JP6918434B1 - 半導体ウエハの評価方法、半導体ウエハの評価システム、プログラム、半導体ウエハの検査方法および半導体ウエハの検査システム - Google Patents
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Abstract
Description
上記半導体ウエハの評価方法において、前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の数が所定数以上である場合、または、前記評価対象群の中に、前記評価対象群を構成するLPDが検出された半導体ウエハの枚数が所定枚数以上である群が1つでもある場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の数が所定数以上ある場合、かつ、前記評価対象群の全てにおいて、前記各評価対象群に含まれる輝点が検出された半導体ウエハの枚数が所定枚数以下である場合は、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価しない構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、全ての前記評価対象群の面積の総和が所定の第1面積以上である場合、または、所定の第2面積以上の評価対象群が1つでもある場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記第1群特定処理において、前記所定距離は、前記LPDの二次元分布の中心位置の近くに位置する第1LPDについては第1距離に設定され、前記第1LPDよりも前記中心位置から遠い位置にある第2LPDでは、前記第1距離よりも長い第2距離に設定される構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記第2群特定処理において、特定した前記評価対象群の中からさらに、前記評価対象群を特定する際に最初に選択したLPDおよび最後に選択したLPDと、前記LPDの二次元分布の中心位置とのなす角度である合成角度が、前記第1角度よりも大きい第2角度以上の群を、前記評価対象群として特定し、前記群特定工程において前記第2群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の前記合成角度の総和が所定の第3角度以上である場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに同心円状の異常の可能性があると評価する構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記群特定工程において前記第2群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群を特定する際に最初に選択したLPDおよび最後に選択したLPDと、前記LPDの二次元分布の中心位置とのなす角度を合成角度とした場合に、全ての前記評価対象群のLPDの総数を、全ての前記評価対象群の合成角度の総和で割ったLPD密度が所定値以上である場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する構成とすることができる。
上記半導体ウエハの評価方法において、前記群特定工程において前記第2群特定処理および/または前記第3群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、複数の前記評価指標を用いて、前記評価対象である複数の半導体ウエハの評価を行う場合に、前記評価指標ごとに評価した評価結果を数値化し、数値化した評価結果に前記評価指標に応じた重み付けを行い、重み付けした評価結果を用いて、前記評価対象である複数の半導体ウエハを評価する構成とすることができる。
本発明の第1の観点に係るプログラムは、コンピューターを用いて、評価対象である複数の半導体ウエハの表面で検出されたLPDの位置を重ね合わせたLPDの二次元分布に基づいて半導体ウエハを評価する、半導体ウエハ評価用のプログラムであって、所定の群特定指標に基づいて、前記LPDの二次元分布に点在する複数のLPDの中から特定のLPDからなる群を評価対象群として特定する群特定工程と、前記群特定指標とは異なる評価指標に基づいて、前記評価対象群を判定することで、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があるかを評価する評価工程と、を有し、前記群特定工程において、(1)前記LPDの二次元分布において、1のLPDから所定距離以内に存在する他のLPDを当該1のLPDと同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、2以上のLPDからなる群を評価対象群として特定する第1群特定処理、(2)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群に含まれるLPDのうち、前記LPDの二次元分布において近接する2つのLPDと、前記二次元分布の中心位置とがなす角度が所定の角度未満である場合に、当該2つのLPDを同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、前記評価候補群に含まれる2以上のLPDからなる群を前記評価対象群として特定する第2群特定処理、および(3)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群の所定の判定領域に存在するLPDの数を当該判定領域の面積で割った判定領域密度と、前記LPDの二次元分布の径方向において前記判定領域と隣接する所定の周辺領域に存在するLPDの数を当該周辺領域の面積で割った周辺領域密度との比(判定領域密度/周辺領域密度)を周辺密度比として算出し、前記周辺密度比が所定値以上である前記評価候補群を前記評価対象群として特定する第3群特定処理、のうち1つ以上の群特定工程を行う。
本発明に係る半導体ウエハの検査方法は、上記半導体ウエハの評価方法による評価結果に基づいて、前記評価対象である複数の半導体ウエハを選別する。
本発明に係る半導体ウエハの評価システムは、上記半導体ウエハの評価システムを含み、前記評価対象である半導体ウエハの評価結果に基づいて、前記評価対象である半導体ウエハを選別する。
本発明の第2の観点に係るプログラムは、上記プログラムを含み、当該プログラムはさらに、前記評価対象である半導体ウエハの評価結果に基づいて、前記評価対象である半導体ウエハを選別する工程を有する。
さらに、ステップS4の同心円状輝点群評価処理では、(1)評価対象群における輝点の数が所定数n5以上であること、(2)評価対象群の合成角度θsynの総和が所定角度θ3以上であること、または、(3)評価対象群の合成密度dsynが所定値d1以上であることを、評価指標として、評価対象である複数の半導体ウエハに同心円状の異常の可能性があるか評価される。
このように、評価対象群を特定することで、偶発的に生じた半導体ウエハのLPDを評価対象群から除外することができ、半導体ウエハの異常をより高い精度で評価することができる。
10…演算装置
20…記憶装置
30…外部出力装置
40…入力装置
Claims (13)
- 評価対象である複数の半導体ウエハの表面で検出されたLPD(Light Point Defect)の位置を重ね合わせたLPDの二次元分布に基づいて半導体ウエハを評価する、半導体ウエハの評価方法であって、
所定の群特定指標に基づいて、前記LPDの二次元分布に点在する複数のLPDの中から特定のLPDからなる群を評価対象群として特定する群特定工程と、
前記群特定指標とは異なる評価指標に基づいて、前記評価対象群を判定することで、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があるかを評価する評価工程と、を有し、
前記群特定工程において、
(1)前記LPDの二次元分布において、1のLPDから所定距離以内に存在する他のLPDを当該1のLPDと同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、2以上のLPDからなる群を評価対象群として特定する第1群特定処理、
(2)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群に含まれるLPDのうち、前記LPDの二次元分布において近接する2つのLPDと、前記二次元分布の中心位置とがなす角度が所定の第1角度未満である場合に、当該2つのLPDを同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、前記評価候補群に含まれる2以上のLPDからなる群を前記評価対象群として特定する第2群特定処理、および
(3)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群の所定の判定領域に存在するLPDの数を当該判定領域の面積で割った判定領域密度と、前記LPDの二次元分布の径方向において前記判定領域と隣接する所定の周辺領域に存在するLPDの数を当該周辺領域の面積で割った周辺領域密度との比(判定領域密度/周辺領域密度)を周辺密度比として算出し、前記周辺密度比が所定値以上である前記評価候補群を前記評価対象群として特定する第3群特定処理、
のうち1つ以上の群特定処理を行う、半導体ウエハの評価方法。 - 前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の数が所定数以上である場合、または、前記評価対象群の中に、前記評価対象群を構成するLPDが検出された半導体ウエハの枚数が所定枚数以上である群が1つでもある場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する、請求項1に記載の半導体ウエハの評価方法。
- 前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の数が所定数以上ある場合、かつ、前記評価対象群の全てにおいて、前記各評価対象群に含まれる輝点が検出された半導体ウエハの枚数が所定枚数以下である場合は、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価しない、請求項2に記載の半導体ウエハの評価方法。
- 前記群特定工程において前記第1群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、全ての前記評価対象群の面積の総和が所定の第1面積以上である場合、または、所定の第2面積以上の評価対象群が1つでもある場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する、請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体ウエハの評価方法。
- 前記第1群特定処理において、前記所定距離は、前記LPDの二次元分布の中心位置の近くに位置する第1LPDについては第1距離に設定され、前記第1LPDよりも前記中心位置から遠い位置にある第2LPDでは、前記第1距離よりも長い第2距離に設定される、請求項4に記載の半導体ウエハの評価方法。
- 前記第2群特定処理において、特定した前記評価対象群の中からさらに、前記評価対象群を特定する際に最初に選択したLPDおよび最後に選択したLPDと、前記LPDの二次元分布の中心位置とのなす角度である合成角度が、前記第1角度よりも大きい第2角度以上の群を、前記評価対象群として特定し、
前記群特定工程において前記第2群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群の前記合成角度の総和が所定の第3角度以上である場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに同心円状の異常の可能性があると評価する、請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体ウエハの評価方法。 - 前記群特定工程において前記第2群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、前記評価対象群を特定する際に最初に選択したLPDおよび最後に選択したLPDと、前記LPDの二次元分布の中心位置とのなす角度を合成角度とした場合に、全ての前記評価対象群のLPDの総数を、全ての前記評価対象群の合成角度の総和で割ったLPD密度が所定値以上である場合に、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があると評価する、請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体ウエハの評価方法。
- 前記群特定工程において前記第2群特定処理および/または前記第3群特定処理を行った場合に、前記評価工程において、複数の前記評価指標を用いて、前記評価対象である複数の半導体ウエハの評価を行う場合に、前記評価指標ごとに評価した評価結果を数値化し、数値化した評価結果に前記評価指標に応じた重み付けを行い、重み付けした評価結果を用いて前記評価対象である複数の半導体ウエハを評価する、請求項1ないし7のいずれかに記載の半導体ウエハの評価方法。
- 評価対象である複数の半導体ウエハの表面で検出されたLPDの位置を重ね合わせたLPDの二次元分布に基づいて半導体ウエハを評価する、半導体ウエハの評価システムであって、
所定の群特定指標に基づいて、前記LPDの二次元分布に点在する複数のLPDの中から特定のLPDからなる群を評価対象群として特定し、
前記群特定指標とは異なる評価指標に基づいて、前記評価対象群を判定することで、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があるかを評価する、半導体ウエハの評価システムであって、
前記評価対象群を特定する際に、
(1)前記LPDの二次元分布において、1のLPDから所定距離以内に存在する他のLPDを当該1のLPDと同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、2以上のLPDからなる群を評価対象群として特定する第1群特定処理、
(2)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群に含まれるLPDのうち、前記LPDの二次元分布において近接する2つのLPDと、前記二次元分布の中心位置とがなす角度が所定の角度未満である場合に、当該2つのLPDを同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、前記評価候補群に含まれる2以上のLPDからなる群を前記評価対象群として特定する第2群特定処理、および
(3)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群の所定の判定領域に存在するLPDの数を当該判定領域の面積で割った判定領域密度と、前記LPDの二次元分布の径方向において前記判定領域と隣接する所定の周辺領域に存在するLPDの数を当該周辺領域の面積で割った周辺領域密度との比(判定領域密度/周辺領域密度)を周辺密度比として算出し、前記周辺密度比が所定値以上である前記評価候補群を前記評価対象群として特定する第3群特定処理、
のうち1つ以上の群特定処理を行う、半導体ウエハの評価システム。 - コンピューターを用いて、
評価対象である複数の半導体ウエハの表面で検出されたLPDの位置を重ね合わせたLPDの二次元分布に基づいて半導体ウエハを評価する、半導体ウエハ評価用のプログラムであって、
所定の群特定指標に基づいて、前記LPDの二次元分布に点在する複数のLPDの中から特定のLPDからなる群を評価対象群として特定する群特定工程と、
前記群特定指標とは異なる評価指標に基づいて、前記評価対象群を判定することで、前記評価対象である複数の半導体ウエハに異常の可能性があるかを評価する評価工程と、を有し、
前記群特定工程において、
(1)前記LPDの二次元分布において、1のLPDから所定距離以内に存在する他のLPDを当該1のLPDと同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、2以上のLPDからなる群を評価対象群として特定する第1群特定処理、
(2)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群に含まれるLPDのうち、前記LPDの二次元分布において近接する2つのLPDと、前記二次元分布の中心位置とがなす角度が所定の角度未満である場合に、当該2つのLPDを同じ群として特定する処理を、LPDごとに繰り返すことで、前記評価候補群に含まれる2以上のLPDからなる群を前記評価対象群として特定する第2群特定処理、および
(3)前記LPDの二次元分布の中心位置を中心とする円環領域に点在するLPDからなる群を評価候補群として特定し、前記評価候補群の所定の判定領域に存在するLPDの数を当該判定領域の面積で割った判定領域密度と、前記LPDの二次元分布の径方向において前記判定領域と隣接する所定の周辺領域に存在するLPDの数を当該周辺領域の面積で割った周辺領域密度との比(判定領域密度/周辺領域密度)を周辺密度比として算出し、前記周辺密度比が所定値以上である前記評価候補群を前記評価対象群として特定する第3群特定処理、
のうち1つ以上の群特定処理を行う、プログラム。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体ウエハの評価方法による評価結果に基づいて、前記評価対象である複数の半導体ウエハを選別する、半導体ウエハの検査方法。
- 請求項9に記載の半導体ウエハの評価システムを含み、前記評価対象である半導体ウエハの評価結果に基づいて、前記評価対象である半導体ウエハを選別する、半導体ウエハの検査システム。
- 請求項10に記載のプログラムを含み、当該プログラムはさらに、前記評価対象である半導体ウエハの評価結果に基づいて、前記評価対象である半導体ウエハを選別する工程を有する、プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021057074A JP6918434B1 (ja) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | 半導体ウエハの評価方法、半導体ウエハの評価システム、プログラム、半導体ウエハの検査方法および半導体ウエハの検査システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6918434B1 true JP6918434B1 (ja) | 2021-08-11 |
JP2022154170A JP2022154170A (ja) | 2022-10-13 |
Family
ID=77172729
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6918434B1 (ja) |
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