JP6931592B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
検出室を気密に封止する検出室フランジと、
前記検出室に配置されている検出器と、
前記検出器を保持する検出器保持台と、
前記検出室フランジに設けられたガイド穴に摺動可能に挿入され、前記検出器保持台に接続されている第1シャフトと、
前記検出室フランジに取り付けられ、球面軸受けを有する第1フランジと、
前記第1フランジの球面軸受けで支持されている第2フランジと、
前記第2フランジに設けられたガイド穴に摺動可能に挿入され、前記検出室フランジの貫通孔を通って、前記検出器保持台に接続されている第2シャフトと、
を含み、
前記第1シャフトおよび前記第2シャフトには、前記検出器を冷却または加熱するための熱媒体の流路が設けられている。
外の荷電粒子線(イオン等)を照射して試料の観察や分析を行う装置であってもよい。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。図1では、電子顕微鏡100を構成する各部材を簡略化して図示している。
次に、検出器30および駆動装置40の構成について説明する。図2は、検出器30および駆動装置40を模式的に示す図である。図3〜図5は、検出器30および駆動装置40の一部を模式的に示す図である。図2〜図5は、検出器30が検出位置に位置している状態を図示している。なお、図2〜図5には、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。なお、Z軸は、光軸OAに平行な軸である。
る。これにより、ピン160は、X方向に案内される。この結果、駆動装置40の回転が規制される。
次に、電子顕微鏡100における検出器30の位置決め方法について説明する。以下では、検出器30の検出位置を位置決めする方法について説明する。
電子顕微鏡100において、検出器30のX方向の位置決めは、駆動装置40のX方向の位置を調整することにより行われる。
電子顕微鏡100において、検出器30のY方向の位置決めは、検出室フランジ140のY方向の位置を調整することにより行われる。
出室フランジ140と壁部材142とを固定しているねじ等を緩めても、検出室フランジ140は脱落しない。さらに、検出室フランジ140がY方向以外に移動することを規制することができる。
次に、電子顕微鏡100の動作について説明する。以下では、駆動装置40の動作について説明する。図7は、検出器30および駆動装置40を模式的に示す図である。図7は、検出器30が退避位置に位置している状態を図示している。
電子顕微鏡100は、例えば、以下の特徴を有する。
可能に挿入され、検出室フランジ140の貫通孔146を通って、検出器保持台110に接続されている第2シャフト122と、を含み、第1シャフト120および第2シャフト122には、検出器30を冷却するための冷却水の流路121,123が設けられている。
Claims (3)
- 検出室を気密に封止する検出室フランジと、
前記検出室に配置されている検出器と、
前記検出器を保持する検出器保持台と、
前記検出室フランジに設けられたガイド穴に摺動可能に挿入され、前記検出器保持台に接続されている第1シャフトと、
前記検出室フランジに取り付けられ、球面軸受けを有する第1フランジと、
前記第1フランジの球面軸受けで支持されている第2フランジと、
前記第2フランジに設けられたガイド穴に摺動可能に挿入され、前記検出室フランジの貫通孔を通って、前記検出器保持台に接続されている第2シャフトと、
を含み、
前記第1シャフトおよび前記第2シャフトには、前記検出器を冷却または加熱するための熱媒体の流路が設けられている、荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
球面の先端部を有する直動シャフトと、
前記直動シャフトを直動させる駆動装置と、
前記検出器保持台に接続され、前記直動シャフトの先端部を受ける球面軸受けを備えているシャフト支持部材と、
を含む、荷電粒子線装置。 - 請求項1または2において、
前記検出室フランジと前記検出室を規定する壁部材との間に配置されているOリングと、
前記検出室フランジと前記壁部材との間の距離が、前記Oリングによる封止が可能となる距離よりも大きくなることを制限するフランジ支持部材と、
を含む、荷電粒子線装置。
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