JP6932892B2 - 三極管型電離真空計及び圧力測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る一実施形態に係る三極管型電離真空計100を側方から見た模式図である。図2は、三極管型電離真空計100を上方から見た模式図である。
次に、イオンコレクタ14の熱伝導率と、測定される圧力との関係を調べるために行われた試験について説明する。この試験では、イオンコレクタ14の材料として、7種類の材料が用意され、イオンコレクタ14の材質が異なる7種類の三極管型電離真空計100によって、それぞれ、真空排気時の真空チャンバ内の圧力が測定された。
以下、300Kにおける熱伝導率が、173W/(m・K)未満である材料によりイオンコレクタ14が構成された比較例において、圧力がこのような挙動となる理由について説明する。図5は、300Kにおける熱伝導率が、173W/(m・K)未満である材料によりイオンコレクタ14が構成された比較例における、イオンコレクタ14に衝突する正イオン1の動きの様子を示す模式図である。なお、図5では、便宜的に、グリッド13を省略して図示している。
次に、吸着分子2が主に何の分子であるか判断するために行われた測定について説明する。この測定では、上記と同様に、イオンコレクタ14の材質が異なる7種類(グラファイト、銅、タングステン、モリブデン、ニッケル、白金、ステンレス鋼(SUS304))の三極管型電離真空計が用意された。そして、真空チャンバの真空排気が行われた後、フィラメント12OFF時及びフィラメント12ON時に、四重極質量分析計によって、センサ本体11内の気体分子のマススペクトルが測定された。
以上説明したように、300Kにおける熱伝導率が173W/(m・K)未満の材料によってイオンコレクタ14が構成された比較例においては、水分子のイオンコレクタ14への吸着が主な原因で、測定される圧力が不正確となる。
2…吸着分子
10…センサユニット
11…センサ本体
12…フィラメント
13…グリッド
14…イオンコレクタ
15…端子
16…グリッド支持部材
17…イオンコレクタ支持部材
20…制御ユニット
100…三極管型電離真空計
Claims (6)
- フィラメントと、
前記フィラメントの周囲に配置されるグリッドと、
筒状であり、前記グリッドの周囲に配置され、300Kにおける熱伝導率が173W/(m・K)以上の材料によって構成されたイオンコレクタと、
前記イオンコレクタを支持し、前記イオンコレクタを構成する材料よりも熱伝導率が低い材料よって構成され、前記イオンコレクタを水分子の吸着を防止する温度に維持する支持部材と
を具備する三極管型電離真空計。 - 請求項1に記載の三極管型電離真空計であって、
前記フィラメントへの供給電力が4W以下である
三極管型電離真空計。 - 請求項1に記載の三極管型電離真空計であって、
金属材料によって構成され、前記フィラメント、前記グリッド及び前記イオンコレクタを内部に収容する収容部をさらに具備する
三極管型電離真空計。 - 請求項1に記載の三極間型電離真空計であって、
前記イオンコレクタにおける軸方向の両端部の領域に対して衝突した気体分子の離脱率が、前記イオンコレクタにおける軸方向の中央の領域に対して衝突した気体分子の離脱率と同等である
三極管型電離真空計。 - フィラメントと、前記フィラメントの周囲に配置されるグリッドと、筒状であり、前記グリッドの周囲に配置され、300Kにおける熱伝導率が173W/(m・K)以上の材料によって構成されたイオンコレクタと、前記イオンコレクタを支持し、前記イオンコレクタを構成する材料よりも熱伝導率が低い材料よって構成された支持部材とを具備する三極管型電離真空計を用意し、
前記イオンコレクタの温度が水分子の吸着を防止する温度となるように前記フィラメントを加熱し、
前記三極管型電離真空計により、測定対象物の内部の圧力を測定する
圧力測定方法。 - 請求項5に記載の圧力測定方法であって、
前記フィラメント、前記グリッド及び前記イオンコレクタを内部に収容する金属製の収容部を接地し、前記収容部内の空間内の電位分布を一定に維持する
圧力測定方法。
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