JP6861351B2 - 分光解析装置及び分光解析方法 - Google Patents
分光解析装置及び分光解析方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6861351B2 JP6861351B2 JP2017222322A JP2017222322A JP6861351B2 JP 6861351 B2 JP6861351 B2 JP 6861351B2 JP 2017222322 A JP2017222322 A JP 2017222322A JP 2017222322 A JP2017222322 A JP 2017222322A JP 6861351 B2 JP6861351 B2 JP 6861351B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectrum
- support
- thin film
- plane
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 65
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title claims description 11
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title claims 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 114
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 80
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 70
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 47
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 claims description 38
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims description 36
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 30
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 claims description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 claims description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000010896 thin film analysis Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000005570 vertical transmission Effects 0.000 description 2
- GYUPEJSTJSFVRR-UHFFFAOYSA-N 3,3,4,4,5,5,6,6,6-nonafluorohexyl prop-2-enoate Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CCOC(=O)C=C GYUPEJSTJSFVRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002056 X-ray absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003978 X-ray ultraviolet photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- GAJNYDMQZMSRDH-UHFFFAOYSA-N zinc 5,10,15,20-tetraphenyl-21,23-dihydroporphyrin Chemical compound [Zn++].c1cc2nc1c(-c1ccccc1)c1ccc([nH]1)c(-c1ccccc1)c1ccc(n1)c(-c1ccccc1)c1ccc([nH]1)c2-c1ccccc1 GAJNYDMQZMSRDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/447—Polarisation spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/12—Circuits of general importance; Signal processing
- G01N2201/129—Using chemometrical methods
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
この式により、非線形成分Uは切り捨てて線形成分のみを引き出すことが可能となる。したがって、実測された透過スペクトルSと混合比率Rが分かれば、面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを得ることが可能となる。
2 支持体
3 直線偏光フィルタ
4 検出部
5 回帰演算部
6 吸光度スペクトル算出部
10 薄膜
41 強度比算出部
51 補正部
Claims (7)
- 薄膜の分子配向を解析するための分光解析装置であって、該分光解析装置は、
所定の波長の光を照射可能な光源と、
前記光源から照射される光に対して光学的に透明であり解析される薄膜を支持するための支持体であって、光源から支持体に照射される光の入射角が支持体に固有の所定の入射角θとなるように固定される支持体と、
前記光源と支持体との間に配置される直線偏光フィルタであって、0°から90°の範囲で任意のステップのn個(n=3,4,・・・)の異なる偏光角φnの光が支持体に照射されるように偏光角を可変可能な直線偏光フィルタと、
前記直線偏光フィルタによるn個の異なる偏光角φnの光が支持体を透過する透過光を受光し、透過スペクトルSを検出する検出部と、
前記直線偏光フィルタによるn個の異なる偏光角φnの光に対して検出部により検出される透過スペクトルSと、偏光角毎の面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopの混合比率Rとを用いて、回帰分析により面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを得る回帰演算部と、
前記支持体に薄膜が支持される状態と支持されない状態で前記回帰演算部によりそれぞれ得られる面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを基に、薄膜面内吸光度スペクトルAip及び薄膜面外吸光度スペクトルAopを算出する吸光度スペクトル算出部と、
を具備することを特徴とする分光解析装置。 - 請求項1に記載の分光解析装置において、前記支持体に固有の所定の入射角θは、既知の標準薄膜が支持される支持体に対して光源から支持体に照射される光の入射角を0°から90°の範囲で任意に可変したときに吸光度スペクトル算出部により算出される薄膜面外吸光度スペクトルAopを、既知の標準薄膜が支持される支持体に対して全反射減衰測定法により得られるスペクトルを物理演算して得られる縦波光学スペクトルと比較して決定されることを特徴とする分光解析装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の分光解析装置において、前記検出部は、0°のときに検出される透過スペクトルと90°のときに検出される透過スペクトルとの強度比を算出する強度比算出部を具備し、
前記回帰演算部は、強度比算出部により算出される強度比を用いて混合比率Rを補正する補正部を具備する、
ことを特徴とする分光解析装置。 - コンピュータを請求項1乃至請求項3の何れかに記載の分光解析装置の回帰演算部として機能させるためのプログラム。
- コンピュータを請求項1乃至請求項3の何れかに記載の分光解析装置の吸光度スペクトル算出部として機能させるためのプログラム。
- 薄膜を解析するための分光解析方法であって、該分光解析方法は、
光源により所定の波長の光を照射する過程と、
前記光源から照射される光に対して光学的に透明であり解析される薄膜を支持するための支持体を、光源から照射される光の入射角が支持体に固有の所定の入射角θとなるように固定する過程と
前記光源と支持体との間に配置される直線偏光フィルタを、0°から90°の範囲で任意のステップのn個(n=3,4,・・・)の異なる偏光角φnの光が支持体に照射されるように偏光角を変化させる過程と、
前記偏光角を変化させる過程によるn個の異なる偏光角φnの光が支持体を透過する透過光を受光し、透過スペクトルSを検出する過程と、
前記偏光角を変化させる過程によるn個の異なる偏光角φnの光に対して前記検出する過程で検出される透過スペクトルSと、偏光角毎の面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopの混合比率Rとを用いて、面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを得るために回帰分析する回帰演算過程と、
前記支持体に薄膜が支持される状態と支持されない状態で前記回帰演算過程によりそれぞれ得られる面内スペクトルsip及び面外スペクトルsopを基に、薄膜面内吸光度スペクトルAip及び薄膜面外吸光度スペクトルAopを算出する吸光度スペクトル算出過程と、
を具備することを特徴とする分光解析方法。 - 請求項6に記載の分光解析方法において、前記透過スペクトルSを検出する過程は、0°のときに検出される透過スペクトルと90°のときに検出される透過スペクトルとの強度比を算出する過程を具備し、
前記回帰演算過程は、強度比を算出する過程により算出される強度比を用いて混合比率Rを補正する過程を具備する、
ことを特徴とする分光解析方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017222322A JP6861351B2 (ja) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 分光解析装置及び分光解析方法 |
US16/763,424 US11215507B2 (en) | 2017-11-17 | 2018-10-17 | Spectral analysis device and spectral analysis method |
EP18879443.2A EP3712578B1 (en) | 2017-11-17 | 2018-10-17 | Spectral analysis device and spectral analysis method |
PCT/JP2018/038601 WO2019097939A1 (ja) | 2017-11-17 | 2018-10-17 | 分光解析装置及び分光解析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017222322A JP6861351B2 (ja) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 分光解析装置及び分光解析方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019095220A JP2019095220A (ja) | 2019-06-20 |
JP2019095220A5 JP2019095220A5 (ja) | 2020-10-01 |
JP6861351B2 true JP6861351B2 (ja) | 2021-04-21 |
Family
ID=66538571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017222322A Active JP6861351B2 (ja) | 2017-11-17 | 2017-11-17 | 分光解析装置及び分光解析方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11215507B2 (ja) |
EP (1) | EP3712578B1 (ja) |
JP (1) | JP6861351B2 (ja) |
WO (1) | WO2019097939A1 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1265738A (zh) * | 1997-07-29 | 2000-09-06 | 威廉·布拉德肖·阿莫斯 | 用于光学成像傅里叶谱仪的光学设备及其操作方法 |
JP2000081371A (ja) * | 1998-09-07 | 2000-03-21 | Nec Corp | 薄膜分子配向評価方法、評価装置及び記録媒体 |
JP4831388B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2011-12-07 | 公益財団法人新産業創造研究機構 | 非偏光電磁波を用いた薄膜の面内・面外モードスペクトルの測定方法 |
US7920704B2 (en) * | 2004-10-09 | 2011-04-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Systems and methods for obtaining information on a key in BB84 protocol of quantum key distribution |
JP4635252B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2011-02-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法および装置 |
JP2006243311A (ja) | 2005-03-03 | 2006-09-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光学媒体の光学特性の解析方法、解析装置及製造監視方法 |
EP2112498B1 (en) * | 2007-02-16 | 2015-03-11 | Tokyo Institute of Technology | Spectroscopic analyzing device and spectroscopic analyzing method |
JP5774030B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2015-09-02 | ヴォロテック・リミテッド | 様々な偏光角度を有する光フィルタ及び処理アルゴリズム |
JP5881610B2 (ja) * | 2010-10-29 | 2016-03-09 | 三井化学株式会社 | ポリイミドフィルムの検査方法、これを用いたポリイミドフィルムの製造方法、及びポリイミドフィルム製造装置 |
WO2014189967A2 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Hinds Instruments, Inc. | Polarization properties imaging systems |
US9651426B2 (en) * | 2015-06-30 | 2017-05-16 | Agilent Technologies, Inc. | Light source with controllable linear polarization |
CN108283007B (zh) | 2015-08-21 | 2021-08-27 | 大金工业株式会社 | 利用红外分光法的含氟聚合物的分析 |
-
2017
- 2017-11-17 JP JP2017222322A patent/JP6861351B2/ja active Active
-
2018
- 2018-10-17 WO PCT/JP2018/038601 patent/WO2019097939A1/ja unknown
- 2018-10-17 EP EP18879443.2A patent/EP3712578B1/en active Active
- 2018-10-17 US US16/763,424 patent/US11215507B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019095220A (ja) | 2019-06-20 |
EP3712578A4 (en) | 2021-08-11 |
US11215507B2 (en) | 2022-01-04 |
US20200300703A1 (en) | 2020-09-24 |
EP3712578B1 (en) | 2023-12-20 |
EP3712578A1 (en) | 2020-09-23 |
WO2019097939A1 (ja) | 2019-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Tasumi | Introduction to experimental infrared spectroscopy: Fundamentals and practical methods | |
JP5382792B2 (ja) | 光2次非線形薄膜における1次及び2次光感受率異方性同時測定方法、当該方法を実行する装置及び当該方法をコンピュータに実行させるプログラム | |
JP6843397B2 (ja) | 光学測定装置、光学測定方法、及び応力検査方法 | |
Nguyen et al. | Error correction for calibration and data reduction in rotating-polarizer ellipsometry: applications to a novel multichannel ellipsometer | |
Konevskikh et al. | Fringes in FTIR spectroscopy revisited: understanding and modelling fringes in infrared spectroscopy of thin films | |
Mayerhöfer et al. | Removing interference-based effects from infrared spectra–interference fringes re-revisited | |
JP4340814B2 (ja) | 分光解析装置及び分光解析方法 | |
Bremer et al. | Infrared ellipsometer for the study of surfaces, thin films, and superlattices | |
KR20000022934A (ko) | 박막분자 배향 평가방법, 평가장치 및 기록매체 | |
Kivioja et al. | Thickness measurement of thin polymer films by total internal reflection Raman and attenuated total reflection infrared spectroscopy | |
JP2008082811A (ja) | 薄膜の光学特性測定方法および光学特性測定装置 | |
JP6861351B2 (ja) | 分光解析装置及び分光解析方法 | |
Azarov et al. | An ellipsometric technique with an ATR module and a monochromatic source of radiation for measurement of optical constants of liquids in the terahertz range | |
JP4640254B2 (ja) | 擦傷の測定装置と測定方法 | |
TW201543021A (zh) | 用於分析樣品之裝置及對應方法 | |
An et al. | Calibration and data reduction for a UV-extended rotating-compensator multichannel ellipsometer | |
CN113340818B (zh) | 一种自洽验证差分光谱仪及测量方法 | |
CN109115695B (zh) | 一种各向异性体材料光学常数和欧拉角的提取方法 | |
Furchner et al. | Crosspolarization with imperfect infrared polarizers | |
CN111912785B (zh) | 一种光学常数测量方法与光学常数测量设备 | |
JP5361843B2 (ja) | 光学的異方性の評価方法及び評価装置 | |
CN115290571A (zh) | 测量设备和测量方法 | |
JP5156306B2 (ja) | 光学異方性測定装置および光学異方性測定方法 | |
Zangeneh et al. | Surface plasmon spectral fingerprinting of adsorbed magnesium phthalocyanine by angle and wavelength modulation | |
JPH11230833A (ja) | 位相分布の測定方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200824 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210303 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6861351 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |