이터의 기울기가 지정된 비율 이상 하강 상태인 경우 하강 트렌드 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하고,
    상기 측정데이터와 노이즈성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 노이즈성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하며,
    상기 측정데이터와 진동성 헌팅 이상 기준데이터와 지정된 비율이상 유사한 상태인 경우 진동성 헌팅 이상 상태의 측정데이터인 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 유사도 측정을 이용한 이온 게이지의 이상 검출 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006344738A (ja) * 2005-06-08 2006-12-21 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
KR20180046746A (ko) * 2016-10-28 2018-05-09 삼성에스디에스 주식회사 이상 감지 방법 및 장치
JP2019100758A (ja) * 2017-11-29 2019-06-24 アズビル株式会社 真空室異常検出装置および隔膜真空計並びに真空室異常検出方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344738A (ja) * 2005-06-08 2006-12-21 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
KR20180046746A (ko) * 2016-10-28 2018-05-09 삼성에스디에스 주식회사 이상 감지 방법 및 장치
JP2019100758A (ja) * 2017-11-29 2019-06-24 アズビル株式会社 真空室異常検出装置および隔膜真空計並びに真空室異常検出方法

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