JP6896327B2 - Cutting blade, mount flange - Google Patents

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Description

本発明は、切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレード、及び切削ブレードをスピンドルの先端に固定するマウントフランジに関する。 The present invention relates to a cutting blade that cuts a workpiece while a cutting fluid is supplied, and a mount flange that fixes the cutting blade to the tip of a spindle.

半導体ウェーハやパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板等の被加工物を円環状の切削ブレードで精密に切削加工する切削装置が知られている。該切削装置では、該切削ブレードがスピンドルに回転可能に支持されている。そして、該スピンドルを回転させることで切削ブレードを回転させ、回転する切削ブレードを被加工物に切り込ませて被加工物を切削加工する。 There are known cutting devices that precisely cut workpieces such as semiconductor wafers, package substrates, ceramic substrates, and glass substrates with an annular cutting blade. In the cutting device, the cutting blade is rotatably supported by a spindle. Then, the cutting blade is rotated by rotating the spindle, and the rotating cutting blade is cut into the workpiece to cut the workpiece.

該被加工物の表面には、例えば、格子状に設定された分割予定ラインによって区画される複数の領域のそれぞれに、ＩＣやＬＳＩ等のデバイスが形成される。そして、該分割予定ラインに沿って被加工物が切削されて被加工物が分割されると、デバイスを有する複数のチップ（以下、デバイスチップという）が形成される。 On the surface of the work piece, for example, devices such as ICs and LSIs are formed in each of a plurality of regions partitioned by scheduled division lines set in a grid pattern. Then, when the workpiece is cut along the planned division line and the workpiece is divided, a plurality of chips having a device (hereinafter, referred to as device chips) are formed.

被加工物の加工に使用される切削装置では、切削ブレードを被加工物に切り込ませるとき、切削ブレードに切削液を供給する。切削ブレードは、切削液が供給された状態で被加工物を切削加工する。 In a cutting device used for machining a work piece, when the cutting blade is cut into the work piece, a cutting fluid is supplied to the cutting blade. The cutting blade cuts the workpiece while the cutting fluid is supplied.

被加工物の切削加工においては、切削屑等のコンタミネーションが発生するが、これが被加工物に付着すると様々な不良を引き起こす。例えば、被加工物のボンディングパッドに付着すると、ボンディング不良を引き起こす場合がある。被加工物がＣＭＯＳセンサーやＣＣＤセンサー等のイメージセンサである場合、センサーにコンタミネーションが付着するとデバイス不良となる。 In the cutting process of the workpiece, contamination such as cutting chips occurs, and when this adheres to the workpiece, it causes various defects. For example, if it adheres to the bonding pad of the work piece, it may cause bonding failure. When the workpiece is an image sensor such as a CMOS sensor or a CCD sensor, if contamination adheres to the sensor, the device becomes defective.

切削加工後に被加工物が乾燥すると、切削加工中に被加工物に付着したコンタミネーションが固着してしまい、その後に洗浄を実施してもこれを除去するのは困難である。そこで、切削加工中の被加工物に洗浄液を供給する切削装置が提案された。 When the workpiece dries after the cutting process, the contamination adhering to the workpiece during the cutting process sticks, and it is difficult to remove the contamination even if cleaning is performed thereafter. Therefore, a cutting device that supplies a cleaning liquid to the workpiece being cut has been proposed.

特開２００６−２３１４７４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-231474 特開平６−９７２７８号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-97278

しかし、これらの切削装置では、被加工物の切削加工のために供給される切削液に加えて、被加工物の洗浄のために洗浄液を供給する必要がある。そのため、被加工物に供給される液体の量が増え、加工コストが増大するという新たな問題が生じてしまう。 However, in these cutting devices, it is necessary to supply a cleaning liquid for cleaning the workpiece in addition to the cutting fluid supplied for cutting the workpiece. Therefore, the amount of liquid supplied to the work piece increases, which causes a new problem that the processing cost increases.

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、使用する水量を抑え、かつ、コンタミネーションの固着を防止する切削ブレード及びマウントフランジを提供することである。 The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide a cutting blade and a mount flange that suppress the amount of water used and prevent contamination from sticking.

本発明の一態様によれば、切削装置のスピンドルの先端に固定され、切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードであって、中央に嵌合孔が形成されるとともに一面側にハブ部が形成された円形基台と、該円形基台の該一面と反対の面側の外周部に形成され切削液の供給を受ける切り刃と、からなり、該円形基台には、周方向に渡って第１切削液返し部が形成されており、該第１切削液返し部は、該円形基台の外周面における該一面側から該反対の面側への該切削液の伝わりを抑制する溝状に形成されていることを特徴とする切削ブレードが提供される。また、好ましくは、該スピンドルの先端には、該嵌合孔に挿通されるボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを指示する支持面を有したフランジ部と、を有するマウントフランジが固定されており、該マウントフランジの該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、該第１切削液返し部と該切り刃との距離は、該第２切削液返し部と該支持面との距離とは異なる。 According to one aspect of the present invention, it is a cutting blade that is fixed to the tip of the spindle of a cutting device and cuts a workpiece while a cutting fluid is supplied, and has a fitting hole formed in the center and one surface. The circular base is composed of a circular base having a hub portion formed on the side and a cutting edge formed on the outer peripheral portion of the circular base on the side opposite to the one surface side to receive the supply of cutting fluid. A first cutting fluid return portion is formed over the circumferential direction, and the first cutting fluid return portion is a portion of the cutting fluid from one surface side to the opposite surface side of the outer peripheral surface of the circular base. Provided is a cutting blade characterized in that it is formed in a groove shape that suppresses transmission. Further, preferably, the tip of the spindle has a boss portion inserted into the fitting hole and a flange portion that protrudes radially from the boss portion and has a support surface that directs the cutting blade. The mount flange is fixed, and a groove-shaped second cutting fluid return portion is formed on the back surface side of the support surface in the circumferential direction on the flange portion of the mount flange, and the first cutting fluid is formed. The distance between the return portion and the cutting edge is different from the distance between the second cutting fluid return portion and the support surface.

また、本発明の他の一態様によれば、切り刃に切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードを切削装置のスピンドルの先端に固定するマウントフランジであって、中央に嵌合孔が形成された円板状の切削ブレードの該嵌合孔に挿通され、先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有したフランジ部と、を有するマウントフランジ本体と、該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持して固定する固定ナットと、を備え、該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、該マウントフランジは、該マウントフランジ本体とともに該切削ブレードを支持する支持面を有した前フランジを更に備え、該固定ナットは該前フランジを固定することで該前フランジを介して該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持し、該前フランジには、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第３切削液返し部が形成されており、該第２切削液返し部及び該第３切削液返し部は、該切り刃に供給された該切削液の該切り刃から離れる外方向への伝わりを抑制する溝状に形成されており、かつ、該切り刃と接していないことを特徴とするマウントフランジが提供される。 Further, according to another aspect of the present invention, there is provided a mounting flange for fixing the cutting blade for cutting the workpiece in a state in which cutting fluid is supplied to the cutting edge at the tip of the spindle of the cutting machine, the center fitting hole is inserted into the fitting hole of the formed disc-shaped cutting blade, a boss portion formed with external threads at its distal end, a support surface for supporting projects, the said cutting blade radially from the boss portion A flange portion having a flange portion, a mount flange main body having a flange portion, and a fixing nut having a female screw screwed with the male screw of the boss portion formed on the inner circumference and holding and fixing the cutting blade together with the flange portion. A second groove-shaped cutting liquid return portion is formed on the flange portion on the back surface side of the support surface in the circumferential direction , and the mount flange supports the cutting blade together with the mount flange body. A front flange having a supporting surface is further provided, and the fixing nut sandwiches the cutting blade together with the flange portion via the front flange by fixing the front flange, and the front flange has the supporting surface. A groove-shaped third cutting liquid return portion is formed on the back side of the blade in the circumferential direction, and the second cutting liquid return portion and the third cutting liquid return portion are the cuttings supplied to the cutting edge. Provided is a mount flange which is formed in a groove shape for suppressing outward transmission of liquid away from the cutting edge and is not in contact with the cutting edge.

または、本発明の他の一態様によれば、切り刃に切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードを切削装置のスピンドルの先端に固定するマウントフランジであって、中央に嵌合孔が形成されるとともに一面側にハブ部が形成された円形基台と、該円形基台の該一面と反対の面側の外周部に形成され切削液の供給を受ける切り刃と、からなる切削ブレードの該嵌合孔に挿通され、先端に雄ねじが形成されたボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有したフランジ部と、を有するマウントフランジ本体と、該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持して固定する固定ナットと、を備え、該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、該切削ブレードの該円形基台には、周方向に渡って溝状の第１切削液返し部が形成されており、該第２切削液返し部と該支持面との距離は、該第１切削液返し部と該切り刃との距離とは異なることを特徴とするマウントフランジが提供される。 Alternatively, according to another aspect of the present invention, it is a mount flange for fixing a cutting blade that cuts a workpiece while a cutting fluid is supplied to the cutting blade to the tip of a spindle of a cutting apparatus, in the center. A circular base in which a fitting hole is formed and a hub portion is formed on one surface side, and a cutting edge formed on the outer peripheral portion of the circular base on the opposite surface side to receive the cutting fluid. It has a boss portion that is inserted into the fitting hole of the cutting blade and has a male screw formed at the tip thereof, and a flange portion that protrudes radially from the boss portion and has a support surface for supporting the cutting blade. A mounting flange body and a female screw screwing with the male screw of the boss portion are formed on the inner circumference, and the flange portion is provided with a fixing nut for sandwiching and fixing the cutting blade, and the flange portion is provided with the flange portion. A groove-shaped second cutting fluid return portion is formed on the back side of the support surface in the circumferential direction, and a groove-shaped first cutting fluid return portion is formed in the circular base of the cutting blade in the circumferential direction. Provided is a mount flange characterized in that a portion is formed, and the distance between the second cutting fluid return portion and the support surface is different from the distance between the first cutting fluid return portion and the cutting edge. To.

切削ブレードによる切削加工が実施されている間、該切削ブレードには切削液が供給されるが、供給された切削液の殆どは切削ブレードの切り刃から基台やマウントフランジを経由して外部に飛散する。 While cutting with a cutting blade is being performed, cutting fluid is supplied to the cutting blade, but most of the supplied cutting fluid is sent from the cutting edge of the cutting blade to the outside via the base and mount flange. Scatter.

そこで、本発明の一態様に係る切削ブレード及びマウントフランジには、外部に飛散しようとする切削液を被加工物の洗浄に用いるために、切削液切り返し部が形成されている。該切削液切り返し部は、切削ブレードに供給された切削液が外部に伝わるまでの経路に形成されており、該切削液切り返し部に到達した切削液の外側への伝わりを抑制する。 Therefore, the cutting blade and the mount flange according to one aspect of the present invention are formed with a cutting fluid cut-back portion in order to use the cutting fluid that is about to scatter to the outside for cleaning the workpiece. The cutting fluid cut-back portion is formed in a path until the cutting fluid supplied to the cutting blade is transmitted to the outside, and suppresses the transmission of the cutting fluid that has reached the cutting fluid cut-back portion to the outside.

該切削液切り返し部に到達した切削液は勢いを失って被加工物上に落下する。被加工物上に落下した切削液は被加工物上のコンタミネーションを洗い流すため、洗浄のために被加工物に供給する洗浄液を節約できる。従来の構成では外部に飛散していた切削液を用いて被加工物の洗浄を実施できるため、切削加工の効率は非常に良い。 The cutting fluid that has reached the cutting fluid cut-back portion loses momentum and falls onto the workpiece. Since the cutting fluid that has fallen on the workpiece flushes out the contamination on the workpiece, the cleaning fluid supplied to the workpiece for cleaning can be saved. Since the work piece can be washed using the cutting fluid scattered to the outside in the conventional configuration, the efficiency of the cutting process is very good.

したがって、本発明によると、使用する水量を抑え、かつ、コンタミネーションの固着を防止する切削ブレード、及び、マウントフランジが提供される。 Therefore, according to the present invention, there are provided a cutting blade and a mount flange that reduce the amount of water used and prevent contamination from sticking.

切削装置を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the cutting apparatus. 切削ユニットを模式的に示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view which shows typically the cutting unit. 図３（Ａ）は、切削ブレード及びマウントフランジを模式的に示す側面図であり、図３（Ｂ）は、切削液の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。FIG. 3A is a side view schematically showing the cutting blade and the mount flange, and FIG. 3B is a top view schematically showing the state of the flow of the cutting fluid in an enlarged manner. 切削ユニットを模式的に示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view which shows typically the cutting unit. 図５（Ａ）は、切削ブレード及びマウントフランジを模式的に示す側面図であり、図５（Ｂ）は、切削液の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。FIG. 5A is a side view schematically showing the cutting blade and the mount flange, and FIG. 5B is a top view schematically showing the state of the flow of the cutting fluid in an enlarged manner. 切削加工を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows the cutting process schematically. 図７（Ａ）は、切削ブレード及びマウントフランジを模式的に示す側面図であり、図７（Ｂ）は、切削液の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。FIG. 7A is a side view schematically showing the cutting blade and the mount flange, and FIG. 7B is a top view schematically showing the state of the flow of the cutting fluid in an enlarged manner. ブレードカバーを模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the blade cover.

まず、本実施形態に係る切削ブレード及びマウントフランジが使用される切削装置について図１を用いて説明する。図１は、切削装置の一例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備える。基台４の上面には保持テーブル（保持手段）６が設けられ、該保持テーブル６の上方には、切削ユニット（切削手段）８が設けられる。 First, the cutting apparatus in which the cutting blade and the mount flange according to the present embodiment are used will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of a cutting device. As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a base 4 that supports each component. A holding table (holding means) 6 is provided on the upper surface of the base 4, and a cutting unit (cutting means) 8 is provided above the holding table 6.

保持テーブル６の下方には、Ｘ軸移動機構（移動手段）１０が設けられる。Ｘ軸移動機構１０は、基台４の上面に設けられＸ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール１２を備える。Ｘ軸ガイドレール１２には、Ｘ軸移動テーブル１４がスライド可能に配設される。 An X-axis moving mechanism (moving means) 10 is provided below the holding table 6. The X-axis moving mechanism 10 includes a pair of X-axis guide rails 12 provided on the upper surface of the base 4 and parallel to the X-axis direction. An X-axis moving table 14 is slidably arranged on the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル１４の裏面側（下面側）には、ナット部（不図示）が設けられ、このナット部には、Ｘ軸ガイドレール１２と平行なＸ軸ボールネジ１６が螺合される。Ｘ軸ボールネジ１６の一端部には、Ｘ軸パルスモータ１８が連結される。Ｘ軸パルスモータ１８でＸ軸ボールネジ１６を回転させると、Ｘ軸移動テーブル１４は、Ｘ軸ガイドレール１２に沿ってＸ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (lower surface side) of the X-axis moving table 14, and an X-axis ball screw 16 parallel to the X-axis guide rail 12 is screwed into the nut portion. An X-axis pulse motor 18 is connected to one end of the X-axis ball screw 16. When the X-axis ball screw 16 is rotated by the X-axis pulse motor 18, the X-axis moving table 14 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail 12.

Ｘ軸移動テーブル１４の表面側（上面側）には、支持台２０が設けられる。支持台２０の中央には、保持テーブル６が配置される。保持テーブル６の周囲には、被加工物を保持する環状のフレーム（不図示）を四方から挟持固定する４個のクランプ２２が設けられる。 A support base 20 is provided on the front surface side (upper surface side) of the X-axis moving table 14. A holding table 6 is arranged at the center of the support base 20. Around the holding table 6, four clamps 22 for holding and fixing an annular frame (not shown) for holding the workpiece from all sides are provided.

保持テーブル６は、支持台２０の下方に設けられた回転機構（不図示）と連結されており、Ｚ軸と平行な回転軸の周りに回転可能である。保持テーブル６の表面には多孔質部材が配設され、該多孔質部材は保持テーブル６の内部に形成された吸引路（不図示）を通じて吸引源（不図示）に接続される。保持テーブルの上面は保持面６ａであり、該保持面６ａ上に載せ置かれた被加工物に対して該吸引源から負圧を作用すると、被加工物は保持テーブル６上に吸引保持される。 The holding table 6 is connected to a rotation mechanism (not shown) provided below the support base 20 and is rotatable around a rotation axis parallel to the Z axis. A porous member is disposed on the surface of the holding table 6, and the porous member is connected to a suction source (not shown) through a suction path (not shown) formed inside the holding table 6. The upper surface of the holding table is a holding surface 6a, and when a negative pressure is applied from the suction source to the work piece placed on the holding surface 6a, the work piece is sucked and held on the holding table 6. ..

被加工物は、例えば、シリコン、サファイア等の半導体ウェーハであり、また、ガラス、石英等の基板である。該被加工物の表面には、例えば、格子状に設定された分割予定ラインによって区画される複数の領域のそれぞれに、ＩＣやＬＳＩ等のデバイスが形成される。そして、該分割予定ラインに沿って被加工物が切削されて被加工物が分割されると、デバイスチップが形成される。 The workpiece is, for example, a semiconductor wafer such as silicon or sapphire, or a substrate such as glass or quartz. On the surface of the work piece, for example, devices such as ICs and LSIs are formed in each of a plurality of regions partitioned by scheduled division lines set in a grid pattern. Then, when the workpiece is cut along the planned division line and the workpiece is divided, the device chip is formed.

Ｘ軸移動機構１０に隣接して、切削ユニット８を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動させるＹ軸移動機構（割り出し送り手段）２４が設けられる。Ｙ軸移動機構２４は、基台４の上面に設けられＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２６を備える。 Adjacent to the X-axis moving mechanism 10, a Y-axis moving mechanism (indexing feed means) 24 for moving the cutting unit 8 in the indexing feed direction (Y-axis direction) is provided. The Y-axis moving mechanism 24 includes a pair of Y-axis guide rails 26 provided on the upper surface of the base 4 and parallel to the Y-axis direction.

Ｙ軸ガイドレール２６には、Ｙ軸移動テーブル２８がスライド可能に設置される。Ｙ軸移動テーブル２８は、Ｙ軸ガイドレール２６に接する基部２８ａと、基部２８ａに対して立設された壁部２８ｂと、を備える。Ｙ軸移動テーブル２８の基部２８ａの裏面側（下面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２６と平行なＹ軸ボールネジ３０が螺合される。 A Y-axis moving table 28 is slidably installed on the Y-axis guide rail 26. The Y-axis moving table 28 includes a base portion 28a in contact with the Y-axis guide rail 26 and a wall portion 28b erected with respect to the base portion 28a. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (lower surface side) of the base portion 28a of the Y-axis moving table 28, and a Y-axis ball screw 30 parallel to the Y-axis guide rail 26 is screwed into this nut portion. Will be combined.

Ｙ軸ボールネジ３０の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３２が連結される。Ｙ軸パルスモータ３２でＹ軸ボールネジ３０を回転させると、Ｙ軸移動テーブル２８は、Ｙ軸ガイドレール２６に沿ってＹ軸方向に移動する。 A Y-axis pulse motor 32 is connected to one end of the Y-axis ball screw 30. When the Y-axis ball screw 30 is rotated by the Y-axis pulse motor 32, the Y-axis moving table 28 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 26.

Ｙ軸移動テーブル２８の壁部２８ｂには、ブレードユニット８を鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸移動機構３４が設けられる。Ｚ軸移動機構３４は、壁部２８ｂの側面に設けられＺ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６を備える。 The wall portion 28b of the Y-axis moving table 28 is provided with a Z-axis moving mechanism 34 that moves the blade unit 8 in the vertical direction (Z-axis direction). The Z-axis moving mechanism 34 includes a pair of Z-axis guide rails 36 provided on the side surface of the wall portion 28b and parallel to the Z-axis direction.

Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動テーブル３８がスライド可能に設置される。Ｚ軸移動テーブル３８の裏面側（壁部２８ｂ側）には、ナット部（不図示）が設けられ、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６と平行なＺ軸ボールネジ（不図示）が螺合される。 A Z-axis moving table 38 is slidably installed on the Z-axis guide rail 36. A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (wall portion 28b side) of the Z-axis moving table 38, and a Z-axis ball screw (not shown) parallel to the Z-axis guide rail 36 is screwed on this nut portion. Will be combined.

Ｚ軸ボールネジの一端部には、Ｚ軸パルスモータ４０が連結される。Ｚ軸パルスモータ４０でＺ軸ボールネジを回転させると、Ｚ軸移動テーブル３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。このＺ軸移動テーブル３８には、被加工物を切削する切削ユニット８が支持される。 A Z-axis pulse motor 40 is connected to one end of the Z-axis ball screw. When the Z-axis ball screw is rotated by the Z-axis pulse motor 40, the Z-axis moving table 38 moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide rail 36. A cutting unit 8 for cutting a workpiece is supported on the Z-axis moving table 38.

切削ユニット８は、回転可能に支持されたスピンドルと、該スピンドルにより回転される切削ブレード４２と、を備える。該切削ブレード４２の切り刃は、金属や樹脂等のボンド材（結合剤）にダイヤモンド等の砥粒を混合して形成される。回転する切削ブレード４２を保持テーブル６に保持された被加工物に切り込ませると、該被加工物を切削加工できる。 The cutting unit 8 includes a rotatably supported spindle and a cutting blade 42 rotated by the spindle. The cutting edge of the cutting blade 42 is formed by mixing abrasive grains such as diamond with a bond material (binder) such as metal or resin. When the rotating cutting blade 42 is cut into the workpiece held on the holding table 6, the workpiece can be cut.

切削ユニット８は、切削ブレード４２を覆うブレードカバー４４をさらに備える。ブレードカバー４４について、図６を用いて詳述する。図６には切削ユニット８の側面図が示されている。 The cutting unit 8 further includes a blade cover 44 that covers the cutting blade 42. The blade cover 44 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 6 shows a side view of the cutting unit 8.

ブレードカバー４４は、切削ブレード４２の両側面に隣接し切削ブレード４２に向いた噴出口が形成された切削液供給ノズル４４ａと、切削ブレード４２の外周方向に隣接する切削液噴出口４４ｂと、を備える。切削液供給ノズル４４ａ及び切削液噴出口４４ｂのそれぞれは、切削液送液パイプ４４ｃ，４４ｄを通して切削液供給源（不図示）に接続される。被加工物の切削加工の際には、切削液供給ノズル４４ａの該噴出口及び切削液噴出口４４ｂから切削ブレード４２に切削液が供給される。切削液は、例えば純水である。 The blade cover 44 comprises a cutting fluid supply nozzle 44a in which a spout facing the cutting blade 42 is formed adjacent to both side surfaces of the cutting blade 42, and a cutting fluid spout 44b adjacent to the outer peripheral direction of the cutting blade 42. Be prepared. Each of the cutting fluid supply nozzle 44a and the cutting fluid ejection port 44b is connected to the cutting fluid supply source (not shown) through the cutting fluid feeding pipes 44c and 44d. When cutting the workpiece, the cutting fluid is supplied to the cutting blade 42 from the spout of the cutting fluid supply nozzle 44a and the cutting fluid spout 44b. The cutting fluid is, for example, pure water.

さらに、ブレードカバー４４の下面には、被加工物に向いたスプレーノズル（不図示）が設けられている。被加工物の切削加工の際には、該スプレーノズルから被加工物に洗浄液が噴出される。 Further, a spray nozzle (not shown) facing the workpiece is provided on the lower surface of the blade cover 44. When cutting a work piece, a cleaning liquid is ejected from the spray nozzle onto the work piece.

図１に示すように、切削ユニット８は、切削加工が進行する切削進行方向（加工送り方向）において該切削ブレード４２よりも前方に撮像装置４６を有する。撮像装置４６は被加工物の表面を撮像でき、切削ブレード４２が被加工物の切削予定ラインを切削するように切削ブレード４２の位置を調整する際に用いられる。 As shown in FIG. 1, the cutting unit 8 has an image pickup device 46 in front of the cutting blade 42 in the cutting progress direction (machining feed direction) in which the cutting process proceeds. The image pickup apparatus 46 can image the surface of the workpiece and is used when the cutting blade 42 adjusts the position of the cutting blade 42 so as to cut the scheduled cutting line of the workpiece.

次に、切削ユニットについて詳述する。図２は、切削ユニット８ａの一例を模式的に示す分解斜視図である。図２に示す切削ユニット８ａには、ハブタイプの切削ブレード４２ａが装着されている。切削ブレード４２ａは、円形基台４８ａと、切り刃５０と、からなる。円形基台４８ａには、中央に嵌合孔４８ｃが形成されるとともに一面側にハブ部が形成されている。切り刃５０は、該円形基台４８ａの該一面と反対の面側の外周部に形成されている。 Next, the cutting unit will be described in detail. FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing an example of the cutting unit 8a. A hub-type cutting blade 42a is mounted on the cutting unit 8a shown in FIG. The cutting blade 42a includes a circular base 48a and a cutting blade 50. The circular base 48a has a fitting hole 48c formed in the center and a hub portion formed on one side thereof. The cutting edge 50 is formed on the outer peripheral portion of the circular base 48a on the surface side opposite to the one surface.

切削ユニット８ａは、スピンドルハウジング５２を備えている。スピンドルハウジング５２の内部には、エアベアリングによってＹ軸の周りに回転可能に支持されるスピンドル５４が収容されている。スピンドル５４の先端部にはねじ穴が形成されており、切削時のスピンドル５４の回転方向に回転させることで締め込まれる向きにねじが切られている。スピンドル５４の先端にマウントフランジ５６ａが取り付けられる。 The cutting unit 8a includes a spindle housing 52. Inside the spindle housing 52, a spindle 54 rotatably supported around the Y-axis by an air bearing is housed. A screw hole is formed at the tip of the spindle 54, and the screw is cut in the tightening direction by rotating the spindle 54 in the rotation direction at the time of cutting. A mount flange 56a is attached to the tip of the spindle 54.

マウントフランジ５６ａは、マウントフランジ本体５８ａと、該マウントフランジ本体５８ａとの間で切削ブレード４２ａを挟持して固定する固定ナット６０と、を備える。マウントフランジ本体５８ａは、切削ブレード４２ａの嵌合孔４８ｃに挿通されるボス部６２ａと、該ボス部６２ａから径方向に突出し該切削ブレード４２ａを支持する支持面を有したフランジ部６４ａと、を備える。ボス部６２ａの先端には雄ねじが形成される。固定ナット６０には、該ボス部６２ａの該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成される。 The mount flange 56a includes a mounting flange main body 58a and a fixing nut 60 that sandwiches and fixes the cutting blade 42a between the mount flange main body 58a. The mount flange body 58a includes a boss portion 62a that is inserted into the fitting hole 48c of the cutting blade 42a, and a flange portion 64a that protrudes radially from the boss portion 62a and has a support surface that supports the cutting blade 42a. Be prepared. A male screw is formed at the tip of the boss portion 62a. A female screw screwing with the male screw of the boss portion 62a is formed on the inner circumference of the fixing nut 60.

該ボス部６２ａと、該フランジ部６４ａと、はそれぞれの中心軸が重なるように配される。すなわち、円柱状の該ボス部６２ａの２つの底面のそれぞれの中心を結ぶ軸と、円板状のフランジ部６４ａの２つの円形の面のそれぞれの中心を結ぶ軸と、が１本の直線に重なる。 The boss portion 62a and the flange portion 64a are arranged so that their central axes overlap. That is, the axis connecting the centers of the two bottom surfaces of the columnar boss portion 62a and the axis connecting the centers of the two circular surfaces of the disk-shaped flange portion 64a form a straight line. Overlap.

マウントフランジ５６ａの内側には、スピンドル装着穴７０ａが形成されている。該スピンドル装着穴７０ａは、該スピンドル装着穴７０ａにスピンドル５４が装着されるときに、上述の中心軸と、スピンドル５４の回転中心と、が一致するように、該スピンドル５４の先端に対応する形状に形成される。該スピンドル装着穴７０ａは、該ボス部６２ａ側に開口を有し、スピンドル装着穴７０ａに挿入されたスピンドル５４の先端のねじ穴に該開口を通じてボルト７２を螺合できる。 A spindle mounting hole 70a is formed inside the mount flange 56a. The spindle mounting hole 70a has a shape corresponding to the tip of the spindle 54 so that the above-mentioned central axis and the rotation center of the spindle 54 coincide with each other when the spindle 54 is mounted in the spindle mounting hole 70a. Is formed in. The spindle mounting hole 70a has an opening on the boss portion 62a side, and a bolt 72 can be screwed through the opening into a screw hole at the tip of the spindle 54 inserted into the spindle mounting hole 70a.

マウントフランジ５６ａを用いてスピンドル５４に装着された切削ブレード４２ａを図３（Ａ）に示す。図３（Ａ）は、切削ブレード４２ａ及びマウントフランジ５６ａを模式的に示す側面図である。本実施形態に係るマウントフランジ５６ａにおいては、該フランジ部６４ａには、切削ブレード４２ａを支持する該支持面の背面側で周方向に渡って切削液返し部６６ａが形成されている。また、本実施形態に係る切削ブレード４２ａの円形基台４８ａには、周方向に渡って切削液返し部６６ｂが形成されている。 FIG. 3A shows a cutting blade 42a mounted on the spindle 54 using the mount flange 56a. FIG. 3A is a side view schematically showing the cutting blade 42a and the mount flange 56a. In the mount flange 56a according to the present embodiment, the flange portion 64a is formed with a cutting fluid return portion 66a in the circumferential direction on the back surface side of the support surface that supports the cutting blade 42a. Further, a cutting fluid return portion 66b is formed in the circumferential direction on the circular base 48a of the cutting blade 42a according to the present embodiment.

切削液切り返し部６６ａ，６６ｂの機能について、図３（Ｂ）を用いて説明する。図３（Ｂ）は、ブレードカバー４４の切削液噴出口４４ｂから切削ブレード４２ａに供給される切削液の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。 The functions of the cutting fluid cut-back portions 66a and 66b will be described with reference to FIG. 3B. FIG. 3B is a top view schematically showing an enlarged state of the flow of the cutting fluid supplied from the cutting fluid ejection port 44b of the blade cover 44 to the cutting blade 42a.

図３（Ｂ）に示す通り、供給された切削液６８の一部は、切削ブレード４２ａの切り刃５０に供給された後、切削ブレード４２ａを伝ってマウントフランジ５６ａのフランジ部６４ａに到達する。ここで、該フランジ部６４ａには、切削液切り返し部６６ａが形成されている。そのため、切削液６８は切削液切り返し部６６ａで切り返されるため、それ以上に外側には伝わりにくく、勢いを失って落下する。 As shown in FIG. 3B, a part of the supplied cutting fluid 68 is supplied to the cutting blade 50 of the cutting blade 42a, and then reaches the flange portion 64a of the mount flange 56a along the cutting blade 42a. Here, a cutting fluid cut-back portion 66a is formed on the flange portion 64a. Therefore, since the cutting fluid 68 is cut back by the cutting fluid cut-back portion 66a, it is more difficult to be transmitted to the outside, and the cutting fluid loses momentum and falls.

また、図３（Ｂ）に示す通り、供給された切削液６８の一部は、切削ブレード４２ａの切り刃５０に供給された後、切削ブレード４２ａの円形基台４８ａに到達する。ここで、該円形基台４８ａには、切削液切り返し部６６ｂが形成されている。そのため、切削液６８は切削液切り返し部６６ａで切り返されるため、それ以上に外側には伝わりにくく、勢いを失って落下する。 Further, as shown in FIG. 3B, a part of the supplied cutting fluid 68 reaches the circular base 48a of the cutting blade 42a after being supplied to the cutting blade 50 of the cutting blade 42a. Here, the cutting fluid cut-back portion 66b is formed on the circular base 48a. Therefore, since the cutting fluid 68 is cut back by the cutting fluid cut-back portion 66a, it is more difficult to be transmitted to the outside, and the cutting fluid loses momentum and falls.

勢いを失って落下した切削液６８は、保持テーブル６に保持された被加工物に到達する。すると、該切削液６８が被加工物を洗浄してコンタミネーションを洗い流す。そのため、洗浄用に被加工物に供給する洗浄液を節約できる。従来飛散していた切削液を用いて被加工物の洗浄を実施できるため、切削加工の効率は非常に良い。 The cutting fluid 68 that has lost its momentum and has fallen reaches the workpiece held on the holding table 6. Then, the cutting fluid 68 cleans the workpiece to wash away the contamination. Therefore, the cleaning liquid supplied to the workpiece for cleaning can be saved. Since the workpiece can be washed using the cutting fluid that has been scattered in the past, the efficiency of the cutting process is very good.

例えば、マウントフランジに切削液切り返し部が形成されず、切削ブレードの円形基台に切削液切り返し部が形成されない場合、切削液は勢いを失わずに切削ユニットの外部に飛散する。従来の切削ブレード及びマウントフランジについて図７を用いて説明する。図７（Ａ）は、切削ブレード及びマウントフランジを模式的に示す側面図であり、図７（Ｂ）は、切削液の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。 For example, when the cutting fluid cut-back portion is not formed on the mount flange and the cutting fluid cut-back portion is not formed on the circular base of the cutting blade, the cutting fluid is scattered to the outside of the cutting unit without losing momentum. A conventional cutting blade and a mount flange will be described with reference to FIG. FIG. 7A is a side view schematically showing the cutting blade and the mount flange, and FIG. 7B is a top view schematically showing the state of the flow of the cutting fluid in an enlarged manner.

図７（Ａ）に示す従来の切削ブレード４２ｂ及び従来のマウントフランジ５６ｂには、切削液切り返し部が形成されない。そのため、図７（Ｂ）に示す通り、切削ブレード４２ｂに切削液噴出口４４ｂから供給された切削液６８の一部は、切削ブレード４２ｂの切り刃５０に供給された後、切削ブレード４２ｂ、マウントフランジ５６ｂ及びスピンドル５４を伝って、外部に飛散する。また切削液６８の別の一部は、切削ブレード４２ｂ、円形基台４８ｂ及び固定ナット６０を伝って、外部に飛散する。 The conventional cutting blade 42b and the conventional mount flange 56b shown in FIG. 7A do not have a cutting fluid cut-back portion. Therefore, as shown in FIG. 7B, a part of the cutting fluid 68 supplied to the cutting blade 42b from the cutting fluid ejection port 44b is supplied to the cutting blade 50 of the cutting blade 42b, and then the cutting blade 42b and the mount. It scatters to the outside along the flange 56b and the spindle 54. Further, another part of the cutting fluid 68 is scattered to the outside through the cutting blade 42b, the circular base 48b, and the fixing nut 60.

外部に飛散した切削液は被加工物を洗浄せず、コンタミネーションを洗い流さない。そのため、従来の切削ブレード４２ｂ及び従来のマウントフランジ５６ｂを用いる場合、切削加工で生じたコンタミネーションを洗い流すために多量の洗浄液を被加工物に供給しなければならなかった。その一方で、本実施形態に係る切削ブレード及び本実施形態に係るマウントフランジには切削液切り返し部が形成されており、従来飛散していた切削液を用いて被加工物を洗浄できるため、洗浄液を節約でき切削加工の効率は非常に良い。 The cutting fluid scattered to the outside does not wash the workpiece and does not wash away the contamination. Therefore, when the conventional cutting blade 42b and the conventional mount flange 56b are used, a large amount of cleaning liquid must be supplied to the workpiece in order to wash away the contamination generated in the cutting process. On the other hand, the cutting blade according to the present embodiment and the mount flange according to the present embodiment are formed with a cutting fluid cut-back portion, and the work piece can be cleaned by using the cutting fluid that has been scattered in the past. The efficiency of cutting is very good.

本実施形態に係る切削ブレード及びマウントフランジの他の構成例について、図４及び図５を用いて説明する。なお、切削ユニット８ａと同様の構成物については説明を省略する。図４及び図５に示す切削ユニット８ｃには、中央に嵌合穴が形成された円板状の切削ブレード４２ｃが装着される。切削ブレード４２ｃは、例えば、ワッシャータイプまたはキンバレータイプの切削ブレードである。切削ブレード４２ｃの外周は切り刃となる。 Other configuration examples of the cutting blade and the mount flange according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 and 5. The description of the same structure as the cutting unit 8a will be omitted. A disk-shaped cutting blade 42c having a fitting hole formed in the center is mounted on the cutting unit 8c shown in FIGS. 4 and 5. The cutting blade 42c is, for example, a washer type or a Kimberley type cutting blade. The outer circumference of the cutting blade 42c is a cutting blade.

切削ユニット８ｃでは、スピンドル５４の先端にマウントフランジ５６ｃが取り付けられる。マウントフランジ５６ｃは、マウントフランジ本体５８ｃと、該マウントフランジ本体５８ｃとの間で切削ブレード４２ｃを支持する支持面を有した前フランジ７４と、前フランジ７４を固定する固定ナット６０と、を備える。該固定ナット６０は該前フランジ７４を固定することで該前フランジ７４を介してマウントフランジ本体５８ｃのフランジ部６４ｃとともに該切削ブレード４２ｃを支持する。 In the cutting unit 8c, the mount flange 56c is attached to the tip of the spindle 54. The mount flange 56c includes a mount flange main body 58c, a front flange 74 having a support surface for supporting the cutting blade 42c between the mount flange main body 58c, and a fixing nut 60 for fixing the front flange 74. By fixing the front flange 74, the fixing nut 60 supports the cutting blade 42c together with the flange portion 64c of the mount flange body 58c via the front flange 74.

マウントフランジ５６ｃを用いてスピンドル５４に装着された切削ブレード４２ｃを図５（Ａ）に示す。図５（Ａ）は、切削ブレード４２ｃ及びマウントフランジ５６ｃを模式的に示す側面図である。本実施形態に係るマウントフランジ５６ｃにおいては、前フランジ７４には、切削ブレード４２ｃを支持する該支持面の背面側で周方向に渡って切削液返し部６６ｃが形成されている。 A cutting blade 42c mounted on the spindle 54 using the mount flange 56c is shown in FIG. 5 (A). FIG. 5A is a side view schematically showing the cutting blade 42c and the mount flange 56c. In the mount flange 56c according to the present embodiment, the front flange 74 is formed with a cutting fluid return portion 66c in the circumferential direction on the back surface side of the support surface that supports the cutting blade 42c.

切削液切り返し部６６ｃの機能について、図５（Ｂ）を用いて説明する。図５（Ｂ）は、ブレードカバー４４の切削液噴出口４４ｂから切削ブレード４２ｃに供給される切削液６８の流れの様子を拡大して模式的に示す上面図である。 The function of the cutting fluid cut-back portion 66c will be described with reference to FIG. 5 (B). FIG. 5B is a top view schematically showing an enlarged state of the flow of the cutting fluid 68 supplied from the cutting fluid ejection port 44b of the blade cover 44 to the cutting blade 42c.

図５（Ｂ）に示す通り、供給された切削液６８の一部は、切削ブレード４２ｃに供給された後、マウントフランジ５６ｃの前フランジ７４に到達する。ここで、前フランジ７４には、切削液切り返し部６６ｃが形成されている。そのため、切削液６８は切削液切り返し部６６ｃで切り返されるため、それ以上に外側には伝わりにくく、勢いを失って被加工物に落下して、被加工物を洗浄してコンタミネーションを除去する。そのため、被加工物に供給する洗浄液を節約できる。 As shown in FIG. 5B, a part of the supplied cutting fluid 68 reaches the front flange 74 of the mount flange 56c after being supplied to the cutting blade 42c. Here, the cutting fluid cut-back portion 66c is formed on the front flange 74. Therefore, since the cutting fluid 68 is cut back by the cutting fluid cut-back portion 66c, it is more difficult to be transmitted to the outside, loses momentum and falls on the work piece, and the work piece is washed to remove contamination. Therefore, the cleaning liquid supplied to the work piece can be saved.

なお、本実施形態に係る切削ブレード及びマウントフランジにおいて、形成される切削液切り返し部６６ａ，６６ｂ，６６ｃは、例えば、深さ２ｍｍ、幅２ｍｍの円環状の溝である。ただし、切削液切り返し部６６ａ，６６ｂ，６６ｃはこれに限らない。 The cutting fluid cut-back portions 66a, 66b, 66c formed in the cutting blade and the mount flange according to the present embodiment are, for example, an annular groove having a depth of 2 mm and a width of 2 mm. However, the cutting fluid cut-back portions 66a, 66b, 66c are not limited to this.

次に、本実施形態に係る切削ブレードまたはマウントフランジを装着した切削ユニットを用いた被加工物の切削加工について説明する。該切削加工は、切削装置２で実施される。図６を用いて該切削方法について説明する。図６は、該切削方法を模式的に説明する部分断面図である。 Next, the cutting process of the workpiece using the cutting unit equipped with the cutting blade or the mount flange according to the present embodiment will be described. The cutting process is performed by the cutting device 2. The cutting method will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a partial cross-sectional view schematically illustrating the cutting method.

被加工物１は、例えば、フレーム３に張られたテープ５に貼り付けられた円板状の半導体ウェーハである。まず、被加工物１を該テープ５を介して保持テーブル６の保持面６ａ上に載せ置き、クランプ２２によりフレーム５を固定する。次に、保持テーブル６の内部の吸引源を作動させて、保持テーブル６の内部の吸引路を通して被加工物１を吸引させて、被加工物１を保持テーブル６上に固定する。 The workpiece 1 is, for example, a disk-shaped semiconductor wafer attached to a tape 5 stretched on a frame 3. First, the workpiece 1 is placed on the holding surface 6a of the holding table 6 via the tape 5, and the frame 5 is fixed by the clamp 22. Next, the suction source inside the holding table 6 is operated to suck the workpiece 1 through the suction path inside the holding table 6, and the workpiece 1 is fixed on the holding table 6.

次に、切削ブレード４２が被加工物１の切削予定ラインの一端の外側上方に位置づけられるように、Ｘ軸移動機構（移動手段）１０と、Ｙ軸移動機構（割り出し送り手段）２４と、を作動させて切削ユニット８を所定の位置に位置づける。そして、切削ブレード４２の回転を開始し、切削ブレード４２に切削液を供給する。切削ブレード４２への切削液の供給は、切削液供給ノズル４４ａ及び切削液噴出口４４ｂから行われる。 Next, the X-axis moving mechanism (moving means) 10 and the Y-axis moving mechanism (indexing feeding means) 24 are arranged so that the cutting blade 42 is positioned above the outside of one end of the planned cutting line of the workpiece 1. Operate to position the cutting unit 8 in place. Then, the rotation of the cutting blade 42 is started, and the cutting fluid is supplied to the cutting blade 42. The cutting fluid is supplied to the cutting blade 42 from the cutting fluid supply nozzle 44a and the cutting fluid ejection port 44b.

その後、切削ユニット８を下降させて、切削ブレード４２を所定の高さ位置に位置付ける。そして、切削装置２のＸ軸移動機構を作動させて、被加工物１を加工送りする。そして、回転する切削ブレード４２が被加工物１に接触すると切削加工が開始される。 After that, the cutting unit 8 is lowered to position the cutting blade 42 at a predetermined height position. Then, the X-axis moving mechanism of the cutting device 2 is operated to process and feed the workpiece 1. Then, when the rotating cutting blade 42 comes into contact with the workpiece 1, the cutting process is started.

このとき、切削液噴出口４４ｂから切削ブレード４２に供給された切削液は、切削ブレード４２やマウントフランジを伝わるが、該切削ブレードの円形基台やマウントフランジに形成された切削液切り返し部に到達した切削液は切り返されて勢いを失う。すると、該切削液は被加工物１に向けて落下して、被加工物１の切削加工で生じる切削屑等のコンタミネーションを洗い流す。そのため、被加工物１の洗浄用の洗浄液を節約でき、切削加工の効率を上げられる。 At this time, the cutting fluid supplied from the cutting fluid ejection port 44b to the cutting blade 42 is transmitted through the cutting blade 42 and the mount flange, and reaches the cutting fluid cut-back portion formed on the circular base and the mount flange of the cutting blade. The cutting fluid is cut back and loses momentum. Then, the cutting fluid falls toward the workpiece 1 to wash away contamination such as cutting chips generated by the cutting of the workpiece 1. Therefore, the cleaning liquid for cleaning the workpiece 1 can be saved, and the efficiency of the cutting process can be improved.

そして、切削ブレード４２による切削加工が進行し、すべての分割予定ラインに沿って被加工物１が分割されると、例えば、個々のデバイスチップが形成される。 Then, when the cutting process by the cutting blade 42 proceeds and the workpiece 1 is divided along all the scheduled division lines, for example, individual device chips are formed.

なお、本実施形態に係る切削ブレード及びマウントフランジが使用される切削装置においては、ブレードカバー４４の切削液供給口４４ｂに隣接して突出部が設けられても良い。該突出部は、該切削液噴出口４４ｂから噴出された切削液が切削ブレード４２に到達する地点よりも該切削ブレード４２の回転方向手前に配設される。すなわち、該突出部は切削液噴出口４４ｂの切削ブレード４２の回転方向の逆方向に隣接する。 In the cutting apparatus in which the cutting blade and the mount flange according to the present embodiment are used, a protruding portion may be provided adjacent to the cutting fluid supply port 44b of the blade cover 44. The protruding portion is arranged before the point where the cutting fluid ejected from the cutting fluid ejection port 44b reaches the cutting blade 42 in the rotational direction of the cutting blade 42. That is, the protruding portion is adjacent to the cutting fluid ejection port 44b in the direction opposite to the rotation direction of the cutting blade 42.

切削ブレード４２による切削加工が実施されている間、切削液噴出口４４ｂからは該切削ブレード４２に切削液が供給される。そして、該切削ブレード４２が被加工物に接触する加工点に適切に切削液が供給されることが期待される。 While the cutting process is being performed by the cutting blade 42, the cutting fluid is supplied to the cutting blade 42 from the cutting fluid ejection port 44b. Then, it is expected that the cutting fluid is appropriately supplied to the machining point where the cutting blade 42 comes into contact with the workpiece.

しかし、切削ブレード４２に供給された切削液の一部は、切削ブレード４２の回転に伴って切削ブレード４２の外周に連れ回る。切削ブレード４２の外周部に切削ブレード４２に連れ回る連れ回り液が存在すると、切削液噴出口４４ｂから新たに供給される切削液が該連れ回り液に阻まれて、切削液が期待されるようには該加工点に供給されなくなる。 However, a part of the cutting fluid supplied to the cutting blade 42 is carried around the outer circumference of the cutting blade 42 as the cutting blade 42 rotates. If there is a traveling fluid that accompanies the cutting blade 42 on the outer periphery of the cutting blade 42, the cutting fluid newly supplied from the cutting fluid ejection port 44b is blocked by the traveling fluid, so that the cutting fluid is expected. Will not be supplied to the processing point.

そこで、ブレードカバー４４には、該切削液噴出口４４ｂから噴出された切削液が切削ブレード４２に到達する箇所よりも該切削ブレード４２の回転方向手前に突出部を配設する。そのような突出部を有するブレードカバー４４を図８に示す。図８は、突出部７６を有するブレードカバー４４を模式的に示す側面図である。例えば、図８に示す通り、ブレードカバー４４の切削液供給口４４ｂに隣接して突出部７６が設けられる。 Therefore, the blade cover 44 is provided with a protruding portion in front of the position where the cutting fluid ejected from the cutting fluid ejection port 44b reaches the cutting blade 42 in the rotational direction of the cutting blade 42. A blade cover 44 having such a protrusion is shown in FIG. FIG. 8 is a side view schematically showing the blade cover 44 having the protruding portion 76. For example, as shown in FIG. 8, a protruding portion 76 is provided adjacent to the cutting fluid supply port 44b of the blade cover 44.

すると、切削ブレード４２の連れ回り液の一部は該突出部７６に衝突して切削ブレード４２から離される。つまり、突出部７６は該切削ブレード４２に連れ回る切削液の一部のそれ以上の連れ回りを阻止する。 Then, a part of the accompanying liquid of the cutting blade 42 collides with the protruding portion 76 and is separated from the cutting blade 42. That is, the protrusion 76 prevents further rotation of a part of the cutting fluid that accompanies the cutting blade 42.

切削ブレード４２の連れ回り液の量を低減できると、切削液噴出口４４ｂから新たに供給される切削液が妨害されにくくなる。そのため、該切削液が適切に加工点に供給されるようになり、過剰に切削液を供給する必要もなくなる。したがって、切削装置２において使用される液体をさらに節約できる。 If the amount of the accompanying liquid of the cutting blade 42 can be reduced, the cutting liquid newly supplied from the cutting liquid ejection port 44b is less likely to be disturbed. Therefore, the cutting fluid is appropriately supplied to the machining point, and it is not necessary to supply an excessive cutting fluid. Therefore, the liquid used in the cutting device 2 can be further saved.

次に本発明の一態様に係る切削ブレード及びマウントフランジの作用効果を確認した実験について説明する。本実施例では、該切削ブレード及び該マウントフランジを備えた切削装置により被加工物を切削加工し、切削加工後の被加工物を観察して付着物の数を計測した。 Next, an experiment for confirming the action and effect of the cutting blade and the mount flange according to one aspect of the present invention will be described. In this embodiment, the workpiece was cut by a cutting device provided with the cutting blade and the mount flange, and the workpiece after the cutting was observed to measure the number of deposits.

実験の概要について説明する。本実験に使用した切削装置は株式会社ディスコ製の“ＤＦＤ６３６２”であり、該切削装置に装着した切削ブレードは、株式会社ディスコ製の“ＺＨ０５−ＳＤ２０００−Ｎ１−１１０ＧＦ（ＨＥＧＦ１０１０）”である。該切削ブレードの装着に用いたマウントフランジ及び該切削ブレードの円形基台には、切削液切り返し部を形成した。 The outline of the experiment will be described. The cutting device used in this experiment is "DFD6362" manufactured by DISCO Corporation, and the cutting blade mounted on the cutting device is "ZH05-SD2000-N1-110GF (HEGF1010)" manufactured by DISCO Corporation. A cutting fluid cut-back portion was formed on the mount flange used for mounting the cutting blade and the circular base of the cutting blade.

本実験に使用した被加工物は、厚さ０．７３ｍｍの８インチ径のＳｉウェーハである。本実験では、該被加工物の表面側にリンテック株式会社製のテープ“Ｄ−６５０”を貼着し、被加工物の裏面側を露出するように該切削装置の保持テーブルに被加工物の表面側を向けて被加工物を載せた。そして、該テープを介して保持テーブルに被加工物を吸引保持させた。なお、被加工物上の付着物の計測を容易にするために、被加工物の裏面側には樹脂膜を形成した。 The workpiece used in this experiment is an 8-inch diameter Si wafer with a thickness of 0.73 mm. In this experiment, a tape "D-650" manufactured by Lintec Corporation was attached to the front surface side of the work piece, and the work piece was placed on the holding table of the cutting device so that the back side of the work piece was exposed. The work piece was placed with the surface side facing. Then, the workpiece was sucked and held on the holding table via the tape. A resin film was formed on the back surface side of the workpiece in order to facilitate the measurement of deposits on the workpiece.

切削加工の条件は、スピンドルの回転数を４００００ｒｐｍ、該被加工物の加工送り速度を３０ｍｍ／ｓとし、切削ブレードの最下点と保持テーブル上面との間の距離（ブレードハイト）を０．０７ｍｍとした。切削ブレードの割り出し送り量（インデックスサイズ）は第１の方向に５ｍｍ、該第１の方向に直交する第２の方向に５ｍｍとした。 The cutting conditions are that the rotation speed of the spindle is 40,000 rpm, the machining feed rate of the work piece is 30 mm / s, and the distance (blade height) between the lowest point of the cutting blade and the upper surface of the holding table is 0.07 mm. And said. The index feed amount (index size) of the cutting blade was set to 5 mm in the first direction and 5 mm in the second direction orthogonal to the first direction.

切削液供給ノズル４４ａ（図１,６,８等参照）に設けられた噴出口から供給する切削水量は１．５Ｌ／ｍｉｎ、切削液噴出口４４ｂ（図６,８等参照）から供給する切削水量は１．０Ｌ／ｍｉｎとした。また、ブレードカバーの下面に設けられたスプレーノズル（不図示）から該被加工物に洗浄液を噴出させる。この洗浄液量を１．０Ｌ／ｍｉｎとした。 The amount of cutting water supplied from the spout provided in the cutting fluid supply nozzle 44a (see FIGS. 1, 6, 8 etc.) is 1.5 L / min, and the cutting supplied from the cutting fluid spout 44b (see FIGS. 6, 8 etc.) The amount of water was 1.0 L / min. Further, a cleaning liquid is sprayed onto the workpiece from a spray nozzle (not shown) provided on the lower surface of the blade cover. The amount of this cleaning liquid was 1.0 L / min.

このような条件により該被加工物に対して５ｍｍ×５ｍｍの格子状に切削加工を実施した。切削加工により形成された切削溝により区画された各領域を一つのチップとして、任意の９チップにおいて付着物の数を計測した。付着物の計測には、株式会社ミツトヨ製の顕微鏡“ＭＦ−ＵＡ１０２０ＴＨＤ”及びパーティクルカウント測定用ソフトウェア“ＦＶ−ＰＩＸＥＬＬＥＮＣＥ ＥＮＧ／３３１０／ＳＴＤ”を用いた。 Under such conditions, the work piece was cut in a grid pattern of 5 mm × 5 mm. The number of deposits was measured in any of nine chips, with each region partitioned by the cutting groove formed by cutting as one chip. The microscope "MF-UA1020THD" manufactured by Mitutoyo Co., Ltd. and the particle count measurement software "FV-PIXELLENCE ENG / 3310 / STD" were used for the measurement of the deposits.

各チップにおいて四隅と中央の５か所において、顕微鏡観察の倍率２００倍の視野内における１μｍサイズ以上の付着物の数を計測した。そして、計４５回の測定で計測された付着物の数の平均値を算出した。この実験を“実施例１”とする。 At each of the four corners and five points in the center of each chip, the number of deposits having a size of 1 μm or more was measured in a field of view at a magnification of 200 times for microscopic observation. Then, the average value of the number of deposits measured by a total of 45 measurements was calculated. This experiment is referred to as "Example 1".

さらに、図８に示す通り、切削液供給口４４ｂに隣接して突出部７６が設けられたブレードカバー４４を装着した切削装置により同様に被加工物を切削加工して、同様に被加工物に付着した付着物の数を計測した。この実験を“実施例２”とする。なお、実験“実施例２”においても、切削液切り返し部が形成されたマウントフランジ及び該切削ブレードの円形基台を使用した。 Further, as shown in FIG. 8, the workpiece is similarly cut by a cutting apparatus equipped with a blade cover 44 provided with a protruding portion 76 adjacent to the cutting fluid supply port 44b, and the workpiece is similarly cut. The number of adhered deposits was counted. This experiment is referred to as "Example 2". In the experiment "Example 2", the mount flange on which the cutting fluid cut-back portion was formed and the circular base of the cutting blade were used.

また、切削液供給口４４ｂに隣接して突出部７６が設けられたブレードカバー４４を装着した切削装置により、供給する切削液及び洗浄液の量を上述の７０％程度に減らして被加工物を切削加工して、付着物の数を計測した。この実験を“実施例３”とする。なお、実験“実施例３”においても、切削液切り返し部が形成されたマウントフランジ及び該切削ブレードの円形基台を使用した。 Further, a cutting device equipped with a blade cover 44 provided with a protruding portion 76 adjacent to the cutting fluid supply port 44b cuts the workpiece by reducing the amount of the cutting fluid and the cleaning liquid to be supplied to about 70% as described above. It was processed and the number of deposits was counted. This experiment is referred to as "Example 3". Also in the experiment "Example 3", the mount flange on which the cutting fluid cut-back portion was formed and the circular base of the cutting blade were used.

なお、比較のために、マウントフランジ及び切削ブレードの円形基台に切削液切り返し部を形成せずに、ブレードカバーに突出部を設けずに同様の切削加工を実施した被加工物についても同様に付着物の数を計測した。この実験を“比較例”とする。 For comparison, the same applies to the workpiece to which the same cutting process is performed without forming the cutting fluid cut-back portion on the mount flange and the circular base of the cutting blade and without providing the protruding portion on the blade cover. The number of deposits was counted. This experiment is referred to as a "comparative example".

付着物の計測の結果について説明する。比較例では平均付着物数は４１８個、実施例１では平均付着物数は２９５個、実施例２では平均付着物数は６４個、実施例３では平均付着物数は２６個となった。 The result of the measurement of the deposit will be described. In Comparative Example, the average number of deposits was 418, in Example 1, the average number of deposits was 295, in Example 2, the average number of deposits was 64, and in Example 3, the average number of deposits was 26.

比較例１の結果と、実施例１の結果と、を比較すると、該切削ブレードの装着に用いたマウントフランジ及び該切削ブレードの円形基台に、切削液切り返し部を形成することで被加工物の付着物を大幅に低減できることがわかる。切削液切り返し部の形成により、被加工物の洗浄に対する切削液の寄与が大きくなることが理解される。 Comparing the result of Comparative Example 1 with the result of Example 1, the work piece was formed by forming a cutting fluid cut-back portion on the mount flange used for mounting the cutting blade and the circular base of the cutting blade. It can be seen that the deposits on the surface can be significantly reduced. It is understood that the formation of the cutting fluid cut-back portion increases the contribution of the cutting fluid to the cleaning of the workpiece.

実施例１の結果と、実施例２の結果と、を比較すると、ブレードカバー４４に突出部７６（図８参照）を設けることで、被加工物の付着物を大幅に低減できることがわかる。該突出部７６により切削ブレードの外周の連れ回り液の連れ回りを阻止することで被加工物に適切に切削液を供給でき、切削屑等が被加工物に付着する前に該切削屑等を排除できることが示唆される。 Comparing the results of Example 1 with the results of Example 2, it can be seen that by providing the blade cover 44 with the protruding portion 76 (see FIG. 8), the deposits on the workpiece can be significantly reduced. The protrusion 76 prevents the fluid from traveling around the outer periphery of the cutting blade from rotating, so that the cutting fluid can be appropriately supplied to the workpiece, and the cutting chips and the like can be removed before they adhere to the workpiece. It is suggested that it can be excluded.

比較例１の結果と、実施例３の結果と、を比較すると、マウントフランジ及び該切削ブレードの円形基台に切削液切り返し部が設けられ、ブレードカバー４４に突出部７６（図８参照）が設けられていると、供給される切削液等の量を節約しても付着物が増えないことがわかる。 Comparing the result of Comparative Example 1 with the result of Example 3, a cutting fluid cut-back portion is provided on the mount flange and the circular base of the cutting blade, and a protruding portion 76 (see FIG. 8) is provided on the blade cover 44. It can be seen that if it is provided, the amount of deposits does not increase even if the amount of cutting fluid or the like supplied is saved.

以上の実験により、本発明の一態様により切削液を被加工物上に落下させると、該切削液により被加工物が洗浄されるため、被加工物に供給する洗浄液等の液体を節約できることが確認された。 According to the above experiment, when the cutting fluid is dropped onto the workpiece according to one aspect of the present invention, the workpiece is cleaned by the cutting fluid, so that the liquid such as the cleaning fluid supplied to the workpiece can be saved. confirmed.

なお、本発明は、上記の実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態においては、切削液切り返し部を切削ブレードの円形基台やマウントフランジに形成したが、固定用ナット６０や、スピンドル５４の外周に沿って形成してもよい。また、切削ブレードの円形基台と、マウントフランジと、の一方のみに形成してもよい。 The present invention is not limited to the description of the above-described embodiment, and can be implemented with various modifications. For example, in the above embodiment, the cutting fluid cut-back portion is formed on the circular base or the mount flange of the cutting blade, but it may be formed along the outer periphery of the fixing nut 60 or the spindle 54. Further, it may be formed only on one of the circular base of the cutting blade and the mount flange.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, etc. according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented as long as they do not deviate from the scope of the object of the present invention.

１ 被加工物
３ フレーム
５ テープ
２ 切削装置
４ 基台
６ 保持テーブル（保持手段）
６ａ 保持面
８，８ａ 切削ユニット（切削手段）
１０ Ｘ軸移動機構（移動手段）
１２ Ｘ軸ガイドレール
１４ Ｘ軸移動テーブル
１６ Ｘ軸ボールネジ
１８ Ｘ軸パルスモータ
２０ 支持台
２２ クランプ
２４ Ｙ軸移動機構（割り出し送り手段）
２６ Ｙ軸ガイドレール
２８ Ｙ軸移動テーブル
２８ａ 基部
２８ｂ 壁部
３０ Ｙ軸ボールネジ
３２ Ｙ軸パルスモータ
３４ Ｚ軸移動機構
３６ Ｚ軸ガイドレール
３８ Ｚ軸移動テーブル
４０ Ｚ軸パルスモータ
４２，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ 切削ブレード
４４ ブレードカバー
４４ａ 切削液供給ノズル
４４ｂ 切削液供給口
４６ 撮像装置
４８ａ，４８ｂ 円形基台
４８ｃ 嵌合孔
５０ 切り刃
５２ スピンドルハウジング
５４ スピンドル
５６ａ，５６ｂ，５６ｃ マウントフランジ
５８ａ，５８ｂ，５８ｃ マウントフランジ本体
６０ 固定ナット
６２ａ，６２ｃ ボス部
６４ａ，６４ｂ，６４ｃ フランジ部
６６ａ，６６ｂ，６６ｃ 切削液切り返し部
６８ 切削液
７０ａ，７０ｃ スピンドル装着穴
７２ ボルト
７４ 前フランジ
７６ 突出部 1 Work piece 3 Frame 5 Tape 2 Cutting device 4 Base 6 Holding table (holding means)
6a Holding surface 8,8a Cutting unit (cutting means)
10 X-axis moving mechanism (moving means)
12 X-axis guide rail 14 X-axis moving table 16 X-axis ball screw 18 X-axis pulse motor 20 Support base 22 Clamp 24 Y-axis moving mechanism (indexing feed means)
26 Y-axis guide rail 28 Y-axis moving table 28a Base 28b Wall 30 Y-axis ball screw 32 Y-axis pulse motor 34 Z-axis moving mechanism 36 Z-axis guide rail 38 Z-axis moving table 40 Z-axis pulse motor 42, 42a, 42b, 42c Cutting blade 44 Blade cover 44a Cutting liquid supply nozzle 44b Cutting liquid supply port 46 Imaging device 48a, 48b Circular base 48c Fitting hole 50 Cutting blade 52 Spindle housing 54 Spindle 56a, 56b, 56c Mount flange 58a, 58b, 58c Mount Flange body 60 Fixing nut 62a, 62c Boss part 64a, 64b, 64c Flange part 66a, 66b, 66c Cutting liquid turning back part 68 Cutting liquid 70a, 70c Spindle mounting hole 72 Bolt 74 Front flange 76 Protruding part

Claims (4)

切削装置のスピンドルの先端に固定され、切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードであって、
中央に嵌合孔が形成されるとともに一面側にハブ部が形成された円形基台と、
該円形基台の該一面と反対の面側の外周部に形成され切削液の供給を受ける切り刃と、からなり、
該円形基台には、周方向に渡って第１切削液返し部が形成されており、
該第１切削液返し部は、該円形基台の外周面における該一面側から該反対の面側への該切削液の伝わりを抑制する溝状に形成されていることを特徴とする切削ブレード。 A cutting blade that is fixed to the tip of the spindle of a cutting device and cuts a workpiece while the cutting fluid is supplied.
A circular base with a fitting hole formed in the center and a hub portion formed on one side,
It consists of a cutting edge formed on the outer peripheral portion of the circular base on the side opposite to the one surface and receiving the supply of cutting fluid.
A first cutting fluid return portion is formed on the circular base in the circumferential direction .
The first cutting fluid return portion is formed in a groove shape that suppresses the transmission of the cutting fluid from one surface side to the opposite surface side on the outer peripheral surface of the circular base. .. 該スピンドルの先端には、該嵌合孔に挿通されるボス部と、該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを指示する支持面を有したフランジ部と、を有するマウントフランジが固定されており、A mount flange having a boss portion inserted into the fitting hole and a flange portion protruding radially from the boss portion and having a support surface for pointing the cutting blade is fixed to the tip of the spindle. And
該マウントフランジの該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、A groove-shaped second cutting fluid return portion is formed in the flange portion of the mount flange on the back surface side of the support surface in the circumferential direction.
該第１切削液返し部と該切り刃との距離は、該第２切削液返し部と該支持面との距離とは異なることを特徴とする請求項１に記載の切削ブレード。The cutting blade according to claim 1, wherein the distance between the first cutting fluid return portion and the cutting edge is different from the distance between the second cutting fluid return portion and the support surface. 切り刃に切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードを切削装置のスピンドルの先端に固定するマウントフランジであって、
中央に嵌合孔が形成された円板状の切削ブレードの該嵌合孔に挿通され、先端に雄ねじが形成されたボス部と、
該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有したフランジ部と、
を有するマウントフランジ本体と、
該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持して固定する固定ナットと、を備え、
該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、
該マウントフランジは、該マウントフランジ本体とともに該切削ブレードを支持する支持面を有した前フランジを更に備え、
該固定ナットは該前フランジを固定することで該前フランジを介して該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持し、
該前フランジには、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第３切削液返し部が形成されており、
該第２切削液返し部及び該第３切削液返し部は、該切り刃に供給された該切削液の該切り刃から離れる外方向への伝わりを抑制する溝状に形成されており、かつ、該切り刃と接しないことを特徴とするマウントフランジ。 A mount flange that fixes the cutting blade that cuts the workpiece while the cutting fluid is supplied to the cutting blade to the tip of the spindle of the cutting device.
Central fitting hole is inserted into the fitting hole of the formed disc-shaped cutting blade, a boss portion formed with external threads at its tip,
A flange portion that protrudes radially from the boss portion and has a support surface that supports the cutting blade, and a flange portion.
With the mount flange body,
A female screw to be screwed with the male screw of the boss portion is formed on the inner circumference, and a fixing nut for sandwiching and fixing the cutting blade together with the flange portion is provided.
A groove-shaped second cutting fluid return portion is formed on the flange portion on the back surface side of the support surface over the circumferential direction .
The mount flange further comprises a front flange having a support surface for supporting the cutting blade together with the mount flange body.
By fixing the front flange, the fixing nut sandwiches the cutting blade together with the flange portion via the front flange.
The front flange is formed with a groove-shaped third cutting fluid return portion in the circumferential direction on the back surface side of the support surface.
The second cutting fluid return portion and the third cutting fluid return portion are formed in a groove shape that suppresses the outward transmission of the cutting fluid supplied to the cutting blade away from the cutting blade. , A mount flange characterized in that it does not come into contact with the cutting edge. 切り刃に切削液が供給された状態で被加工物を切削する切削ブレードを切削装置のスピンドルの先端に固定するマウントフランジであって、A mount flange that fixes the cutting blade that cuts the workpiece while the cutting fluid is supplied to the cutting blade to the tip of the spindle of the cutting device.
中央に嵌合孔が形成されるとともに一面側にハブ部が形成された円形基台と、該円形基台の該一面と反対の面側の外周部に形成され切削液の供給を受ける切り刃と、からなる切削ブレードの該嵌合孔に挿通され、先端に雄ねじが形成されたボス部と、A circular base having a fitting hole formed in the center and a hub portion formed on one surface side, and a cutting edge formed on the outer peripheral portion of the circular base on the opposite surface side to receive the cutting fluid supply. A boss portion that is inserted into the fitting hole of the cutting blade and has a male screw formed at the tip.
該ボス部から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有したフランジ部と、A flange portion that protrudes radially from the boss portion and has a support surface that supports the cutting blade, and a flange portion.
を有するマウントフランジ本体と、With the mount flange body,
該ボス部の該雄ねじと螺合する雌ねじが内周に形成され、該フランジ部とともに該切削ブレードを挟持して固定する固定ナットと、を備え、A female screw to be screwed with the male screw of the boss portion is formed on the inner circumference, and a fixing nut for sandwiching and fixing the cutting blade together with the flange portion is provided.
該フランジ部には、該支持面の背面側で周方向に渡って溝状の第２切削液返し部が形成されており、A groove-shaped second cutting fluid return portion is formed on the flange portion on the back surface side of the support surface over the circumferential direction.
該切削ブレードの該円形基台には、周方向に渡って溝状の第１切削液返し部が形成されており、A groove-shaped first cutting fluid return portion is formed in the circular base of the cutting blade in the circumferential direction.
該第２切削液返し部と該支持面との距離は、該第１切削液返し部と該切り刃との距離とは異なることを特徴とするマウントフランジ。A mount flange characterized in that the distance between the second cutting fluid return portion and the support surface is different from the distance between the first cutting fluid return portion and the cutting edge.
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