JP6909584B2 - 塗布液塗布方法 - Google Patents
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Description
すなわち、従来の第1の方法及び第2の方法は、厚い塗布被膜を均一に形成することができるようになった一方で、薄い塗布被膜(例えば、1μm以下)を均一に形成することが困難であるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、表面に凹凸部を有する基板に対して塗布液を供給する塗布液塗布方法において、基板の表面全体に塗布液を噴霧して基板の表面を目標膜厚よりも厚い塗布被膜で覆う噴霧過程と、前記基板を回転させて塗布液を流動させ、塗布液の溶剤を蒸発させて目標膜厚の塗布被膜を得る回転過程と、をその順に実施することを特徴とするものである。
W … 基板
3 … 回転支持部
5 … 受渡機構
7 … 噴霧部
9 … カバー部
15 … 載置台
19 … ヒータ
23 … 受渡ピン
25 … 昇降駆動部
27 … スプレーノズル
35 … 電動モータ
41 … 内壁部
43 … 外壁部
45 … 制御部
RF0,RF1 … 塗布被膜
51 … ランプ
61 … 噴霧装置
71 … 搬送装置
81 … 回転装置
Claims (8)
- 表面に凹凸部を有する基板に対して塗布液を供給する塗布液塗布方法において、
基板の表面全体に塗布液を噴霧して基板の表面を目標膜厚よりも厚い塗布被膜で覆う噴霧過程と、
前記基板を回転させて塗布液を流動させ、塗布液の溶剤を蒸発させて目標膜厚の塗布被膜を得る回転過程と、
をその順に実施することを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項1に記載の塗布液塗布方法において、
前記噴霧過程では、前記基板を所定の加熱温度で加熱することを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項2に記載の塗布液塗布方法において、
前記所定の加熱温度は、室温より高い温度から、基板に供給された塗布液の流動性を緩やかに下げる温度の範囲であることを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項3に記載の塗布液塗布方法において、
前記所定の加熱温度は、30〜50℃の範囲であることを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項2から4のいずれかに記載の塗布液塗布方法において、
前記噴霧過程は、前記基板を支持している回転支持部をヒータで加熱することを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項2から4のいずれかに記載の塗布液塗布方法において、
前記噴霧過程は、前記基板をランプで加熱することを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項1から6のいずれかに記載の塗布液塗布方法において、
前記噴霧過程と前記回転過程は、同一装置で実施されることを特徴とする塗布液塗布方法。 - 請求項1から6のいずれかに記載の塗布液塗布方法において、
前記噴霧過程と前記回転過程は、別体の装置で実施されることを特徴とする塗布液塗布方法。
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