JP6892009B2 - 合金粉末、Fe基ナノ結晶合金粉末及び磁心 - Google Patents
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Description
(c)高周波用途に使用する場合、高周波の磁束が磁性合金粉末の表面近傍しか流れない現象(表皮効果)が、周波数が高くなればなるほど顕著となるため、磁性合金粉末の表面近傍が磁気飽和に至った場合、前記表面近傍は磁性材料としての機能を消失し、磁性合金粉末の磁気特性が劣化するおそれがある。
(d)Fe基ナノ結晶合金粉末で磁心を作製した場合、磁心の初透磁率μiが低く、磁場強度Hが大きい領域における透磁率が、初透磁率μiに比べて低下すると、良好な直流重畳特性が得られないおそれがある。
(1)ナノ結晶化される前の急冷凝固後の合金粉末がアモルファス相又はアモルファス相と微細結晶相((Fe-Si)bcc相)との混合相であることが要求される。また、Fe2Bの結晶の生成が抑制されていることが要求される。この微細結晶相とは、熱処理によっても粗大化(成長)しない微細結晶相を意味する。
(2)高周波用途であっても磁気飽和が抑制可能な高い飽和磁束密度Bsを備える合金組成であることが要求される。
(3)熱処理したFe基ナノ結晶合金粉末で作製した磁心において、高い初透磁率μi、及び優れた直流重畳特性を有することが要求される。
合金組織中に平均結晶粒径が10〜50 nmのナノ結晶組織を20体積%以上有する。
本実施形態の合金粉末は、以下の合金組成:Fe100-a-b-c-d-e-fCuaSibBcCrdSneCf(ここで、a、b、c、d、e及びfは、原子%で、0.80≦a≦1.80、2.00≦b≦10.00、11.00≦c≦17.00、0.10≦d≦2.00、0.01≦e≦1.50、及び0.10≦f≦0.40を満たす。)を満足する。また、本実施形態のFe基ナノ結晶合金粉末の合金組成も同一である。
D=0.9×λ/(半値幅)×cosθ)
[λ:X線源のX線波長。例えば、X線源CoKαではλ=0.1789 nm、X線源CuKα1ではλ=0.15406 nm]
により求めることができる。またナノ結晶相の体積分率は、合金組織を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察し、ナノ結晶相の面積を合計し、観察視野面積に対する比率から算出した値である。
(1)製造方法
本実施形態の合金粉末は、アトマイズ法等により、前記合金組成を有する合金溶湯を急冷凝固させて得ることができる。この製造方法について、以下詳細に説明する。
上記の方法により得られた本実施形態の合金粉末は、粒子の大きさが一定ではなく、広い粒径分布を有している。合金粉末は、用途によって好適な大きさが異なっているため、用途に応じて好適な粒径の粉末となるように分級を行うのが好ましい。分級により、粒径が小さい合金粉末として用いたり、粒径が中程度の合金粉末として用いたりすることができる。また、粒径が小さい合金粉末と粒径が中程度の合金粉末とが混合した合金粉末とすることもできる。以下に、粒径の大きさにより異なる合金粉末の特徴について説明する。
第一に、粒径が小さい合金粉末について説明する。粒径が小さい場合は、所望の冷却速度で急冷されやすく、急冷凝固後には安定して、アモルファス相、又はアモルファス相と微細結晶相との混合相が得られやすい。また、Fe2B結晶の生成が抑制される。この粒径が小さい合金粉末を熱処理してFe基ナノ結晶合金粉末としたときに、高周波用途であっても、磁気飽和を抑制できる高い飽和磁束密度Bsを備える。
第二に、粒径が中程度の合金粉末について説明する。粒径が中程度(例えば、粒径が20μm超、40μm以下)の場合は、粒径が小さい場合に比べれば、所望の冷却速度での急冷されやすさはやや劣るが、それでもなお急冷凝固後には安定して、アモルファス相、又はアモルファス相と微細結晶相との混合相が得られやすい。また、Fe2Bの結晶の生成が抑制された合金粉末である。この粒径が中程度の合金粉末を熱処理してFe基ナノ結晶合金粉末としたときに、高い透磁率μi、及び優れた直流重畳特性が得られる。
合金粉末を篩いで分級して、例えば、40μm超の粒径の粉末が粉末全体の10質量%以下であり、20μm超40μm以下の粒径の粉末が粉末全体の30質量%以上90質量%以下であり、20μm以下の粒径の粉末が粉末全体の5質量%以上60質量%以下とすることもできる。40μm超の粒径の合金粉末は、安定してアモルファス相、又はアモルファス相と微細結晶相との混合相が得られないため、40μm超の粒径の粉末は10質量%以下とするのが好ましい。40μm超の粒径の粉末は、5質量%以下であるのがより好ましく、0質量%であるのが最も好ましい。
(1)略矩形状組織
本実施形態のFe基ナノ結晶合金粉末において、比較的大きな粒径を有する合金粉末を熱処理して得られたFe基ナノ結晶合金粉末は、ナノ結晶組織が略矩形状組織となる場合がある。比較的大きな粒径を有する合金粉末とは、例えば、粒径が中程度の合金粉末であり、その中でも特に粒径が大きい合金粉末の方が略矩形状組織となる傾向が強い。特に、粒径が20μm超、さらには30μm超の合金粉末では、ナノ結晶組織が略矩形状組織となる傾向が顕著である。
ナノ結晶合金における略矩形状組織の出現のメカニズムについては明確になっていないが、略矩形状組織のFeSi結晶は従来の粒状組織のFeSi結晶と同様に、非晶質相からCuクラスターを起点にFeSi結晶を析出(結晶化)すると考えられる。これまでの検討で、従来の粒状組織のFeSi結晶は、専ら熱処理で非晶質相から形成されるが、略矩形状組織のFeSi結晶は溶湯が冷却されて合金化される冷却過程で形成され、この点で従来のナノ結晶の組織形成とは異なる。
本実施形態のFe基ナノ結晶合金粉末は、急冷凝固後の合金粉末を熱処理しナノ結晶化することによって得られる。ナノ結晶化の熱処理条件は以下の通りである。
1)ナノ結晶化に必要な熱処理を施す際には、0.1〜1000℃/秒程度の昇温速度が好ましい。
2)大量の合金粉末を一つのバッチで熱処理する際には、ナノ結晶化による発熱による温度上昇を考慮して、昇温速度を0.1〜1℃/秒程度に制御するのが好ましい。
3)少量の合金粉末を連続的に熱処理する際には、合金粉末の流量によって、1〜1000℃/秒の制御を施すのが好ましい。
保持温度は、合金を示差走査熱量計(DSC)によって測定(昇温速度20℃/分)し、第1(最初、低温側)の発熱ピーク(ナノ結晶析出による発熱ピーク)が現れる温度以上で、かつ第2(高温側)の発熱ピーク(粗大結晶析出による発熱ピーク)が現れる温度未満であるのが好ましい。この際、上記のように大量の合金粉末を一つのバッチで熱処理する際には、昇温速度及び発熱を考慮して第1の発熱ピークの±30℃程度の温度で熱処理することが有効である(例えば、350〜450℃。)。少量の合金粉末を連続的に熱処理する際は、ナノ結晶化による発熱による温度上昇の考慮が不要となり、第1発熱ピークと第2発熱ピークの間の温度で熱処理することが有効である。
大量の合金粉末を一つのバッチで熱処理する際には、合金粉末が、前記保持温度に到達すれば良いため、処理量によって適宜設定すれば良いが、熱処理設備の温度分布や構造によって、5分間〜60分間が好ましい。少量の合金粉末を連続的に熱処理する際は、上記のように、保持温度を高く設定するので、結晶化が進行しやすく、保持時間は短時間で良い。最高到達温度で保持される時間は、1〜300秒の間が好ましい。
室温又は100℃近傍までの降温速度は、合金粉末の磁気特性に影響が小さいため、特に制御する必要はないが、生産性を考慮して、例えば、200〜1000℃/時間で行えば良い。
熱処理雰囲気は、窒素ガス等、非酸化性雰囲気が好ましい。
(1)磁心用粉末
新規な略矩形状組織を備えるナノ結晶合金の粉末と、さらに従来の粒状組織を備えるナノ結晶合金の粉末及び/又は他の軟磁性材料の粉末との混合粉末にすることで、それぞれの異なる磁気的特徴を活用・補完し、磁心として用いた場合に、磁心損失の増加、透磁率の低下を抑えながら、重畳特性を改善する磁心用粉末が得られる。
前述の通り、必要により分級し、熱処理することで得られたFe基ナノ結晶合金粉末に、シリコーン樹脂等のバインダーと、有機溶剤を加えて、混錬し、有機溶剤を蒸発させて顆粒とする。前記顆粒を、トロイダル形状等、所望とする磁心形状となるプレス金型でプレス成型することで磁心の成型体を得られる。成型体を加熱し、バインダーを硬化させることで磁心が得られる。
得られた磁心に、絶縁被覆導線を所定のターン数巻回した後、導線の2端を、LCRメータ及び直流電流源に接続することで、各重畳電流におけるインダクタンスLを測定できる。磁心形状から、磁路長及び断面積を算出し、前記インダクタンスLから、透磁率μを求めることができる。直流重畳電流を流さない場合、初透磁率μi(磁場強度H=0)を測定できる。また、磁場強度H=10 kA/mの直流磁場が発生する重畳電流では、透磁率μ10kを測定できる。
表1に示す合金A〜E(実施例1〜5)、合金A’(参考例1)、及び合金F(比較例1)の合金組成になるように、純鉄、フェロボロン、フェロシリコン等の各元素源を配合し、誘導加熱炉で加熱し、融点以上として溶融した合金溶湯を、特開2014-136807号に記載の急冷凝固装置(ジェットアトマイズ装置)を用いて、急冷凝固させ、50%以上の領域において平均結晶粒径が10〜50 nmのナノ結晶組織を有する合金粉末を得た。フレームジェットの推定温度は1300〜1600℃、水の噴射量は4〜5リットル/分で行った。
装置:
株式会社リガク製RINT2500PC
測定条件:
X線源:CoKα(波長λ=0.1789 nm)
走査軸:2θ/θ
サンプリング幅:0.020°
スキャンスピ-ド:2.0°/分
発散スリット:1/2°
発散縦スリット:5 mm
散乱スリット:1/2°
受光スリット:0.3 mm
電圧:40 kV
電流:200 mA
実施例1、比較例1及び参考例1のFe基ナノ結晶合金粉末を、それぞれシリコーン樹脂(旭化成ワッカーシリコーン製H44)及びエタノールと、質量比で、合金粉100:シリコーン樹脂5:エタノール5.8で混錬後、エタノールを蒸発させて顆粒とし、圧力1 MPaでプレス成型し、外径13.5 mm×内径7 mm×高さ2 mmの磁心形状の成型体を得た。その後、加熱硬化させて測定用の磁心とした。
実施例1〜5及び比較例1の各Fe基ナノ結晶合金粉末の飽和磁束密度Bsは、理研電子株式会社製のVSMで、磁場Hを800 kA/mまで印加して得られたB-HループでのBの最大値をBsとした。結果を表3に示す。また実施例2〜5のFe基ナノ結晶合金粉末で、実施例1と同様にして、それぞれ磁心を作製し、周波数3 MHz(磁束密度B=0.02 T)で測定した磁心鉄損Pの測定結果を併せて表3に示す。
実施例1〜5及び比較例1において、目開き20μmの篩いで分級し、20μm以下粒径の粉末を用いていたが、ここでは、20μm超の粒径の粉末を、さらに目開き40μmの篩いで分級し、40μm超の粒径の粉末を除去することにより、20μm超40μm以下の粒径の合金粉末を得た。実施例1〜5の合金と同一の合金によるものをそれぞれ実施例21〜25とし、比較例1と同一の合金によるものを比較例21とした。
粉末粒径が20μm超40μm以下の合金粉末を熱処理して得られた実施例21〜25及び比較例21のナノ結晶合金粉末を、それぞれシリコーン樹脂(旭化成ワッカーシリコーン製H44)及びエタノールと、質量比で、合金粉100:シリコーン樹脂5:エタノール5.8で混錬後、エタノールを蒸発させて顆粒とし、圧力1 MPaでプレス成型し、外径13.5 mm×内径7 mm×高さ2 mmの磁心形状の成型体を得た。この成形体を加熱硬化させて測定用の磁心とした。また、実施例1及び参考例2のナノ結晶合金粉末についても同様に測定用磁心を作製した。
表5に示す合金C及びG〜L(実施例31〜37)の合金組成になるように、純鉄、フェロボロン、フェロシリコン等の各元素源を配合し、誘導加熱炉で加熱し、融点以上として溶融した合金溶湯を、特開2014-136807号に記載の急冷凝固装置(ジェットアトマイズ装置)を用いて急冷凝固させ、50%以上の領域において平均結晶粒径が10〜50 nmの合金粉末を得た。フレームジェットの推定温度は1300〜1600℃、水の噴射量は4〜5リットル/分で行った。得られた合金粉末を、目開き32μmの篩いで分級し、32μmを超える粒径の粉末を除去することにより、粒径32μm以下の合金粉末を得た。
実施例31〜37のFe基ナノ結晶合金粉末を、実施例21と同様にして、シリコーン樹脂及びエタノールと混錬し、エタノールを蒸発させて顆粒とし、プレス成型し、成型体を得た。この成型体を加熱硬化させて測定用の磁心とした。
これらの磁心の鉄損Pを測定した。表7に周波数:1 MHz、2 MHz、及び3 MHz(磁束密度B=0.02 T)での鉄損P(kW/m3)の結果を示す。通常、周波数が高くなると、渦電流損が増加するため鉄損Pは大きくなる。
実施例31〜37の各Fe基ナノ結晶合金粉末の飽和磁束密度Bsは、理研電子株式会社製のVSMで、磁場Hを800 kA/mまで印加して得られたB-HループでのBの最大値をBsとした。結果を表8に示す。
Fe、Cu、Si、B、Nb、Cr、Sn及びCがアトマイズ後、下記合金M及びNの合金組成となるように、純鉄、フェロボロン、フェロシリコン等の各元素源を配合し、アルミナの坩堝の中に入れて、高周波誘導加熱装置の真空チャンバー内で真空引きを行い、減圧状態で、不活性雰囲気(Ar)中にて高周波誘導加熱により溶解した。その後、溶湯を冷却して2種の母合金のインゴットを作製した。
[合金組成]
合金M:Febal.Cu1.2Si4.0B15.5Cr1.0Sn0.2C0.2
合金N:Febal.Cu1.0Si13.5B11.0Nb3.0Cr1.0
レーザー回折散乱式粒度分布測定装置(堀場製作所製LA-920)により測定した。レーザー回折法により計測される体積基準の粒度分布から、小径側からの累積%が10体積%、50体積%及び90体積%となる粒子径であるd10、d50及びd90を得た。図9に参考例4-1、4-2及び参考例41の粉末の粒度分布図を示す。
試料の粉末を容器内に入れてVSM(Vibrating Sample Magnetometer振動試料型磁力計、東英工業製VSM-5)による磁化測定を行い、ヒステリシスループから、磁気の強さがHm=800 kA/mの時の飽和磁化と、Hm=40 kA/mの条件での保磁力を求めた。
X線回折装置(株式会社リガク製Rigaku RINT-2000)を使用し、X線回折法による回折スペクトルから、2θ=45°付近のbcc構造のFeSi結晶の回折ピークのピーク強度P1と、2θ=56.5°付近のbcc構造のFe2B結晶の回折ピークのピーク強度P2を求め、ピーク強度比(P2/P1)を算出した。X線回折強度測定の条件は、X線源Cu-Kα、印加電圧40 kV、電流100 mA、発散スリット1°、散乱スリット1°、受光スリット0.3 mm、走査を連続とし、走査速度2°/min、走査ステップ0.02°、走査範囲20〜60°とした。図10に参考例4-1、4-2及び参考例41の粉末の回折スペクトル図を示す。
磁気測定した円環状の磁心に対して250℃で熱処理してバインダーを分解して粉末を得た。粉末の重量と円環状の磁心の寸法と質量から、体積重量法により密度(kg/m 3 )を算出し、ガス置換法から得られる各合金M及びNの粉末の真密度で除して磁心の占積率(相対密度)(%)を算出した。
円環状の磁心を被測定物とし、一次側巻田。線と二次側巻線とをそれぞれ18ターン巻回し、岩通計測株式会社製B-HアナライザSY-8218により、最大磁束密度30 mT、周波数2 MHzの条件で磁心損失(kW/m 3 )を室温(25℃)で測定した。
円環状の磁心を被測定物とし、導線を30ターン巻回してコイル部品とし、LCRメータ(アジレント・テクノロジー株式会社製4284A)により、室温にて周波数100 kHzで測定したインダクタンスから次式により求めた。交流磁界を0.4 A/mとした条件で得られた値を初透磁率μiとした。
初透磁率μi=(le×L)/(μ0×Ae×N2)
(le:磁路長、L:試料のインダクタンス(H)、μ0:真空の透磁率=4π×10-7(H/m)、Ae:磁心の断面積、及びN:コイルの巻数)
初透磁率測定に用いたコイル部品を使って、直流印加装置(42841A:ヒューレットパッカード社製)で10 kA/mの直流磁界を印加した状態にて、LCRメータ(アジレント・テクノロジー株式会社社製4284A)によりインダクタンスLを周波数100 kHzで室温(25℃)にて測定した。得られたインダクタンスから前記初透磁率μiと同様の計算式にて得られた結果を増分透磁率μΔとした。得られた増分透磁率μΔと初透磁率μiとから比μΔ/μi(%)を算出した。
Claims (7)
- 合金組成:Fe100-a-b-c-d-e-fCuaSibBcCrdSneCf(ここで、a、b、c、d、e及びfは、原子%で、0.80≦a≦1.80、2.00≦b≦10.00、11.00≦c≦17.00、0.10≦d≦2.00、0.01≦e≦1.50、及び0.10≦f≦0.40を満たす。)を有し、粒径40μm以下の合金粉末。
- 合金組成:Fe100-a-b-c-d-e-fCuaSibBcCrdSneCf(ここで、a、b、c、d、e及びfは、原子%で、0.80≦a≦1.80、2.00≦b≦10.00、11.00≦c≦17.00、0.10≦d≦2.00、0.01≦e≦1.50、及び0.10≦f≦0.40を満たす。)を有し、
合金組織中に平均結晶粒径が10〜50 nmのナノ結晶組織を20体積%以上有する、粒径40μm以下のFe基ナノ結晶合金粉末。 - 請求項2に記載のFe基ナノ結晶合金粉末において、飽和磁束密度Bsが1.50 T以上であるFe基ナノ結晶合金粉末。
- 請求項2又は3に記載のFe基ナノ結晶合金粉末において、前記合金組織中に、伸長方向長さが20 nm以上、短手方向幅が10 nm〜30 nmの略矩形状組織を有するFe基ナノ結晶合金粉末。
- 請求項4に記載のFe基ナノ結晶合金粉末において、前記略矩形状組織が、粒径が20μm超のFe基ナノ結晶合金粉末に観察されるFe基ナノ結晶合金粉末。
- 請求項2〜5のいずれかに記載のFe基ナノ結晶合金粉末を含む磁心。
- 請求項6に記載の磁心において、磁場強度H=10 kA/mでの透磁率μ10kを、初透磁率μiで除した数値:μ10k/μiが0.90以上である磁心。
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