JP6893100B2 - 傾斜情報計測装置および気圧変動センサの調整方法 - Google Patents
傾斜情報計測装置および気圧変動センサの調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6893100B2 JP6893100B2 JP2017050734A JP2017050734A JP6893100B2 JP 6893100 B2 JP6893100 B2 JP 6893100B2 JP 2017050734 A JP2017050734 A JP 2017050734A JP 2017050734 A JP2017050734 A JP 2017050734A JP 6893100 B2 JP6893100 B2 JP 6893100B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure fluctuation
- information
- atmospheric pressure
- fluctuation
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 56
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 90
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 67
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 44
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 38
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 33
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 26
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 38
- 241001125929 Trisopterus luscus Species 0.000 description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 12
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 8
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 3
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000010721 machine oil Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
前記少なくとも二つの気圧変動センサによって検出された前記気圧の変動を示す気圧変動情報に基づいて、計測対象物の傾斜角の変動に関する情報を示す傾斜変動情報を生成する傾斜変動情報生成部と、
前記計測対象物が静止している状態における前記計測対象物の傾斜情報を、静止傾斜情報として検出する静止傾斜センサと、
前記静止傾斜センサによって検出された前記静止傾斜情報と、前記傾斜変動情報生成部によって生成された前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出する傾斜情報検出部と、を備え、
前記少なくとも二つの気圧変動センサのうちの少なくとも一方に、前記気圧の変動に対する出力信号を調整する出力特性調整部を備えることを特徴とする。
前記気圧変動センサは、
圧力伝達媒体が流入するキャビティを有するセンサ本体と、
前記圧力伝達媒体を前記キャビティの内外に流通させる連通孔と、
前記キャビティ内外の差圧に応じた前記気圧変動情報を検出する気圧変動検出部と、を備え、
前記出力特性調整部は、
前記連通孔の一部を形成するギャップ形成部と、
前記ギャップ形成部の変位量を制御し、前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性を近似させるギャップ制御部と、を備えると好適である。
前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に変位する可動電極部を有する静電型アクチュエータを備えると好適である。
前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に変位する圧電アクチュエータを備えると好適である。
前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に弾性変形して変位するメンブレン機構の変位量を制御する電磁アクチュエータを備えると好適である。
前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部が前記気圧の変動に応じて変形する方向に変位する可動電極部を有するアクチュエータを備えると好適である。
前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向と、前記気圧変動検出部が前記気圧の変動に応じて変形する方向との二方向に変位する可動電極部を有するアクチュエータを備えると好適である。
前記計測対象物が静止しているか否かを判定する静止判定部を備え、
前記傾斜情報検出部は、前記静止判定部により前記計測対象物が静止していると判定された場合に、前記静止傾斜センサによって検出された前記静止傾斜情報と、前記傾斜変動情報生成部によって生成された前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出すると好適である。
前記計測対象物の傾斜情報の初期値を記憶する記憶部を備え、
前記傾斜情報検出部は、
前記静止判定部によって前記計測対象物が静止していると判定された場合に、前記静止傾斜情報を前記初期値として前記記憶部に記憶させ、
前記記憶部が記憶する前記初期値と、前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出するとともに、検出した当該計測対象物の傾斜情報を前記初期値として前記記憶部に記憶させると好適である。
前記気圧変動センサは、
前記キャビティを有するセンサ本体と、
前記連通孔を除く前記キャビティの開口面を塞ぐように基端部から先端部に向けて一方向に延びる板状であり、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、
前記カンチレバーの撓み変形に応じた前記気圧変動情報を検出する気圧変動検出部と
を備えると好適である。
気圧の変動を検出し、検出方向に沿って所定の距離を離して配置される、少なくとも二つの気圧変動センサと、前記少なくとも二つの気圧変動センサによって検出された前記気圧の変動を示す気圧変動情報に基づいて、計測対象物の傾斜情報を計測する傾斜情報計測部と、を備える傾斜情報計測装置に用いる気圧変動センサの調整方法であって、
空気が流入するキャビティと、前記空気を前記キャビティの内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部と外部との圧力差に基づいて検出する外部の気圧変動に対する、前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性を計測する出力特性計測ステップと、
前記少なくとも二つのうちの少なくとも一方が備える、前記連通孔の形状を変化するギャップ形成部を有する出力特性調整機構によって、前記出力特性計測ステップによって計測された前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性が一致するように調整する調整ステップと、
を含むことを特徴とする。
前記出力特性計測ステップにおいて、前記出力特性として、前記キャビティ外部の気圧変動に対する前記気圧変動センサの出力信号の位相差を計測し、
前記調整ステップにおいて、前記少なくとも二つの気圧変動センサの前記位相差が所定の範囲内になるように、前記出力特性調整機構によって調整すると好適である。
前記調整ステップにおいて、前記少なくとも二つの気圧変動センサの前記出力信号の振幅値が所定の範囲内になるように、前記出力特性調整機構によって調整すると好適である。
図1から図3を参照して、第1実施形態に係る傾斜情報計測装置1の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る傾斜情報計測装置1の一例を示す外観図である。また、図2は、本実施形態に係る傾斜情報計測装置1の一例を示すブロック図である。また、図3は、本実施形態における傾斜変動センサ40の一例を示すブロック図である。
(変形例1)
本変形例では、カンチレバーの厚さ方向の変形に対して、可動電極を厚さ方向の位置を調整する構成および方法について、説明する。
(変形例2)
本変形例では、カンチレバーの厚さ方向の変形とギャップ幅のばらつき両方に対応して、可動電極を2方向での位置を調整する方法について、説明する。なお、構造は、前述の第1実施形態の気圧変動センサ52と同様の構造である。
次に、第2実施形態に係る傾斜情報計測装置1について説明する。
本変形例では、別途設定した目標値に対して、気圧変動センサ52の出力特性を調整する方法について説明する。
次に、第3実施形態に係る傾斜情報計測装置1に用いる気圧変動センサ52について説明する。
次に、第4実施形態に係る傾斜情報計測装置1に用いる気圧変動センサ52について説明する。なお、本実施形態による気圧変動センサ52は、カンチレバーを用いず、キャビティとキャビティ外部との差圧を計測する構成である。
次に、第5実施形態に係る傾斜情報計測装置1に用いる気圧変動センサ52について説明する。
2 SOI基板
2a シリコン支持層
2b 酸化層
2c シリコン活性層
3 キャビティ筐体
3a 第一筐体部
3b 第二筐体部
4 カンチレバー
4a 基端部
4b 先端部
5 気圧変動検出部
6 ギャップ形成部
7 ギャップ制御部
10 キャビティ
11 開口部壁面
12 蓋部
13 ギャップ
15 貫通孔
16 溝部
20 ピエゾ抵抗
21 配線部
22 検出回路
22a 増幅回路
31 電源部
32 静止傾斜センサ
33 静止判定部
34 記憶部
35 制御部
40 傾斜変動センサ
41 通信部
42 傾斜変動情報生成部
51、52 気圧変動センサ
61 第一固定電極部
62 第二固定電極部
63 第三電極部
64 可動電極部
64a 第一電極部
64b 第二電極部
64c 先端部
65 板ばね部
66 固定部
67 圧電薄膜
68 積層型圧電素子
71 所定値記憶部
72 比較回路
73 処理回路
74 駆動回路
75a、75b、75c 第一〜第三電圧可変直流電源
221 ブリッジ回路
222 差動増幅回路
404 流量センサ
413 連通孔
414 ヒーター
424a、424b 温度センサ
Claims (13)
- 気圧の変動を検出し、検出方向に沿って所定の距離を離して配置される、少なくとも二つの気圧変動センサと、
前記少なくとも二つの気圧変動センサによって検出された前記気圧の変動を示す気圧変動情報に基づいて、計測対象物の傾斜角の変動に関する情報を示す傾斜変動情報を生成する傾斜変動情報生成部と、
前記計測対象物が静止している状態における前記計測対象物の傾斜情報を、静止傾斜情報として検出する静止傾斜センサと、
前記静止傾斜センサによって検出された前記静止傾斜情報と、前記傾斜変動情報生成部によって生成された前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出する傾斜情報検出部と、を備え、
前記少なくとも二つの気圧変動センサのうちの少なくとも一方に、前記気圧の変動に対する出力信号を調整する出力特性調整部を備えることを特徴とする傾斜情報計測装置。 - 前記気圧変動センサは、
圧力伝達媒体が流入するキャビティを有するセンサ本体と、
前記圧力伝達媒体を前記キャビティの内外に流通させる連通孔と、
前記キャビティ内外の差圧に応じた前記気圧変動情報を検出する気圧変動検出部と、を備え、
前記出力特性調整部は、
前記連通孔の一部を形成するギャップ形成部と、
前記ギャップ形成部の変位量を制御し、前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性を近似させるギャップ制御部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の傾斜情報計測装置。 - 前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に変位する可動電極部を有する静電型アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項2に記載の傾斜情報計測装置。
- 前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に変位する圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項2に記載の傾斜情報計測装置。
- 前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向に弾性変形して変位するメンブレン機構の変位量を制御する電磁アクチュエータを備えたことを特徴とする請求項2に記載の傾斜情報計測装置。
- 前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部が前記気圧の変動に応じて変形する方向に変位する可動電極部を有するアクチュエータを備えたことを特徴とする請求項2に記載の傾斜情報計測装置。
- 前記ギャップ形成部は、前記気圧変動検出部に対向して近接/離間する方向と、前記気圧変動検出部が前記気圧の変動に応じて変形する方向との二方向に変位する可動電極部を有するアクチュエータを備えたことを特徴とする請求項2に記載の傾斜情報計測装置。
- 前記計測対象物が静止しているか否かを判定する静止判定部を備え、
前記傾斜情報検出部は、前記静止判定部により前記計測対象物が静止していると判定された場合に、前記静止傾斜センサによって検出された前記静止傾斜情報と、前記傾斜変動情報生成部によって生成された前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出することを特徴とする請求項1に記載の傾斜情報計測装置。 - 前記計測対象物の傾斜情報の初期値を記憶する記憶部を備え、
前記傾斜情報検出部は、
前記静止判定部によって前記計測対象物が静止していると判定された場合に、前記静止傾斜情報を前記初期値として前記記憶部に記憶させ、
前記記憶部が記憶する前記初期値と、前記傾斜変動情報とに基づいて、前記計測対象物の傾斜情報を検出するとともに、検出した当該計測対象物の傾斜情報を前記初期値として前記記憶部に記憶させることを特徴とする請求項8に記載の傾斜情報計測装置。 - 前記気圧変動センサは、
前記キャビティを有するセンサ本体と、
前記連通孔を除く前記キャビティの開口面を塞ぐように基端部から先端部に向けて一方向に延びる板状であり、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、
前記カンチレバーの撓み変形に応じた前記気圧変動情報を検出する気圧変動検出部と
を備えることを特徴とする請求項2から請求項7のいずれか一項に記載の傾斜情報計測装置。 - 気圧の変動を検出し、検出方向に沿って所定の距離を離して配置される、少なくとも二つの気圧変動センサと、前記少なくとも二つの気圧変動センサによって検出された前記気圧の変動を示す気圧変動情報に基づいて、計測対象物の傾斜情報を計測する傾斜情報計測部と、を備える傾斜情報計測装置に用いる気圧変動センサの調整方法であって、
空気が流入するキャビティと、前記空気を前記キャビティの内外に流通させる連通孔と、を有し、前記キャビティの内部と外部との圧力差に基づいて検出する外部の気圧変動に対する、前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性を計測する出力特性計測ステップと、
前記少なくとも二つのうちの少なくとも一方が備える、前記連通孔の形状を変化するギャップ形成部を有する出力特性調整機構によって、前記出力特性計測ステップによって計測された前記少なくとも二つの気圧変動センサの出力特性が一致するように調整する調整ステップと、
を含むことを特徴とする気圧変動センサの調整方法。 - 前記出力特性計測ステップにおいて、前記出力特性として、前記キャビティ外部の気圧変動に対する前記気圧変動センサの出力信号の位相差を計測し、
前記調整ステップにおいて、前記少なくとも二つの気圧変動センサの前記位相差が所定の範囲内になるように、前記出力特性調整機構によって調整することを特徴とする請求項11に記載の気圧変動センサの調整方法。 - 前記調整ステップにおいて、前記少なくとも二つの気圧変動センサの前記出力信号の振幅値が所定の範囲内になるように、前記出力特性調整機構によって調整することを特徴とする請求項12に記載の気圧変動センサの調整方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016066074 | 2016-03-29 | ||
JP2016066074 | 2016-03-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017181501A JP2017181501A (ja) | 2017-10-05 |
JP6893100B2 true JP6893100B2 (ja) | 2021-06-23 |
Family
ID=60006002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017050734A Active JP6893100B2 (ja) | 2016-03-29 | 2017-03-16 | 傾斜情報計測装置および気圧変動センサの調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6893100B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019027367A1 (en) * | 2017-08-01 | 2019-02-07 | National University Of Singapore | BAROMETRIC INSTRUMENT AND METHOD |
JP6993164B2 (ja) * | 2017-10-16 | 2022-01-13 | セイコーインスツル株式会社 | 傾斜計測装置及び傾斜計測システム |
KR102058842B1 (ko) * | 2019-06-25 | 2019-12-24 | (주)영신디엔씨 | 산업용 추락 안전 시스템 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH071215B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1995-01-11 | 住友金属鉱山株式会社 | 空気圧変化検出器 |
JP2010261798A (ja) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Seiko Epson Corp | 姿勢検出装置、姿勢制御装置及び姿勢制御装置の制御方法 |
JP2013180672A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Stanley Electric Co Ltd | 車両用前照灯の光軸調整装置、車両用前照灯システム |
JP6184006B2 (ja) * | 2012-10-03 | 2017-08-23 | セイコーインスツル株式会社 | 圧力センサ |
JP6440431B2 (ja) * | 2014-03-26 | 2018-12-19 | セイコーインスツル株式会社 | 車載装置 |
-
2017
- 2017-03-16 JP JP2017050734A patent/JP6893100B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017181501A (ja) | 2017-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9551621B2 (en) | Pressure sensor having cantilever and displacement measurement unit | |
US10451510B2 (en) | Pressure change measurement device, altitude measurement device, and pressure change measurement method | |
US9784558B2 (en) | Sensing of mirror position using fringing fields | |
CN105277313B (zh) | 利用静电力对电容式压力传感器的自校准 | |
US9470503B2 (en) | Strain-based sensing of mirror position | |
US10393608B2 (en) | Pressure change measuring apparatus and pressure change measuring method | |
JP6893100B2 (ja) | 傾斜情報計測装置および気圧変動センサの調整方法 | |
Tian et al. | The novel structural design for pressure sensors | |
JP6731822B2 (ja) | 自転車用自動変速システム | |
JP6758202B2 (ja) | 傾斜計測装置、傾斜計測システム、及び傾斜計測方法 | |
JP6727863B2 (ja) | 傾斜計測装置、傾斜計測システム、及び気圧変動センサの調整方法 | |
JP2773460B2 (ja) | 半導体加速度センサ | |
JP6403007B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6993164B2 (ja) | 傾斜計測装置及び傾斜計測システム | |
CN102947216B (zh) | 微机电装置及其应用 | |
JP6829108B2 (ja) | 高度計、及び高度検出方法 | |
WO2008096936A1 (en) | Mems apparatus for measuring acceleration in three axes | |
US20230050553A1 (en) | Real-time gain calibration of a sensor | |
JP6782647B2 (ja) | 傾斜計測装置、傾斜計測システム、及び傾斜計測方法 | |
JP6815910B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6815900B2 (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170913 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201223 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210531 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6893100 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |