JP6928063B2 - 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性樹脂膜およびカラーフィルタ - Google Patents

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性樹脂膜およびカラーフィルタ Download PDF

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Description

本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いて製造された感光性樹脂膜および前記感光性樹脂膜を含むカラーフィルタに関するものである。
ディスプレイ装置の一つである液晶ディスプレイ装置は、軽量化、薄形化、低価格化、低消費電力駆動化および優れた集積回路との接合性などの長所を有しているため、ノートパソコン、モニターおよびTV画像用にその使用範囲が拡大されている。このような液晶ディスプレイ装置は、ブラックマトリクス(遮光層)、カラーフィルタおよびITO画素電極が形成された下部基板と、液晶層、薄膜トランジスタ、蓄電キャパシタ層から構成された能動回路部とITO画素電極が形成された上部基板を含んで構成される。
カラーフィルタは、画素の間の境界部を遮光するために透明基板上に決められたパターンで形成されたブラックマトリクス(遮光層)およびそれぞれの画素を形成するために複数の色(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の三原色)を決められた順序で配列した画素部が順次に積層された構造をとっている。
カラーフィルタを実現する方法の一つである顔料分散法は、ブラックマトリクスが提供された透明な基質の上に着色剤を含有する光重合性組成物をコーティングし、形成しようとする形態のパターンを露光した後、非露光部位を溶剤で除去して熱硬化させる一連の過程を繰り返すことによって着色薄膜が形成される方法である。顔料分散法によるカラーフィルタ製造に使用される着色感光性樹脂組成物は一般に、アルカリ可溶性樹脂、光重合性単量体、光重合開始剤、エポキシ樹脂、溶剤とその他の添加剤などからなる。前記の特徴を有する顔料分散法は、携帯電話、ノートパソコン、モニター、TVなどのLCDを製造するのに活発に応用されている。
しかし、最近では様々な長所を有する顔料分散法を用いたカラーフィルタ用感光性樹脂組成物においても、粉末の微細化工程が難しく分散をしても分散状態が分散液内で安定しなければならないため多様な添加剤が必要であり工程も非常に難しく、さらに顔料分散液は最適の品質状態を維持するために保管および運送条件が難しいという短所がある。
また、顔料型感光性樹脂組成物から製造されたカラーフィルタでは顔料粒子の大きさから生じる輝度と明暗比の限界が存在する。また、イメージセンサー用カラー撮像素子の場合には微細なパターン形成のためにさらに小さな分散粒度が要求される。このような要求に応えるために、顔料の代わりにまたは顔料と共に、粒子をなさない染料を導入した感光性樹脂組成物を製造して、輝度と明暗比などの色特性が改善されたカラーフィルタを実現しようとする試みが続けられているが、染料型感光性樹脂組成物は顔料型感光性樹脂組成物に比べて耐光性が落ちるという問題がある。
これにより、C.I.Pigment Blue 15:6(εタイプ)顔料の代わりに、C.I.Pigment Blue 15:3(βタイプ)またはC.I.Pigment Blue 15:4(βタイプ)顔料を適用しようとする試みがあったが、この場合、耐光性は優れているが、高色ブルーレジストでBx色座標が大きくなるようになって、高色再現に対する要求が大きくなっている最近の傾向に適しないという問題がある。
したがって、耐光性低下をもたらさないながら、同時に高色再現(高色ブルーレジストで小さいBx色座標を有すること)が可能な感光性樹脂組成物に対する研究が続けられている。
韓国登録特許第1344790号公報
一実施形態は、耐光性に優れていながら高色再現が可能な感光性樹脂組成物を提供するためのものである。
他の一実施形態は、前記感光性樹脂組成物を用いて製造された感光性樹脂膜を提供するためのものである。
また他の一実施形態は、前記感光性樹脂膜を含むカラーフィルタを提供するためのものである。
本発明の一実施形態は、(A)青色顔料および350nm〜450nmの波長領域で最大吸収波長を有するアザポルフィリン系染料を含む着色剤と、(B)バインダー樹脂と、(C)光重合性化合物と、(D)光重合開始剤と、(E)溶媒とを含む感光性樹脂組成物を提供する。
前記アザポルフィリン系染料は、中心金属がCuまたはV(=O)であってもよい。
前記アザポルフィリン系染料は、下記化学式1で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式1中、
Mは、CuまたはV(=O)であり、
〜R20は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基、置換または非置換の炭素数1〜20のアルコキシ基、置換または非置換の炭素数6〜20のアリール基、スルホン酸基、置換または非置換のスルホンアミド基または置換または非置換の炭素数1〜20のアルキルエステル基であり、
但し、R〜Rのうちの少なくとも一つ以上、R〜R10のうちの少なくとも一つ以上、R11〜R15のうちの少なくとも一つ以上およびR16〜R20のうちの少なくとも一つ以上は、それぞれ独立して水素原子ではない。
前記R〜Rのうちの一つ、R〜R10のうちの一つ、R11〜R15のうちの一つおよびR16〜R20のうちの一つは、それぞれ独立して下記化学式2で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式2中、
21は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
前記R、R、R13およびR18は、それぞれ独立して下記化学式3で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式3中、
は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキレン基であり、
22およびR23は、それぞれ独立して置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
前記アザポルフィリン系染料は、下記化学式1−1または化学式1−2で表され得る。
Figure 0006928063
前記アザポルフィリン系染料は、前記感光性樹脂組成物総量に対して固形分基準に0.1重量%〜5重量%で含まれてもよい。
前記着色剤は、バイオレット顔料をさらに含んでもよい。
前記青色顔料は、C.I.Pigment Blue15:6であってもよい。
前記感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物総量に対して、前記着色剤2重量%〜40重量%と、前記バインダー樹脂3重量%〜20重量%と、前記光重合性化合物1重量%〜20重量%と、前記光重合開始剤0.1重量%〜5重量%と、前記溶媒残部量とを含んでもよい。
前記感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物、シランカップリング剤、界面活性剤またはこれらの組み合わせをさらに含んでもよい。
本発明の他の一実施形態は、前記感光性樹脂組成物を用いて製造される感光性樹脂膜を提供する。
本発明のまた他の一実施形態は、前記感光性樹脂膜を含むカラーフィルタを提供する。
その他の本発明の側面の具体的な事項は、以下の詳細な説明に含まれている。
本発明の一実施形態による感光性樹脂組成物は、液晶表示装置などの光学表示装置のパネルを構成するカラーフィルタの色再現率を向上させるために350nm〜450nmの波長を遮断する化合物を含んで、高色座標でも相対的に高い耐光性を維持することができる。特に、前記化合物は非常に狭い領域を強く吸光する特性を有するので、非常に少ない量でも該当領域の分光を遮断して高色(blue)を実現することができる。
以下、本発明の実施形態を詳しく説明する。但し、これは例示として提示されるものであって、これによって本発明が制限されず、本発明は後述の特許請求の範囲の範疇によって定義されるものである。
本明細書で特別な言及がない限り、“置換”乃至“置換された”とは、本発明の官能基中の一つ以上の水素原子がハロゲン原子(F、Br、ClまたはI)、ヒドロキシ基、ニトロ基、シアノ基、アミノ基(NH、NH(R200)またはN(R201)(R202)であり、ここで、R200、R201およびR202は同一であるか互いに異なり、それぞれ独立して炭素数1〜10のアルキル基である)、アミジノ基、ヒドラジン基、ヒドラゾン基、カルボキシル基、置換または非置換のアルキル基、置換または非置換のアルケニル基、置換または非置換のアルキニル基、置換または非置換の脂環式有機基、置換または非置換のアリール基、および置換または非置換のヘテロ環基からなる群より選択される1種以上の置換基で置換されたものを意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、“アルキル基”とは炭素数1〜20のアルキル基を意味し、具体的には炭素数1〜15のアルキル基を意味し、“シクロアルキル基”とは炭素数3〜20のシクロアルキル基を意味し、具体的には炭素数3〜18のシクロアルキル基を意味し、“アルコキシ基”とは炭素数1〜20のアルコキシ基を意味し、具体的には炭素数1〜18のアルコキシ基を意味し、“アリール基”とは炭素数6〜20のアリール基を意味し、具体的には炭素数6〜18のアリール基を意味し、“アルケニル基”とは炭素数2〜20のアルケニル基を意味し、具体的には炭素数2〜18のアルケニル基を意味し、“アルキレン基”とは炭素数1〜20のアルキレン基を意味し、具体的には炭素数1〜18のアルキレン基を意味し、“アリーレン基”とは炭素数6〜20のアリーレン基を意味し、具体的には炭素数6〜16のアリーレン基を意味する。
本明細書で特別な言及がない限り、“(メタ)アクリレート”は“アクリレート”と“メタクリレート”の両方とも可能であるのを意味し、“(メタ)アクリル酸”は“アクリル酸”と“メタクリル酸”の両方とも可能であるのを意味する。
本明細書で、別途の定義がない限り、“組み合わせ”とは、混合または共重合を意味する。また“共重合”とは、ブロック共重合乃至ランダム共重合を意味し、“共重合体”とはブロック共重合体乃至ランダム共重合体を意味する。
本明細書内の化学式で別途の定義がない限り、化学結合が描かれなければならない位置に化学結合が描かれていない場合は前記位置に水素原子が結合されていることを意味する。
また、本明細書で別途の定義がない限り、“*”は同一であるか異なる原子または化学式と連結される部分を意味する。
また、本明細書で、ある部材が他の部材“上に”位置しているという時、これはある部材が他の部材に接している場合だけでなく、二つの部材の間にまた他の部材が存在する場合も含む。
また、本明細書で、ある部分がある構成要素を“含む”という時、これは特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
本発明の一実施形態は、(A)青色顔料および350nm〜450nmの波長領域で最大吸収波長を有するアザポルフィリン系染料を含む着色剤;(B)バインダー樹脂;(C)光重合性化合物;(D)光重合開始剤;および(E)溶媒を含む感光性樹脂組成物を提供する。
以下、各成分について具体的に説明する。
(A)着色剤
一実施形態による感光性樹脂組成物は、着色剤として青色顔料およびアザポルフィリン系染料を含む。
前記アザポルフィリン系染料は350nm〜450nmの波長領域、例えば400nm〜440nmの波長領域で最大吸収波長を有する。
高色ブルー実現(高色ブルーレジストの実現)のためには、低いBx色座標の実現が必須的であり、耐光性および工程性の低下を最少化させることができる着色剤の組み合わせおよびその含量が重要である。高色ブルーの実現のためには、一般に、青色着色剤の吸光をブルーシフト(blue−shift)させながら着色剤の含量を増加させる方法を使用する。しかし、前記方法は、着色剤の含量が多くなるため耐光性をはじめとする耐久特性が大きく低下するという短所がある。これにより、青色着色剤に他の染料を混合して使用する方法が提案されたが、前記青色着色剤に他の染料を適用時、前記他の染料によって耐光性が大きく低下するため、耐光性を優れるように維持しながら同時に高色ブルーを実現するのが非常に難しかった。例えば、従来のアゾ系列の黄色染料を使用して380nm〜420nmの波長領域を吸収しようとする試みなどがあったが、この場合、前記アゾ系列の黄色染料が相対的に多くの量が投入されなければならないため、全体組成物の工程マージンが確保されないという問題点があるため、商用化に失敗した事例がある。また、従来のアゾ系列の黄色染料を既存の青色顔料(epsilon blue)と共に使用する場合、透過と吸光スペクトルが重なるためブルー(blue)透過領域が毀損され輝度損失が大きくなり、耐光性が低下するおそれもある。
一実施形態によれば、青色顔料に350nm〜450nmの波長領域で最大吸収波長を有するアザポルフィリン系染料を混合して着色剤として使用することによって、前述の問題点である耐光性低下を最少化することができ、同時に高色ブルーを実現することができる。
例えば、前記アザポルフィリン系染料は、中心金属がCuまたはV(=O)であり得る。前記アザポルフィリン系染料の中心金属が何なのかによって、高色再現および耐光特性が変わることがあるので、前記アザポルフィリン系染料の中心金属はその種類が非常に重要である。例えば、前記アザポルフィリン系染料の中心金属がZn、Co、Ptなどである場合、前述の青色顔料と共に混合して着色剤として使用しても、耐光性向上を図りにくいことがある。
前記アザポルフィリン系染料は、下記化学式1で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式1中、
Mは、CuまたはV(=O)であり、
〜R20は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基、置換または非置換の炭素数1〜20のアルコキシ基、置換または非置換の炭素数6〜20のアリール基、スルホン酸基、置換または非置換のスルホンアミド基または置換または非置換の炭素数1〜20のアルキルエステル基であり、
但し、R〜Rのうちの少なくとも一つ以上、R〜R10のうちの少なくとも一つ以上、R11〜R15のうちの少なくとも一つ以上およびR16〜R20のうちの少なくとも一つ以上は、それぞれ独立して水素原子ではない。
例えば、前記化学式1中、R〜Rのうちの一つ、R〜R10のうちの一つ、R11〜R15のうちの一つおよびR16〜R20のうちの一つは、それぞれ独立して下記化学式2で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式2中、
21は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
例えば、前記化学式1中、R、R、R13およびR18は、それぞれ独立して下記化学式3で表され得る。
Figure 0006928063
上記化学式3中、
は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキレン基であり、
22およびR23は、それぞれ独立して置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
例えば、前記アザポルフィリン系染料は、下記化学式1−1または化学式1−2で表され得る。
Figure 0006928063
前記アザポルフィリン系染料は、前記青色顔料より少ない含量で含まれてもよい。前記アザポルフィリン系染料は350nm〜450nmの波長領域で光を吸収する役割を果たす補助染料であって、前記青色顔料より少ない含量で含まれてこそブルーレジストでの高色再現が可能であり、前記アザポルフィリン系染料が前記青色顔料より多い含量で含まれる場合、アザポルフィリン系染料が過量で使用されることによってブルーレジストでの高色再現が難しいことがある。
前記アザポルフィリン系染料は、前記感光性樹脂組成物総量に対して固形分基準に0.1重量%〜5重量%で含まれてもよい。前記含量範囲では十分な高色再現が可能であり、優れた工程マージンを有することができる。
例えば、前記着色剤は、青色顔料および前記アザポルフィリン系染料以外にバイオレット顔料をさらに含むことができる。
例えば、前記青色顔料は、イプシロン青色(epsilon blue)顔料であり得る。一実施形態による組成物に使用される青色顔料として、ベータ青色(beta blue)顔料よりイプシロン青色(epsilon blue)顔料を使用することが輝度(耐光性)向上に役立つ。
例えば、前記青色顔料は、C.I.Pigment Blue15:6であり得る。
前記着色剤は、一実施形態による感光性樹脂組成物総量に対して固形分基準に2重量%〜40重量%で含まれてもよい。前記着色剤が前記含量範囲で含まれる場合、高色座標で優れた耐光性を達成することができる。
(B)バインダー樹脂
前記バインダー樹脂は、アクリル系バインダー樹脂を含むことができる。例えば、前記バインダー樹脂は、アクリル系バインダー樹脂であり得る。
前記アクリル系バインダー樹脂は、第1エチレン性不飽和単量体およびこれと共重合可能な第2エチレン性不飽和単量体の共重合体であって、一つ以上のアクリル系繰り返し単位を含む樹脂である。
前記第1エチレン性不飽和単量体は、一つ以上のカルボキシ基および/またはヒドロキシ基を含有するエチレン性不飽和単量体であり、その具体的な例としてはアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸またはこれらの組み合わせが挙げられる。
前記第1エチレン性不飽和単量体は、前記アクリル系バインダー樹脂総量に対して5重量%〜50重量%、例えば10重量%〜40重量%で含まれてもよい。
前記第2エチレン性不飽和単量体は、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ビニルベンジルメチルエーテルなどの芳香族ビニル化合物;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル化合物;2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル化合物;酢酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル化合物;グリシジル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物;(メタ)アクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物;(メタ)アクリルアミドなどの不飽和アミド化合物;などが挙げられ、これらを単独でまたは二つ以上混合して使用することができる。
前記アクリル系バインダー樹脂の具体的な例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジルメタクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジルメタクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体などが挙げられるが、これに限定されるのではなく、これらを単独または2種以上を配合して使用することもできる。
前記アクリル系バインダー樹脂の重量平均分子量は3,000g/mol〜150,000g/mol、例えば5,000g/mol〜50,000g/mol、例えば20,000g/mol〜30,000g/molであり得る。前記アクリル系バインダー樹脂の重量平均分子量が前記範囲内である場合、前記感光性樹脂組成物の物理的および化学的物性に優れ粘度が適切であり、カラーフィルタ製造時に基板との密着性に優れる。
前記アクリル系バインダー樹脂の酸価は、15mgKOH/g〜60mgKOH/g、例えば20mgKOH/g〜50mgKOH/gであり得る。アクリル系バインダー樹脂の酸価が前記範囲内である場合、ピクセルパターンの解像度が優れる。
前記バインダー樹脂は、前記感光性樹脂組成物総量に対して3重量%〜20重量%、例えば5重量%〜15重量%で含まれてもよい。バインダー樹脂が前記範囲内に含まれる場合、カラーフィルタ製造時に現像性が優れ架橋性が改善されて優れた表面平滑度を得ることができる。
(C)光重合性化合物
前記光重合性化合物は、少なくとも1つのエチレン性不飽和二重結合を有する(メタ)アクリル酸の一官能または多官能エステルを使用することができる。
光重合性化合物は、前記エチレン性不飽和二重結合を有することによって、パターン形成工程で露光時に十分な重合を起こすことによって耐熱性、耐光性および耐化学性に優れたパターンを形成することができる。
光重合性化合物の具体的な例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAエポキシ(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(メタ)アクリロイルオキシエチルホスフェート、ノボラックエポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
光重合性化合物の市販される製品を例として挙げれば次の通りである。前記(メタ)アクリル酸の一官能エステルの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックスM−101(登録商標)、同M−111(登録商標)、同M−114(登録商標)など;日本化薬株式会社製のKAYARAD TC−110S(登録商標)、同TC−120S(登録商標)など;大阪有機化学工業株式会社製のV−158(登録商標)、V−2311(登録商標)などが挙げられる。前記(メタ)アクリル酸の二官能エステルの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックスM−210(登録商標)、同M−240(登録商標)、同M−6200(登録商標)など;日本化薬株式会社製のKAYARAD HDDA(登録商標)、同HX−220(登録商標)、同R−604(登録商標)など;大阪有機化学工業株式会社製のV−260(登録商標)、V−312(登録商標)、V−335HP(登録商標)などが挙げられる。前記(メタ)アクリル酸の三官能エステルの例としては、東亞合成株式会社製のアロニックスM−309(登録商標)、同M−400(登録商標)、同M−405(登録商標)、同M−450(登録商標)、同M−710(登録商標)、同M−8030(登録商標)、同M−8060(登録商標)など;日本化薬株式会社製のKAYARAD TMPTA(登録商標)、同DPCA−20(登録商標)、同−30(登録商標)、同−60(登録商標)、同−120(登録商標)など;大阪有機化学工業株式会社製のV−295(登録商標)、同−300(登録商標)、同−360(登録商標)、同−GPT(登録商標)、同−3PA(登録商標)、同−400(登録商標)などが挙げられる。前記製品を単独使用または2種以上共に使用することができる。
前記光重合性化合物は、より優れた現像性を付与するために酸無水物で処理して使用することもできる。
前記光重合性化合物は、前記感光性樹脂組成物総量に対して1重量%〜20重量%、例えば3重量%〜10重量%で含まれてもよい。光重合性化合物が前記含量範囲内に含まれる場合、パターン形成工程で露光時に硬化が十分に起こって信頼性に優れ、アルカリ現像液への現像性に優れる。
(D)光重合開始剤
前記光重合開始剤は感光性樹脂組成物に一般に使用される開始剤であって、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、ベンゾイン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物またはこれらの組み合わせを使用することができる。
前記アセトフェノン系化合物の例としては、2,2’−ジエトキシアセトフェノン、2,2’−ジブトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、4−クロロアセトフェノン、2,2’−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オンなどが挙げられる。
前記ベンゾフェノン系化合物の例としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3’−ジメチル−2−メトキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記チオキサントン系化合物の例としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントンなどが挙げられる。
前記ベンゾイン系化合物の例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。
前記トリアジン系化合物の例としては、2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3’,4’−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ビフェニル4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ビス(トリクロロメチル)−6−スチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−s−トリアジン、2−4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−s−トリアジンなどが挙げられる。
前記オキシム系化合物の例としては、O−アシルオキシム系化合物、2−(o−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(o−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン、O−エトキシカルボニル−α−オキシアミノ−1−フェニルプロパン−1−オンなどを使用することができる。前記O−アシルオキシム系化合物の具体的な例としては、1,2−オクタンジオン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルホリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−ブタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾエート、1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−オクタン−1,2−ジオン2−オキシム−O−ベンゾエート、1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−(4−フェニルスルファニルフェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセテートなどが挙げられる。
前記光重合開始剤は、オキシム系開始剤およびアセトフェノン系開始剤を同時に含むことができる。この場合、1種の光重合開始剤のみを使用する場合より硬化効率を高めて優れた工程マージンを確保することができる。また、この場合、前記オキシム系開始剤は前記アセトフェノン系開始剤より多い含量で含まれてもよい。オキシム系開始剤がアセトフェノン系開始剤より多い含量で含まれる場合、感度が低くて(感度優秀)所望のCD実現が可能になる。
前記光重合開始剤は、前記化合物以外にも、カルバゾール系化合物、ジケトン類化合物、スルホニウムボレート系化合物、ジアゾ系化合物、イミダゾール系化合物、ビイミダゾール系化合物、フルオレン系化合物などを使用することができる。
前記光重合開始剤は、光を吸収して励起状態となったのち、そのエネルギーを伝達することによって化学反応を起こす光増感剤と共に使用されてもよい。
前記光増感剤の例としては、テトラエチレングリコールビス−3−メルカプトプロピオン酸、ペンタエリトリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオン酸、ジペンタエリトリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオン酸などが挙げられる。
前記光重合開始剤は、前記感光性樹脂組成物総量に対して0.1重量%〜5重量%、例えば0.1重量%〜3重量%で含まれてもよい。光重合開始剤が前記範囲内に含まれる場合、パターン形成工程で露光時に硬化が十分に起こって、優れた信頼性を得ることができ、パターンの耐熱性、耐光性および耐化学性に優れ、解像度および密着性も優れ、未反応開始剤による透過率の低下を防止することができる。
(E)溶媒
前記溶媒は、前記着色剤、前記バインダー樹脂、前記光重合性化合物および前記光重合開始剤との相溶性を有するものの、反応しない物質を使用することができる。
前記溶媒の例としては、メタノール、エタノールなどのアルコール類;ジクロロエチルエーテル、n−ブチルエーテル、ジイソアミルエーテル、メチルフェニルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチルセロソルブアセテートなどのセロソルブアセテート類;メチルエチルカルビトール、ジエチルカルビトール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどのカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、メチル−n−プロピルケトン、メチル−n−ブチルケトン、メチル−n−アミルケトン、2−ヘプタノンなどのケトン類;酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類;乳酸メチル、乳酸エチルなどの乳酸エステル類;オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチルなどのオキシ酢酸アルキルエステル類;メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチルなどのアルコキシ酢酸アルキルエステル類;3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチルなどの3−アルコキシプロピオン酸アルキルエステル類;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸メチルなどの2−アルコキシプロピオン酸アルキルエステル類;2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなどの2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エステル類;2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなどの2−アルコキシ−2−メチルプロピオン酸アルキル類のモノオキシモノカルボン酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチルなどのエステル類;ピルビン酸エチルなどのケトン酸エステル類などがあり、またN−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセチルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテートなどの高沸点溶媒が挙げられる。
これらのうち、好ましくは、相溶性および反応性を考慮して、シクロヘキサノンなどのケトン類;エチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類;エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチルなどのエステル類;ジエチレングリコールモノメチルエーテルなどのカルビトール類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類を使用することができる。
前記溶媒は、前記感光性樹脂組成物総量に対して残部量、例えば20重量%〜80重量%、例えば25重量%〜60重量%で含まれてもよい。溶媒が前記範囲内に含まれる場合、前記感光性樹脂組成物が適切な粘度を有することによって、カラーフィルタ製造時、工程性に優れる。
その他の添加剤
一実施形態による感光性樹脂組成物は、基板との密着性などを改善するためにエポキシ化合物をさらに含むことができる。
前記エポキシ化合物の例としては、フェノールノボラックエポキシ化合物、テトラメチルビフェニルエポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物またはこれらの組み合わせが挙げられる。
前記エポキシ化合物は、感光性樹脂組成物総量に対して0.01重量%〜20重量%、例えば0.1重量%〜10重量%で含まれてもよい。エポキシ化合物が前記範囲内に含まれる場合、密着性、貯蔵性などが優れる。
また、前記感光性樹脂組成物は、基板との接着性を向上させるために、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有するシランカップリング剤をさらに含むことができる。
前記シランカップリング剤の例としては、トリメトキシシリル安息香酸、γメタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γイソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γグリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、ビニルクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−アクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチルブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられ、これらを単独または2種以上混合して使用することができる。
前記シランカップリング剤は、感光性樹脂組成物総量に対して0.01重量%〜10重量%で含まれてもよい。シランカップリング剤が前記範囲内に含まれる場合、密着性、貯蔵性などが優れる。
また、前記感光性樹脂組成物は、必要によってコーティング性向上および欠点生成防止効果のために界面活性剤をさらに含むことができる。
前記界面活性剤の例としては、BM Chemie社製のBM−1000(登録商標)、BM−1100(登録商標)など;DIC(旧:大日本インキ化学工業)株式会社製のメーカーパックF142D(登録商標)、同F172(登録商標)、同F173(登録商標)、同F183(登録商標)、同F554(登録商標)など;スリーエムジャパン(旧:住友スリーエム)株式会社製のフルオラドFC−135(登録商標)、同FC−170C(登録商標)、同FC−430(登録商標)、同FC−431(登録商標)など;AGC(旧:旭硝子)株式会社製のサーフロンS−112(登録商標)、同S−113(登録商標)、同S−131(登録商標)、同S−141(登録商標)、同S−145(登録商標)など;ダウ・東レ株式会社製のSH−28PA(登録商標)、同−190(登録商標)、同−193(登録商標)、SZ−6032(登録商標)、SF−8428(登録商標)などの名称で市販されているフッ素系界面活性剤を使用することができる。
前記界面活性剤は、感光性樹脂組成物総量に対して0.001重量%〜5重量%で使用することができる。界面活性剤が前記範囲内に含まれる場合、コーティング均一性が確保され、ムラが発生せず、ガラス基板に対する湿潤性(wetting)に優れる。
また、前記感光性樹脂組成物は、物性を阻害しない範囲内で酸化防止剤、安定剤などのその他の添加剤が一定量添加されてもよい。
また他の一実施形態によれば、前記一実施形態による感光性樹脂組成物を用いて製造された感光性樹脂膜を提供する。
前記感光性樹脂膜内のパターン形成工程は以下の通りである。
前記感光性樹脂組成物を支持基板上にスピンコーティング、スリットコーティング、インクジェットプリンティングなどで塗布する工程;前記塗布された感光性樹脂組成物を乾燥して感光性樹脂組成物膜を形成する工程;前記感光性樹脂組成物膜を露光する工程;前記露光された感光性樹脂組成物膜をアルカリ水溶液で現像して感光性樹脂膜を製造する工程;および前記感光性樹脂膜を加熱処理する工程を含む。前記工程上の条件などについては当該分野で広く知られた事項であるので、本明細書で詳しい説明は省略する。
また他の一実施形態によれば、前記感光性樹脂膜を含むカラーフィルタを提供する。
以下、実施例を挙げて本発明についてさらに詳しく説明するが、下記の実施例は本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明が下記の実施例に限定されるのではない。
(染料の合成)
合成例1:化学式1−1で表される染料の合成
丸底フラスコにテレフタルアルデヒド酸(Terephthalaldehydic acid)30g(0.2mol)を入れて、ここにプロピオン酸(propionic acid)600gを添加して攪拌させた。反応物にピロール(pyrrole)13.5g(0.2mol)を添加した後、反応物を80℃に上げて1時間攪拌させた後、130℃で加熱して1.5時間攪拌した後に終結させた。反応物を室温(23℃)に下げた後、ここにアセトン300gを入れて室温で1時間攪拌させた後、フィルタリングした。その後、フィルター上に存在する固体化合物を回収してアセトンで洗浄した後、乾燥して中間体(A)8.3g(26%)を合成した。
その後、丸底フラスコに前記で合成した中間体(A)24.5g(30.1mmol)とKCO34.3g(241mmol)を入れて、ここにジメチルホルムアミド(DMF)250gを添加した後に攪拌させた。ここに1−ブロモ−2−エチルへキサン(1−bromo−2−ethylhexane)46.5g(241mmol)を入れた後、100℃で24時間攪拌させた。反応が終結すれば、室温に温度を低めた後、蒸留を通じてDMFを除去した後にメチレンクロリド(Methylene chloride、MC)で抽出し、10%NaClおよび脱イオン水(DI water)を用いて洗浄した。その後、蒸留を通じて溶媒を除去し、ここにMeCN(cyanomethane;acetonitrile)を添加して洗浄した後、乾燥して中間体(B)28.9g(75%)を得た。
その後、丸底フラスコに前記で合成した中間体(B)1.0g(0.81mmol)およびCu(OAc)O(Copper acetate hydrate)0.44g(2.42mmol)を入れた後、ここにDMF10gを添加した後に100℃で15時間攪拌した。反応が終結すれば、室温に温度を低めた後、蒸留を通じてDMFを除去した後にMCで抽出し、10%NaClおよび脱イオン水(DI water)を用いて洗浄した。その後、蒸留を通じて溶媒を除去し、最少量のMCで反応物を溶かした後、100gのMeCNに徐々に滴下して沈殿させた。沈殿物をフィルタリング後、MeCNで洗浄した後、乾燥して下記化学式1−1で表される化合物0.9g(86%)を得た。
Figure 0006928063
LC Mass(液体クロマトグラフィー質量分析):1299m/z。
合成例2:化学式1−2で表される染料の合成
前記中間体(B)1.0g(0.81mmol)に対してCu(OAc)Oの代わりに酸化硫酸バナジウム水和物(Vanadium oxide sulfate hydrate)(2.42mmol)を使用し温度を120℃に上げて反応を行った以外は、合成例1と同様な方法を行って下記化学式1−2で表される化合物0.84g(80%)を得た。
Figure 0006928063
LC Mass:1303m/z。
比較合成例1:化学式1−3で表される染料の合成
一つの丸底フラスコに前記中間体(B)3.2g(2.58mmol)を入れ、クロロホルム(chloroform)160gを添加して60℃で攪拌した。他の一つの丸底フラスコにZn(OAc)1.42g(7.74mmol)を入れた後、MeOH30gを入れ、室温で攪拌してZn(OAc)(Zinc acetate)を溶解させた。その後、Zn(OAc)溶液を前記中間体(B)が入っているフラスコに添加した後、2時間攪拌しながら反応させた。反応が終結すれば、室温に温度を低めた後、MCで抽出し10%NaClおよび脱イオン水(DI water)を用いて洗浄した。蒸留を通じて溶媒を除去した後、最少量のMCで反応物を溶かした後、100gのMeCNに徐々に滴下して沈殿させた。沈殿物をフィルタリングした後、MeCNで洗浄した後、乾燥して下記化学式1−3で表される化合物3.1g(92%)を得た。
Figure 0006928063
LC Mass:1300m/z。
(感光性樹脂組成物の合成)
実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3
下記言及された構成成分を下記表1に示した組成で混合して、実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3による感光性樹脂組成物を製造した。
具体的に、溶媒に光重合開始剤を溶かした後、2時間常温で攪拌した後、ここにバインダー樹脂および光重合性化合物を添加して2時間常温で攪拌した。その次に、得られた前記反応物に着色剤およびその他添加剤を入れて1時間常温で攪拌した。その次に、前記生成物を3回ろ過して不純物を除去することによって、感光性樹脂組成物を製造した。
Figure 0006928063
(A)着色剤
(A−1)C.I.Pigment Blue15:6顔料分散液(GC1679、SANYO社製;顔料固形分10重量%)
(A−2)C.I.Pigment Blue15:6顔料分散液(GC1207、SANYO社製;顔料固形分10重量%)
(A−3)比較合成例1の化合物(化学式1−3で表される染料)
(A−4)合成例1の化合物(化学式1−1で表される染料)
(A−5)合成例2の化合物(化学式1−2で表される染料)
(B)バインダー樹脂
アクリル系バインダー樹脂(CRB−400H、SMS社製)
(C)光重合性化合物
ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート(DPHA)(日本化薬株式会社製)
(D)光重合開始剤
オキシム系化合物(OXE01、BASF社製)
(E)溶媒
プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(協和化工株式会社製)
(F)添加剤
フッ素系界面活性剤(F−554、DIC株式会社製)。
評価:Bx色座標および耐光性
脱脂洗浄した厚さ1mmのガラス基板上に1μm〜3μmの厚さで前記実施例1、実施例2および比較例1〜比較例3で製造した感光性樹脂組成物を250rpm〜350rpmの条件で塗布し、90℃のホットプレート上で2分間乾燥させて塗膜を得た。その次に、塗膜に50mJ/cmの条件で365nmの主波長を有する高圧水銀ランプを使用して全面露光を行った後、現像機でKOH現像液(111倍希釈液)を用いて水洗液/現像液=1/0.8(質量比)の条件で60秒間現像し、再び60秒間水洗を行って現像履歴を与えた。その後、230℃の熱風循環式乾燥炉内で20分間乾燥させて色試片(Color Chip)を得た。
得られた色試片に対して分光光度計(MCPD3000、Otsuka electronic社製)を用いて耐光前後それぞれのCIE色座標および輝度(Y)を測定した後、耐光評価による変更値を計算して、その結果を下記表2および表3に示した。
*耐光評価:キセノンランプ(Xenon lamp)(0.68W)にAirおよびNガスそれぞれの環境条件下60℃、20時間、色試片をさらす耐光試験を行った。
Figure 0006928063
Figure 0006928063
上記表2および表3から、前記化学式1−1または化学式1−2で表されるアザポルフィリン系染料を青色顔料と共に使用する場合、少量でも十分に優れた耐光性を維持しながら青色レジストでの高色実現が可能であるのを確認することができる。
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるのではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明の範囲内で多様に変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。
なお、本明細書において、
Bx:(x,y)で表されるCIE色座標において、ブルー領域(B)の色座標(Bx,By)のうちのBx値である;
高色:ブルー領域(B)の色座標(Bx,By)のうちのBx値が小さいほど高色が実現されると表現する(C光源基準);
Del(x):ブルー領域(B)の色座標(Bx,By)のうちのBx値の変化量(処理後Bx−処理前Bx)である;
Del(y):ブルー領域(B)の色座標(Bx,By)のうちのBy値の変化量(処理後By−処理前By)である;
Del(Y):輝度の変化量(処理後Y−処理前Y)である;
Del(E):処理前と処理後の色試片の色差(色差が小さいほど耐光性に優れている)である。Del(E)は、下記式で表すことができる。
Figure 0006928063
上記式中、ΔL=L −L
Δa=a −a
Δb=b −b
,a ,b :処理後のL
,a,b:処理前のL値である。

Claims (11)

  1. (A)青色顔料および350nm〜450nmの波長領域で最大吸収波長を有するポルフィリン系染料を含む着色剤と、
    (B)バインダー樹脂と、
    (C)光重合性化合物と、
    (D)光重合開始剤と、
    (E)溶媒と、
    を含む、感光性樹脂組成物であって、
    前記ポルフィリン系染料は、下記化学式1で表される、感光性樹脂組成物:
    Figure 0006928063

    上記化学式1中、
    Mは、CuまたはV(=O)であり、
    〜R 20 は、それぞれ独立して水素原子、ハロゲン原子、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基、置換または非置換の炭素数1〜20のアルコキシ基、置換または非置換の炭素数6〜20のアリール基、スルホン酸基、置換または非置換のスルホンアミド基または置換または非置換の炭素数1〜20のアルキルエステル基であり、
    但し、R 〜R のうちの少なくとも一つ以上、R 〜R 10 のうちの少なくとも一つ以上、R 11 〜R 15 のうちの少なくとも一つ以上およびR 16 〜R 20 のうちの少なくとも一つ以上は、それぞれ独立して水素原子ではない。
  2. 前記R〜Rのうちの一つ、R〜R10のうちの一つ、R11〜R15のうちの一つおよびR16〜R20のうちの一つは、それぞれ独立して下記化学式2で表される、請求項に記載の感光性樹脂組成物:
    Figure 0006928063

    上記化学式2中、
    21は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
  3. 前記R、R、R13およびR18は、それぞれ独立して下記化学式3で表される、請求項に記載の感光性樹脂組成物:
    Figure 0006928063

    上記化学式3中、
    は、置換または非置換の炭素数1〜20のアルキレン基であり、
    22およびR23は、それぞれ独立して置換または非置換の炭素数1〜20のアルキル基である。
  4. 記ポルフィリン系染料は、下記化学式1−1または化学式1−2で表される、請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
    Figure 0006928063
  5. 記ポルフィリン系染料は、前記感光性樹脂組成物総量に対して固形分基準に0.1重量%〜5重量%で含まれる、請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  6. 前記着色剤は、バイオレット顔料をさらに含む、請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  7. 前記青色顔料は、C.I.Pigment Blue15:6である、請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  8. 前記感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物総量に対して、
    前記着色剤2重量%〜40重量%と、
    前記バインダー樹脂3重量%〜20重量%と、
    前記光重合性化合物1重量%〜20重量%と、
    前記光重合開始剤0.1重量%〜5重量%と、
    前記溶媒残部量と、
    を含む、請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  9. 前記感光性樹脂組成物は、エポキシ化合物、シランカップリング剤、界面活性剤またはこれらの組み合わせをさらに含む、請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
  10. 請求項1〜のうちのいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて製造される、感光性樹脂膜。
  11. 請求項10に記載の感光性樹脂膜を含む、カラーフィルタ。
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