JP6913678B2 - ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 - Google Patents
ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6913678B2 JP6913678B2 JP2018518424A JP2018518424A JP6913678B2 JP 6913678 B2 JP6913678 B2 JP 6913678B2 JP 2018518424 A JP2018518424 A JP 2018518424A JP 2018518424 A JP2018518424 A JP 2018518424A JP 6913678 B2 JP6913678 B2 JP 6913678B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ion beam
- lens
- terminal
- potential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 title claims description 129
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 43
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims description 40
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 12
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 carborane Chemical class 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/047—Changing particle velocity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/047—Changing particle velocity
- H01J2237/0473—Changing particle velocity accelerating
- H01J2237/04735—Changing particle velocity accelerating with electrostatic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/047—Changing particle velocity
- H01J2237/0475—Changing particle velocity decelerating
- H01J2237/04756—Changing particle velocity decelerating with electrostatic means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/049—Focusing means
- H01J2237/0492—Lens systems
- H01J2237/04924—Lens systems electrostatic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
Description
Claims (14)
- イオンビームを制御するための加速器/減速器であって、該加速器/減速器は、
端子に連結される第1の電極であって、該第1の電極のアパーチャを通って前記イオンビームを導き、第1の電圧源から第1の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される第1の電極と、
該第1の電極に隣接するレンズであって、該レンズは、前記端子に連結され、前記第1の電極から電気的に絶縁され、前記レンズは、該レンズのアパーチャを通って前記イオンビームを導き、第2の電圧源から第2の電位を前記イオンビームへ印加するように構成され、前記第2の電位は前記第1の電位から独立に印加される、レンズと、
該レンズから前記イオンビームを受けるように構成される第2の電極と、
該第2の電極から前記イオンビームを受けるように構成される第3の電極アセンブリと、を備え、
前記第3の電極アセンブリは、
接地電極と、
接地抑制電極と、
接地コンポーネントと、を備え、
前記接地電極、前記接地抑制電極及び前記接地コンポーネントは、第4の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される、加速器/減速器。 - 前記レンズと前記第2の電極との間に配置される第4の電極を、さらに、備える、請求項1記載の加速器/減速器。
- 前記第1の電極及び前記レンズを内蔵し、イオン源からの前記イオンビームを受ける前記端子と、
前記端子を通って各々が伸びる第1のコネクタ及び第2のコネクタを含む絶縁体であって、該第1のコネクタは、前記第1の電極及び前記第1の電圧源に連結され、前記第2のコネクタは、前記レンズ及び前記第2の電圧源に連結される、絶縁体と、を、さらに備える、請求項1記載の加速器/減速器。 - 前記絶縁体は前記第1の電極を前記レンズから電気的に絶縁する、請求項3記載の加速器/減速器。
- 前記第1の電極は端子抑制電極であり、前記第2の電極は、第3の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される、集束電極である、請求項1記載の加速器/減速器。
- イオンビームを生成するためのイオン源と、
加速器/減速器と、を備える、イオン注入システムであって、前記加速器/減速器は、
端子に連結される端子抑制電極であって、該端子抑制電極は、該端子抑制電極のアパーチャを通って前記イオンビームを導き、第1の電圧源から第1の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される端子抑制電極と、
前記端子に連結され、前記端子抑制電極に隣接して配置されるレンズであって、該レンズは、該レンズのアパーチャを通って前記イオンビームを導き、第2の電圧源から第2の電位を前記イオンビームへ印加するように構成され、前記第1及び前記第2の電位は独立に制御され、前記レンズは前記端子抑制電極から電気的に絶縁される、レンズと、
該レンズから前記イオンビームを受けるように構成され、第3の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される集束電極と、
該集束電極から前記イオンビームを受けるように構成される接地電極アセンブリと、を備え、
前記接地電極アセンブリは、
接地電極と、
接地抑制電極と、
接地コンポーネントと、を備え、
前記接地電極、前記接地抑制電極及び前記接地コンポーネントは、第4の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される、イオン注入システム。 - 前記レンズと前記集束電極との間に配置される端子電極を、さらに、備える、請求項6記載のイオン注入システム。
- 前記端子を通って各々が伸びる第1のコネクタ及び第2のコネクタを含む絶縁体であって、該第1のコネクタは、前記端子抑制電極及び前記第1の電圧源に連結され、前記第2のコネクタは、前記レンズ及び前記第2の電圧源に連結される、絶縁体と、を、さらに備える、請求項6記載のイオン注入システム。
- 加速器/減速器において、イオンビームを制御するための方法であって、該方法は、
前記イオンビームを、イオンビームラインに沿って、及び、端子に連結される第1の電極のアパーチャを通って導くために、第1の電圧源から第1の電位を前記第1の電極に印加するステップと、
前記イオンビームを、前記レンズのアパーチャを通って導くために、第2の電圧源から第2の電位をレンズに印加するステップであって、前記レンズは、前記端子に連結され、前記第1の電極に隣接して配置され、前記第1の電極から電気的に絶縁される、ステップと、
前記イオンビームを第2の電極で受けるステップと、
前記イオンビームを前記第2の電極から第3の電極アセンブリで受けるステップと、を有し、
前記第3の電極アセンブリは、
接地電極と、
接地抑制電極と、
接地コンポーネントと、を備え、
前記接地電極、前記接地抑制電極及び前記接地コンポーネントは、第4の電位を前記イオンビームへ印加するように構成される、方法。 - 前記イオンビームを、前記第2の電極を通って導くために、第3の電位を前記第2の電極に印加するステップと、前記イオンビームを、前記第3の電極アセンブリを通って導くために、第4の電位を前記第3の電極アセンブリに印加するステップと、を、さらに有する、請求項9記載の方法。
- 前記レンズと前記第2の電極との間の前記イオンビームラインに沿って、配置される第4の電極を提供するステップを、さらに有する、請求項9記載の方法。
- 絶縁体の第1のコネクタにより、前記第1の電極を前記第1の電圧源に連結するステップであって、前記第1のコネクタは前記端子を通って伸びるステップと、
前記絶縁体の第2のコネクタにより、前記レンズを前記第2の電圧源に連結するステップであって、前記第2のコネクタは前記端子を通って伸びるステップと、をさらに有し、
前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタは、前記レンズから前記第1の電極を電気的に絶縁する、請求項9記載の方法。 - 前記第1の電極、前記レンズ、前記第2の電極及び前記第3の電極アセンブリを、前記イオンビームラインに沿って配置するステップを、さらに有する、請求項9記載の方法。
- 前記イオンビームを60keVの電位から300keVの電位へ加速するステップを、さらに有する、請求項9記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020091562A JP7343445B2 (ja) | 2015-10-14 | 2020-05-26 | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/882,518 US9679745B2 (en) | 2015-10-14 | 2015-10-14 | Controlling an ion beam in a wide beam current operation range |
US14/882,518 | 2015-10-14 | ||
PCT/US2016/055125 WO2017066023A1 (en) | 2015-10-14 | 2016-10-03 | Controlling an ion beam in a wide beam current operation range |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020091562A Division JP7343445B2 (ja) | 2015-10-14 | 2020-05-26 | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018530889A JP2018530889A (ja) | 2018-10-18 |
JP2018530889A5 JP2018530889A5 (ja) | 2019-11-14 |
JP6913678B2 true JP6913678B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=58517804
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018518424A Active JP6913678B2 (ja) | 2015-10-14 | 2016-10-03 | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 |
JP2020091562A Active JP7343445B2 (ja) | 2015-10-14 | 2020-05-26 | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020091562A Active JP7343445B2 (ja) | 2015-10-14 | 2020-05-26 | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9679745B2 (ja) |
JP (2) | JP6913678B2 (ja) |
KR (2) | KR102521604B1 (ja) |
CN (1) | CN108140527B (ja) |
TW (2) | TWI810457B (ja) |
WO (1) | WO2017066023A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10074514B1 (en) * | 2017-09-08 | 2018-09-11 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for improved ion beam current |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0263876B1 (en) * | 1986-04-09 | 2002-11-13 | Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. | Ion beam scanning method and apparatus |
US5311028A (en) | 1990-08-29 | 1994-05-10 | Nissin Electric Co., Ltd. | System and method for producing oscillating magnetic fields in working gaps useful for irradiating a surface with atomic and molecular ions |
JP3475562B2 (ja) * | 1995-03-31 | 2003-12-08 | 日新電機株式会社 | イオンビームの加速装置 |
GB2344214B (en) * | 1995-11-08 | 2000-08-09 | Applied Materials Inc | An ion implanter with improved beam definition |
US7045799B1 (en) * | 2004-11-19 | 2006-05-16 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Weakening focusing effect of acceleration-deceleration column of ion implanter |
US7675047B2 (en) * | 2005-11-15 | 2010-03-09 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Technique for shaping a ribbon-shaped ion beam |
JP4747876B2 (ja) | 2006-02-17 | 2011-08-17 | 日新イオン機器株式会社 | イオンビーム照射装置 |
US8110815B2 (en) * | 2006-06-12 | 2012-02-07 | Semequip, Inc. | Vapor delivery to devices under vacuum |
JP4946256B2 (ja) * | 2006-08-11 | 2012-06-06 | 日新イオン機器株式会社 | 電界レンズおよびそれを備えるイオン注入装置 |
US7579605B2 (en) * | 2006-09-29 | 2009-08-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Multi-purpose electrostatic lens for an ion implanter system |
US8013312B2 (en) | 2006-11-22 | 2011-09-06 | Semequip, Inc. | Vapor delivery system useful with ion sources and vaporizer for use in such system |
US20090121149A1 (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for shaping an ion beam |
US8519353B2 (en) * | 2010-12-29 | 2013-08-27 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Method and apparatus for controlling an asymmetric electrostatic lens about a central ray trajectory of an ion beam |
US9165744B2 (en) | 2012-10-24 | 2015-10-20 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus for treating ion beam |
CN103779164B (zh) * | 2013-11-08 | 2015-12-02 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子束减速装置 |
US20150144810A1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-05-28 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Triple mode electrostatic collimator |
JP6253375B2 (ja) | 2013-12-02 | 2017-12-27 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置 |
-
2015
- 2015-10-14 US US14/882,518 patent/US9679745B2/en active Active
-
2016
- 2016-09-26 TW TW109117002A patent/TWI810457B/zh active
- 2016-09-26 TW TW105130934A patent/TWI697024B/zh active
- 2016-10-03 KR KR1020207016383A patent/KR102521604B1/ko active IP Right Grant
- 2016-10-03 CN CN201680057536.4A patent/CN108140527B/zh active Active
- 2016-10-03 KR KR1020187013078A patent/KR102652222B1/ko active IP Right Grant
- 2016-10-03 WO PCT/US2016/055125 patent/WO2017066023A1/en active Application Filing
- 2016-10-03 JP JP2018518424A patent/JP6913678B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-26 JP JP2020091562A patent/JP7343445B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102521604B1 (ko) | 2023-04-13 |
JP7343445B2 (ja) | 2023-09-12 |
US20170110286A1 (en) | 2017-04-20 |
KR20200070421A (ko) | 2020-06-17 |
KR20180054891A (ko) | 2018-05-24 |
CN108140527B (zh) | 2019-11-05 |
TWI810457B (zh) | 2023-08-01 |
WO2017066023A1 (en) | 2017-04-20 |
TW202036635A (zh) | 2020-10-01 |
CN108140527A (zh) | 2018-06-08 |
JP2018530889A (ja) | 2018-10-18 |
TW201714197A (zh) | 2017-04-16 |
US9679745B2 (en) | 2017-06-13 |
KR102652222B1 (ko) | 2024-03-28 |
JP2020129567A (ja) | 2020-08-27 |
TWI697024B (zh) | 2020-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6699974B2 (ja) | イオン注入用の複合静電レンズシステム | |
JP5689415B2 (ja) | イオン注入システムにおけるディセル後の磁気エネルギーフィルター | |
TW200416769A (en) | Deflecting acceleration/deceleration gap | |
KR20000070521A (ko) | 이온 주입기에 사용하기 위한 이온 가속기 | |
KR101650244B1 (ko) | 이온 주입을 위한 중간 전류 리본 빔 | |
US20120056107A1 (en) | Uniformity control using ion beam blockers | |
JP3240634U (ja) | 成形電極を有する静電フィルタ | |
JP6913678B2 (ja) | ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 | |
JP6814313B2 (ja) | イオンビームを制御する装置 | |
US8664619B2 (en) | Hybrid electrostatic lens for improved beam transmission | |
US12002852B2 (en) | System and technique for creating implanted regions using multiple tilt angles | |
KR102447930B1 (ko) | 이온 주입을 위한 장치, 시스템 및 방법 | |
KR980011669A (ko) | 범위가 확장된 이온 주입 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190930 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201228 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210513 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210513 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210520 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210615 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6913678 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |