JP6504996B2 - 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
まず、塗布膜形成装置1の概要について説明する。塗布膜形成装置1は、被処理体W(図4等参照)の表面上に塗布膜R(同図等参照)を形成する装置である。
続いて、図6及び図7を参照して、液処理ユニットU1についてさらに詳しく説明する。液処理ユニットU1は、図6に示されるように、回転保持部40と、駆動部50と、ポンプPと、バルブVとを備える。
続いて、図8及び図9を参照して、熱処理ユニットU2の構成について説明する。熱処理ユニットU2は、筐体100内に、被処理体Wを加熱する加熱部110と、被処理体Wを搬送する搬送機構120とを有する。筐体100のうち搬送機構120に対応する部分の両側壁には、被処理体Wを筐体100の内部に搬入すると共に被処理体Wを筐体100外へと搬出するための搬入出口101が形成されている。
続いて、塗布膜Rを被処理体Wの表面に形成する方法について、図10及び図11を参照して説明する。まず、コントローラCUが受け渡しアームA1を制御して、受け渡しアームA1によってキャリア10内の被処理体Wを棚部33に搬送する。次に、コントローラCUが搬送アームA2を制御して、搬送アームA2によって被処理体Wを棚部33から取り出し、熱処理ユニットU2に搬送する。熱処理ユニットU2では、コントローラCUが搬送機構120(搬送板121)を制御して、被処理体Wが加熱部110内に搬送される(ステップS1)。被処理体Wが熱板113上に載置されると、コントローラCUが昇降機構119を制御して、昇降機構119によって蓋部111を下方位置に降下させる。これにより、蓋部111と熱板収容部112とで構成される処理室PR内に被処理体Wが収容される。
直径150mmの円板状の基板W1上に3つの凸部W2が設けられた被処理体Wを用意した。凸部W2はそれぞれ、被処理体Wの中心から径方向に向けて0mm(試験例1A)、35mm(試験例1B)、70mm(試験例1C)に位置していた。また、ポジ型フォトレジストをPGMEAで希釈したレジスト液を用意した。
第1の処理及び第3の処理における被処理体Wの加熱温度を150℃とした以外は、試験例1と同様に、被処理体Wの中心から径方向に向けて0mm(試験例2A)、35mm(試験例2B)、70mm(試験例2C)に凸部W2が位置する被処理体Wの表面にレジスト膜(塗布膜R)を形成した。次に、試験例2A,2B,2Cの断面の様子を電子顕微鏡にて観察した。試験例2A,2B,2Cの断面の概略図をそれぞれ図13(d)〜(f)に示す。試験例2A,2B,2Cのいずれにおいても、凸部W2を含む被処理体Wの表面に沿ってレジスト膜(塗布膜R)が均一に形成されていた。特に、試験例2B,2Cにおいては、レジスト膜(塗布膜R)が極めて均一であった。
第2の処理において、以下に示すとおり、ノズルNが被処理体Wの中心に近いほどノズルNの移動速度が大きくなるように設定した以外は、試験例2と同様に、被処理体Wの中心から径方向に向けて0mm(試験例3)に凸部W2が位置する被処理体Wの表面にレジスト膜(塗布膜R)を形成した。
・被処理体Wの中心と、当該中心から径方向に50mmの位置との間:30mm/秒〜150mm/秒
・被処理体Wの中心から径方向に50mmの位置と、被処理体Wの周縁との間:10mm/秒〜30mm/秒
次に、試験例3の断面の様子を電子顕微鏡にて観察した。試験例3の断面の概略図を図13(g)に示す。試験例3では、被処理体Wの中心近傍においてレジスト液滴が凝集し難くなるので、レジスト膜(塗布膜R)が試験例1A,2Aよりも均一に形成されていた。
Claims (20)
- 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱する第1の工程と、
前記第1の工程において加熱された後の前記被処理体の表面に対して塗布液液滴をノズルから吹き付ける第2の工程とを含み、
前記第2の工程では、前記第1の工程によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付けると共に、前記ノズルとは別のガスノズルを前記ノズルに追従させつつ、前記被処理体の表面のうち前記塗布液液滴の吹き付け箇所に対して加熱された窒素ガスを前記ガスノズルから吹き付ける、塗布膜形成方法。 - 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱する第1の工程と、
前記第1の工程において加熱された後の前記被処理体の表面に対して塗布液液滴をノズルから吹き付ける第2の工程とを含み、
前記第2の工程では、前記第1の工程によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付けると共に、前記ノズルとは別のガスノズルを前記ノズルに追従させつつ、前記被処理体の表面のうち前記塗布液液滴の吹き付け箇所に対して加熱された窒素ガスを前記ガスノズルから吹き付ける、塗布膜形成方法。 - 前記被処理体の加熱温度は、前記塗布液液滴に含まれる溶剤の沸点よりも10℃〜50℃低い温度に設定されている、請求項1又は2に記載の塗布膜形成方法。
- 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱する第1の工程と、
前記第1の工程において加熱された後の前記被処理体の表面に対して塗布液液滴をノズルから吹き付ける第2の工程とを含み、
前記被処理体の加熱温度は、前記塗布液液滴に含まれる溶剤の沸点よりも10℃〜50℃低い温度に設定されている、塗布膜形成方法。 - 前記塗布液液滴に含まれる溶剤はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである、請求項3又は4に記載の塗布膜形成方法。
- 前記第2の工程において前記塗布液液滴が吹き付けられた後の前記被処理体を加熱する第3の工程を更に含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。
- 前記第2の工程では、前記被処理体を回転させた状態で、前記第1の工程において加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記塗布液液滴を前記ノズルから吹き付ける、請求項1〜6のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。
- 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱するように構成された加熱部と、
塗布液をノズルから塗布液液滴として吹き出させるように構成された供給部と、
第1の処理室と、
前記第1の処理室とは異なる第2の処理室と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記第1の処理室において前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する第1の処理と、
前記供給部を制御して、前記第2の処理室において、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付ける第2の処理とを実行する、塗布膜形成装置。 - 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱するように構成された加熱部と、
塗布液をノズルから塗布液液滴として吹き出させるように構成された供給部と、
加熱された窒素ガスをガスノズルから吐出させるように構成されたガス供給部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する第1の処理と、
前記供給部を制御して、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付ける第2の処理とを実行し、
前記制御部は、前記第2の処理において、前記供給部を制御して、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付けると共に、ガス供給部を制御して、前記ガスノズルを前記ノズルに追従させつつ、前記被処理体の表面のうち前記塗布液液滴の吹き付け箇所に対して加熱された窒素ガスを前記ガスノズルから吹き付ける、塗布膜形成装置。 - 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱するように構成された加熱部と、
塗布液をノズルから塗布液液滴として吹き出させるように構成された供給部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する第1の処理と、
前記供給部を制御して、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付ける第2の処理とを実行し、
前記制御部は、前記第2の処理において、前記供給部を制御して、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して、加熱された窒素ガスに前記塗布液液滴を随伴させた状態で前記ノズルから吹き付ける、塗布膜形成装置。 - 前記第1の処理が行われる第1の処理室と、
前記第1の処理室とは異なる第2の処理室であって、前記第2の処理が行われる第2の処理室とを更に備える、請求項9又は10に記載の塗布膜形成装置。 - 前記第1の処理及び前記第2の処理の双方が行われる処理室を更に備える、請求項9又は10に記載の塗布膜形成装置。
- 前記制御部は、前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する際に、前記加熱部による前記被処理体の加熱温度を前記塗布液液滴に含まれる溶剤の沸点よりも10℃〜50℃低い温度に設定する、請求項8〜12のいずれか一項に記載の塗布膜形成装置。
- 基板と、前記基板の表面に設けられた凸部とを含む被処理体を加熱するように構成された加熱部と、
塗布液をノズルから塗布液液滴として吹き出させるように構成された供給部と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する第1の処理と、
前記供給部を制御して、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記ノズルから前記塗布液液滴を吹き付ける第2の処理とを実行し、
前記制御部は、前記加熱部を制御して前記被処理体を加熱する際に、前記加熱部による前記被処理体の加熱温度を前記塗布液液滴に含まれる溶剤の沸点よりも10℃〜50℃低い温度に設定する、塗布膜形成装置。 - 前記第1の処理が行われる第1の処理室と、
前記第1の処理室とは異なる第2の処理室であって、前記第2の処理が行われる第2の処理室とを更に備える、請求項14に記載の塗布膜形成装置。 - 前記第1の処理及び前記第2の処理の双方が行われる処理室を更に備える、請求項14に記載の塗布膜形成装置。
- 前記塗布液液滴に含まれる溶剤はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートである、請求項8〜16のいずれか一項に記載の塗布膜形成装置。
- 前記制御部は、前記加熱部を制御して、前記第2の処理において前記塗布液液滴が吹き付けられた後の前記被処理体を加熱する第3の処理を更に実行する、請求項8〜17のいずれか一項に記載の塗布膜形成装置。
- 前記基板の表面に対して垂直な軸周りに前記被処理体を回転させる駆動部を更に備え、
前記制御部は、前記第2の処理において、前記駆動部を制御して前記被処理体を回転させた状態で、前記供給部を制御して塗布液を前記ノズルに供給することにより、前記第1の処理によって加熱された後の前記被処理体の表面に対して前記塗布液液滴を前記ノズルから吹き付ける、請求項8〜18のいずれか一項に記載の塗布膜形成装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法を塗布膜形成装置に実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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