JP6917761B2 - 画像検査装置 - Google Patents
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互いに異なる3つ以上の波長の照明光を発生する複数の発光素子を有し、各波長の照明光を個別に対象物に照射する照明部と、
前記各波長の照明光ごとに前記対象物からの反射光を受光して前記対象物の画像を生成する撮像部と、
前記照明部を制御することで前記各波長について照明強度の異なる複数の照明光を個別に対象物に照射させるとともに、前記撮像部を制御することで該各波長についてそれぞれ輝度が異なる複数の設定用画像を生成させる制御部と、
前記複数の設定用画像を解析して、該複数の設定用画像それぞれについて前記照明強度の良好性を示すスコアを算出し、該算出したスコアに基づいて、前記各波長について検査用画像を取得する際に使用される照明強度を設定する処理部と、
前記処理部にて設定された照明強度で前記3つ以上の波長の照明光が個別に照射され、前記撮像部により取得された該3つ以上の波長のそれぞれの分光画像を同時にまたは切り替え可能に表示部に表示しながら、該表示部上で前記検査用画像を生成するために使用する波長の選択を受け付けるUI管理部と、
前記UI管理部にて選択された各波長について設定された照明強度で前記複数の発光素子を順番に点灯させ、画像検査の対象となる検査対象物を照明し、前記撮像部により取得された複数の分光画像を用いて画像検査を実行する検査部と
を有することを特徴とする画像検査装置を提供する。
図2(A)は照明装置3の斜視図である。図2(B)は照明装置3の上面図である。図2(C)は照明装置3の底面図である。図2(D)は照明装置3の側面図である。照明装置3の筐体は上ケース21と下ケース22を有している。下ケース22の下部には複数の光源(LEDなどの発光素子)のそれぞれが出力する光を拡散させる光拡散部材23が配置されている。図2(A)や図2(C)が示すように上ケース21や下ケース22と同様に光拡散部材23も円環状を成している。図2(B)や図2(D)が示すように上ケース21の上面にはコネクタ24が設けられている。コネクタ24には照明装置3に格納されている照明制御基板と画像処理装置5とが通信するためのケーブルが接続される。
図4は照明装置3の回路構成の一例を示している。この例では光源群を構成する4つの照明ブロックのうち1つの照明ブロックを示しており、各照明ブロックは同一波長のLEDが4つ(LED33a〜LED33d)設けられている。4つのLED33a〜LED33dは直列に接続されている。異なる波長のLEDが同様に直列接続されたものが、図4の回路構成と並列に接続されているが、図4からは省略してある。電圧が可変の可変電源41は照明制御基板40によって指定される電圧値(例:2V〜20V)の電圧を生成して出力する。可変定電流源42は、照明制御基板40によって指定される電流値(例:0A〜1A)となるようにLEDグループに流れる電流を調整する。このような電流制御方式を採用することでリニアリティの高い調光を実現しやすくなる。
図5は検査装置のブロック図である。この例では照明装置3、カメラ4および画像処理装置5がそれぞれ個別の筐体に収容されているが、これは一例に過ぎず、適宜に一体化されてもよい。照明装置3は、マルチスペクトルイメージングを実現する照明装置であるが、フォトメトリックステレオ法にしたがって検査対象物を照明する照明手段として利用されてもよい。照明装置3は光源群501とこれを制御する照明制御基板40を備えている。すでに図3に示したように、複数の発光素子で1つのセグメントが構成され、さらに複数のセグメントによって光源群501が構成されていてもよい。セグメントの数は一般的には4つであるが、3つ以上であればよい。これは3方向以上の照明方向からワーク2を照明できれば、フォトメトリックステレオ法により検査画像を生成できるからである。各セグメントにはそれぞれ波長が異なる照明光を出力する複数の発光素子(LED33)が設けられている。図1や図3に示したように照明装置3の外形はリング状をしていてもよい。また、照明装置3は、それぞれ分離した複数の照明ユニットにより構成されていてもよい。照明制御基板40は、画像処理装置5から受信した制御コマンドに応じて光源群501の点灯タイミングや照明パターン(点灯パターン)を制御する。マルチスペクトルイメージングで分光画像を取得するには択一的に選択された波長の照明光をワーク2に照射するが、マルチスペクトルイメージング以外の手法が採用される場合は、複数の波長の照明光が同時に照射されてもよい。照明制御基板40は照明装置3に内蔵されているものとして説明するが、カメラ4に内蔵されていてもよいし、画像処理装置5に内蔵されていてもよいし、これらからは独立した筐体に収容されていてもよい。
マルチスペクトルイメージングでは波長の異なる照明光が一つずつ順番にワーク2に照射され、各波長ごとの画像が取得される。たとえば、8種類の波長の照明光が照射される場合、8個の画像(分光画像)が取得される。8種類の波長は、UVからIRまでの8種類の波長である。なお、画像検査の中には8個の画像のすべてを必要としない画像検査もありうる。この場合、必要な波長の照明光だけがワーク2に照射される。一般に、8個の画像がそのまま画像検査に利用されることは少なく、8個の画像から一個のグレー画像が作成され(カラー濃淡変換)、このグレー画像(カラー濃淡画像)が画像検査に利用される。たとえば、カラー濃淡画像に対して二値化処理が実行されたり、エッジ検出処理が実行されたり、ブロブ処理が実行されたりして、ワーク2における特徴(例:ピン)の位置や寸法(長さや面積)、色がそれぞれ公差の範囲内に収まっているかが検査される。
ところで、各波長についての分光画像では、検査対象の階調に白飛び黒つぶれがあると、画像検査が不安定になることが知られている。これを回避するためには、ユーザは、良品を実際に撮像して露光時間、カメラ感度、カメラとワークとの間の距離、カメラの絞りなどを設定した上で、照明装置3の各波長の照明強度を調整しなければならない。
図7は照明強度を調整するためのユーザインタフェースを示している。照明強度調整UI700はUI管理部514によって表示部7に表示される。画像選択ボタン702は、画像表示領域701に表示される画像を選択するためのUIであり、画像選択部515に選択結果を渡す。
図9はMSI処理部511が実行する照明強度の自動調整を示すフローチャートである。S901でMSI処理部511は、ユーザにより指定された複数の波長のうちi番目の波長の発光素子を選択する。ユーザにより指定された波長の数がNwであれば、iは1からNwまでの値をとる。MSI処理部511はi番目の波長の発光素子を点灯するよう照明制御部512に指示する。照明制御部512は指示にしたがって照明装置3におけるi番目の波長の発光素子を選択する。これによりワーク2に対してi番目の波長の照明光が選択される。なお、多方向から同一波長の照明光を照射するために同一波長の複数個の発光素子が設けられている場合、同一波長の複数個の発光素子は同時に点灯される。
本実施例には種々のスコアの算出手法を適用可能である。そこでいくつかの算出手法について説明する。
ここでABS( )は絶対値を求めるための関数である。Gmidは上述した階調レベルの中央値である。(1)式によれば、平均階調Gaveが中央値Gmidに近づくほどスコアSは1.0に近づく。平均階調Gaveが中央値Gmidから離れるほどスコアSは1.0から遠ざかり、0に近づく。よって、MSI処理部511は、各照明強度についてスコアSを求め、スコアSが最大となった照明強度を決定する。
naは指定領域に属する画素の総数である。(2)式によれば、白飛びしている画素の数nwと黒つぶれしている画素nbの数が少なければ少ないほど、スコアSは1.0に近づく。
図1などが示すように、照明装置3は、互いに異なる波長の照明光を発生する複数の発光素子(LED33)を有し、各波長の照明光を個別に対象物(例:ワーク2の良品)に照射する照明部の一例である。
Claims (11)
- 互いに異なる3つ以上の波長の照明光を発生する複数の発光素子を有し、各波長の照明光を個別に対象物に照射する照明部と、
前記各波長の照明光ごとに前記対象物からの反射光を受光して前記対象物の画像を生成する撮像部と、
前記照明部を制御することで前記各波長について照明強度の異なる複数の照明光を個別に対象物に照射させるとともに、前記撮像部を制御することで該各波長についてそれぞれ輝度が異なる複数の設定用画像を生成させる制御部と、
前記複数の設定用画像を解析して、該複数の設定用画像それぞれについて前記照明強度の良好性を示すスコアを算出し、該算出したスコアに基づいて、前記各波長について検査用画像を取得する際に使用される照明強度を設定する処理部と、
前記処理部にて設定された照明強度で前記3つ以上の波長の照明光が個別に照射され、前記撮像部により取得された該3つ以上の波長のそれぞれの分光画像を同時にまたは切り替え可能に表示部に表示しながら、該表示部上で前記検査用画像を生成するために使用する波長の選択を受け付けるUI管理部と、
前記UI管理部にて選択された各波長について設定された照明強度で前記複数の発光素子を順番に点灯させ、画像検査の対象となる検査対象物を照明し、前記撮像部により取得された複数の分光画像を用いて画像検査を実行する検査部と
を有することを特徴とする画像検査装置。 - 前記UI管理部は、前記表示部に前記対象物の画像を表示させて、該対象物の画像において領域の指定を受け付け、
前記処理部は、前記対象物の画像において指定された前記領域に含まれる画素から色情報を抽出して、該色情報を登録色とするとともに、前記UI管理部にて選択された波長の照明光が該処理部にて設定された照明強度で、画像検査の対象となる検査対象物に個別に照射され、前記撮像部により取得された複数の分光画像それぞれの各画素の色情報と該登録色の色情報との色空間上における距離に基づいて算出したグレー階調を各画素の階調とするグレー画像を生成し、
前記検査部は、前記グレー画像に基づいて画像検査を実行することを特徴とする請求項1に記載の画像検査装置。 - 前記処理部は、前記複数の設定用画像それぞれについて照明強度の良好性を示すスコアを算出し、前記スコアが最大となった設定用画像を取得するために使用された照明強度を選定することを特徴とする請求項1または2に記載の画像検査装置。
- 前記UI管理部は、前記3つ以上の波長のそれぞれの分光画像を同時にまたは切り替え可能に表示部に表示させながら、該表示部上で該3つ以上の波長の照明光それぞれの照明強度の調整を受け付け、
前記照明部は、前記3つ以上の波長のそれぞれについて調整された照明強度の照明光を発生し、
前記撮像部は、前記3つ以上の波長のそれぞれについて調整された照明強度の照明光で照明された対象物の画像を取得し、
前記UI管理部は、前記3つ以上の波長のそれぞれについて調整された照明強度の照明光で照明された対象物の画像を表示することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 前記検査部は、前記UI管理部にて選択された波長について調整された照明強度で該波長の照明光が照射されて、前記撮像部により取得された分光画像を用いて画像検査を実行することを特徴とする請求項4に記載の画像検査装置。
- 前記検査部が画像検査を実行していない第一モードと前記検査部が画像検査を実行する第二モードとのうち、前記第二モードにおいて前記UI管理部が、前記表示部上で前記3つ以上の波長のうち点灯または消灯すべき波長の発光素子の選択を受け付けることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の画像検査装置。
- 前記UI管理部は、前記表示部に前記対象物の画像を表示させて、該対象物の画像において領域の指定を受け付け、
前記処理部は、前記複数の設定用画像それぞれの前記領域における画素の画素値に基づき、波長ごとの照明強度を設定することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の画像検査装置。 - 前記スコアは前記設定用画像の明るさに関する演算値であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載の画像検査装置。
- 前記演算値は、輝度値の平均値、中央値または最頻値であることを特徴とする請求項8に記載の画像検査装置。
- 前記スコアは、黒つぶれしている画素の数または白飛びしている画素の数に基づいて算出されることを特徴とする請求項1、8および9のいずれか一項に記載の画像検査装置。
- 前記制御部は、第一のステップで前記照明強度を変化させることで複数の設定用画像を前記撮像部に取得させ、前記処理部は、スコアが最大となった照明強度を特定し、
前記制御部は、前記スコアが最大となった照明強度の周辺で前記第一のステップよりも小さな第二のステップで前記照明強度を変化させることで複数の設定用画像を前記撮像部に取得させ、前記処理部は、スコアが最大となった照明強度を特定することを特徴とする請求項8ないし10のいずれか一項に記載の画像検査装置。
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