JP6931912B2 - ウェハレベルパッケージの製造方法 - Google Patents
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Description
E2 拡散抑制層
E3 メインメタル
t1,t2,t3 膜厚
GND1,GND2 接地電極
11 水晶振動片
12 基部
13,14 振動腕部
15,16 溝部
17,18 壁部
19,20 電極層
31 WLP(ウェハレベルパッケージ)
32 機能基板
33 ベース基板
34 リッド基板
35 中空部
36 支持枠
37 連結部
40 接合層
41 外周枠
43 凹部
44 気密空間
45 絶縁部
46 側面端子
52 集合機能基板
53 集合ベース基板
54 集合リッド基板
55 機能部
56 封止部
57 スルーホール
60 チャンバ
Claims (5)
- 少なくとも一つの機能基板と、この機能基板を封止する少なくとも一対の封止基板との接合面同士の接合により内部にデバイス素子を有する気密空間が形成されるウェハレベルパッケージの製造方法において、
前記機能基板及び封止基板の接合面に、コンタクトメタル、拡散抑制層、メインメタルの順に積層された少なくとも3層構造の接合層を形成し、
前記機能基板及び封止基板をそれぞれの接合面同士が対向するように気密空間内に配置し、
前記気密空間内を所定の温度に加熱し各基板に付着している水分を気化させたのち、気密空間内を所定の真空度に保ち、前記機能基板及び一対の封止基板を加熱及び加圧することにより前記機能基板及び封止基板の接合面を拡散接合し、前記デバイス素子を気密封止するウェハレベルパッケージの製造方法であって、
前記気密空間内を所定の温度に加熱する加熱温度は、前記機能基板及び封止基板の接合面を拡散接合する際の加熱温度よりも高く設定されるウェハレベルパッケージの製造方法。 - 機能基板が複数形成される少なくとも一つの集合機能基板と、封止基板が複数形成される一対の集合封止基板とを用い、
前記集合機能基板にデバイス素子からなる機能部を複数形成する工程と、
前記一対の集合封止基板に前記各機能部に対応する枠部及びこの枠部内に前記デバイス素子を収容する凹部からなる封止部をそれぞれ複数形成する工程と、
前記各機能部及びこれと対応する一対の封止部の接合面にコンタクトメタル、拡散抑制層、メインメタルを順に積層した少なくとも3層構造の接合層を形成する工程と、
前記集合機能基板の上下面にそれぞれ隙間を設けて一対の集合封止基板を対向させ、高温加熱することで、前記集合機能基板及び前記一対の集合封止基板に付着している水分を気化させる加熱工程と、
前記気化した水分を放出させながら真空引きする工程と、
前記集合機能基板と一対の集合封止基板とを加熱しながら加圧することによって接合する拡散接合工程と、
接合された前記集合機能基板及び一対の集合封止基板を前記機能部及び封止部に沿ってダイシングする工程と、を備え、
前記加熱工程における加熱温度は、拡散接合工程における加熱温度よりも高く設定されるウェハレベルパッケージの製造方法。
たウェハレベルパッケージの製造方法。 - 前記加熱工程は、不活性ガス中、真空中のいずれかの条件下で、250℃以上の温度をかけて行う請求項2に記載のウェハレベルパッケージの製造方法。
- 前記メインメタルが金、銀、パラジウム、アルミニウムの中から選択される少なくとも一の金属又は一の金属を含む合金である請求項1又は2に記載のウェハレベルパッケージの製造方法。
- 前記拡散抑制層がルテニウムである請求項1又は2に記載のウェハレベルパッケージの製造方法。
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