JP6762049B2 - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6762049B2 JP6762049B2 JP2019151012A JP2019151012A JP6762049B2 JP 6762049 B2 JP6762049 B2 JP 6762049B2 JP 2019151012 A JP2019151012 A JP 2019151012A JP 2019151012 A JP2019151012 A JP 2019151012A JP 6762049 B2 JP6762049 B2 JP 6762049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- support frame
- conductive layer
- crystal
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
12 振動体
13,14 封止体
13a,14a 側面
15 水晶振動片
16 支持枠
16a,16b 側面
17 連結部
18 基部
19 振動腕部
21 当接面
22 通気路
23 凹部
25a,25b 外部電極
26 封止部材
30 導電層
30a 側面
30b 上面
30c 下面
31a,31b 励振電極
32a,33a 第1の内部電極
32b,33b 第2の内部電極
34 絶縁部
42 集合振動基板
43,44 集合封止基板
45 貫通孔
46 ダイシングライン
51 水晶振動子
61,71 振動体
62,72 支持枠
63,73 外周部
64,74 内周部
65,75 スペース
Claims (2)
- 水晶振動片とこの水晶振動片の少なくとも一端を支持する支持枠とからなる振動体と、
前記支持枠の上下面にそれぞれ接合される当接面及び内側に凹部を有する一対の封止体とを有し、前記支持枠の上下面にそれぞれに形成される導電層を介して前記一対の封止体の当接面が接合され、接合された前記振動体及び一対の封止体の側面に露出する前記導電層の側面を覆うようにして外部電極が被覆形成される水晶振動子であって、
前記支持枠の上下面に前記一対の封止体の各当接面を接合した際には、支持枠の上面に形成された導電層の上面の一端及び支持枠の下面に形成された導電層の下面の一端が前記各当接面からそれぞれ露出し、
各当接面から露出した支持枠の上面に形成された導電層の上面の一端及び支持枠の下面に形成された導電層の下面の一端が前記外部電極によって被覆されると共に、前記導電層に設けられた前記封止体の凹部と外部とを連通する通気路が前記外部電極によって閉塞される水晶振動子。 - 前記導電層が前記一対の封止体の各当接面に接合される前記支持枠の上面及び下面の各全周面、及び前記一対の封止体の各当接面の少なくとも一方の当接面の全周面に設けられ、前記導電層に前記通気路がスリット状に形成される請求項1に記載の水晶振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019151012A JP6762049B2 (ja) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019151012A JP6762049B2 (ja) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 水晶振動子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015181380A Division JP6744078B2 (ja) | 2015-09-15 | 2015-09-15 | 水晶振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020005281A JP2020005281A (ja) | 2020-01-09 |
JP6762049B2 true JP6762049B2 (ja) | 2020-09-30 |
Family
ID=69100744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019151012A Active JP6762049B2 (ja) | 2019-08-21 | 2019-08-21 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6762049B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5484991A (en) * | 1977-11-21 | 1979-07-06 | Seiko Epson Corp | Crystal vibrator |
JPS6378425U (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | ||
JP4060972B2 (ja) * | 1999-01-29 | 2008-03-12 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2001060843A (ja) * | 1999-08-23 | 2001-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電部品 |
JP2006211411A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP5508192B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2014-05-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス |
JP2012195918A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-11 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2012217111A (ja) * | 2011-03-28 | 2012-11-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及びその製造方法 |
-
2019
- 2019-08-21 JP JP2019151012A patent/JP6762049B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020005281A (ja) | 2020-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4707725B2 (ja) | パッケージ型圧電振動子及びパッケージ型圧電振動子の製造方法 | |
JPWO2006001125A1 (ja) | 圧電デバイス | |
TWI649963B (zh) | Crystal vibration element | |
US8664837B2 (en) | Piezoelectric device and method for fabricating the same | |
JP2007005948A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP6275526B2 (ja) | 圧電振動子、圧電デバイス及び圧電振動子の製造方法 | |
JP6885338B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
US11824512B2 (en) | Piezoelectric resonator device | |
JP5251224B2 (ja) | 圧電振動デバイスの製造方法および圧電振動デバイス | |
JP2020123906A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2014175899A (ja) | 圧電デバイス | |
JP6762049B2 (ja) | 水晶振動子 | |
JP6762050B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JPWO2020137830A1 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2009033613A (ja) | 蓋体集合体および当該蓋体集合体を用いた圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP4555068B2 (ja) | 水晶振動子パッケージの製造方法 | |
WO2021059731A1 (ja) | 圧電振動板、圧電振動デバイス、及び、圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP6482282B2 (ja) | 電子部品 | |
JP6744078B2 (ja) | 水晶振動子 | |
JP5188948B2 (ja) | 水晶振動子 | |
JP2020162069A (ja) | 水晶ウエハ | |
JP4893602B2 (ja) | 圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの気密封止方法 | |
US20240039505A1 (en) | Piezoelectric resonator device | |
JP5568416B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2009111931A (ja) | 圧電振動子及び圧電振動子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191011 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6762049 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |