JP6900730B2 - アクチュエータ - Google Patents
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Description
以下本発明を、実施の形態1に係るプリンタ10を示す図面に基づいて説明する。図1において、記録用紙100の搬送方向下流側をプリンタ10の前方、搬送方向上流側をプリンタ10の後方と定義する。また、記録用紙100が搬送される面(図1の紙面と平行な面)と平行で、且つ、前記搬送方向と直交する用紙幅方向を、プリンタ10の左右方向と定義する。また記録用紙100の搬送面と直交する方向(図1の紙面に直交する方向)を、プリンタ10の上下方向と定義する。以下では、前後左右上下を適宜使用して説明する。
以下本発明を実施の形態2に係るアクチュエータ12Aを示す図面に基づいて説明する。図4及び図5に示すように、基板12a上面の前部に複数の第1接点32Aが配列方向に並んでいる。
以下本発明を実施の形態3に係るアクチュエータ12Bを示す図面に基づいて説明する。図6及び図7に示すように、基板12aには絶縁膜は設けられていない。
12a 基板
12、12A、12B アクチュエータ
32、32A、32B 第1接点
33 第1圧電素子
34、34A、34B 第1配線
35 第1フレキシブル基板
36、36A、36B 第2接点
37 第2圧電素子
38、38A、38B 第2配線
39 第2フレキシブル基板
40、40A 絶縁膜
41 傾斜面
41A 第1貫通孔
52B 第2貫通孔
Claims (19)
- 基板と、
前記基板の一面に形成されており、第1圧電素子及び第2圧電素子を含む複数の圧電素子と、
前記第1圧電素子に接続する第1接点と、
前記第1接点から前記基板の厚み方向に離隔しており、前記第2圧電素子に接続する第2接点と、
前記第1接点に接続される第1フレキシブル基板と、
前記第2接点に接続される第2フレキシブル基板と
を備えるアクチュエータ。 - 前記第1接点及び前記第1圧電素子を接続する第1配線と、
前記第2接点及び前記第2圧電素子を接続する第2配線と
を備える請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記基板に設けられた絶縁膜を備え、
前記第1接点は前記基板に設けられており、
前記絶縁膜に前記第2接点が設けられている
請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記第2配線は前記絶縁膜の側面に沿って延びている
請求項3に記載のアクチュエータ。 - 前記絶縁膜の側面は傾斜面を含む
請求項4に記載のアクチュエータ。 - 前記絶縁膜に第1貫通孔が設けられており、
前記第2配線は前記第1貫通孔を通る
請求項3に記載のアクチュエータ。 - 前記圧電素子を覆い、前記基板上に接合される保護基板を備え、
前記保護基板の前記基板との接合部分において、前記保護基板と前記基板の間に前記絶縁膜が設けられている
請求項3から6のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記保護基板の前記基板との接合部分全体に前記絶縁膜が設けられている
請求項7に記載のアクチュエータ。 - 前記圧電素子には前記絶縁膜が設けられていない
請求項3から8のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記第1圧電素子及び前記第2圧電素子が並ぶ方向において、
前記第1接点及び前記第2接点は、前記第1圧電素子に対して、前記第2圧電素子とは反対側に配置され、
前記第2圧電素子、前記第1圧電素子、前記第2接点、前記第1接点の順に前記反対側に向かって配置されている
請求項3から9のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記絶縁膜は前記基板より薄い
請求項3から10のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記第1フレキシブル基板及び前記第2フレキシブル基板は、前記並ぶ方向において同じ方向に延びる
請求項10に記載のアクチュエータ。 - 前記圧電素子を覆う保護基板を備え、
前記保護基板上に前記第2接点が設けられている
請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記保護基板の前記基板との接合部分には第2貫通孔が設けられており、
前記第2配線は前記第2貫通孔を通る
請求項13に記載のアクチュエータ。 - 前記第1圧電素子及び前記第2圧電素子が並ぶ方向において、
前記第1接点は、前記保護基板の外側の前記基板上に設けられ、
前記第1フレキシブル基板は、前記保護基板から離れる向きに延びる
請求項13または14に記載のアクチュエータ。 - 前記第2フレキシブル基板は、前記保護基板から離れる向きに延びる
請求項15に記載のアクチュエータ。 - 前記第1圧電素子及び前記第2圧電素子が並ぶ方向において、
前記第1接点及び前記第2接点は、前記第2圧電素子に対して、前記第1圧電素子とは反対側に配置され、
前記第1圧電素子、前記第2圧電素子、前記第2接点、前記第1接点の順に前記反対側に向かって配置されている
請求項13から16のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記保護基板は前記基板より厚い
請求項13から17のいずれか一つに記載のアクチュエータ。 - 前記第1接点は前記基板に設けられており、
前記保護基板は、前記第1圧電素子及び第1接点の間に配置されている
請求項13から16のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
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