JP6917734B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置及び半導体装置の作製方法について、図1乃至図23を参照して説明する。
本発明の一態様の半導体装置100A、100B、100C、100Dの断面図を示す(図1(A)(B)、図2(A)(B)参照)。半導体装置100A、100B、100C、100Dは、トランジスタTr1と、トランジスタTr2とを有する。
初めにトランジスタの一般的な特性について、図5及び図6を用いて説明を行う。
トランジスタのドレイン電流−ゲート電圧特性(Id−Vg特性)について説明する。図5(A)はトランジスタのId−Vg特性の一例を説明する図である。なお、図5(A)において、理解を簡単にするためにトランジスタの活性層には、多結晶シリコンを用いた場合を想定している。また、図5(A)において、縦軸がIdを横軸がVgをそれぞれ表す。
次に、トランジスタのドレイン電流−ドレイン電圧特性(Id−Vd特性)について説明する。図5(B)はトランジスタのId−Vd特性の一例を説明する図である。また、図5(B)において、縦軸がIdを横軸がVdをそれぞれ表す。
次に、ドレイン電流の解析モデルについて説明する。ドレイン電流の解析モデルとしては、Gradual channel近似(GCA)に基づくドレイン電流の解析式が知られている。GCAに基づくとトランジスタのドレイン電流は、以下の式(2)で表される。
次に、電界効果移動度について説明する。トランジスタの電流駆動力の指標として、電界効果移動度が用いられる。上述したように、トランジスタのオン領域は線形領域と飽和領域に分かれる。それぞれの領域の特性から、GCAに基づくドレイン電流の解析式に基づいてトランジスタの電界効果移動度を算出することができる。区別する必要のあるときは、それぞれ線形移動度(Linear mobility)、飽和移動度(Saturation mobility)と呼ばれる。線形移動度は、以下の式(3)で表され、飽和移動度は、以下の式(4)で表される。
次に、酸化物半導体膜を有するトランジスタを作製し、当該トランジスタの電気特性を評価した。
まず、ガラス基板上に厚さ10nmのチタン膜と、厚さ100nmの銅膜とを、スパッタリング装置を用いて形成した。続いて当該導電膜をフォトリソグラフィ法により加工した。
次に、上記作製した試料A1乃至試料A3のトランジスタのId−Vg特性を測定した。なお、トランジスタのId−Vg特性の測定条件としては、第1のゲート電極として機能する導電膜に印加する電圧(以下、ゲート電圧(Vg)ともいう)、及び第2のゲート電極として機能する導電膜に印加する電圧(Vbg)ともいう)を、−10Vから+10Vまで0.25Vのステップで印加した。また、ソース電極として機能する導電膜に印加する電圧(以下、ソース電圧(Vs)ともいう)を0V(comm)とし、ドレイン電極として機能する導電膜に印加する電圧(以下、ドレイン電圧(Vd)ともいう)を、0.1V及び20Vとした。
図4(A)(B)に示す半導体装置100Aを表示装置の画素回路に適用する場合の一例について、図9を用いて説明する。
再び、図4(A)(B)に示す半導体装置100Aの説明を行う。図4(A)(B)に示す半導体装置100Aを表示装置の画素に適用する場合、例えば、トランジスタのチャネル長(L)及びチャネル幅(W)、あるいはトランジスタに接続する配線及び電極の線幅などを比較的大きくすることができる。例えば、トランジスタTr1とトランジスタTr2とを同じ平面上に配置する場合と比較して、図4(A)(B)に示すように、トランジスタTr1とトランジスタTr2との少なくとも一部を重ねて配置することで、線幅などを大きくすることができるため、加工寸法のばらつきを低減することが可能となる。
また、図4(A)(B)に示すように、トランジスタTr2は、ゲート電極を2つ有する構成である。
次に、本実施の形態の半導体装置に含まれる構成要素について、詳細に説明する。
基板102の材質などに大きな制限はないが、少なくとも、後の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有している必要がある。例えば、ガラス基板、セラミック基板、石英基板、サファイア基板等を、基板102として用いてもよい。また、シリコンや炭化シリコンを材料とした単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板等を適用することも可能であり、これらの基板上に半導体素子が設けられたものを、基板102として用いてもよい。なお、基板102として、ガラス基板を用いる場合、第6世代(1500mm×1850mm)、第7世代(1870mm×2200mm)、第8世代(2200mm×2400mm)、第9世代(2400mm×2800mm)、第10世代(2950mm×3400mm)等の大面積基板を用いることで、大型の表示装置を作製することができる。
導電膜112a、導電膜112b、導電膜120、導電膜122a、導電膜122b、導電膜130、導電膜138、及び導電膜144としては、クロム(Cr)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、金(Au)、銀(Ag)、亜鉛(Zn)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、タングステン(W)、マンガン(Mn)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、コバルト(Co)から選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いてそれぞれ形成することができる。
絶縁膜106、絶縁膜114、絶縁膜116、絶縁膜118、絶縁膜124、絶縁膜126、絶縁膜134、絶縁膜136、及び絶縁膜140としては、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜および酸化ネオジム膜を一種以上含む絶縁層を、それぞれ用いることができる。
酸化物半導体膜108及び酸化物半導体膜128としては、それぞれ先に示す材料を用いることができる。
また、酸化物半導体膜108及び酸化物半導体膜128におけるSIMS分析により得られる炭素濃度を、それぞれ2×1018atoms/cm3以下、好ましくは2×1017atoms/cm3以下とする。
次に、図4(A)(B)に示す半導体装置100Aの変形例について、図11を用いて説明する。
次に、図4(A)(B)に示す半導体装置100Aの変形例について、図12(A)(B)及び図13(A)(B)を用いて説明する。
次に、本発明の一態様の半導体装置100Aの作製方法について、図14乃至図23を用いて説明する。
以下に、本発明に係る酸化物半導体膜の組成について説明する。
次に、酸化物半導体膜のキャリア密度について、以下に説明を行う。
次に、酸化物半導体膜の構造について説明する。
まずは、CAAC−OSについて説明する。
次に、nc−OSについて説明する。
a−like OSは、nc−OSと非晶質酸化物半導体膜との間の構造を有する酸化物半導体膜である。
以下では、条件の異なる3つの酸化物半導体膜が形成された試料(試料X1乃至試料X3)を作製し結晶性の評価を行った。まず、試料X1乃至試料X3の作製方法について、説明する。
試料X1は、ガラス基板上に厚さ約100nmの酸化物半導体膜が形成された試料である。当該酸化物半導体膜は、インジウムと、ガリウムと、亜鉛とを有する。試料X1の酸化物半導体膜の形成条件としては、基板を170℃に加熱し、流量140sccmのアルゴンガスと流量60sccmの酸素ガスとをスパッタリング装置のチャンバー内に導入し、圧力を0.6Paとし、インジウムと、ガリウムと、亜鉛とを有する金属酸化物ターゲット(In:Ga:Zn=4:2:4.1[原子数比])に、2.5kWの交流電力を印加することで形成した。なお、試料X1の作製条件における酸素流量比は30%である。
試料X2は、ガラス基板上に厚さ約100nmの酸化物半導体膜が成膜された試料である。試料X2の酸化物半導体膜の形成条件としては、基板を130℃に加熱し、流量180sccmのアルゴンガスと、流量20sccmの酸素ガスとをスパッタリング装置のチャンバー内に導入して形成した。試料X2の作製条件における酸素流量比は10%である。なお、基板温度、及び酸素流量比以外の条件としては、先に示す試料X1と同様の条件とした。
試料X3は、ガラス基板上に厚さ約100nmの酸化物半導体膜が成膜された試料である。試料X3の酸化物半導体膜の形成条件としては、基板を室温(R.T.)とし、流量180sccmのアルゴンガスと、流量20sccmの酸素ガスとをスパッタリング装置のチャンバー内に導入して形成した。試料X3の作製条件における酸素流量比は10%である。なお、基板温度、及び酸素流量比以外の条件としては、先に示す試料X1と同様の条件とした。
図28、図29、図30に、試料X1乃至試料X3の断面TEM観察結果を示す。なお、図28(A)(B)は試料X1の断面TEM像であり、図29(A)(B)は試料X2の断面TEM像であり、図30(A)(B)は試料X3の断面TEM像である。
次に、各試料のXRD測定結果について説明する。
次に、試料X1乃至試料X3について、電子線回折測定を行った結果について説明する。電子線回折測定では、各試料の断面に対して電子線を垂直に入射したときの電子線回折パターンを取得する。また電子線のビーム径を、1nmΦ及び100nmΦの2つとした。
次に、図34乃至図36を用いて、酸化物半導体膜の結晶性の定量化方法の一例について説明する。
上述のように、第1の領域における輝度の積分強度と、第2の領域における輝度の積分強度との強度比は、配向性を有する結晶部の存在割合を推し量る点で重要な情報である。
・試料X1の積分強度=25.00
・試料X2の積分強度=3.04
・試料X3の積分強度=1.05
なお、上述の積分強度は、4つの位置での平均値とした。このように、積分強度は、試料X1、試料X2、試料X3の順で高い。
酸化物半導体膜中の結晶部の存在割合は、断面TEM像を解析することで見積もることができる。
次に、酸化物半導体膜への酸素の拡散のしやすさを評価した結果について説明する。
まず、ガラス基板上に、先に示す試料X1と同様の方法により、厚さ約50nmの酸化物半導体膜を成膜した。続いて、酸化物半導体膜上に、厚さ約30nmの酸化窒化シリコン膜、厚さ約100nmの酸化窒化シリコン膜、厚さ約20nmの酸化窒化シリコン膜を、プラズマCVD法により積層して形成した。なお、以下の説明において、酸化物半導体膜をOSと、酸化窒化シリコン膜をGIとしてそれぞれ記載する場合がある。
試料Y2は、試料Y1の酸化物半導体膜の成膜条件を異ならせた試料である。試料Y2は、先に示す試料X2と同様の方法により、厚さ約50nmの酸化物半導体膜を成膜した。
試料Y3は、試料Y1の酸化物半導体膜の成膜条件を異ならせた試料である。試料Y3は、先に示す試料X3と同様の方法により、厚さ約50nmの酸化物半導体膜を成膜した。
試料Y1乃至試料Y3について、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)分析により、18Oの濃度を測定した。なお、SIMS分析においては、上記作製した試料Y1乃至試料Y3を、熱処理を行わず評価する条件と、試料Y1乃至試料Y3を窒素雰囲気下にて350℃ 1時間の熱処理を行う条件と、試料Y1乃至試料Y3を窒素雰囲気下にて450℃、1時間の熱処理を行う条件と、の3つの条件とした。
以下では、本発明の一態様の酸化物半導体膜の成膜方法について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置及び半導体装置の作製方法について、図40乃至図47を参照して説明する。
図40(A)は、本発明の一態様の半導体装置200の上面図であり、図40(B)は、図40(A)に示す一点鎖線A1−A2間における切断面の断面図に相当する。なお、図40(B)は、トランジスタTr1のチャネル長(L)方向の断面、及びトランジスタTr2のチャネル長(L)方向の断面を含む。
次に、本実施の形態の半導体装置に含まれる構成要素について、詳細に説明する。
導電膜212b、218a、218bとしては、実施の形態1に記載の導電膜(導電膜112a、導電膜112b、導電膜122a、導電膜122b、導電膜120、導電膜130、導電膜138、及び導電膜144)の材料を用いることができる。特に、導電膜212bには、酸化物導電体(OC)を用いると、絶縁膜210bに酸素を添加できるため好適である。
絶縁膜214、216、210bとしては、実施の形態1に記載の絶縁膜(絶縁膜106、絶縁膜114、絶縁膜116、絶縁膜118、絶縁膜124、絶縁膜126、絶縁膜134、絶縁膜136、及び絶縁膜140)の材料を用いることができる。
酸化物半導体膜208としては、実施の形態1に記載の酸化物半導体膜(酸化物半導体膜108、及び酸化物半導体膜128)の材料を用いることができる。
次に、本発明の一態様の半導体装置200の作製方法について、図41乃至図47を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置に用いることのできる発光素子について、図48乃至図50を用いて説明する。
まず、本発明の一態様の半導体装置に用いることのできる発光素子の構成について、図48を用いて説明する。図48は、発光素子160の断面模式図である。
ここで、液滴吐出法を用いてEL層142を形成する方法について、図49を用いて説明する。図49(A)乃至図49(D)は、EL層142の作製方法を説明する断面図である。
次に、液滴吐出法に用いる液滴吐出装置について、図50を用いて説明する。図50は、液滴吐出装置1400を説明する概念図である。
本実施の形態においては、先の実施の形態で例示した半導体装置を有する表示装置の一例について、図51乃至図53を用いて以下説明を行う。
図51は、表示装置の一例を示す上面図である。図51に示す表示装置700は、第1の基板701上に設けられた画素部702と、第1の基板701に設けられたソースドライバ回路部704及びゲートドライバ回路部706と、画素部702、ソースドライバ回路部704、及びゲートドライバ回路部706を囲むように配置されるシール材712と、第1の基板701に対向するように設けられる第2の基板705と、を有する。なお、第1の基板701と第2の基板705は、シール材712によって封止されている。すなわち、画素部702、ソースドライバ回路部704、及びゲートドライバ回路部706は、第1の基板701とシール材712と第2の基板705によって封止されている。なお、図51には図示しないが、第1の基板701と第2の基板705の間には表示素子が設けられる。
次に、実施の形態1に示す半導体装置100Aを用いる表示装置の構成について、図52を用いて説明する。なお、図52は、図51に示す一点鎖線Q−Rの切断面に相当する断面図である。
また、図52に示す表示装置700に入出力装置を設けてもよい。当該入出力装置としては、例えば、タッチパネル等が挙げられる。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を有する表示装置の一例について、図54を用いて説明する。
図54は、本発明の一態様の半導体装置を有する表示装置の一例を示すブロック図である。
画素部512は、X行(Xは2以上の自然数)Y列(Yは2以上の自然数)に配置された複数の表示素子を駆動するための回路(以下、画素回路514という)を有し、ゲート線駆動回路516は、画素回路514を選択する信号(走査信号)を出力する機能を有し、信号線駆動回路518は、画素回路514が有する表示素子を駆動するための信号(データ信号)を供給するため機能を有する。
ゲート線駆動回路516及び信号線駆動回路518のいずれか一方または双方は、画素部512と同一基板上に形成されていることが望ましい。これにより、部品数や端子数を減らすことが出来る。ゲート線駆動回路516及び信号線駆動回路518のいずれか一方または双方が、画素部512と同一基板上に形成されていない場合には、ゲート線駆動回路516及び信号線駆動回路518のいずれか一方または双方を、COGやTAB(Tape Automated Bonding)によって、実装することができる。
保護回路513は、例えば、ゲート線駆動回路516と画素回路514の間の配線である走査線GLに接続される。または、保護回路513は、信号線駆動回路518と画素回路514の間の配線であるデータ線DLに接続される。または、保護回路513は、ゲート線駆動回路516と端子部517との間の配線に接続することができる。または、保護回路513は、信号線駆動回路518と端子部517との間の配線に接続することができる。なお、端子部517は、外部の回路から表示装置に電源及び制御信号、及び画像信号を入力するための端子を有する。
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を有する表示モジュール及び電子機器について、図55乃至図58を用いて説明を行う。
図55に示す表示モジュール7000は、上部カバー7001と下部カバー7002との間に、FPC7003に接続されたタッチパネル7004、FPC7005に接続された表示パネル7006、バックライト7007、フレーム7009、プリント基板7010、バッテリ7011を有する。
次に、図56(A)乃至図56(E)に電子機器の一例を示す。
次に、図56(A)乃至図56(E)に示す電子機器と、異なる電子機器の一例を図57(A)乃至図57(G)に示す。
B 領域
C 領域
100A 半導体装置
100B 半導体装置
100C 半導体装置
100D 半導体装置
100E 半導体装置
100F 半導体装置
102 基板
104 絶縁膜
106 絶縁膜
107 導電膜
108 酸化物半導体膜
108d ドレイン領域
108i チャネル領域
108s ソース領域
110 絶縁膜
112 導電膜
112a 導電膜
112b 導電膜
114 絶縁膜
116 絶縁膜
117 絶縁膜
118 絶縁膜
119 絶縁膜
120 導電膜
122a 導電膜
122b 導電膜
122c 導電膜
124 絶縁膜
126 絶縁膜
128 酸化物半導体膜
128a 酸化物半導体膜
128b 酸化物半導体膜
128c 酸化物半導体膜
130 導電膜
134 絶縁膜
136 絶縁膜
138 導電膜
140 絶縁膜
141a 開口部
141b 開口部
142 EL層
144 導電膜
150 発光層
151 正孔注入層
152 正孔輸送層
153 電子輸送層
154 電子注入層
160 発光素子
182 開口部
183 開口部
184 開口部
186 開口部
200 半導体装置
208 酸化物半導体膜
208d ドレイン領域
208i チャネル領域
208s ソース領域
210b 絶縁膜
212b 導電膜
214 絶縁膜
216 絶縁膜
218a 導電膜
218b 導電膜
282a 開口部
282b 開口部
512 画素部
513 保護回路
514 画素回路
516 ゲート線駆動回路
517 端子部
518 信号線駆動回路
664 電極
665 電極
667 電極
683 液滴吐出装置
684 液滴
685 層
700 表示装置
701 基板
702 画素部
704 ソースドライバ回路部
705 基板
706 ゲートドライバ回路部
708 FPC端子部
710 信号線
712 シール材
716 FPC
732 封止膜
734 絶縁膜
736 着色膜
738 遮光膜
778 構造体
791 タッチパネル
792 絶縁膜
793 電極
794 電極
795 絶縁膜
796 電極
797 絶縁膜
1400 液滴吐出装置
1402 基板
1403 液滴吐出手段
1404 撮像手段
1405 ヘッド
1406 空間
1407 制御手段
1408 記憶媒体
1409 画像処理手段
1410 コンピュータ
1411 マーカー
1412 ヘッド
1413 材料供給源
1414 材料供給源
7000 表示モジュール
7001 上部カバー
7002 下部カバー
7003 FPC
7004 タッチパネル
7005 FPC
7006 表示パネル
7007 バックライト
7008 光源
7009 フレーム
7010 プリント基板
7011 バッテリ
8000 カメラ
8001 筐体
8002 表示部
8003 操作ボタン
8004 シャッターボタン
8006 レンズ
8100 ファインダー
8101 筐体
8102 表示部
8103 ボタン
8200 ヘッドマウントディスプレイ
8201 装着部
8202 レンズ
8203 本体
8204 表示部
8205 ケーブル
8206 バッテリ
8300 ヘッドマウントディスプレイ
8301 筐体
8302 表示部
8304 固定具
8305 レンズ
9000 筐体
9001 表示部
9003 スピーカ
9005 操作キー
9006 接続端子
9007 センサ
9008 マイクロフォン
9050 操作ボタン
9051 情報
9052 情報
9053 情報
9054 情報
9055 ヒンジ
9100 テレビジョン装置
9101 携帯情報端末
9102 携帯情報端末
9200 携帯情報端末
9201 携帯情報端末
9500 表示装置
9501 表示パネル
9502 表示領域
9503 領域
9511 軸部
9512 軸受部
Claims (3)
- 基板上に、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、を有し、
前記第1のトランジスタは第1の酸化物半導体膜を有し、
前記第2のトランジスタは第2の酸化物半導体膜を有し、
前記第1の酸化物半導体膜は、第1の金属酸化物膜を有し、
前記第1の金属酸化物膜は、第1の結晶部と、第2の結晶部と、を有し、
前記第1の結晶部は、c軸配向性を有し、
前記第2の結晶部は、前記第1の結晶部よりc軸配向性が低く、
前記第1の金属酸化物膜の断面に対する電子線回折パターンは、
前記第1の結晶部に起因する回折スポットを有する第1の領域と、
前記第2の結晶部に起因する回折スポットを有する第2の領域と、
を有し、
前記第2の酸化物半導体膜は、第2の金属酸化物膜を有し、
前記第2の金属酸化物膜は、第3の結晶部と、第4の結晶部と、を有し、
前記第3の結晶部は、c軸配向性を有し、
前記第4の結晶部は、前記第3の結晶部よりc軸配向性が低く、
前記第2の金属酸化物膜の断面に対する電子線回折パターンは、
前記第3の結晶部に起因する回折スポットを有する第3の領域と、
前記第4の結晶部に起因する回折スポットを有する第4の領域と、
を有し、
前記第2の領域における輝度の積分強度に対する、前記第1の領域における輝度の積分強度の比は、
前記第4の領域における輝度の積分強度に対する、前記第3の領域における輝度の積分強度の比より大きい、半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1のトランジスタの有するソース電極またはドレイン電極は、
前記基板と、前記第2の酸化物半導体膜と、の間に挟まれる領域を有する、半導体装置。 - 請求項1において、
前記第1の酸化物半導体膜は、
前記基板と、前記第2の酸化物半導体膜と、の間に挟まれる領域を有する、半導体装置。
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