JP6889533B2 - 紫外線発光装置及び紫外線照射装置 - Google Patents
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 104
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 64
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 64
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 62
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 46
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000027455 binding Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 3
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017750 AgSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N gold tin Chemical compound [Sn].[Au] JVPLOXQKFGYFMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000009149 molecular binding Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
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- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Description
n131・d131=n132・d132=λi/4
但し、n131は高屈折率層131の屈折率、
d131は高屈折率層131の厚さ、
n132は低屈折率層132の屈折率、
d132は低屈折率層132の厚さ
である。つまり、広い波長範囲の深紫外線を反射するためには、中心波長λiが少し異なる複数組13−1、13−2、…、13−Nが必要となる。この場合、高屈折率層131と低屈折率層132との屈折率差が大きい程、反射できる深紫外線の波長幅が大きくなるので、反射したい深紫外線の波長幅に応じて高屈折率層131、低屈折率層132の材料を選択する。
1−1、1−2、1−3、1−4:基板
1a:凹部
1−4a:段差
1−4b:凹部
2−1、2−2、2−3:放熱パッド
3−1、3−2:金属ビア
4−1:電極パッド
4−2、4−3、4−3':配線パッド
5:深紫外線LED素子
6:サブマウント
6a、6b:配線層
7a、7b:ワイヤ
8a、8b:ワイヤボンディングパッド
9:ツェナダイオード
10、10’:深紫外線透過窓部材
10a:面取り部
10’a:凸部
10’b:凹部
11:樹脂接着層
12、12’:金属層
13:深紫外線反射多層膜
100:紫外線発光装置
101:基板
101a:凹部
101b:上部
102:紫外線LED素子
103:紫外線透過窓部材
111:ケーシング
112:反射板
200:紫外線発光装置
201、202:金属層
203:AuSn共晶接合層
Claims (9)
- 凹部が形成され、該凹部を囲む上部を有する基板と、
前記基板の凹部内に設けられた紫外線発光素子と、
前記基板の凹部を覆うように前記基板の上部に設けられた紫外線透過窓部材と、
前記基板の上部と前記紫外線透過窓部材との間に設けられた樹脂接着層と、
前記樹脂接着層と前記紫外線透過窓部材との間に設けられた遮光層と
を具備し、
前記紫外線透過窓部材は前記基板の凹部に対応した凸部を有し、前記紫外線透過窓部材の凸部は前記基板の凹部内に嵌込められ、
前記遮光層は前記紫外線透過窓部材の凸部の側壁にも設けられると共に前記樹脂接着層の側辺は前記遮光層によって覆われ、
前記遮光層は前記紫外線透過窓部材内で反射した紫外線を反射及び吸収できると共に、前記遮光層は前記紫外線発光素子から前記樹脂接着層を直接照射する紫外線を抑制できるようにした紫外線発光装置。 - 凹部が形成され、該凹部を囲む上部を有する基板と、
前記基板の凹部内に設けられた紫外線発光素子と、
前記基板の凹部を覆うように前記基板の上部に設けられた紫外線透過窓部材と、
前記基板の上部と前記紫外線透過窓部材との間に設けられた樹脂接着層と、
前記樹脂接着層と前記紫外線透過窓部材との間に設けられた遮光層と
を具備し、
前記樹脂接着層は前記基板の上部の外周部の段差に設けられると共に、前記樹脂接着層上は前記遮光層によって覆われ、
前記遮光層は前記紫外線透過窓部材内で反射した紫外線を反射及び吸収できると共に、前記遮光層は前記紫外線発光素子から前記樹脂接着層を直接照射する紫外線を抑制できるようにした紫外線発光装置。 - 前記遮光層は金属層を具備する請求項1又は2に記載の紫外線発光装置。
- 前記遮光層は紫外線反射多層膜を具備する請求項1又は2に記載の紫外線発光装置。
- 前記紫外線透過窓部材の凸部に凹部が形成された請求項1に記載の紫外線発光装置。
- 前記紫外線透過窓部材の外周部の一端を面取り、該面取りした外周部にも前記遮光層を設けた請求項1〜5のいずれかに記載の紫外線発光装置。
- 前記紫外線発光素子は深紫外線発光素子であり、前記紫外線透過窓部材は深紫外線透過窓部材である請求項1又は2に記載の紫外線発光装置。
- 前記紫外線発光素子は深紫外線発光素子であり、前記紫外線透過窓部材は深紫外線透過窓部材であり、
前記遮光層は深紫外線反射多層膜を具備する請求項1又は2に記載の紫外線発光装置。 - 処理ガス又は処理水を流すためのケーシングと、
前記ケーシングの外面に設けられた請求項1〜8のいずれかに記載の紫外線発光装置の少なくとも1つと
を具備する紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/291,375 US9895459B2 (en) | 2015-10-21 | 2016-10-12 | Ultraviolet ray emitting package having resin adhesive layer and ultraviolet ray irradiating apparatus |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015206883 | 2015-10-21 | ||
JP2015206883 | 2015-10-21 | ||
JP2016025535 | 2016-02-15 | ||
JP2016025535 | 2016-02-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017147432A JP2017147432A (ja) | 2017-08-24 |
JP6889533B2 true JP6889533B2 (ja) | 2021-06-18 |
Family
ID=59680931
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016164366A Active JP6889533B2 (ja) | 2015-10-21 | 2016-08-25 | 紫外線発光装置及び紫外線照射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6889533B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7098738B2 (ja) | 2017-10-26 | 2022-07-11 | ラディアント(クワンチョウ)オプト‐エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 導光板、バックライトモジュール及び表示装置 |
EP3599414B1 (en) * | 2018-07-23 | 2024-09-04 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Synthetic quartz glass cavity member, synthetic quartz glass cavity lid, optical device package, and making methods |
JP6994688B2 (ja) * | 2018-09-18 | 2022-01-14 | 株式会社Uskテクノロジー | 流体殺菌装置 |
JP7269140B2 (ja) * | 2019-09-10 | 2023-05-08 | パナソニックホールディングス株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP7397687B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2023-12-13 | スタンレー電気株式会社 | 深紫外光を発する発光装置及びそれを用いた水殺菌装置 |
JP7445191B2 (ja) * | 2020-03-16 | 2024-03-07 | 東芝ライテック株式会社 | 流体殺菌装置、および流体殺菌システム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007317816A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 発光装置 |
JP5374697B2 (ja) * | 2009-07-09 | 2013-12-25 | ユーヴィックス株式会社 | 紫外線殺菌浄水装置とそれに使用する紫外線ledユニット |
KR101789825B1 (ko) * | 2011-04-20 | 2017-11-20 | 엘지이노텍 주식회사 | 자외선 발광 다이오드를 이용한 발광소자 패키지 |
KR101516358B1 (ko) * | 2012-03-06 | 2015-05-04 | 삼성전자주식회사 | 발광 장치 |
KR101973395B1 (ko) * | 2012-08-09 | 2019-04-29 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광 모듈 |
JPWO2014203974A1 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-02-23 | エルシード株式会社 | 発光装置 |
JP2015018872A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 日機装株式会社 | 窓部材、半導体モジュールおよび窓部材の製造方法 |
JP2017011200A (ja) * | 2015-06-25 | 2017-01-12 | 株式会社トクヤマ | 発光素子パッケージ |
US9653664B2 (en) * | 2015-06-29 | 2017-05-16 | Point Engineering Co., Ltd. | Chip substrate comprising a groove portion and chip package using the chip substrate |
-
2016
- 2016-08-25 JP JP2016164366A patent/JP6889533B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017147432A (ja) | 2017-08-24 |
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