JP6867133B2 - ナノリアクタおよび電子顕微鏡と協働するホルダ組立体 - Google Patents
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Description
前記電子顕微鏡は、作動の際、前記ナノリアクタに電子ビームを照射し、
当該ホルダ組立体は、前記ナノリアクタを保持する遠位末端を有し、前記ナノリアクタは、第1の電子透過窓を有する第1の平坦層と、第2の電子透過窓を有する第2の平坦層とを有し、
前記第1の平坦層および前記第2の平坦層は、密閉容積を取り囲み、前記第1の電子透過窓は、前記第2の電子透過窓と整列され、
前記第1の平坦層は、前記密閉容積に流体が導入される流体入口を有し、
当該ホルダ組立体の前記遠位末端は、作動の際に、前記電子顕微鏡の真空部に配置され、
前記ナノリアクタは、作動の際に、前記遠位末端に取り付けられ、前記遠位末端は、前記電子ビームが通る中央孔を有し、該中央孔は、作動の際に、前記ナノリアクタの前記第1の電子透過窓および前記第2の電子透過窓と整列され、
前記遠位末端は、作動の際に、前記流体入口と接続される、流体供給チャネルを有し、該流体供給チャネルは、流体を供給し、
前記流体入口と前記流体供給チャネルの間の接続部は、作動の際、流体供給シール素子によりシールされる、ホルダ組立体に関する。
前記予備真空容積は、前記凹部で終端する予備真空チャネルを介して真空にされ、
前記流体供給シール素子は、前記流体供給シール素子を介した前記流体のいかなるリークも、前記電子顕微鏡の真空部に導入されることなく、前記予備真空チャネルを介して排出されるように、真空にされた前記予備真空容積に晒される。
該ナノリアクタの第1の平坦層は、シール部材により、前記第2の平坦表面にシールされ、
前記シール部材は、前記流体出口シール素子を介した前記流体のいかなるリークも、前記電子顕微鏡の真空部に導入されずに排出されるように、前記予備真空に晒される。
流体が密閉容積に導入された際に、流体のみを相互作用させ得ることに留意する必要がある。
102 チップ
104 電子透過窓
106 チップ
108 電子透過窓
110 シール素子
112 密閉容積
114 流体入口
118 流体出口
120 ホルダ組立体
126 流体入口管
128 シール部材
132 予備真空管
134、136 シール部材
138 別の凹部
226 流体出口管
228 シール部材
Claims (7)
- ナノリアクタおよび電子顕微鏡と協働するホルダ組立体であって、
前記電子顕微鏡は、作動の際、前記ナノリアクタに電子ビームを照射し、
当該ホルダ組立体は、前記ナノリアクタを保持する遠位末端を有し、前記ナノリアクタは、第1の電子透過窓を有する第1の平坦層と、第2の電子透過窓を有する第2の平坦層とを有し、
前記第1の平坦層および前記第2の平坦層は、密閉容積を取り囲み、前記第1の電子透過窓は、前記第2の電子透過窓と整列され、
前記第1の平坦層は、前記密閉容積に流体が導入される流体入口を有し、
当該ホルダ組立体の前記遠位末端は、作動の際に、前記電子顕微鏡の真空部に配置され、
前記ナノリアクタは、作動の際に、前記遠位末端に取り付けられ、前記遠位末端は、前記電子ビームが通る中央孔を有し、該中央孔は、作動の際に、前記ナノリアクタの前記第1の電子透過窓および前記第2の電子透過窓と整列され、
前記遠位末端は、作動の際に、前記流体入口と接続される、流体供給チャネルを有し、該流体供給チャネルは、流体を供給し、
前記流体入口と前記流体供給チャネルの間の接続部は、作動の際、流体供給シール素子によりシールされ、
当該ホルダ組立体は、凹部を有し、当該ホルダ組立体に前記ナノリアクタが取り付けられると、前記遠位末端と前記第1の平坦層との間にシールされた予備真空容積が形成され、
前記予備真空容積は、前記凹部で終端する予備真空チャネルを介して真空にされ、
前記流体供給シール素子は、前記流体供給シール素子を介した前記流体のいかなるリークも、前記電子顕微鏡の真空部に導入されることなく、前記予備真空チャネルを介して排出されるように、真空にされた前記予備真空容積に晒される、ホルダ組立体。 - 当該ホルダ組立体は、前記密閉容積からの流体を排出する流体出口を有するナノリアクタと協働するように構成され、
前記遠位末端は、流体出口チャネルを有し、該流体出口チャネルは、流体出口シール素子により前記流体出口にシールされ、
前記流体出口シール素子は、前記流体出口シール素子を介した前記流体のいかなるリークも、前記電子顕微鏡の真空部に導入されることなく、前記予備真空チャネルを介して排出されるように、前記予備真空容積に晒される、請求項1に記載のホルダ組立体。 - 流体出口を有するナノリアクタと協働し、
前記流体出口は、前記密閉容積と前記予備真空容積の間で、所定のリーク速度を有するリークの形態である、請求項1に記載のホルダ組立体。 - 当該ホルダ組立体は、ナノリアクタと協働するように構成され、
該ナノリアクタの第1の平坦層は、別のシール部材により、前記第2の平坦層にシールされる、請求項1乃至3のいずれか一つに記載のホルダ組立体。 - 前記流体供給シール素子は、高分子弾性体(エラストマー)を有する、請求項1乃至4のいずれか一つに記載のホルダ組立体。
- さらに、前記ナノリアクタ上の接続パッドに接続される電気的接続部を有する、請求項1乃至5のいずれか一つに記載のホルダ組立体。
- 前記電気的接続部は、前記ナノリアクタに加熱電流を供給するために使用される、請求項6に記載のホルダ組立体。
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