JP6896001B2 - 時計ムーブメント用部品、時計ムーブメント、時計、および時計ムーブメント用部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、時計ムーブメント用部品、時計ムーブメントおよび時計、ならびに時計ムーブメント用部品の製造方法に関する。

時計ムーブメントは、通常、レギュレータ、時計ムーブメントの時間基準を決定する機械振動子を含む。このレギュレータは、テンプと呼ばれる振動錘と連携するコイルばねを含む。このコイルばねは、時計ムーブメントの計時精度を決定する極端な寸法精度を必要とする。

コイルばねの一例は、特にＪＰ２００８１１６２０５Ａに記載されている。このコイルばねは、マトリックス内に分散されかつコイルの長手方向に整列されたカーボンナノチューブで強化された、黒鉛およびアモルファス炭素のマトリックスを含む複合材料から作られている。ナノチューブは、約１０ｎｍの直径および約１０ミクロンの長さを有する。コイルを製造するために、ナノチューブ、黒鉛、およびアモルファス炭素を用いて均質な混合物を最初に製造し、次に混合物を押出してコイルの長さ内にナノチューブを整列させることを目的としてコイルばねの形状を得る。

このようなコイルばねは多くの欠点を有する。
‐押出しプロセスは高い機械的精度を許容せず、許容できない計時誤差をもたらす。
‐ナノチューブは均質混合物中にランダムに配置されているので、ナノチューブの配向はあまり制御されていない。
‐この方法は、コイルばねの規則性をもたらす、材料の良好な均質性を確保するように実施するのが複雑である。
‐均質性を維持しながら混合物の量を非常に正確に調節しなければならないので、コイルばねの所望の機械的性質を得るのが複雑である。

これらの欠点は、少なくとも部分的に、時計ムーブメント用の他の可撓性部品にも存在する。

特開２００８‐１１６２０５ 米国特許出願公開第２０１０／２９４４２４号明細書 特開平０１‐１２０４４８ 欧州特許出願公開第１２５６８５４号明細書 欧州特許出願公開第１２５６８５３号明細書 米国特許出願公開第２０１３／２９４９９９号明細書

ＨＡＮＮＡ ＢＲＡＮＤＯＮ Ｈ ＥＴ ＡＬ， "Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｏｆ Ｃａｒｂｏｎ Ｉｎｆｉｌｔｒａｔｅｄ Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ｆｏｒ Ｃｏｍｐｌｉａｎｔ Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｓｍｓ"， ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＳＹＳＴＥＭＳ， ＩＥＥＥ ＳＥＲＶＩＣＥ ＣＥＮＴＥＲ， ＵＳ， ｖｏｌ．２３， ｎｏ．６， １ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ ２０１４， ｐａｇｅｓ １３３０−１３３９ ＢＯ ＬＩ ＥＴ ＡＬ， "Ｈｉｇｈｌｙ Ｏｒｇａｎｉｚｅｄ Ｔｗｏ− ａｎｄ Ｔｈｒｅｅ−Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ Ｓｉｎｇｌｅ−Ｗａｌｌｅｄ Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ−Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｈｙｂｒｉｄ Ａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅｓ"， ＡＣＳ ＮＡＮＯ， ｖｏｌ．５， ｎｏ．６， ２８ Ｊｕｎｅ ２０１１， ｐａｇｅｓ ４８２６−４８３４ ＢＩＮ ＺＨＡＯ ＥＴ ＡＬ，"Ｅｘｐｌｏｒｉｎｇ Ａｄｖａｎｔａｇｅｓ ｏｆ Ｄｉｖｅｒｓｅ Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ Ｆｏｒｅｓｔｓ ｗｉｔｈ Ｔａｉｌｏｒｅｄ Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ Ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ ｂｙ Ｓｕｐｅｒｇｒｏｗｔｈ ｆｒｏｍ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｅｄ Ｃａｔａｌｙｓｔｓ"， ＡＣＳ ＮＡＮＯ， ｖｏｌ．３， ｎｏ．１， ２７ Ｊａｎｕａｒｙ ２００９， ｐａｇｅｓ １０８−１１４ ＨＵＴＣＨＩＳＯＮ Ｄ Ｎ ＥＴ ＡＬ，"Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅｓ ａｓ ａ Ｆｒａｍｅｗｏｒｋ ｆｏｒ Ｈｉｇｈ−Ａｓｐｅｃｔ−Ｒａｔｉｏ ＭＥＭＳ Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ"， ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＭＩＣＲＯＥＬＥＣＴＲＯＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ ＳＹＳＴＥＭＳ， ＩＥＥＥ ＳＥＲＶＩＣＥ ＣＥＮＴＥＲ， ＵＳ， ｖｏｌ．１９， ｎｏ．１， １ Ｆｅｂｒｕａｒｙ ２０１０， ｐａｇｅｓ ７５−８２ ＭＩＮＧ ＸＵ ＥＴ ＡＬ， "Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｏｆ Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏｔｕｂｅ Ｆｏｒｅｓｔ ｆｒｏｍ Ｒａｎｄｏｍ ｔｏ Ｎｅａｒｌｙ Ｐｅｒｆｅｃｔｌｙ Ａｌｉｇｎｅｄ ｂｙ Ｕｔｉｌｉｚｉｎｇ ｔｈｅ Ｃｒｏｗｄｉｎｇ Ｅｆｆｅｃｔ"， ＡＣＳ ＮＡＮＯ， ｖｏｌ．６， ｎｏ．７， ２４ Ｊｕｌｙ ２０１２， ｐａｇｅｓ ５８３７−５８４４

本発明は、上記の欠点のいくつかまたはすべてを克服することを目的とする。

この目的のために、本発明は、少なくとも１つの可撓性部分を含み、前記可撓性部分が、軸に垂直な平面内で曲がるように構成され、かつ、マトリックス内に拘束されたナノチューブを含む複合材料で作られる、時計ムーブメント用部品であって、ナノチューブがナノチューブのフォレストを形成しており、ナノチューブが並置され、概して軸に平行に配置されることを特徴とする、時計ムーブメント用部品を提供する。

これらの構成により、ナノチューブ成長およびナノチューブのフォレストへのマトリックスの浸透のプロセスによって得られる、ナノチューブの配向および完全に制御され再現可能な均質性を有する、数ナノメートルの精度の時計ムーブメント用部品を作製することができる。時計ムーブメント用部品がコイルばねの場合、結果はコイルばねの卓越した計時精度である。

さらに、例えばマトリックス材料および／またはナノチューブのフォレストに浸透するマトリックスの量を調節することによって、時計ムーブメント用部品の所望の機械的特性を容易に得ることができる。

上述の特許とは異なり、ナノチューブは、曲げ面に対して垂直に配向されており、その面内には配向されていない。これは、当業者に知られている、それらの機械的曲げ特性を使用するためにコイルの長さ内にナノチューブを整列させることを助言するＪＰ２００８１１６２０５Ａの教示に反する。対照的に、本発明の時計ムーブメント用部品では、上述の文献ＪＰ２００８１１６２０５Ａとは異なり、ナノチューブは、それらの機械的特性のためには使用されず、時計ムーブメント用部品の機械的特性に寄与するとしても、ごくわずかしか寄与しない（部品の曲げはナノチューブの曲げをもたらさない）が、代わりに成長におけるそれらの幾何学的精度のために使用され、機械的特性は浸透されたマトリックスによって提供される。

さらに、このようにして得られた複合材料は、軸に垂直な平面内で特に可撓性であり（コイルばねの場合にはテンプの質量を減少させることができる）、この平面外では実質的に非可撓性である 時計のコイルばねにとって特に重要である）。

最後に、上記の構成は、一般に「ウェハ」という用語で表されるシリコンウェハなどの基板上にナノチューブを成長させることによって、製造プロセスを簡略化することを可能にする。

本発明による時計ムーブメント用部品の様々な実施形態では、以下の構成の１つまたは複数をさらに使用することができる：
‐ナノチューブは炭素からなる。
‐ナノチューブは多層である。
‐ナノチューブは、７から３０ｎｍの間（または任意選択的に２から１０ｎｍの間、好ましくは３から７ｎｍの間、特に約５ｎｍ）に含まれる直径を有する。
‐ナノチューブは、２００から４００ミクロンの間（または任意選択的に１００から２００ミクロンの間、特に約１５０ミクロン）に含まれる長さを有する。
‐マトリックスは炭素からなる。
‐前記時計ムーブメント用部品は、軸を中心に振動するように構成されたコイルばねである。
‐前記時計ムーブメント用部品は、時計ムーブメント用振動子である。
‐前記時計ムーブメント用部品はぜんまいである。

本発明はまた、上で定義されたようなコイルばね（または上で定義されたような時計ムーブメント用の他の部分）を有する時計ムーブメント、およびそのような時計ムーブメントを備える時計に関する。

本発明はまた、上で定義されたような時計ムーブメント用部品を製造する方法であって、
ａ）ナノチューブのフォレスを成長させる、ナノチューブのフォレストの成長ステップと、
ｂ）マトリックスの構成材料がナノチューブのフォレストに浸透する、浸透ステップと、
を含む方法に関する。

本発明による製造方法の様々な実施形態では、以下の構成の１つまたは複数をさらに使用することができる：
‐ナノチューブのフォレストの成長ステップａ）の間に、ナノチューブのフォレストは、基板（おそらく基板と追加の層との間に１つまたは複数の中間層を備える）上に成長され、浸透ステップｂ）の後に、複合材料を基板から分離する、分離ステップｃ）が続く。
‐ナノチューブのフォレストの成長ステップａ）の間に、ナノチューブのフォレストは、基板に対して実質的に垂直に成長する。
‐ステップａ）の前に、追加のナノチューブの多孔質層を最初に基材（おそらく基板と追加の層との間の１つまたは複数の中間層を備える）上に噴霧し、次いでステップａ）の間にナノチューブのフォレストを追加のナノチューブの多孔質層の下に成長させ、ステップｂ）の間にマトリックスの構成材料を追加のナノチューブの多孔質層を通して浸透させる。
‐少なくとも１つの中間層が基板とナノチューブのフォレストとの間に配置される。

本発明の他の特徴および利点は、添付の図面に関して、非限定的な例として与えられたその実施形態のいくつかの以下の説明から明らかになるであろう。

本発明の第１の実施形態によるコイルばねを備えることができる時計の概略図である。 図１の時計ムーブメントのブロック図である。 図１の時計に使用可能なコイルばねの写真である。 図３のコイルバネの一部の斜視図である。 ナノチューブのフォレストの形態のコイルばねの材料の構成を非常に概略的に示す。ナノチューブは、明確にするために意図的に拡大されており、したがって一定の縮尺で表されていない。 本発明の第２の実施形態による、図１のような時計に使用可能なぜんまいの概略図である。 は、本発明の第３の実施形態による、図１のような時計にも使用可能な機械振動子を表す。 基板とナノチューブ層との間の中間層の概略図を示す。 中間層を有する基板上にナノチューブのフォレスタが成長した状態の概略図を示す。

様々な図において、同一の参照符号は同一または類似の要素を示す。
図１は、
‐ケース２と、
‐ケース２内に含まれる時計ムーブメント３と、
‐一般に、ネジ巻き機構４と、
‐文字盤５と、
‐文字盤５を覆う透明カバー６と、
‐透明カバー６と文字盤５との間に配置され、時計ムーブメント３によって作動される、例えば、それぞれ時と分のための２つの針７ａ、７ｂを含む時間インジケータ７と、
を備える、腕時計のような時計１を表す。

図２に概略的に表されるように、時計ムーブメント３は、例えば、
‐機械的エネルギーを貯蔵する装置８、典型的にはぜんまいと、
‐機械的エネルギーを貯蔵する装置８によって駆動される機械式動力伝達装置９と、
‐上述の時間インジケータ７と、
‐エネルギー分配ホイール１０（例えば、スイスアンカーエスケープメント又は同様のもののガンギ車）と、
‐エネルギー分配ホイール１０を逐次的に保持および解放するのに適したロック機構１１（例えばスイスアンカーまたは同様の物）と、
‐エネルギー分配ホイール１０が一定の時間間隔で動かされるようにロック機構１１を規則的に動かすようにロック機構１１を制御する振動機構であるレギュレータ１２と、
を備えることができる。

レギュレータ１２は、振動錘、例えばテンプ（図示せず）と、図３および図４に示すもののようなコイルばね１２ａとを備える。

コイルバネ１２ａは、
‐テンプの中心に固定され、テンプと共に中心軸Ｘの周りを回転することが意図された中央リング１３と、
‐リング１３から「外端カーブ」と呼ばれる外端部分１５まで、中心軸Ｘの周りに数回巻かれたいくつかの巻線１４と、
を備え得る。

外端部分１５は、通常、スタッド（図示せず）によってブリッジ（図示せず）に取り付けられており、ブリッジにはテンプが枢着されている。

コイルばね１２ａの巻線１４および外端部分１５は、（中心軸Ｘに垂直な平面内で）厚さｅおよび（中心軸Ｘに平行な）高さｈを有することができる。厚さｅは、例えば数十ミクロン、例えば約１０から１００ミクロンであり得る。

コイルばね１２ａは、マトリックス１６ａ内に束ねられたナノチューブ１６（図５）を含む複合材料でできている。
ナノチューブ１６はナノチューブのフォレストを形成しており、このことはナノチューブ１６が並置され、全て実質的に互いに平行に配置されることを意味する。

有利には、ナノチューブ１６は全て中心軸Ｘと実質的に平行に配置され、それ故に中心軸Ｘと概して平行である。それらは、概して互いに均等に離間して、複合材料の全質量にわたって存在し、コイルばね１２ａの製造中にナノチューブ成長プロセスによって制御される（軸Ｘに垂直な平面内で）表面密度を有する。

ナノチューブ１６は、有利には炭素からなり得る。
ナノチューブ１６は、有利には本質的に多層であり得る。任意選択で、ナノチューブ１６は有利には主に単層であり得る。

ナノチューブは、７から３０ｎｍの間に含まれる直径ｄを有し得る。任意選択的に、ナノチューブは、２から１０ｎｍ、好ましくは３から７ｎｍ、特に約５ｎｍの直径を有し得る。

ナノチューブは、２００から４００ミクロンの間に含まれる長さを有し得る。任意選択的に、ナノチューブは、１００から２００ミクロンの間、特に約１５０ミクロンの長さを有し得る。この長さは、コイルばねの巻線１４の上述の厚さｈに有利に対応し得る。

マトリックス１６ａもまた有利には炭素からなり得る。マトリックス１６ａは図５に非常に概略的に表されている。それは、ナノチューブ１６間のギャップ１７内およびナノチューブ１６の内部空間１８内に存在するナノチューブ１６を有利に包含することができる。このマトリックスは、ナノチューブ間の凝集を提供し、それによってナノチューブのフォレストの機械的特性を変更することを可能にする。

コイルばね１２ａは、例えば、
ａ）ナノチューブ１６のフォレストを、一般に、シリコンまたは他のウェハなどの基板（図示せず）上に成長させる、ナノチューブのフォレストの成長ステップと、
ｂ）マトリックス１６ａの構成材料をナノチューブ１６のフォレストに浸透させる、浸透ステップと、
ｃ）複合材料を基板から分離する、分離ステップと、
を含む方法によって製造することができる。

ステップａ）の間、中心軸Ｘに対して垂直に配置されている基板に対して実質的に垂直にナノチューブ１６のフォレストを成長させることが有利である。

ナノチューブのフォレストの成長がコイルバばね１２ａの正確な経路に沿って所望の正確な位置で起こるように、基板は例えばフォトリソグラフィによって既知の方法で前処理される。ナノチューブの成長およびカーボンマトリックスによる浸透のための制御された方法の例は、例えば、著者Ｒｉｃｈａｒｄ Ｓｃｏｔｔ Ｈａｎｓｅｎによる文献「Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｄ ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ ｏｆ ｃａｒｂｏｎ−ｎａｎｏｔｕｂｅ−ｔｅｍｐｌａｔｅｄ ｍｅｔａｌｌｉｃ ｍｉｃｒｏ−ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ」（２０１２年６月）、または、ブリガムヤング大学のＣｏｌｌｉｎ Ｂｒｏｗｎの「Ｉｎｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ ＣＮＴ ｆｏｒｅｓｔｓ ｂｙ Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｆｏｒ ＭＥＭＳ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ」と題するシニア論文（２０１４年４月２２日）に記載されている。

それ自体、特に上記の文献から知られている炭素マトリックスの浸透は、一般に蒸着によって行われる。浸透時間を決定することによって、ナノチューブ間の浸透されるマトリックスの量に影響を与えることができ、それはばねの機械的性質を変えることを非常に容易にする。

図８および図９に示すように、基板１９（シリコンまたは他のもの）はシリカ層２０で覆われ、シリカ層は触媒層２１（特に鉄）で覆われ、その上にナノチューブ１６のフォレストが成長することができる。シリカ層２０および触媒層２１はナノチューブ１６のフォレストと一体のままであり、したがって上記ステップｃ）においてナノチューブの層と共に基板１６から分離される。

上記のステップａ）の前に、任意選択的に追加のナノチューブを溶媒中に分散させ、特に超音波によって触媒層２１上に噴霧して、追加のナノチューブ層２２を画定することができる。この追加のナノチューブ層２２は、前記追加のナノチューブ層２２を通してナノチューブのフォレスト１６の炭素（または他の構成材料）を堆積させ、前記追加のナノチューブ層の下に成長させるのに十分に多孔性である（図９）。このようにして、ナノチューブのフォレストのナノチューブ１６の成長が均一化され、したがってそれらはすべて実質的に同じ長さを有する。浸透ステップｂ）も、その多孔性のために、追加のナノチューブ層２２を通して行われる。

ステップｃ）の間、複合材料は、特にフッ化水素ＨＦを使用して、湿式エッチングによって、または好ましくは気相エッチングによって基板１９から分離することができる。

得られるコイルばね１２ａは多くの利点を有する：
‐ナノチューブの成長およびナノチューブのフォレストへのマトリックスの浸透のプロセスによって得られる、ナノチューブの配向および完全に制御され再現可能な均質性を有するコイルばねをナノメートル精度で作製することができ、その結果、コイルばねの卓越した計時精度がもたらされる。
‐例えば、マトリックスの材料および／またはナノチューブのフォレストに浸透するマトリックスの量を調節することによって、コイルの幾何学形状（特にその厚さ）を調節することによって、コイルばねの所望の機械的性質を容易に得ることができる。
‐コイルばね１２ａは、中心軸に垂直な平面内で特に可撓性であり（これにより、テンプの質量を減少させることができる）、この平面外では実質的に可撓性がない（衝撃やユーザの動きによる面外の加速の影響を制限するために、時計コイルばねにとって特に重要である）。
‐複合材料は、温度変化に対する感度が非常に低く（低熱膨張係数、低弾性率変動）、低密度を有し、非磁性であり、耐食性である。

上述の材料は、少なくとも１つの可撓性部分を含む時計ムーブメント用の他の部分にも使用することができ、前記可撓性部分はナノチューブの軸Ｘに垂直な平面内で曲がるように構成される。

例えば、本発明の第２の実施形態では、上述のエネルギー貯蔵装置として使用することができる図６のもののようなぜんまい８に上述の材料を使用することができる。上述のようにエネルギー貯蔵装置として使用可能である。そのようなばねは、例えば、バレル８ｂ内で、軸Ｘに沿って中央シャフト８ａの周りに巻き付けられてもよい。

別の例によれば、本発明の第３の実施形態では、上述の材料を使用して、前述のコイルばね以外の機械振動子を形成することができる。特に、上述の材料は、上述のレギュレータ１２のかわりに、時計に使用することができる図７のもののようなレギュレータ１２’を形成するために使用することができる。レギュレータ１２’は、例えばプレート１１０内の単一部品として形成されていてもよく、その内側には、ロータ１１１と、ロータ１１１を残りのプレート１１０に連結する弾性サスペンション１１２とが形成されている。弾性サスペンションは、プレート１１０に形成された非常に細くて細いアームによって形成され得る。ロータ１１１は、両方向矢印Ｒに従って、軸Ｘを中心にして回転振動する。このようなレギュレータ１２’の例は、文献ＥＰ３０２１１７４Ａに詳細に記載されている。

１ 時計
２ ケース
３ 時計ムーブメント
４ ネジ巻き機構
５ 文字盤
６ 透明カバー
７ 時間インジケータ
７ａ、７ｂ 針
８ ぜんまい
８ａ シャフト
８ｂ バレル
１２ａ コイルばね
１３ リング
１４ 巻線
１５ 外端部分
１６ ナノチューブ
１６ａ マトリックス
１７ ギャップ
１８ 内部空間
１９ 基板
２０ シリカ層
２１ 触媒層
２２ 追加のナノチューブ層
１１０ プレート
１１１ ロータ
１１２ 弾性サスペンション

Claims (16)

1. 少なくとも１つの可撓性部分を含み、前記可撓性部分が、軸（Ｘ）に垂直な平面内で曲がるように構成され、かつ、マトリックス（１６ａ）内に拘束されたナノチューブ（１６）を含む複合材料で作られている、時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）であって、
   前記ナノチューブ（１６）がナノチューブのフォレストを形成しており、前記ナノチューブ（１６）が並置され、前記軸（Ｘ）に概して平行に配置されていることを特徴とする、時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
2. 前記ナノチューブ（１６）が炭素からなる、請求項１に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
3. 前記ナノチューブ（１６）が多層である、請求項１または２に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
4. 前記ナノチューブが、７から３０ｎｍの間に含まれる直径（ｄ）を有する、請求項１から３のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
5. 前記ナノチューブ（１６）が２００から４００ミクロンの間に含まれる長さ（ｈ）を有する、請求項１から４のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
6. 前記マトリックス（１６ａ）が炭素からなる、請求項１から５のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）。
7. 前記時計ムーブメント用部品が、前記軸（Ｘ）を中心に振動するように構成されたコイルばね（１２ａ）である、請求項１から６のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品。
8. 前記時計ムーブメント用部品が時計ムーブメント用振動子（１２’）である、請求項１から６のいずれかに記載の時計ムーブメント用部品。
9. 前記時計ムーブメント用部品がぜんまい（８）である、請求項１から６のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品。
10. 請求項７に記載のコイルばね（１２ａ）を有する時計ムーブメント。
11. 請求項１０に記載の時計ムーブメント（３）を備える時計。
12. 請求項１から９のいずれか一項に記載の時計ムーブメント用部品（１２ａ、８、１２’）を製造する方法であって、
    ａ）ナノチューブのフォレストを成長させる、ナノチューブ（１６）のフォレストの成長ステップ（１６）と、
    ｂ）マトリックスの構成材料が前記ナノチューブ（１６）のフォレストに浸透する、浸透ステップと、
    を含む、方法。
13. 前記ナノチューブ（１６）のフォレストの成長ステップａ）の間に、前記ナノチューブのフォレストが基板（１９）上に成長され、前記浸透ステップｂ）の後に、複合材料を前記基板（１９）から分離する、分離ステップｃ）が続く、請求項１２に記載の方法。
14. 前記ナノチューブ（１６）のフォレストの成長ステップａ）の間に、前記ナノチューブ（１６）のフォレストが前記基板（１９）に対して実質的に垂直に成長する、請求項１３に記載の方法。
15. ステップａ）の前に、追加のナノチューブの多孔質層（２２）を最初に前記基板（１９）上に噴霧し、次いでステップａ）の間に前記ナノチューブ（１６）のフォレストを前記追加のナノチューブの多孔質層（２２）の下に成長させ、ステップｂ）の間に前記マトリックスの構成材料を前記追加のナノチューブの多孔質層（２２）を通して浸透させる、請求項１３または１４に記載の方法。
16. 少なくとも１つの中間層（２０、２１）が、前記基板（１９）と前記ナノチューブ（１６）のフォレストとの間に配置されている、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の方法。

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