JP6862859B2 - マスクブランク用のガラス基板、マスクブランクおよびフォトマスク - Google Patents
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Description
当該ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、ガラス基板が提供される。
前記ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、マスクブランクが提供される。
前記ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、フォトマスクが提供される。
図1には、本発明の一実施形態によるマスクブランク用のガラス基板(以下、「第1のガラス基板」と称する)の斜視図を示す。
この場合、前述のように得られる、特定縦線Taおよび特定横線Uaのそれぞれの断面における第1の表面110Aの稜線プロファイルSにおいて、非端部領域140A内に含まれる各点をカーブフィッティングして、フィッティング曲線Fを求める。
この場合も、前述のようにして得られる、特定縦線Taおよび特定横線Uaのそれぞれの断面における第1の表面110Aの稜線プロファイルSにおいて、非端部領域140A内に含まれる各点をカーブフィッティングすることにより、フィッティング曲線Fが求められる。
次に、本発明の一実施形態によるマスクブランク用の別のガラス基板について説明する。
(i)凸状プロファイルの場合、第1の直線ST1が第1の参照曲線R1の下側にあり、第2の直線ST2が第2の参照曲線R2の下側にある態様が、特定縦線Taおよび特定横線Uaの全ての断面のうち75%以上で成り立ち、または
(ii)凹状プロファイルの場合、第1の直線ST1が第1の参照曲線R1の上側にあり、第2の直線ST2が第2の参照曲線R2の上側にある態様が、特定縦線Taおよび特定横線Uaの全ての断面のうち75%以上で成り立つ、
という特徴を有する。
第1の直線ST1が第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ
第2の直線ST2が第2の参照曲線R2の下側にある
という態様が、特定縦線Taおよび特定横線Uaにおける全ての断面のうち75%以上で成り立つ必要がある。
第1の直線ST1が第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ
第2の直線ST2が第2の参照曲線R2の上側にある
という態様が、特定縦線Taおよび特定横線Uaにおける全ての断面のうち75%以上で成り立つ必要がある。
次に、図12を参照して、本発明の一実施形態によるマスクブランクについて説明する。
次に、図14を参照して、本発明の一実施形態による別のマスクブランクについて説明する。
以下の方法でガラス板の両表面を局所研磨し、マスクブランク用のガラス基板を製造した。
次に、ガラス基板Aにおいて、以下のように第1の表面の評価を実施した。
まず、第1の表面の有効領域内に、それぞれ218本の縦線Tおよび横線Uを引き、各直線T、Uに沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定した。なお、縦線Tおよび横線Uにおいて、直線の間隔は一定である。
次に、ガラス基板Aがマスクステージにチャックされた場合を想定し、その際に生じる第1の表面の平坦度を評価した。なお、ここでは、透過型のフォトマスクを想定し、ガラス基板Aの第1の表面の周辺部がマスクステージにチャックされるものと仮定した。
Zfit=a+bX+cY+dXY+eX2+fY2 (1)式
ここで、a,b,c,d,e,fは係数であり、XおよびYはこの基板表面の正方形の直交する二辺にそれぞれ平行で、かつ基板の中心を0とする二つの座標を表し、Zは基板プロファイルの高さを表す。
V(%)={1−(PVc)/(PVa)}×100 (2)式
ここで、PVaは、二次関数Zfitによる補正前の第1の表面の有効領域におけるPV値であり、PVcは、二次関数Zfitによる補正後の同領域におけるPV値である。
例1と同様の方法により、マスクブランク用のガラス基板を製造した。ただし、これらの例2〜例4では、局所研磨工程において、第1の表面の端部領域の各辺の研磨条件を、例1とは異なるパラメータで調整するようにした。具体的には、例2の基板においては、ツールの回転数を、各辺と中心部分とで変化させた。また、例3の基板においては、ステージ速度を、各辺と中心部分とで変化させた。さらに、例4の基板においては、ツールと基板のなす角度を、各辺で中心部分とで変化させた。なお、各辺の研磨条件は、別個独立に設定した。
例1と同様の方法により、マスクブランク用のガラス基板を製造した。ただし、この例5では、局所研磨工程において、第1の表面の有効領域の全体を同一の条件で研磨した。
例5と同様の方法により、マスクブランク用のガラス基板を製造した。ただし、これらの例6〜例8では、局所研磨工程において、第1の表面の研磨条件を、例5の場合とは変化させた。ただし、第1の表面の有効領域全体において、同一の研磨条件を採用した。
例1と同様の方法により、マスクブランク用のガラス基板を製造した。
次に、ガラス基板Iにおいて、第1の表面および第2の表面の双方に対して、前述の例1の場合と同様の評価を行った。
図38には、ガラス基板A〜Jにおいて得られた評価結果をまとめて示す。図38において、横軸は割合Qであり、縦軸は補正効果率Vである。
以上の評価では、透過型のフォトマスクを想定して、ガラス基板がマスクステージにチャックされた際に生じる表面の平坦度を評価した。
V2(%)={1−(PVd)/(PVa)}×100 (3)式
ここで、PVaは、前述のように、二次関数Zfitによる補正前の第1の表面の有効領域におけるPV値であり、PVdは、マスクステージにチャックされた際の第1の表面の有効領域におけるPV値である。
110A 第1の表面
110B 第2の表面
130A 中央領域
132A 周辺領域
132A−1 周辺領域の第1区画
132A−2 周辺領域の第2区画
132A−3 周辺領域の第3区画
132A−4 周辺領域の第4区画
135A 端部領域
135A−1 端部領域の第1区画
135A−2 端部領域の第2区画
135A−3 端部領域の第3区画
135A−4 端部領域の第4区画
140A 非端部領域
150A 有効領域
155A 非有効領域
200 第2のガラス基板
210A 第1の表面
210B 第2の表面
230A、230B 中央領域
300 第1のマスクブランク
300A 透過型のフォトマスク
302 第1のマスクブランクの第1の表面
304 第1のマスクブランクの第2の表面
308 ガラス基板
310A 第1の表面
310B 第2の表面
360 遮光膜
360A パターン化された遮光膜
400 第2のマスクブランク
400A 反射型のフォトマスク
402 第2のマスクブランクの第1の表面
404 第2のマスクブランクの第2の表面
408 ガラス基板
410A 第1の表面
410B 第2の表面
470 反射膜
480 吸収膜
480A パターン化された吸収膜
490 導電膜
F フィッティング曲線
R1 第1の参照曲線
S 稜線プロファイル
ST1 第1の直線
Ta 特定縦線
Ua 特定横線
φ1 外挿曲線の第1の部分
Claims (14)
- マスクブランク用のガラス基板であって、
当該ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、ガラス基板。 - マスクブランクであって、
請求項1に記載のガラス基板と、
該ガラス基板の前記第1の表面に設置された膜と、
を有する、マスクブランク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を遮蔽する遮光膜である、
請求項2に記載のマスクブランク。 - 前記第2の表面において、該第2の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第2の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第4の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第5の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第6の正方形を想定し、
前記第4の正方形の内側の領域(第4の正方形自身を含む)を第2中央領域と称し、前記第5の正方形と前記第4の正方形に囲まれた領域(第5の正方形自身を含むが、第4の正方形自身は含まない)を第2周辺領域と称し、前記第6の正方形と前記第5の正方形に囲まれた領域(第6の正方形自身を含むが、第5の正方形自身は含まない)を第2端部領域と称し、前記第5の正方形の内側の領域(第5の正方形自身を含む)を第2非端部領域と称し、前記第6の正方形の内側の領域(第6の正方形自身を含む)を第2有効領域と称し、
前記第1の表面の場合と同様の方法により、前記第2の表面のプロファイルを凸状プロファイルまたは凹状プロファイルであると定めたとき、
前記第2有効領域のピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
前記第2の表面が凸状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の下側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第2の表面が凹状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の上側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第1の表面が凸状プロファイルの場合、当該ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側とは反対の側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側に向かって突出しており、
前記第1の表面が凹状プロファイルの場合、当該ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側とは反対の側に向かって突出している、請求項1に記載のガラス基板。 - マスクブランクであって、
請求項4に記載のガラス基板と、
該ガラス基板の前記第1の表面に設置された膜と、
を有する、マスクブランク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を吸収する吸収膜と、前記光を反射する反射膜とを有する、請求項5に記載のマスクブランク。
- ガラス基板と、膜とを有するマスクブランクであって、
前記ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、マスクブランク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を遮蔽する遮光膜であり、前記第1の表面の側に設置される、請求項7に記載のマスクブランク。
- 前記第2の表面において、該第2の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第2の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第4の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第5の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第6の正方形を想定し、
前記第4の正方形の内側の領域(第4の正方形自身を含む)を第2中央領域と称し、前記第5の正方形と前記第4の正方形に囲まれた領域(第5の正方形自身を含むが、第4の正方形自身は含まない)を第2周辺領域と称し、前記第6の正方形と前記第5の正方形に囲まれた領域(第6の正方形自身を含むが、第5の正方形自身は含まない)を第2端部領域と称し、前記第5の正方形の内側の領域(第5の正方形自身を含む)を第2非端部領域と称し、前記第6の正方形の内側の領域(第6の正方形自身を含む)を第2有効領域と称し、
前記第1の表面の場合と同様の方法により、前記第2の表面のプロファイルを凸状プロファイルまたは凹状プロファイルであると定めたとき、
前記第2有効領域のピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
前記第2の表面が凸状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の下側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第2の表面が凹状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の上側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第1の表面が凸状プロファイルの場合、前記ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側とは反対の側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側に向かって突出しており、
前記第1の表面が凹状プロファイルの場合、前記ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側とは反対の側に向かって突出している、請求項7に記載のマスクブランク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を吸収する吸収膜と、前記光を反射する反射膜とを有する、請求項9に記載のマスクブランク。
- ガラス基板と、パターン化された膜とを有するフォトマスクであって、
前記ガラス基板は、相互に対向する第1の表面および第2の表面を有し、それぞれの表面は略正方形状であり、縦と横の長さ(P)が等しく、
前記第1の表面において、該第1の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第1の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第1の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第2の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第3の正方形を想定し、
前記第1の正方形の内側の領域(第1の正方形自身を含む)を中央領域と称し、前記第2の正方形と前記第1の正方形に囲まれた領域(第2の正方形自身を含むが、第1の正方形自身は含まない)を周辺領域と称し、前記第3の正方形と前記第2の正方形に囲まれた領域(第3の正方形自身を含むが、第2の正方形自身は含まない)を端部領域と称し、前記第2の正方形の内側の領域(第2の正方形自身を含む)を非端部領域と称し、前記第3の正方形の内側の領域(第3の正方形自身を含む)を有効領域と称し、
前記第1の表面の前記有効領域において、前記縦方向に沿って等しい間隔dで100本以上の縦線を引き、前記横方向に沿って前記等しい間隔dで100本以上の横線を引き、それぞれの直線に沿った断面の各位置点における相対的な高さを測定しプロファイルを把握し、
前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも高い場合、前記第1の表面のプロファイルを凸状プロファイルであると定める一方、前記中央領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値が、前記周辺領域に含まれる全ての縦線および横線における測定点の高さの平均値よりも低い場合、前記第1の表面のプロファイルを凹状プロファイルであると定め、
前記縦線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第1区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第1区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第2区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第2区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定縦線と称し、
前記横線のうち、前記端部領域(以下、「前記端部領域の第3区画」と称する)、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第3区画」と称する)、前記中央領域、前記周辺領域(以下、「前記周辺領域の第4区画」と称する)、および前記端部領域(以下、「前記端部領域の第4区画」と称する)の順に、各領域と交差するものを特定横線と称したとき、
前記有効領域におけるピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
(i)前記凸状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値に3nmを加えて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の下側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
(ii)前記凹状プロファイルの場合、前記特定縦線および特定横線における各断面のプロファイルにおいて、前記非端部領域の各点をカーブフィッティングしてプロファイル曲線を描き、さらに該プロファイル曲線を前記有効領域まで外挿して、前記端部領域の前記第1区画または第3区画に対応する位置に第1の部分φ1を有し、前記端部領域の前記第2区画または第4区画に対応する位置に第2の部分φ2を有する外挿曲線を描き、
前記第1および第2の部分φ1、φ2の高さ値から3nmを差し引いて、それぞれ、第1および第2の参照曲線R1、R2を描いたとき、
前記端部領域の前記第1区画または第3区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第1の直線が、前記第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記端部領域の前記第2区画または第4区画において、前記プロファイルの各点を直線近似して得られる第2の直線が、前記第2の参照曲線R2の上側にある態様が、前記特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立つ、フォトマスク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を遮蔽する遮光膜であり、前記第1の表面の側に設置される、請求項11に記載のフォトマスク。
- 前記第2の表面において、該第2の表面の中心Gと同一の中心を有し、前記第2の表面の各辺と平行な辺を有する、1辺の長さがP1(=104mm)の第4の正方形、1辺の長さがP2(=132mm)の第5の正方形、および1辺の長さがP3(=142mm)の第6の正方形を想定し、
前記第4の正方形の内側の領域(第4の正方形自身を含む)を第2中央領域と称し、前記第5の正方形と前記第4の正方形に囲まれた領域(第5の正方形自身を含むが、第4の正方形自身は含まない)を第2周辺領域と称し、前記第6の正方形と前記第5の正方形に囲まれた領域(第6の正方形自身を含むが、第5の正方形自身は含まない)を第2端部領域と称し、前記第5の正方形の内側の領域(第5の正方形自身を含む)を第2非端部領域と称し、前記第6の正方形の内側の領域(第6の正方形自身を含む)を第2有効領域と称し、
前記第1の表面の場合と同様の方法により、前記第2の表面のプロファイルを凸状プロファイルまたは凹状プロファイルであると定めたとき、
前記第2有効領域のピークツーバレー(PV)値は、70nm以下であり、
前記第2の表面が凸状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の下側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の下側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第2の表面が凹状プロファイルの場合、前記第1の表面に対する操作と同様の操作を実施した際に、
前記第2端部領域の第1区画または第3区画における各点を直線近似して得られる第1の直線が、第1の参照曲線R1の上側にあり、かつ前記第2端部領域の第2区画または第4区画における各点を直線近似して得られる第2の直線が、第2の参照曲線R2の上側にある態様が、特定縦線および特定横線における全ての断面のうち75%以上で成り立ち、
前記第1の表面が凸状プロファイルの場合、前記ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側とは反対の側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側に向かって突出しており、
前記第1の表面が凹状プロファイルの場合、前記ガラス基板の厚さ方向に垂直な方向から、前記第1の表面の前記中央領域と、前記第2の表面の前記第2中央領域とを一体的に観察した場合、前記中央領域は、相対的に前記第2中央領域のある側に向かって突出しており、前記第2中央領域は、相対的に前記中央領域のある側とは反対の側に向かって突出している、請求項11に記載のフォトマスク。 - 前記膜は、特定の波長範囲の光を吸収する吸収膜と、前記光を反射する反射膜とを有する、請求項13に記載のフォトマスク。
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