JP2018167448A

JP2018167448A - アクチュエータ

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Publication number: JP2018167448A
Application number: JP2017065668A
Authority: JP
Inventors: 鋭王; Rui Wang
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2017-03-29
Filing date: 2017-03-29
Publication date: 2018-11-01
Anticipated expiration: 2037-03-29
Also published as: US20180281408A1; JP6900730B2; US10894407B2

Abstract

【課題】隣り合う二つの接点の間の寸法が短くなることを抑制することができるアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータ１２は、基板１２ａと、基板１２ａの一面に形成されており、第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７を含む複数の圧電素子と、第１圧電素子３３に接続する第１接点３２と、第１接点３２から基板１２ａの厚み方向に離隔しており、第２圧電素子３７に接続する第２接点３６と、第１接点３２に接続される第１フレキシブル基板３５と、第２接点３６に接続される第２フレキシブル基板３９とを備える。【選択図】図３

Description

本発明は、圧電素子を駆動するアクチュエータに関する。

従来、基板と、該基板の上にて、所定方向に並設された複数の第１圧電素子と、該第１圧電素子の隣に、前記所定方向に並設された第２圧電素子とを備えるアクチュエータが開示されている。

基板の縁部分に複数の接点が前記所定方向に一列に並んでいる。第１圧電素子は配線を介して接点に接続されている。第２圧電素子は配線を介して接点に接続されている。

特開２０１６―１２４１５３号公報

接点は一列に並んでいるので、隣り合う二つの接点の間の寸法は、隣り合う二つの第１圧電素子の間の寸法又は隣り合う二つの第２圧電素子の間の寸法よりも短い。そのため接点と他の部材との接合時に、精度の良く位置決めを行う必要があった。また隣り合う配線間の寸法も短いので、配線間でショートが発生するおそれがある。

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、隣り合う二つの接点の間の寸法が短くなることを抑制することができるアクチュエータを提供することを目的とする。

本発明に係るアクチュエータは、基板と、前記基板の一面に形成されており、第１圧電素子及び第２圧電素子を含む複数の圧電素子と、前記第１圧電素子に接続する第１接点と、前記第１接点から前記基板の厚み方向に離隔しており、前記第２圧電素子に接続する第２接点と、前記第１接点に接続される第１フレキシブル基板と、前記第２接点に接続される第２フレキシブル基板とを備える。

本発明に係るアクチュエータにあっては、第１接点と第２接点とが、基板の厚み方向に離隔している。基板に平行な方向に複数の第１接点及び第２接点を並べた場合に、第１接点及び第２接点は前記厚み方向に離隔しているので、第１接点及び第２接点が基板に平行な方向に近接していても、第１接点及び第２接点が接触することはない。

それ故、隣り合う二つの第１接点の間の寸法を、第１接点及び第２接点間の寸法に拘泥されることなく設定することができる。また隣り合う二つの第２接点の間の寸法を、第１接点及び第２接点間の寸法に拘泥されることなく、設定することができる。即ち、二つの第１接点の間の寸法及び二つの第２接点の間の寸法を、精度の良い位置決めを必要とせず、また配線間でショートが発生しにくい寸法に設定することができる。

さらに、第１接点、第２接点は、異なるフレキシブル基板に接続されるため、第１接点及び第２接点が同一平面上にある場合と比較して、接着のための精度のよい位置決めを必要とせず、接着時のフレキシブル基板と接点とのショートを防止することができる。

実施の形態１に係るプリンタ１０を略示する平面図である。アクチュエータ１２を略示する平面図である。図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線を切断線としたアクチュエータ１２の略示断面図である。実施の形態２に係るアクチュエータ１２Ａを略示する平面図である。図４に示すＶ−Ｖ線を切断線としたアクチュエータ１２Ａの略示断面図である。実施の形態３に係るアクチュエータ１２Ｂを略示する平面図である。図６に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線を切断線としたアクチュエータ１２Ｂの略示断面図である。

（実施の形態１）
以下本発明を、実施の形態１に係るプリンタ１０を示す図面に基づいて説明する。図１において、記録用紙１００の搬送方向下流側をプリンタ１０の前方、搬送方向上流側をプリンタ１０の後方と定義する。また、記録用紙１００が搬送される面（図１の紙面と平行な面）と平行で、且つ、前記搬送方向と直交する用紙幅方向を、プリンタ１０の左右方向と定義する。また記録用紙１００の搬送面と直交する方向（図１の紙面に直交する方向）を、プリンタ１０の上下方向と定義する。以下では、前後左右上下を適宜使用して説明する。

図１に示すように、プリンタ１０は、筐体２と、プラテン３と、インクジェットヘッド４と、二つの搬送ローラ５、６と、制御回路７とを備える。

プラテン３は筐体２内に平置きされている。プラテン３の上面には、記録用紙１００が載置される。インクジェットヘッド４は、プラテン３の上方にて前後方向に並設されている。二つの搬送ローラ５、６は、プラテン３に対して後側と前側にそれぞれ配置されている。二つの搬送ローラ５、６はプラテン３上の記録用紙１００を前方へ搬送する。

制御回路７は、ＦＰＧＡ(Field Programmable Gate Array)、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。

制御回路７は、搬送ローラ５、６に記録用紙１００を搬送方向に搬送させつつ、インクジェットヘッド４を制御して記録用紙１００に向けてインクを吐出させる。筐体２は、プラテン３の上方且つ二つの搬送ローラ５、６の間の位置にて、各インクジェットヘッド４を保持する。

インクジェットヘッド４は、それぞれ、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクを吐出するものである。インクジェットヘッド４には、図示しないインクタンクから、対応する色のインクが供給される。インクジェットヘッド４は、その下部に複数のヘッドユニット１を備える。ヘッドユニット１の下面に複数のノズル１１ｎが形成されている。

図２及び図３を参照し、ヘッドユニット１の構成について説明する。ヘッドユニット１は、流路基板１１、アクチュエータ１２、第１フレキシブル基板３５、及び第２フレキシブル基板３９を有する。

流路基板１１は、図３に示すように、リザーバ部材１１ａ、圧力室プレート１１ｂ及びノズルプレート１１ｃを有し、これらが互いに接着されて構成されている。流路基板１１には、図２及び図３に示すように、リザーバ１１ｓ、複数の圧力室１１ｍ、及び複数のノズル１１ｎが形成されている。

圧力室プレート１１ｂは、シリコン単結晶基板からなり、複数の圧力室１１ｍが貫通して形成されている。複数の圧力室１１ｍは、図２に示すように、２つの圧力室列１１ｍＲを構成するように配列されている。各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍは、配列方向（搬送方向と直交する方向）に等間隔で配列されている。２つの圧力室列１１ｍＲは、配列方向と直交する方向（搬送方向と平行な方向）に並んでいる。複数の圧力室１１ｍは、それぞれ配列方向の位置が異なるように、千鳥状に配列されている。

ノズルプレート１１ｃには、複数のノズル１１ｎが貫通して形成されている。複数のノズル１１ｎは複数の圧力室１１ｍのそれぞれと連通している。複数のノズル１１ｎは、互いに同じ形状及びサイズを有する。ノズルプレート１１ｃは、圧力室プレート１１ｂの下面に接着されている。

複数のノズル１１ｎは、図２に示すように、複数の圧力室１１ｍと同様、２列に配列されると共に、それぞれ配列方向の位置が異なるように千鳥状に配列されている。複数のノズル１１ｎは、アクチュエータ１２の圧電素子３３、３７の駆動により対応する圧力室１１ｍの容積が変化することに伴い、インクを吐出する。

アクチュエータ１２は、図３に示すように、圧力室プレート１１ｂの上面に配置されている。アクチュエータ１２は、下から順に、基板１２ａ、共通電極１２ｂ、一対の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

基板１２ａは、圧力室プレート１１ｂを構成するシリコン単結晶基板の表面を酸化することにより形成された二酸化シリコンの膜であり、圧力室プレート１１ｂの上面の略全体に形成されている。共通電極１２ｂは、複数の圧力室１１ｍに共通の電極であり、基板１２ａの上面の略全体に形成されている。

一対の圧電体１２ｃは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなり、共通電極１２ｂの上面において、それぞれ、配列方向に延在し、各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍを覆っている。

複数の個別電極１２ｄは、複数の圧力室１１ｍに個別の電極であり、各圧電体１２ｃの上面において、複数の圧力室１１ｍのそれぞれと対向する位置に配置されている。

圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと共通電極１２ｂとで挟まれた部分は、個別電極１２ｄへの電圧の印加に応じて変形可能な圧電素子３３、３７（活性部）として機能する。即ち、アクチュエータ１２は、圧力室１１ｍと対向する複数の圧電素子３３、３７を有する。圧力室１１ｍと対向する圧電素子３３、３７を駆動させることにより、圧力室１１ｍと対向する基板１２ａが変形振動し、圧力室１１ｍの容積が変化し、圧力室１１ｍ内のインクに圧力が付与され、ノズル１１ｎからインクが吐出される。

アクチュエータ１２には、さらに、圧電体保護膜１２ｈ、層間絶縁膜１２ｉ、第１配線３４、第２配線３８及び配線保護膜１２ｊが設けられている。

圧電体保護膜１２ｈは、空気中の水分の圧電体１２ｃへの浸入を防止する機能を有し、一対の圧電体１２ｃを覆っている。圧電体保護膜１２ｈは、例えば酸化アルミニウム（アルミナ：Ａｌ₂Ｏ₃）等からなる。なお、圧電素子３３、３７の駆動を阻害しないよう、圧電体保護膜１２ｈは各個別電極１２ｄの周縁部のみを覆っており、各個別電極１２ｄの中央部は圧電体保護膜１２ｈから露出している。

層間絶縁膜１２ｉは、配線３４、３８と共通電極１２ｂとの間の絶縁性を高める機能を有し、圧電体保護膜１２ｈと配線３４、３８との間に設けられている。層間絶縁膜１２ｉは、例えば二酸化シリコン（ＳｉＯ_２）等からなる。

複数の配線３４、３８は、層間絶縁膜１２ｉの上面に形成されており、複数の個別電極１２ｄのそれぞれに接続されている。各配線３４、３８は、圧電体保護膜１２ｈ及び層間絶縁膜１２ｉを貫通する貫通孔に充填され、各個別電極１２ｄと電気的に接続されている。

複数の配線３４、３８は、図２に示すように、それぞれ、搬送方向の下流側に引き出され、圧力室プレート１１ｂにおいてリザーバ部材１１ａに覆われていない部分まで延びている。複数の配線３４、３８のうち、圧力室１１ｍと対向する個別電極１２ｄに接続された配線の先端には、第１接点３２、第２接点３６が形成されている。

層間絶縁膜１２ｉの上面には、さらに、第２接点３６を配列方向に挟むように、一対の共通接点５６が設けられている。一対の共通接点５６は、層間絶縁膜１２ｉ及び圧電体保護膜１２ｈを貫通する貫通孔に充填され、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。各共通接点５６の幅（配列方向の長さ）は、各接点３２、３６の幅よりも大きい。各共通接点５６と、接点３２、３６との間には、比較的大きな間隙が形成されている。

配線保護膜１２ｊは、複数の配線３４、３８間の絶縁性を高める機能を有し、複数の配線３４、３８を覆うように、層間絶縁膜１２ｉの上面に設けられている。配線保護膜１２ｊは、例えば窒化シリコン（ＳｉＮｘ）等からなる。なお、接点３２、３６、５６は、配線保護膜１２ｊに覆われていない。

リザーバ部材１１ａには、図３に示すように、リザーバ１１ｓ、リザーバ１１ｓと複数の圧力室１１ｍのそれぞれとを連通させる複数の連通流路１１ｔ、及び、それぞれ配列方向に延在する一対の凹部１１ａｘが形成されている。リザーバ部材１１ａは、一対の凹部１１ａｘ内に一対の圧電体１２ｃがそれぞれ収容されるように、圧力室プレート１１ｂの上面にアクチュエータ１２を介して接着されている。アクチュエータ１２において複数の連通流路１１ｔと対向する部分には、複数の貫通孔１２ｙがそれぞれ形成されている。リザーバ部材１１ａは、圧電体１２ｃが封止され、湿度、空気、粉塵などから圧電素子３３、３７を保護する。

リザーバ１１ｓは、チューブ等を介して、インクを貯留するカートリッジと連通している。カートリッジ内のインクは、ポンプ（図示略）の駆動によりリザーバ１１ｓに供給され、複数の連通流路１１ｔ及び複数の貫通孔１２ｙを通って、各圧力室列１１ｍＲを構成する複数の圧力室１１ｍに供給される。各圧力室１１ｍに供給されたインクは圧電素子３３、３７の駆動によりノズル１１ｎから吐出される。

ヘッドユニット１はアクチュエータ１２を備える。図２及び図３に示すように、アクチュエータ１２は基板１２ａを備える。基板１２ａ上面の中央部に複数の第１圧電素子３３が配列方向に並んでいる。複数の第１圧電素子３３はリザーバ部材１１ａによって覆われている。基板１２ａ上面の前縁部に複数の第１接点３２が配列方向に並んでいる。

各第１接点３２と各第１圧電素子３３とは第１配線３４を介して接続されている。第１配線３４は、第１圧電素子３３を覆うリザーバ部材１１ａの下から前側に延びている。基板１２ａ上面の前部に、配列方向に延びた絶縁膜４０が形成されている。絶縁膜４０は第１配線３４の上側に配置されている。絶縁膜４０は傾斜面４１を有する。傾斜面４１は、第１圧電素子３３側の絶縁膜４０の側面に形成されており、第１圧電素子３３側の厚さ寸法が第１接点３２側の厚さ寸法よりも小さくなるように、傾斜している。

絶縁膜４０の上側に複数の第２接点３６が配列方向に並んでいる。配列方向において、各第２接点３６は隣り合う二つの第１接点３２の間に第１接点３２から距離Ｄだけ離れて配置されている。平面視において、第１接点３２及び第２接点３６は千鳥状に配置されている。絶縁膜４０によって、第１接点３２及び第２接点３６は上下方向、換言すれば基板１２ａの厚み方向に離隔している。なお絶縁膜４０は基板１２ａよりも薄い。共通接点５６は、共通電極１２ｂと電気的に接続される。共通接点５６は、複数の第２接点３６の両端に設けられる。共通接点５６はＧＮＤ電位に保たれる。

基板１２ａ上面の中央部であって、第１圧電素子３３より後側に複数の第２圧電素子３７が配列方向に並んでいる。第２圧電素子３７は、隣り合う二つの第１圧電素子３３の間にそれぞれ配置されている。複数の第２圧電素子３７はリザーバ部材１１ａによって覆われている。

各第２接点３６と各第２圧電素子３７とは第２配線３８を介して接続されている。第２配線３８は、第２圧電素子３７を覆うリザーバ部材１１ａの下から前側に延びている。各第２接点３６と各第２圧電素子３７とは第２配線３８を介して接続されている。第２配線３８は絶縁膜４０の上面及び傾斜面４１、並びに基板１２ａの上面に配置されている。

第１接点３２には第１フレキシブル基板３５が接着剤Ａを介して接続されており、第２接点３６には第２フレキシブル基板３９が接着剤Ａを介して接続されている。第１フレキシブル基板３５及び第２フレキシブル基板３９は、前側に向けて延びる。

複数の圧力室１１ｍが基板１２ａに形成されており、第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７それぞれの下側に配置されている。圧力室１１ｍの底面にノズル１１ｎが形成されている。第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７の駆動によって、ノズル１１ｎからインクが吐出される。

実施の形態１にあっては、第１接点３２と第２接点３６とが、基板１２ａの厚み方向に離隔している。基板１２ａに平行な方向に複数の第１接点３２及び第２接点３６を並べた場合に、第１接点３２及び第２接点３６は厚み方向に離隔しているので、第１接点３２及び第２接点３６が基板１２ａに平行な方向に近接していても、第１接点３２及び第２接点３６が接触することはない。

それ故、隣り合う二つの第１接点３２の間の寸法を、第１接点３２及び第２接点３６間の寸法に拘泥されることなく設定することができる。また隣り合う二つの第２接点３６の間の寸法を、第１接点３２及び第２接点３６間の寸法に拘泥されることなく、設定することができる。即ち、二つの第１接点３２の間の寸法及び二つの第２接点３６の間の寸法を長くして、精度の良い位置決めを必要とせず、また配線間でショートが発生しにくい寸法に設定することができる。

さらに、第１接点３２、第２接点３６は、異なるフレキシブル基板３５、３９に接続されるため、第１接点３２及び第２接点３６が同一平面上にある場合と比較して、接着のための精度のよい位置決めを必要とせず、接着時のフレキシブル基板３５、３９と接点３２、３６とのショートを防止することができる

また絶縁膜４０に傾斜面４１が形成されている。傾斜面４１は、絶縁膜４０及び基板１２ａの上面を滑らかに繋いでいる。そのため、絶縁膜４０と基板１２ａとの境界部分に段差が形成されている場合に比べて、第２配線３８は境界部分で切断されにくい。また絶縁膜４０は基板１２ａよりも薄いので、絶縁膜４０を形成しやすい。

前後方向において、換言すれば、第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７が並ぶ方向において、第１接点３２及び第２接点３６は、第１圧電素子３３よりも、第２圧電素子３７とは反対側に配置される。第２圧電素子３７、第１圧電素子３３、第２接点３６、第１接点３２の順に、反対側に向けて配置される。また絶縁膜４０は基板１２ａよりも薄い。そのため、平面視において、第１配線３４と第２配線３８との長さの差を小さくでき、抵抗値を略同じ値にすることができる。

（実施の形態２）
以下本発明を実施の形態２に係るアクチュエータ１２Ａを示す図面に基づいて説明する。図４及び図５に示すように、基板１２ａ上面の前部に複数の第１接点３２Ａが配列方向に並んでいる。

各第１接点３２Ａと各第１圧電素子３３とは第１配線３４Ａを介して接続されている。第１配線３４Ａは、第１圧電素子３３を覆うリザーバ部材１１ａの下から前側に延びている。各第１接点３２Ａと各第１圧電素子３３とは第１配線３４Ａを介して接続されている。

基板１２ａ上面には絶縁膜４０Ａが形成されている。ただし、基板１２ａ上面の前縁部と、第１圧電素子３３の中央と、第２圧電素子３７の中央には、絶縁膜４０Ａは設けられていない。絶縁膜４０Ａは第１配線３４Ａの上側に配置されている。絶縁膜４０Ａは基板１２ａよりも薄い。図５に示すように、第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７は、リザーバ部材１１ａで覆われている。リザーバ部材１１ａの下端部全体は絶縁膜４０Ａの上に設けられている。換言すれば、リザーバ部材１１ａと基板１２ａとの間に絶縁膜４０Ａが配置されている。

絶縁膜４０Ａの上側であって、第１圧電素子３３よりも前側に複数の第２接点３６Ａが配列方向に並んでおり、第１圧電素子３３よりも前側に複数の第２接点３６Ａが配列方向に並んでいる。各第２接点３６Ａは、隣り合う二つの第１接点３２Ａの間に第１接点３２Ａから距離Ｄだけ離れて配置されている。平面視において、第１接点３２Ａ及び第２接点３６Ａは千鳥状に配置されている。絶縁膜４０Ａによって、第１接点３２Ａ及び第２接点３６Ａは上下方向、換言すれば基板１２ａの厚み方向に離隔している。

各第２接点３６Ａの下側において、上下に貫通した第１貫通孔４１Ａが絶縁膜４０Ａに形成されている。第２配線３８Ａが第１貫通孔４１Ａ及び絶縁膜４０Ａと基板１２ａとの間を通る。各第２接点３６Ａと各第２圧電素子３７は第２配線３８Ａによって接続されている。

実施の形態２にあっては、リザーバ部材１１ａの下端部全体と、基板１２ａとの間に絶縁膜４０Ａが配置されているので、リザーバ部材１１ａが全体的に嵩上げされ、リザーバ部材１１ａの一部分の高さが他の部分と異なる高さになることを回避できる。リザーバ部材１１ａの高さを均一化させることができる。

また第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７の中央には絶縁膜４０Ａが設けられていないので、第１圧電素子３３及び第２圧電素子３７の駆動を阻害しない。

実施の形態２に係る構成の内、実施の形態１と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。

（実施の形態３）
以下本発明を実施の形態３に係るアクチュエータ１２Ｂを示す図面に基づいて説明する。図６及び図７に示すように、基板１２ａには絶縁膜は設けられていない。

基板１２ａ上面の中央部に複数の第１圧電素子３３が配列方向に並んでいる。複数の第１圧電素子３３はリザーバ部材１１Ｂによって覆われている。基板１２ａ上面の前縁部それぞれに複数の第１接点３２Ｂが配列方向に並んでおり、列を形成している。

各第１接点３２Ｂと各第１圧電素子３３とは第１配線３４Ｂを介して接続されている。各第１接点３２Ｂと各第１圧電素子３３とは第１配線３４Ｂを介して接続されている。第１配線３４Ｂは、第１圧電素子３３を覆うリザーバ部材１１Ｂの下から延びている。

基板１２ａ上面にて、第１接点３２Ｂと第１圧電素子３３の間に、複数の第２圧電素子３７が配列方向に並んでいる。複数の第２圧電素子３７はリザーバ部材１１Ｂによって覆われている。リザーバ部材１１Ｂには第２接点３６Ｂが設けられている。第１接点３２Ｂ及び第２接点３６Ｂは上下方向、換言すれば基板１２ａの厚さ方向に離隔している。リザーバ部材１１Ｂは基板１２ａよりも厚い。

第２圧電素子３７を覆うリザーバ部材１１Ｂには、上下に貫通した第２貫通孔５２Ｂが設けられている。リザーバ部材１１Ｂは基板１２ａに接合されている。第２貫通孔５２Ｂは、リザーバ部材１１Ｂと基板１２ａとの接合部分に設けられている。第２貫通孔５２Ｂには第２配線３８Ｂが通る。第２圧電素子３７及び第２接点３６Ｂは第２配線３８Ｂによって接続される。

第１接点３２Ｂには第１フレキシブル基板３５が接着剤Ａを介して接続されており、第２接点３６Ｂには第２フレキシブル基板３９が接着剤Ａを介して接続されている。第１フレキシブル基板３５及び第２フレキシブル基板３９は、前側に向けて延びる。

実施の形態３にあっては、リザーバ部材１１Ｂの上面に第２接点３６Ｂが設けられているので、第１接点３２Ｂ及び第２接点３６Ｂは基板１２ａの厚さ方向に離隔し、接触しない。そのため第１接点３２Ｂ及び第２接点３６Ｂの接触を防止するために、第１接点３２Ｂ及び第２接点３６Ｂの間に絶縁膜を設ける必要がない。また第２貫通孔５２Ｂを設けることによって、第２配線３８Ｂを第２貫通孔５２Ｂに通し、第２接点３６Ｂと第２圧電素子３７を接続させることができる。

また前後方向、換言すれば第１圧電素子３３と第２圧電素子３７とが並ぶ方向において、第１接点３２Ｂはリザーバ部材１１Ｂよりも外側に配置されており、第１フレキシブル基板３５はリザーバ部材１１Ｂから離れる向きに延びる。第１フレキシブル基板３５を通すための孔がヘッドユニットに設けられる。前記孔は、前後方向において外側に設けられる。第１フレキシブル基板３５がリザーバ部材１１Ｂに接近する向きに延びている場合、第１接点３２Ｂはリザーバ部材１１Ｂの外側に配置されているので、第１フレキシブル基板３５と基板１２ａとのなす角度は急峻になり、第１フレキシブル基板３５は断線し易い。

また第２フレキシブル基板３９はリザーバ部材１１Ｂから離れる向きに延びる。第１フレキシブル基板３５と同方向に延びることによって、第１フレキシブル基板３５が通る孔に、第２フレキシブル基板３９を通すことができる。そのため、孔の寸法を不要に大きくする必要がない。

また前後方向において、第１接点３２Ｂ及び第２接点３６Ｂは、第２圧電素子３７に対して、第１圧電素子３３とは反対側に配置される。第１圧電素子３３、第２圧電素子３７、第２接点３６Ｂ、第１接点３２Ｂの順に反対側（前側）に向かって配置される。第２接点３６Ｂはリザーバ部材１１Ｂの上に設けられている。リザーバ部材１１Ｂは厚いので、上下方向において、第１配線３４Ｂと第２配線３８Ｂとの長さの差が大きい。配線の長さの差を考慮し、リザーバ部材１１Ｂ上の第２接点３６Ｂを、平面視において第２接点３６Ｂにより近い方の圧電素子に接続し、第１配線３４Ｂと第２配線３８Ｂとの全長の差を抑制することができる。

またリザーバ部材１１Ｂは基板１２ａよりも厚いので、アクチュエータ１２Ｂを扱い易い。基板１２ａだけだと薄すぎて割れやすく、扱いづらい。

また第２圧電素子３７を覆うリザーバ部材１１Ｂは、前後方向において、第１接点３２Ｂと第１圧電素子３３の間に配置されている。そのため、第２配線３８Ｂの全長は第１配線３４Ｂに比べて短くなり、第１配線３４Ｂと第２配線３８Ｂとの間でのショートの発生を抑制することができる。

実施の形態３に係る構成の内、実施の形態１又は２と同様な構成については同じ符号を付し、その詳細な説明を省略する。

他の変形例について説明する。プリンタは、ラインプリンタに限らず、搬送方向と交差する方向にヘッドが走査されるシリアルプリンタであってもよい。搬送する媒体は、記録用紙１００に限らず、記録可能な任意の媒体（例えば、布など）であってもよい。

リザーバ部材１１ａは、圧電体１２ｃを保護する部分と、リザーバ１１ｓとが一体的に設けられていたが、圧電体１２ｃを保護する保護部材と、リザーバを有するリザーバ部材とが別々の部材に設けられていてもよい。また、圧電体１２ｃを保護できれば圧電体１２ｃの直上にリザーバはなくてもよい。

本実施形態のアクチュエータは、流路、ノズルが設けられた液体吐出ヘッドに限らず、他のデバイスに適用してもよい。

本実施形態では、第２接点が第１接点より上側に設けられていたが、第２接点が第１接点より下側に設けられていてもよい。たとえば、圧電体保護膜は基板１２ａ全体に設けられており、層間絶縁膜がリザーバ部材１１ａに近い第２配線３８上には設けられているが、第１配線上には設けられていない構成であればよい。これであれば、第２フレキシブル基板を第２接点と接着したとしても、層間絶縁膜の下側にある第１配線とは接触しない。ただし、その場合、第２フレキシブル基板と第１配線とを十分離す必要があるため、層間絶縁膜の厚みを厚くする必要がある。

今回開示した実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。各実施例にて記載されている技術的特徴は互いに組み合わせることができ、本発明の範囲は、特許請求の範囲内での全ての変更及び特許請求の範囲と均等の範囲が含まれることが意図される。

１１ａ、１１Ｂリザーバ部材（保護基板）
１２ａ基板
１２、１２Ａ、１２Ｂアクチュエータ
３２、３２Ａ、３２Ｂ第１接点
３３第１圧電素子
３４、３４Ａ、３４Ｂ第１配線
３５第１フレキシブル基板
３６、３６Ａ、３６Ｂ第２接点
３７第２圧電素子
３８、３８Ａ、３８Ｂ第２配線
３９第２フレキシブル基板
４０、４０Ａ絶縁膜
４１傾斜面
４１Ａ第１貫通孔
５２Ｂ第２貫通孔

Claims

基板と、
前記基板の一面に形成されており、第１圧電素子及び第２圧電素子を含む複数の圧電素子と、
前記第１圧電素子に接続する第１接点と、
前記第１接点から前記基板の厚み方向に離隔しており、前記第２圧電素子に接続する第２接点と、
前記第１接点に接続される第１フレキシブル基板と、
前記第２接点に接続される第２フレキシブル基板と
を備えるアクチュエータ。
前記第１接点及び前記第１圧電素子を接続する第１配線と、
前記第２接点及び前記第２圧電素子を接続する第２配線と
を備える請求項１に記載のアクチュエータ。
前記基板に設けられた絶縁膜を備え、
前記第１接点は前記基板に設けられており、
前記絶縁膜に前記第２接点が設けられている
請求項２に記載のアクチュエータ。
前記第２配線は前記絶縁膜の側面に沿って延びている
請求項３に記載のアクチュエータ。
前記絶縁膜の側面は傾斜面を含む
請求項４に記載のアクチュエータ。
前記絶縁膜に第１貫通孔が設けられており、
前記第２配線は前記第１貫通孔を通る
請求項３に記載のアクチュエータ。
前記圧電素子を覆い、前記基板上に接合される保護基板を備え、
前記保護基板の前記基板との接合部分において、前記保護基板と前記基板の間に前記絶縁膜が設けられている
請求項３から６のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記保護基板の前記基板との接合部分全体に前記絶縁膜が設けられている
請求項７に記載のアクチュエータ。
前記圧電素子には前記絶縁膜が設けられていない
請求項３から８のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子が並ぶ方向において、
前記第１接点及び前記第２接点は、前記第１圧電素子に対して、前記第２圧電素子とは反対側に配置され、
前記第２圧電素子、前記第１圧電素子、前記第２接点、前記第１接点の順に前記反対側に向かって配置されている
請求項３から９のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記絶縁膜は前記基板より薄い
請求項３から１０のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１フレキシブル基板及び前記第２フレキシブル基板は、前記並ぶ方向において同じ方向に延びる
請求項１０または１１に記載のアクチュエータ。
前記圧電素子を覆う保護基板を備え、
前記保護基板上に前記第２接点が設けられている
請求項２に記載のアクチュエータ。
前記保護基板の前記基板との接合部分には第２貫通孔が設けられており、
前記第２配線は前記第２貫通孔を通る
請求項１３に記載のアクチュエータ。
前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子が並ぶ方向において、
前記第１接点は、前記保護基板の外側の前記基板上に設けられ、
前記第１フレキシブル基板は、前記保護基板から離れる向きに延びる
請求項１３または１４に記載のアクチュエータ。
前記第２フレキシブル基板は、前記保護基板から離れる向きに延びる
請求項１５に記載のアクチュエータ。
前記第１圧電素子及び前記第２圧電素子が並ぶ方向において、
前記第１接点及び前記第２接点は、前記第２圧電素子に対して、前記第１圧電素子とは反対側に配置され、
前記第１圧電素子、前記第２圧電素子、前記第２接点、前記第１接点の順に前記反対側に向かって配置されている
請求項１３から１６のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記保護基板は前記基板より厚い
請求項１３から１７のいずれか一つに記載のアクチュエータ。
前記第１接点は前記基板に設けられており、
前記保護基板は、前記第１圧電素子及び第１接点の間に配置されている
請求項１３から１６のいずれか一つに記載のアクチュエータ。