JP5156306B2 - 光学異方性測定装置および光学異方性測定方法 - Google Patents
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Description
この入射回転角の変化に対応させて、反射光のP偏光成分とS偏光成分との位相差または振幅比の変位を観測することで、被測定物の光学異方性を評価する。
好ましくは、偏光状態取得部は、偏光状態を示す特性値として、S偏光成分とP偏光成分との位相差または振幅比を取得する。
図1は、この発明の実施の形態に従う光学異方性測定装置100の概略構成図である。
と、Y軸移動部ステージ106と、X軸移動ステージ108と、回転駆動部110と、回転シャフト112と、回転ブロック124と、光源118と、照射部114と、受光部116と、分光部120とを備える。本明細書では、便宜上、被測定物OBJの搬送面における搬送方向を「Y軸方向」と規定し、搬送面における「Y軸方向」と直交する方向を「X軸方向」と規定し、「X軸方向」および「Y軸方向」のいずれにも直交する方向を「Z軸方向」と規定する。
、反射光を直線偏光へと変える。この直線偏光に変えられた後の反射光は、光ファイバ128を介して分光部120へ導かれる。検光子116aは、回転モータ116bと連結されており、この回転モータ116bの回転位置に応じた偏光方向に直線偏光を生成する。なお、回転モータ116bは、データ処理部2からの制御指令に応じて、指定された回転位置まで回転する。
図3は、この発明の実施の形態に従う光学異方性測定装置100における被測定物OBJの代表例である液晶ディスプレイ用の有機薄膜の概略構造図である。
に、表面に周期的な微細構造をもつ層については、Effective Media Theoryに基づいて、光学異方性をもつ層として取扱うことができる。表面に形成された物理的溝であるSWSに起因する光学異方性層の有効屈折率neffは次式のようになる。
但し、cは真空中の光速であり、ωは光の角速度であり、βはブロッホ波の周波数であり、このβは光の伝搬方向と偏光に依存する値である。
本実施の形態に従う光学異方性測定装置100では、被測定物OBJからの反射光により光学異方性を測定する。
測定物OBJに対する入射光の入射方向を回転させて、その回転に応じたエリプソパラメータの相対的な変位を測定する。このような測定方法によれば、被測定物OBJが等方性であれば、エリプソパラメータは入射光の入射方向に依存することなく一定値を示す。これは、エリプソパラメータを決定する要因である電気双極子との相互作用、すなわち被測定物OBJの屈折率が方向(X軸,Y軸,Z軸)にかかわらず一定であるためである。
被測定物OBJに入射する入射光の電場ベクトルをEiとし、被測定物OBJで反射されて生じる反射光の電場ベクトルをErとし、反射特性を示すJones matrixをRとすると、以下のような関係が成立する。
P偏光成分およびS偏光成分の別に記載すると、
わすことができる。
ここで、niはi層における屈折率であり、kiはi層における消衰係数である。
光が干渉可能な厚さをもつ薄膜内では、上式で表される反射率で反射する光が薄膜内を何度も往復する。そのため、表面で直接反射した光と薄膜内を多重反射した後の光との間ではその光路長が異なるため、位相が互いに異なったものとなり、薄膜表面において光の干渉がおきる。このような、各薄膜内における光の干渉効果を示すために、i層の薄膜における光の位相角βiを導入すると、以下のように表わすことができる。
N1y=n1y−jk1y
一般的に複屈折現象と呼ばれる現象は、上式において、消衰係数k1xおよび消衰係数k1yが実質的にゼロとなり、かつ屈折率n1xと屈折率n1yとが異なる波長域において生じるものである。先行技術に示すような光学異方性測定装置は、いずれも、消衰係数k1xおよび消衰係数k1yが実質的にゼロとなり波長帯において、屈折率n1xと屈折率n1yとの違いによって被測定物の光学異方性を測定するものである。
上述したように、消衰係数が非ゼロの値をとるような波長の入射光を用いることで、入射回転角の変化に伴うエリプソパラメータの変動量を大きくでき、その結果、測定精度を高めることができる。
少なくとも回折格子120aおよびマルチチャンネルフォトディテクタ120bがこれらの紫外波長範囲についての分光スペクトルを検出できればよい。しかしながら、光学異方性特性に加えて、被測定物OBJの反射率などの分光データを同時に測定できるようにしてもよい。この場合には、回折格子120aおよびマルチチャンネルフォトディテクタ120bが紫外域から可視域にわたって分光スペクトルを検出できるようにすればよい。
図6は、この発明の実施の形態に従うデータ処理部2の概略のハードウェア構成を示す模式図である。
116へ制御指令を与えるとともに、分光部120から検出結果を取得する。
図7は、この発明の実施の形態に従うデータ処理部2における制御構造を示すブロック図である。図7に示すブロック図は、CPU200がハードディスク部210などの予め格納されたプログラムをメモリ部212などに読み出して実行することで実現される。
16a(図2)を連続的に回転させる。検光子制御部26は、エリプソパラメータ算出部25からの指令に従って、回転駆動指令を回転モータ116b(図2)へ出力する。そして、エリプソパラメータ算出部25は、この検光子116aの回転に伴う吸収波長の受光強度変化に基づいて、エリプソパラメータを算出する。
なお、測定対象とする光学異方性薄膜の種類によっては、その表面に光学異方性のムラが存在していても、入射回転角の変化に伴う位相差Δの最大値と最小値との差がそれほど大きく変化しない場合がある。
相差Δが最大値または最小値をとる入射回転角を、光学異方性を示す特徴量として出力する。
上述したような被測定物OBJに対する光学異方性の測定方法をまとめると、次のような処理手順となる。
、CPU200は、ステップS114以下の処理を繰返す。
検光子制御部、27 エリプソパラメータバッファ部、28 光学異方性評価部、29
マッピング部、100 光学異方性測定装置、102 台座部、104 検査ステージ、106 Y軸移動部ステージ、108 X軸移動ステージ、110 回転駆動部、112 回転シャフト、114 照射部、114a 偏光子、114b 1/4λ波長板、116 受光部、116a 検光子、116b 回転モータ、118 光源、120 分光部、120a 回折格子、120b マルチチャンネルフォトディテクタ、124 回転ブロック、126,128 光ファイバ、130,132 ガイドレール、204 ディスプレイ部、206 インターフェイス部、208 入力部、210 ハードディスク部(HDD)、212 メモリ部、214 CD−ROMドライブ、214a CD−ROM、216 FDドライブ、216a フレキシブルディスク、300 光学異方性有機層、302 等方性有機層、304 ガラス基板、306 有機薄膜層、OBJ 被測定物。
Claims (9)
- 所定の紫外波長範囲を含む光を発生する光源と、
前記光源からの光を所定の偏光状態にした上で、被測定物に向けて照射する照射部と、
前記照射部からの入射光が前記被測定物で反射されて生じる反射光を分光し、分光された各光の強度を検出する分光部と、
前記被測定物から前記分光部までの前記反射光の光学搬経路上に配置された偏光素子を含んだ受光部と、
前記偏光素子の状態および前記分光部からの検出結果に基づいて、前記反射光の前記紫外波長範囲のうち前記被測定物で吸収ピークを生じる特定波長の偏光状態を示す特性値を取得する偏光状態取得部と、
前記被測定物に対する前記入射光の入射回転角を変更可能な回転機構と、
前記回転機構による前記入射回転角の変化に伴う前記偏光状態を示す特性値の特性変化に基づいて、前記入射光の照射位置における前記被測定物の光学異方性を算出する光学異方性取得部とを備える、光学異方性測定装置。 - 前記紫外波長範囲は、185nmから400nmである、請求項1に記載の光学異方性測定装置。
- 前記偏光状態取得部は、前記偏光状態を示す特性値として、S偏光成分とP偏光成分との位相差または振幅比を取得する、請求項1または2に記載の光学異方性測定装置。
- 前記回転機構は、
前記照射部および前記受光部を所定の位置関係を保って保持する保持部と、
前記入射光の照射位置を通る回転軸を中心として前記保持部を回転させる回転駆動部とを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学異方性測定装置。 - 前記光学異方性取得部は、前記入射回転角の変化によって生じる前記偏光状態を示す特性値の最大値と最小値との差に基づいて、前記光学異方性を取得する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学異方性測定装置。
- 前記光学異方性取得部は、前記入射回転角の変化によって生じる前記偏光状態を示す特性値が最大値または最小値をとる入射回転角に基づいて、前記光学異方性を取得する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学異方性測定装置。
- 前記被測定物における前記入射光の照射位置を測定対象面に沿って移動させる移動機構と、
前記照射位置の変化に応じて、前記照射位置の各々における前記光学異方性を当該照射位置と対応付けて記憶する記憶部とをさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学異方性測定装置。 - 前記分光部によって分光された各光成分の前記偏光状態を示す特性値に基づいて、前記特定波長を決定する波長選択部をさらに備える、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学異方性測定装置。
- 光学異方性測定装置を用いた被測定物の光学異方性測定方法であって、
前記光学異方性測定装置は、
所定の紫外波長範囲を含む光を発生する光源と、
前記光源からの光を所定の偏光状態にした上で、被測定物に向けて照射する照射部と、
前記照射部からの入射光が前記被測定物で反射されて生じる反射光を分光し、分光された各光の強度を検出する分光部と、
前記被測定物から前記分光部までの前記反射光の光学搬経路上に配置された偏光素子を含んだ受光部と、
前記被測定物に対する前記入射光の入射回転角を変更可能な回転機構とを備え、
前記光学異方性測定方法は、
前記照射部から前記被測定物へ前記入射光を照射するステップと、
前記偏光素子の状態および前記分光部からの検出結果に基づいて、前記反射光の前記紫外波長範囲のうち前記被測定物で吸収ピークを生じる特定波長の偏光状態を示す特性値を取得するステップと、
前記被測定物に対する前記入射光の入射回転角を順次変化させるステップと、
前記入射回転角の変化に伴う前記偏光状態を示す特性値の特性変化に基づいて、前記入射光の照射位置における前記被測定物の光学異方性を算出するステップとを備える、光学異方性測定方法。
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