JP6861255B2 - 導電性ダイヤモンド電極で微量金属を検出するための装置および方法 - Google Patents

Description

関連出願との相互参照
本願は、２０１５年８月７日に出願された米国仮出願連続番号第６２／２０２，４２２号の利益を主張する。当該仮出願はその全体がここに援用される。

発明の背景
１．発明の分野
本発明は、さまざまなサンプル中の金属を検出するように構成された導電性ダイヤモンド材料を含む微量金属分析検出器に向けられる。本発明は、陽極および陰極ストリッピングボルタンメトリーで使用される従来の電極では検出が非常に困難な微量金属の正確で精密で反復可能な検出を可能にするとともに、ドープダイヤモンド電極、具体的にはホウ素ドープダイヤモンド材料の薄膜を含む電極の使用を含む従来の検出器を用いて検出が困難な分析物を検出するための感度の向上を可能にする、装置および方法を提供する。

２．先行技術の説明
多くの装置および方法が、サンプル中の特定の分析物を検出するために存在する。通常のサンプルは、地下水、食品分析、産業廃棄物、製品サンプル、飲料水、および、陽極または陰極ストリッピングボルタンメトリーにおいて電極を使用して特定の分析物を検出することが望ましい任意のサンプルを含む。より具体的には、陽極および陰極ストリッピングボルタンメトリーは、析出ステップ中に１つ以上の分析物を作用電極上に電気めっきするかまたは析出させ、場合によってはストリッピングステップ中に分析物を酸化させるかまたは電極から除去することにより、特定のイオン種の定量的判断のために使用されてきた。より具体的には、ストリッピングステップ中、具体的には陽極ストリッピングボルタンメトリー中に電流が測定され、種の酸化が、電極からの電流信号におけるピークとして、すなわち、イオン種が酸化され始める電位として検知される。

従来、検出器システムは、作用電極と、補助電極または対極と、参照電極という３つの電極を使用する。これまで、作用電極は、（円板または平面ストリップ構成の）ビスマスまたは水銀膜電極から形成されている。水銀膜は、対象イオン分析物とともにアマルガムを形成し、それは酸化すると、測定可能な鋭いピークをもたらす。ある対象分析物は水銀の酸化電位を上回る酸化電位を有するため、または、水銀電極では適さない場合があるため、ならびに、毒性、安定性および揮発性の問題を含む水銀の環境問題を考慮して、現在、銀、金、または白金などの固体の不活性金属が、現代の検出器でより一般的に使用されている。（典型的にはベースまたは基板上にめっきされ、もしくは薄膜コーティングされた）固体金属電極であっても、金属電極を使用することは、所望の微量元素が覆うかもしれない、または検出不能かもしれないという問題も生み出す。たとえば、金属電極は、それを形成するのと同じ金属をサンプル中で検出することができない。さらに、金属電極はより小さい電位窓を有しており、それはある金属の測定を制限する。また、金属電極は、より高いバックグラウンド電流の影響を呈する。いくつかの代替的な電極材料は、Ｉｒ、Ｂｉ、Ａｕ、Ａｇ、およびグラファイトを含む。むき出しの固体電極上での金属吸着層の析出は、Ｈｇアマルガムを形成する場合（すなわち、大量のＨｇ内での金属の析出）よりも複雑なプロセスである。析出物の活動は、析出量、電極と析出物との相互作用、および表面上の分布に依存する。どの電極の実用性も、水サンプルなどの「現実世界」のサンプル中の金属イオンを検出するためのその有効性に依存する。

最近の開発は、ホウ素ドープダイヤモンド（boron-doped diamond：ＢＤＤ）薄膜など
のドープダイヤモンド電極が、金属電極と比較して、より広い電気化学的電位窓、低く安定した容量性バックグラウンド電流、高い応答再現性、および長期応答安定性を含む、向上した特性を有することを示してきた。ホウ素ドープダイヤモンド電極はまた、有毒溶液中に存在する金属を分析するのにより適している。なぜなら、それらは、多くの金属ベースの電極とは異なり、一般に不活性でサンプルまたは溶液と反応しないためである。ホウ素ドープダイヤモンド電極の利益を考慮しても、それらは依然として多くの問題を含む。現在、微量金属検出器において、必要な３つの電極のうちの作用電極だけが、ホウ素ドープダイヤモンドから形成される。代わりに、参照電極は典型的には塩化銀で作られ、一方、対極は白金材料で作られる。今まで、どのシステムも、一貫した正確な結果を依然として提供しながら、参照電極、対極、または、参照電極および対極の双方を、ホウ素ドープダイヤモンド材料から形成することはできなかった。

加えて、現在の方法は、各作用電極が、単一の析出ステップ中に、金属イオンなどの分析物を析出させるために動作され、次に、単一のストリッピングステップ中に、図１に示すように時間とともに電位の掃引を行なうことによって電流を測定することを必要とする。たとえば、陽極ストリッピングボルタンメトリーでは、電極に負電位を印加し、図１にＢおよびＣと標記された図示された期間のような特定された期間の間、それを保持することによって、所望の分析物が作用電極上に析出される。次に、図１にＤと標記された期間において図示されるように、電位が負から正へゆっくりと増加され、このストリッピングステップ中に測定された電流変動が、サンプル中に存在する分析物またはイオン種のタイプを判断する。１つの問題は、ある金属イオンは同様の電位を有するため、特定の電位で測定されたピークが２つ以上の金属イオンを含むかもしれない、ということである。そのため、ある金属イオンは分離されることができず、この方法の下ではある金属イオンの測定を妨げるおそれがある。加えて、金属電極による金属間錯体の形成により、ピーク抑制、ピーク移動、およびピーク広がりが生じるおそれがある。たとえば、銅は、カドミウムおよび亜鉛に対して抑制効果を有する。

発明の概要
本発明は一般に、サンプル中の金属イオンなどのイオン種、またはある有機分子を検出するための検出器装置および方法に向けられる。検出器は一般に、サンプル中の選択されたイオン種の量を判断するための陽極または陰極ストリッピングボルタンメトリーに関連して使用される。

本発明の検出器は、作用電極としてホウ素ドープダイヤモンド電極などの導電性ダイヤモンド電極を含むだけでなく、導電性ダイヤモンド材料から形成された対極または参照電極のうちの少なくとも１つも含んでいてもよい。そのため、対極および参照電極の双方が、ホウ素ドープダイヤモンド電極材料などの導電性ドープダイヤモンド材料で作られてもよい。本発明の導電性ダイヤモンド電極は、より広い電気化学的電位窓およびより低いバックグラウンド信号という利点を有し、それは、より広範囲の検出可能金属、および、より低い金属濃度を検出する高い感度または能力を可能にする。加えて、導電性ダイヤモンドから作られた電極は環境にやさしく、長期にわたって電気化学的に安定している。いったん較正されると、検出器は、アンチモン、ヒ素、ビスマス、カドミウム、銅、ガリウム、ゲルマニウム、金、インジウム、鉛、水銀、銀、タリウム、スズ、および亜鉛を含む少なくとも１５個の金属イオンの、１兆分率（parts per trillion：ｐｐｔ）レベルと同じくらい低い（＜１００ｐｐｔ）微量金属濃度を、陽極ストリッピングボルタンメトリーで計算する特定のアルゴリズムを利用する。これと比較して、ＣＳＶは、ヒ素、塩化物、臭化物、ヨウ化物、セレン、硫化物、メルカプタン、チオシアン酸塩、およびチオ化合物を分析してもよい。

本発明は少なくとも作用電極としてホウ素ドープダイヤモンド（ＢＤＤ）を使用し、参照電極としてＡｇ／ＡｇＣｌを使用し、対極としてＰｔを使用する。上述のように、３つのタイプの電極すべてが、ホウ素ドープダイヤモンド材料から形成されてもよい。すべての電極は、作用電極と対極との間に電流が流れ、作用電極と参照電極との間で電位が測定される溶液と接触している。

作用電極に好適な電位を印加すると、金属イオンなどの分析物が作用電極の表面上に電気めっきされる。各金属イオンは、電気化学系列および利用される参照電極に従った、それが電気めっきされるかまたは析出される特定の電位を有する。金属などの分析物がいったん電気めっきされるかまたは析出されると、ストリッピングとしても公知である逆電位走査が正電位に向かって実行され、金属を酸化／放出して定量化する。

検出器は、より広い電気化学的電位窓およびより低いバックグラウンド信号を有する、単一のダイヤモンド作用電極または複数のダイヤモンド作用電極で構成され、それは、より広範囲の検出可能金属、および、より低い金属濃度を検出する高い感度または能力を可能にする。

本発明の方法では、作用電極の各々は、作用電極上に所望の分析物を析出させるために、異なる電位で作動される。ある方法では、これらの異なる電位は同時に行なわれ、一方、本発明の他の方法では、これらが順次行なわれることが重要であり、そのため、ＡＳＶチャート上の異なる電位の複数の分析物を有するサンプルは、それらの電位に依存して、異なる分析物を異なる電極上に分離するであろう。これは、より正確で精密な測定を可能にするとともに、特定の電極上の複数の分析物が同時に離れて、特にサンプル中の分析物の非常に低いレベルでの正しくない読み取り値を与えることを防止するであろう。すべての走査がいったん行なわれると、逆走査の各々によって得られたピークに基づいて、微量金属濃度が計算される。

複数の電極を使用する本発明では、第１の電極は第１のレベルの電位まで駆動されてもよく、第２の電極は第１のレベルよりも負である第２のレベルの電位まで駆動されてもよく、追加の電極が存在する場合、各々は、他の電極よりも負のレベルまで駆動されるであろう。洗浄ステップの後に、複数の作用電極が異なる電位まで駆動される場合、同時に行なわれる場合、より負の電極が、それほど負ではない電極のイオンのうちのいくつかを収集するであろう。そのため、ストリッピング時、それほど負ではない電極から結果を読取ることは、人が、より負の電極のための金属をより良好に判断することを可能にする。なぜなら、人は、重複する、またはほぼ重複しているイオンのために何が剥がれているかをより確実に判断できるためである。

微量金属分析検出器としての本発明は、作用電極が導電性ダイヤモンドからなるマイクロ流体ラボオンチップ設定上で実現されてもよい。別個の作用電極を各々有するさまざまな区画の発想は、各区画において、作用電極がある金属を、サンプル中の他の金属から、金属同士が互いに干渉しないように抽出または分離することである。区画の数は、何個の金属が分析されなければならないか、および、対象金属が互いにどれくらい影響を及ぼすか、に依存するであろう。より具体的には、サンプルから金属イオンを順次除去することによって、任意の特定の作用電極上の金属イオンの数は最小化され、それにより、ストリッピングプロセス中によりクリーンな信号を各電極に提供する。本発明の利点は、低いバックグラウンドノイズで広い電気化学的電位走査を可能にし、さもなくば容易には検出できない金属の検出と、鉛イオン、銅イオンおよび亜鉛イオンについての感度の増加とを可能にする。

加えて、発明者らは驚くべきことに、本発明の装置が微量金属についてテストするために使用され得るだけでなく、水を消毒して水の浄化を提供するためにも使用され得る、ということを見出した。より具体的には、電極は、高い正電位を印加することによって−ＯＨラジカルを生成し、それは有機物を分解し、水を消毒する。そして、ホウ素ドープダイヤモンド電極は、より多くのフリーラジカル、具体的にはヒドロキシルラジカルを生成する。

図面の簡単な説明
本発明の他の利点は、添付図面に関連して以下の詳細な説明を参照することによってよりよく理解されるため、容易に理解されるであろう。

従来の陽極ストリッピングボルタンメトリーについての、時間に対する電位のグラフである。 線形ストリッピング法のグラフ表示である。 階段状線形ストリッピング法のグラフ表示である。 矩形波ストリッピング法のグラフ表示である。 微分ストリッピング法のグラフ表示である。 金属イオンの電位のグラフ表示である。 単一の作用電極を使用する本発明の方法の、時間に対する電位のグラフ表示である。 ３つの作用電極を使用する本発明の方法の、時間に対する電位のグラフ表示である。 本発明を具現化する例示的なシステムの分解斜視図である。 本発明を具現化する例示的なシステムの透視図である。 本発明を具現化する例示的なシステムの透視図である。 本発明を具現化し、ｐＨ調節モジュールを含む例示的なシステムの透視図である。 本発明を具現化し、ｐＨ調節モジュールを含む例示的なシステムの透視図である。 オプションの酸貯蔵部を含む例示的なシステムの透視図である。 ｐＨ調節モジュールを含む例示的なシステムの透視図である。 本発明の並列システムを含む例示的なシステムの透視図である。 本発明の直列システムを含む例示的なシステムの透視図である。 本発明のループ構成の直列システムを含む例示的なシステムの透視図である。 通路における作用電極の拡大斜視図である。 例示的な作用電極のものを含む、本発明の断面図である。 例示的な作用電極のものを含む、本発明の断面図である。 例示的な対極の断面図である。 コントローラおよびシステムの概略制御図である。

詳細な説明
本発明は一般に、サンプル中の金属イオンなどのイオン種、またはある有機分子を検出するための検出器装置１０および方法に向けられる。検出器２０とコントローラ１１０とを有する検出器装置１０は一般に、サンプル中の選択されたイオン種の量を判断するための陽極または陰極ストリッピングボルタンメトリーに関連して使用される。検出器２０は主として、陽極ストリッピングボルタンメトリー（anodic stripping voltammetry：ＡＳＶ）法において使用されるように、以下におよび明細書全体にわたって説明されるであろ
う。しかしながら、検出器２０は代わりに、わずかな変更で、陰極ストリッピングボルタンメトリー（cathodic stripping voltammetry：ＣＳＶ）法を用いて容易に使用され得る、ということが認識されるべきである。したがって、陽極ストリッピングボルタンメトリーへのどの言及も、陰極ストリッピングボルタンメトリーと置換えられてもよく、その時に印加される正電流および負電流を取り替える変更、および他のわずかな変更を加えてもよい。

検出器装置１０はさまざまなサイズ、形状および構成で形成されてもよいが、一般に、検出器２０の一部としての３つの異なるタイプの電極４０、５０、および６０と通信するコントローラ１１０を含む。検出器２０で使用される電極のタイプは、作用電極４０、参照電極５０、および対極６０を含む。ＡＳＶ法では、作用電極４０は一般に、その表面上に負電位で所望の分析物を析出させるかまたは予め濃縮し、次に、電位掃引中に金属または他のイオン種などの分析物を選択的に酸化させるかまたは作用電極４０の表面４６から剥ぎ取るために使用される。参照電極５０は、作用電極４０の電位が適切に維持されることを保証するために使用され、作用電極４０上に蓄積する電界の影響を最小化する。より具体的には、参照電極５０は安定した電位であり、ベースライン測定電極電位であって、その性能は、重金属検出、安定性、再現性、および精度に直接影響を与える。対極６０は電流の流れを測定し、逆流を作用電極４０に提供する。

本発明の検出器２０は、作用電極４０としてホウ素ドープダイヤモンド電極などの導電性ダイヤモンド電極を含むだけでなく、導電性ダイヤモンド材料から形成された対極６０または参照電極５０のうちの少なくとも１つ、もしくは、ホウ素ドープダイヤモンド電極材料などの導電性ドープダイヤモンド材料で作られた対極６０および参照電極５０の双方も含んでいてもよい。ホウ素ドープダイヤモンド電極に言及する場合、当該電極はバルクホウ素ドープダイヤモンドであり得るものの、一般にバルクホウ素ドープダイヤモンドではなく、しかしながら一般に、電極を形成するためにベースまたは基板４２上に置かれたホウ素ドープダイヤモンド材料の膜または薄膜４４である、ということが認識されるべきである。水銀電極およびビスマス電極を使用する従来の設計に比べ、導電性ダイヤモンド電極は、より広い電気化学的電位窓およびより低いバックグラウンド信号という利点を有し、それは、より広範囲の検出可能金属、および、より低い金属濃度を検出する高い感度または能力を可能にする、ということが分かっている。加えて、導電性ダイヤモンドから作られた電極は環境にやさしく、長期にわたって電気化学的に安定している。蛍光センサ、表面プラズモン共鳴センサ、または表面励起ラマン散乱センサと比較して、追加のデバイスは必要ない。

上述のように、この発明は、電極として導電性ダイヤモンド電極材料を使用する微量金属分析検出器装置１０である。いったん較正されると、検出器装置１０は、以下に説明するような、１兆分率（ｐｐｔ）レベルと同じくらい低い（＜１００ｐｐｔ）微量金属濃度を計算する特定のアルゴリズムを利用する。本発明の検出器装置１０は、アンチモン、ヒ素、ビスマス、カドミウム、銅、ガリウム、ゲルマニウム、金、インジウム、鉛、水銀、銀、タリウム、スズ、および亜鉛を含む少なくとも１５個の金属イオンを、陽極ストリッピングボルタンメトリーで分析してもよい。これと比較して、ＣＳＶは、ヒ素、塩化物、臭化物、ヨウ化物、セレン、硫化物、メルカプタン、チオシアン酸塩、およびチオ化合物を分析してもよい。本発明の検出方法は一般に、特定の変型を有するＡＳＶの電気化学的手法を採用する。陽極ストリッピングボルタンメトリーおよび陰極ストリッピングボルタンメトリーは、従来百万分率で水溶液中の微量レベルの金属不純物を調べるために使用される、感度のよい電気化学的分析手法であるが、本発明は、１兆分率で金属を検出するために見出されたものである。さまざまな種類のＡＳＶおよびＣＳＶが存在し、水中の金属を定量化するために使用されてきた。ＡＳＶ、および負または正へのどの言及も、ＣＳＶでの使用のために反転され得る、ということが認識されるべきである。

ＡＳＶ手法は、大抵の電記化学的手法と同様に、３電極セル設定を採用する。３つの電極４０、５０、および６０は、上述のように、作用電極４０、参照電極５０、および対極６０である。本発明は少なくとも作用電極４０としてホウ素ドープダイヤモンド（ＢＤＤ）を使用し、および典型的には、参照電極５０として銀または塩化銀（Ａｇ／ＡｇＣｌ）を使用し、対極６０として白金（Ｐｔ）を使用する。上述のように、および以下により詳細に説明されるように、３つのタイプの電極４０、５０、および６０すべてが、ホウ素ドープダイヤモンド材料から形成されてもよい。すべての電極４０、５０、および６０は、作用電極４０と対極６０との間に電流が流れ、作用電極４０と参照電極５０との間で電位が測定される溶液と接触している。

作用電極４０に好適な電位を印加すると、金属イオンなどの分析物が作用電極４０の表面上に電気めっきされる。各金属イオンは、図６に示すような電気化学系列および利用される参照電極に従った、それが電気めっきされるかまたは析出される特定の電位を有する。このめっき電位から、わずかにより負であるどの電位も、電気めっきまたは析出をもたらすであろう。金属などの分析物がいったん電気めっきされるかまたは析出されると、ストリッピングとしても公知である逆電位走査が正電位に向かって実行され、金属を酸化／放出して定量化する。以下に説明されるように、さまざまなＡＳＶ手法が逆走査に依存する。最も一般的な走査手法は、（１）線形ボルタンメトリー（Linear voltammetry：ＬＶ）、（２）矩形波ボルタンメトリ（Square wave voltammetry：ＳＷＶ）、および（３）
微分パルスボルタンメトリー（Differential pulse voltammetry：ＤＰＶ）である。走査がいったん行なわれると、作用電極４０は、残りの金属を除去して次の分析のために作用電極４０を準備するために、より正の電位で保持されるであろう。より具体的には、現在の方法は、単一の電極上に所望の分析物をすべて析出させ、次に、線形、矩形波または微分パルス掃引であり得る電位掃引を実行する。陰極ストリッピングボルタンメトリーと陽極ストリッピングボルタンメトリーとの間には、電位掃引が反対方向に行なわれること、具体的には、陽極ストリッピングボルタンメトリーについては負から正へ、陰極ストリッピングボルタンメトリーについては正から負へ行なわれることを含む、いくつかの違いがあるが、一般に、掃引のタイプは同一であり、線形、微分または矩形波のうちの１つとして規定されてもよい。図２に示すような線形掃引は一般に、電位が時間とともに線形状に変化することを意味する。より具体的には、電位の個々の変化は階段状であってもよいが、それらは一般に限りなく小さく、グラフで表現される場合、経時変化の見かけが概して線であるようになっている。図３は、階段状掃引として公知である、線形掃引の変形を表わす。図５に示す微分パルス掃引では、ステップサイズ、具体的にはパルス振幅または高さ、パルス幅および休止幅（利用可能な場合）はすべて、感度を高めるために調節可能な可変要因である。微分パルス掃引中、微分パルス波形は、線形掃引の階段状波形の上に重畳された一定振幅の小さいパルスを含み、パルスの初めの１ヶ所とパルスの終わりの１ヶ所というパルス中の２ヶ所で電流がサンプリングされ、それら２つの値の差が変位されるかまたは記録されるようになっている。図４に示す矩形波ボルタンメトリーでは、電位波形は、階段状波形の上に重畳された一定振幅の矩形波を含む。電流は各半周期の終わりで測定され、電流は逆半周期で測定され減算される。差異は印加電位の関数として表示され、データとして記録される。矩形波ボルタンメトリー分析では、電位周期の間で拡散層が新しくされないことに留意することが重要である。このため、各周期を切り離して見ることは可能ではなく／正しくなく、各周期について存在する条件は、以前の電位周期すべてを通して進化してきた複雑な拡散層である。特定の周期についての条件はまた、他の電気化学的考慮事項とともに、電極反応速度の関数である。

検出器２０は、単一のダイヤモンド作用電極４０、または複数のダイヤモンド作用電極４０で構成される。水銀電極およびビスマス電極を使用する従来の設計に比べ、導電性ダイヤモンド電極は、より広い電気化学的電位窓およびより低いバックグラウンド信号を有
するという利点を有し、それは、より広範囲の検出可能金属、および、より低い金属濃度を検出する高い感度または能力を可能にする、ということが分かっている。加えて、導電性ダイヤモンドから作られた電極は環境にやさしく、長期にわたって電気化学的に安定している。蛍光センサ、表面プラズモン共鳴センサ、または表面励起ラマン散乱センサと比較して、追加のデバイスは必要ない。

本発明の方法では、作用電極４０は、作用電極４０上に所望の分析物を析出させるために、望ましい電位で作動される。複数の作用電極４０を使用するシステムでは、作用電極４０の各々は、作用電極４０上に所望の分析物を析出させるために、異なる電位で作動されてもよい。ある方法では、これらの異なる電位は同時に行なわれ、一方、本発明の他の方法では、これらが順次行なわれることが重要であり、そのため、ＡＳＶチャート上の異なる電位の複数の分析物を有するサンプルは、それらの電位に依存して、異なる分析物を異なる電極上に分離するであろう。これは、より正確で精密な測定を可能にするとともに、特定の電極上の複数の分析物が同時に離れて、特にサンプル中の分析物の非常に低いレベルでの正しくない読み取り値を与えることを防止するであろう。微量金属分析の難しさは、同時に存在するさまざまな金属間の電位干渉である。たとえば、銅は、銅の存在がカドミウムおよび亜鉛のピークを抑制するように、カドミウムおよび亜鉛に干渉する。較正されたダイヤモンド作用電極４０上での分離された走査を利用して、個々の金属濃度をより正確に判断することが可能である。

より具体的には、図６および図７のＡＳＶチャートで提供されるように、作用電極４０は、陽極ストリッピングボルタンメトリーでは、洗浄ステップを行なうために高い正電位まで駆動されるであろう。洗浄ステップ中、誤検出を与え得るどの析出材料も、作用電極４０から追い出されるであろう。図６および図７に提供されるように、作用電極４０は典型的には、方法の最中、洗浄ステップの直後に、最も低い負電位まで駆動される。以下のステップが次に、単一の作用電極４０設定のために行なわれる：
１） 作用電極４０の表面４６を整える／洗浄するために、正電位を保持する；
２） 第１の対象金属（最も正のめっき電位の金属）を電気めっきするために、予め定められた第１の電気めっき用電位を印加する；
３） 第１の金属を定量化するために、作用電極４０上で正電位まで逆走査（ＬＶ、ＳＷＶまたはＤＰＶ）を実行する；
４） 作用電極４０の表面４６を整える／洗浄するために、正電位を保持する；
５） 第１および第２の金属をともに作用電極４０上に電気めっきするために、第１の電気めっき用電位よりも負である予め定められた第２の電気めっき用電位を印加する；
６） 第１および第２の金属をともに定量化するために、作用電極４０上で正電位まで逆走査（ＬＶ、ＳＷＶまたはＤＰＶ）を実行する；
７） 作用電極４０の表面４６を整える／洗浄するために、正電位を保持する；
８） 第１、第２および第３の金属をともに作用電極４０上に電気めっきするために、第１および第２の電気めっき用電位よりも負である予め定められた第３の電気めっき用電位を印加する；
９） 第１、第２および第３の金属をともに定量化するために、作用電極４０上で正電位まで逆走査（ＬＶ、ＳＷＶまたはＤＰＶ）を実行する；
１０） 作用電極４０の表面４６を整える／洗浄するために、正電位を保持する；
１１） 追加の望ましい金属をめっきして定量化するために、追加のより負である電気めっき用電位について、上述のステップを何回でも好きなだけ繰り返す。

すべての走査がいったん行なわれると、逆走査の各々によって得られたピークに基づいて、微量金属濃度が計算される。

上述のプロセスのための設定全体は、図１０に示すような、３電極設定を有する単一の
センサチップ検出器２０と、図２２に概略的に示すような、分析を実行し、データを収集し、データを有線または無線でコンピュータ、スマートフォン、またはタブレットへ転送する読出しユニットを含む小型ポテンショメータとを含んでいてもよい。作用電極４０は、図１０に示すような個々の作用電極４０であるマクロまたはミクロ電極から、もしくは、導電性ダイヤモンド、具体的にはホウ素ドープダイヤモンドのアレイからなってもよい。

図１０、図１５、および図１７に示すような複数の作用電極４０設定のための測定原理は、以下の通りである：
１） すべての作用電極４０の表面４６を同時に整える／洗浄するために、正電位を保持する；
２） 対象金属を電気めっきするために、予め定められた電気めっき用電位を各作用電極４０に同時に、重複して順次、または間隔をあけて順次（またはその変形）印加する。各作用電極４０は、その特定の作用電極に関連してどの金属が分析されるかに依存して、異なる電位で保持される；
３） 各作用電極４０上の金属を定量化するために、各作用電極４０上で正電位まで逆走査（ＬＶ、ＳＷＶまたはＤＰＶ）を同様に同時に、重複して順次、または間隔をあけて順次（またはその変形）実行する；および
４） 次の測定のためにすべての作用電極４０の表面４６を整える／洗浄するために、正電位を保持する。設定全体は、３電極設定を有する複数のセンサチップと、分析を実行し、データを収集し、データを有線または無線でコンピュータ、スマートフォン、またはタブレットへ転送する読出しユニットを含む多重ポテンショメータとを含んでいてもよい。

より具体的には、複数の電極を使用する本発明では、第１の電極は第１のレベルの電位まで駆動されてもよく、第２の電極は第１のレベルよりも負である第２のレベルの電位まで駆動されてもよく、少なくとも図１０、図１５、および図１７に示すように追加の電極が存在する場合、各々は、他の電極よりも負のレベルまで駆動されてもよい。そのため、第１の作用電極４０は第１の電位まで駆動されてもよく、一方、残りの４つの電極４０は電位全体を等しく分割してもよく、または、各々異なる金属をターゲットとする電位で構成されてもよい。たとえば、図６は、金属イオンの相対配置を示す陽極ストリッピングボルタンメトリーチャートを示す。このチャートから、第１の作用電極４０は、セレンを取り込むために駆動され得る。一方、第２の作用電極４０は、より負へ駆動されるものの、依然として正電圧範囲にあり、金およびクロムを引きつけるように構成されるであろう。一方、第３の作用電極４０は、ヒ素および水銀を引きつけるために、他の作用電極よりも負へ駆動されるものの、依然として正電圧範囲にある。次の作用電極４０は実際に、銅を引きつけるために負へ駆動されてもよい。別の作用電極４０は次に、ニッケル、鉛およびカドミウムを引きつけるためにより負へ駆動され得る。最後の作用電極４０は、亜鉛を引きつけるためにより負へ駆動されるように構成され得る。もちろん、上述の分割は、作用電極の数とともに、単なる例示である。方法は、作用電極４０を２つだけ、または何個でも実際に好きなだけ用いて行なうことができ、図面に示された電極の数は単なる例示である。作用電極はまた、同時に機能してもよいが、それらはまた、いくつかの追加の分析利点を有して順次、または重複して順次行なわれ得る。

洗浄ステップの後に、複数の作用電極が異なる電位まで駆動される場合、同時に行なわれる場合、より負の電極が、それほど負ではない電極のイオンのうちのいくつかを収集するであろう。もちろん、収集におけるこの重複は、図１０および図１７に示すように電極が直列に配置される場合、図１５の並列トラックよりも少ない。そのため、ストリッピング時、それほど負ではない電極から結果を読取ることは、人が、より負の電極のための金属をより良好に判断することを可能にする。なぜなら、人は、重複する、またはほぼ重複
しているイオンのために何が剥がれているかをより確実に判断できるためである。さらに、以下に説明されるように、向上した結果を提供するために、より多くの分析が行なわれてもよい。

洗浄ステップの後に、複数の作用電極４０が異なる電位まで駆動される場合、および、それらが順次行なわれ、次に同時にまたは順次剥ぎ取られる場合、電極は、より正確な読み取り値を提供してもよい。より具体的には、第１の電極は、サンプル中の分析物の所望のイオンのみを引きつける。これらは、電極を洗浄するために使用されるレベルに最も近い電位を有するものであると思われるため、引きつけられるイオンは、別の電極がより負の電位へ駆動された場合に通常引きつけられるものである。したがって、第１の分析物のすべてを引きつけることにより、次の分析物を有する第２の電極は、よりクリーンな信号を得るであろう。分析物を分離させるためにより多くの電極が使用されるにつれて、信号はよりクリーンになる。図１６における電極の直列配置は、所望の金属の実質的にすべてが液体から収集されてから、次の所望の金属を収集するかまたは取り込むために次の作用電極４０用の次のチャンバへ移動されることを可能にしてもよく、それにより、２つ以上の金属を取り込む作用電極のために、最小限の調節で、ないし全く調節せずに、非常に正確な結果を与える。

微量金属分析検出器としての本発明は、作用電極４０が導電性ダイヤモンドからなるマイクロ流体ラボオンチップ設定上で実現されてもよい。較正された検出器は、低い１兆分率（ｐｐｔ）レベル（＜１００ｐｐｔ）の微量金属濃度を計算する特定のアルゴリズムを利用する。検出方法は、陽極ストリッピングボルタンメトリー（ＡＳＶ）の電気化学的技術を採用しているが、陰極ストリッピングボルタンメトリーについても実現され得る。ラボオンチップ設定は、注入ポートまたはチャンバ７２と、オプションのマイクロポンプ９０と、オプションの前処理区画またはチャンバ７４と、少なくとも１つの分析区画またはチャンバと、チャンバ間のチャネルまたは通路７０と、オプションの酸、塩基または緩衝溶液区画またはチャンバ１０２と、追加の体積チャンバ１０４と、オプションのｐＨ調節機構１０６と、希釈機構１０８と、出口またはエンドポートまたはチャンバ７８とを含む。多くの図面上の図示を容易にするために、出口またはエンドポート、およびポンプ９０は、他のチャンバのうちのいくつかと同様に図示されない。加えて、図示されたチップのいずれも、異なる構成の上述のオプションのまたは他のチャンバのいずれかを含んでいてもよく、また、図示された構成は、本発明のどの項目が含まれるかについて限定的であると考えられるべきではない。ラボオンチップ設定の測定の方法は、以下の通りである。

水サンプルなどのサンプルに依存して、前処理ステップが、有機的に結合した金属などの所望の分析物を解放するために有機分子を分解するために含まれてもよい。このステップがなければ、遊離金属イオンしか検出されず、サンプル中の金属分析物の総量は正しくないであろう。前処理ステップは、作用電極を含む導電性ダイヤモンド電極に対して行なわれてもよいが、電極を含むものの作用電極ではない、前処理エリアまたはチャンバ７４における電極に対しても起こり得る。前処理電極はまた、ｐＨ調節電極８０または任意の他の電極であってもよく、任意の材料から形成されてもよいが、ホウ素ドープダイヤモンドは前処理電極として長寿命および効率的な使用のためにうまく機能する、ということが分かっている。動作中、ｐＨ電極８０などの前処理電極は一般に、前処理電極８０の表面近くで有機分子を酸化させ得るヒドロキシルラジカルを生成するのに十分高い電位で保持される。この前処理ステップの後で、前処理サンプルはチャネル７０を通って分析チャンバ７６へ送リ出され、それは分析用の作用電極４０を含む。

前処理電極がない構成では、前処理ステップは、作用電極４０の洗浄工程中にも起こり得る。各測定に先立って、作用電極は、上述のような分析用の作用電極４０を整える／洗浄するために、正電位で保持されてもよい。より具体的には、対象水サンプルは入口ポー
トまたはチャンバ７２へ挿入され、第１の反応または分析区画７６へ送リ出される。ここで、サンプル体積は、洗浄ステップの一環として有機物を酸化させるために十分高い陽極電位にさらされ、それにより、洗浄ステップと前処理ステップとを組合せる。もちろん、水サンプルの純度に依存して、前処理ステップは必要とされてもされなくてもよい。非常に汚染された水サンプルについては、このステップは、結果を偽る有機物（すなわち、Ｈｇなどの結合金属）の影響を避けるために必要である。これにより、方法は、金属の一部が有機物に結合される場合に、「遊離」金属含有量に対する、存在する総金属含有量を判断できるようになるであろう。

前処理ステップが使用される場合、マイクロポンプ９０は次に体積を前処理区画７４から第２の区画へ送リ出し、それは、作用電極４０を含む分析区画７６であってもよい。なお、ポンプは体積を追加または補足の体積チャンバ１００へ、もしくは他のチャンバへ要望通り送リ出してもよい。分析チャンバ７６（第１の作用電極４０）である次の区画またはチャンバで、サンプル体積は、ＡｇおよびＣｕなどのより正の金属を電気めっきするのに好適な電位にさらされる。なお、前処理ステップと洗浄ステップとが組合される場合、前処理ステップを行なった第１のチャンバ電極も、第１の作用電極４０であるであろう。第１の金属が電気めっきされた後で、マイクロポンプ９０はサンプル体積を第３の区画へ送リ出す。このプロセスにおける第３の区画または第２の分析区画７６（第２の作用電極４０）で、サンプル体積は、使用された前の作用電極よりも大きい負電位にさらされ、それはたとえば、Ｐｂなどのより負の金属を電気めっきするのに好適な電位であるであろう。第２の金属または第２の一組の金属が第２の作用電極４０に電気めっきされた後で、マイクロポンプ９０は、残りのサンプル体積を第４の区画へ送リ出す。この例示的なプロセスにおける第４の区画、第３の分析チャンバ７６（第３の作用電極４０）で、サンプル体積は、Ｃｄなどのより負の金属を電気めっきするのに好適な電位にさらされる。方法は次に、上述のステップを繰り返して続く。すべての区画７４／７６がいったん通過されると、逆電位走査が各作用電極４０上で行なわれ、金属を酸化／放出して定量化する。各チャンバは参照電極５０と対極６０とを含むと予想されるが、いくつかの実施形態では、それらはチャンバ間に配置され得る。電極４０、５０、および６０は、順次ＡＳＶが実行される場合、電極４０、５０、および６０の間で干渉がないように、互いから絶縁されている。したがって、すべての電極にわたってではなく、単一の電極のみの電位が測定される。

さまざまな区画の利点は、各分析区画７６が別個の作用電極４０を有し、作用電極がある金属を、サンプル中の他の金属から、金属同士が互いに干渉しないように抽出または分離することを可能にする、ということである。区画の数は一般に、何個の金属が分析されなければならないか、および、対象金属が互いにどれくらい影響を及ぼすか、に依存するであろう。しかしながら、分析される金属の数よりも多い追加の区画を有するチップが常に使用されてもよい。より具体的には、サンプルから金属イオンを順次除去することによって、任意の特定の作用電極４０上の金属イオンの数は最小化され、それにより、ストリッピングプロセス中によりクリーンな信号を各作用電極４０に提供する。本発明の利点は、低いバックグラウンドノイズで広い電気化学的電位走査を可能にし、さもなくば容易には検出できない金属の検出と、鉛イオン、銅イオンおよび亜鉛イオンについての感度の増加とを可能にする。加えて、ラボオンチップは、制御された量がマイクロ流体アレイまたはチャンバ７６へ分配されることを可能にする。ラボオンチップは、テスト用の化学分析アルゴリズムを実現することを可能にし、一連のマイクロ流体チャンバは、液体サンプルからの化学物質およびイオンの順次除去を可能にし、それは、システム１０における各後続チャンバ７６および作用電極４０の感度を高める。

加えて、本発明の装置および方法はまた、サンプル中のさまざまな金属の微量成分分析を妨げることなく、サンプルのｐＨを変更することができる。より具体的には、ｐＨは、３つの方法を通して変更されてもよい。第１に、ｐＨは、ある期間の間、高い正電位で電
極を作動することによって、より塩基性になるように変更されてもよい。第２に、ｐＨは、高い負電位で電極を作動することによって、電極電位を通してより酸性になるように変更されてもよいが、これは典型的には、金属分析を妨げる。なぜなら、それは金属を電極にめっきするためである。発明者らは驚くべきことに、上述のような微量金属検出といった安定し正確で反復可能な分析物検出を依然として提供しながら、ｐＨを変更するＨ＋イオンを生成する制御バーストが機能することを見出した。たとえば、この発明の上述の方法に続いて、電位掃引がそのままサンプルに対して行なわれてもよい。この分析の完了後、電極は、制御されたバーストを提供して、ｐＨを低下させて分析中のサンプルをより酸性にするＨ＋イオンを生成し、次に、掃引を再度行なって、サンプルの酸性の性質が金属イオンを解放して遊離金属イオンだけでなく金属イオン全体のより良好な読み取り値を提供するかどうかを判断してもよい。より具体的には、有機物に結合される金属イオンの部分、およびどんな金属イオンが環境において遊離しているか、ならびに総金属イオン含有量を判断することが、重要であるかもしれない。ある状況では、何が結合されていて自由に利用できないかを知ることが、重要であるかもしれない。

ｐＨを調節するための第３の方法では、本発明の方法の一環として、再現可能な表面を提供するための前処理の方法ステップが使用されてもよい。たとえば、電極の表面上または電極近傍の残った微量分析物、具体的には金属イオンを排除するように表面を洗浄するために、濃縮された１モルの酸が装置に導入されてもよい。塩基貯蔵部にも容易になり得る酸貯蔵部１０２を含むような例示的な構成を、図１３に示す。酸は上述されたほど濃縮されなくてもよく、電極４０は、電極を酸洗浄するために電荷を通して酸を要望通りに濃縮するために使用されてもよい。上述のように、第３の方法はさらに、酸が一般に少なくとも１つの電極上に高い負のバーストで作成される第２の方法に関連して使用されてもよい。加えて、図１２に示すように、別個の経路で、第３の方法と第２の方法との組合せが使用されてもよい。

方法はまた、合間に基準水で洗うステップを含んでいてもよく、それはまた、上述の酸洗浄の後で起こってもよい。金属が残らなくなるまで、作用電極４０は洗浄され、高い電位まで循環されるであろう。高い正電位を用いる洗浄周期は金属を表面から追い出し、その後、電極は無金属水を使用して較正されてもよい。水および／または酸は再現可能な表面を提供する。加えて、較正ステップが、装置に、または、少なくともラボオンチップ設計用のチップ上に組み込まれてもよい。この組み込まれた洗浄ステップは再現可能な表面を与え、その再現可能な表面は、各電極４０についてチップに組み込まれた値を有していてもよく、または、デフォルト表面として各電極４０が設けられてもよく、それは、電極を毎回手動で較正することを排除する。言い換えれば、発明者らは驚くべきことに、製造業者が電極を形成してそれを較正し、較正情報を顧客に提供することができること、および、以前の銀または塩化銀電極とは異なり、較正は比較的、経時的に安定したままであることを見出した。次に顧客は、さらに較正することなく、反復可能な態様で洗浄し、テストし、洗浄し、テストして、提供された値を使用して時間を節約してもよい。作用電極４０に前処理ステップを行なわせることによって、または、電極４０を洗浄するために酸チャンバ１０２を使用することによって、それは、較正された表面と一致する再現可能な表面を作成する。サンプルの前に水中で走査を実行することは、存在するいかなる金属も検出して、電極表面からいかなる金属も除去するためにさらに洗浄するようユーザに通知し、それにより、走査開始前に金属が電極上に残っていないことを保証するであろう。そのため、金属がないことは、電極を予め公知の較正へ戻すであろう。そして、ここに説明された洗浄ステップは、電極が較正された状態に戻ることを可能にする。システムが使用するように構成され得る１つのプロセスは洗浄するステップであり、その後に、金属についてのテストステップ走査が続き、金属が存在する場合、再度洗浄し、金属についてテスト走査し、金属がしきい値を下回るまで、または測定不能になるまで繰り返す。水を用いた洗浄が機能しない場合、酸洗浄が、電極を通して、または酸の添加を通して行なわれても
よい。

電極４０が洗浄され、ひいては電極用の較正値にできるだけ近づく能力を最大化するために、ラボオンチップ設計を含む作用電極を有するチャンバは、適切な洗浄周期を保証するために、ｐＨメータ８２を含んでいてもよい。ｐＨメータ８２を有する装置は、河川水または地下水といった有機物などを含む汚れたサンプルにおいて微量金属についてテストする場合、非常に有用である。テスト前に有機物を分解し、サンプルを洗浄するために、ｐＨメータ８２は、反復可能な結果を保証するために酸レベルおよび酸性溶液の確認を可能にする。なぜなら、ある溶液についてのｐＨレベルの違いが、微量金属分析において異なる結果を提供するかもしれないためである。作用電極４０が高い正電位で洗浄される場合のｐＨメータ８２は、電極４０および電子機器が適切に機能してｐｈの予想された変化を提供することを保証するために、ｐＨの変化を探すであろう。加えて、本発明は、システムが液体を並行して作成し準備するために図１５に示すような並列トラックシステムを使用するように、図９、図１５に示すように複数のトラックまたは経路を有していてもよく、それは、上述のようなｐＨを調節するための追加の機構により、異なるｐＨでの異なるトラックの使用を可能にする。なお、ｐＨ調節機構のいずれも、並列トラックへと増やされてもよい。異なるｐＨは、異なるｐＨレベルの同時の迅速な分析を可能にしてもよく、それは、最終結果に組合され得るより正確な結果を可能にする。より具体的には、第１のトラックは、順次、微量金属を洗浄し、微量金属についてテストするために、上述の方法を使用してもよく、並列トラックは電極を使用して、上述のように順次、ｐＨを変更し、テストして、好きなだけの数の他の並列トラック上で異なるｐＨでサンプルを分析してもよい。次に、システム１０は、並列チャネルからの結果を分析して比較し、アルゴリズムを使用してより良好な感度で所望の分析物を判断してもよい。さらに、並列トラックはまた、以下に説明される希釈機構１０８を使用してサンプルを希釈し、従来の見識に反して、微量金属についての感度を向上させてもよい。従来、希釈は感度を減少させ、先行技術はサンプルを濃縮しようとした。加えて、希釈機構１０８は、並列トラックにおいて、上述の酸または塩基修正１０２方法と組合せて使用されてもよい。

図９に示されたものなどのチップ上に形成された場合の装置またはシステムは、電極４０、５０、および６０を含む下部ベース材料または基板２２と、ガスケットまたは中間材料２４と、封止チャンバ３０を提供する上部材料またはカバー２６とから容易に形成されてもよい。

装置はまた、所望する場合、サンプルを希釈するための希釈機構１０８を含んでいてもよい。上述のように、金属は有機物に結合され、または有機物内にあってもよく、ホウ素ドープ電極（作用電極４０、ｐＨ電極８０、または前処理電極７５）が有機材料を分解してより良好な分析を可能にしてもよく、もしくは、酸チャンバ１０２または他の補足チャンバ１００が使用されてもよい。より具体的には、有機材料中の金属は、金属イオンの形では利用できないため、検出から遮蔽されてもよく、したがって酸または塩基を使用することは、有機材料を分解するのに役立つ。そのため、作用電極４０、ｐＨ電極８０（存在する場合）、または前処理電極７５（存在する場合）などのシステム１０は、サンプルのｐＨを変更するために、高い正電位または高い負電位のいずれかを生成するように構成されてもよい。もちろん、ｐＨは、補足チャンバ１００、具体的には、図１３に示すような酸または塩基チャンバ１０２、もしくは、図１２に示すようなｐＨ調節電極８０を含む別個のトラックといった、上述の他の機構を通して変更されてもよい。たとえば、ＯＨ⁻またはヒドロキシルラジカルを生成することは、有機材料を分解し、検出のために金属イオンを解放するのに役立つ。システムの１つの利点は、それが、溶液を酸性または塩基性にするためにラジカルを自己生成し得る、ということである。図１２に示すｐＨ電極は、入力チャンバ７２またはサンプルの貯蔵部と直接通信していなくてもよく、代わりに、水などの液体用の別個の注入ポートを有していてもよく、次にシステム１０は、ｐＨが調節さ
れた液体を分析チャンバ７６に注入することによって、ｐＨ電極でｐＨを修正してもよい。電極４０は次に洗浄ステップを受け、方法は、洗浄およびテストのために上に列挙されたステップに従ってもよい。希釈機構１０８はまた、分析に有用な任意のタイプの液体を添加してもよい。それは、サンプル調製中に、または各チャンバで添加されてもよい。

加えて、発明者らは驚くべきことに、本発明の装置が微量金属についてテストするために使用され得るだけでなく、水を消毒して水の浄化を提供するためにも使用され得る、ということを見出した。より具体的には、電極は、高い正電位を印加することによって有機物を分解して、−ＯＨラジカルを生成してもよい。それは、有機物を分解し、水を消毒する。そして、ホウ素ドープダイヤモンド電極は、より高いパーセントのフリーラジカル、具体的にはヒドロキシルラジカルを有する。加えて、チャンバを出る水に概して有害な病原体がなく、また飲料水において望ましくない重金属がないように、電極４０は次に、水中のいかなる重金属も引きつけるために負電位へ駆動されてもよい。もちろん、固体および有機物を除去するために浄水器が使用されてもよく、その場合、上述の方法は、いかなる残留病原体も消毒して死滅させ、いかなる溶解性重金属も除去するために使用されてもよい。加えて、そのような除去後、装置は、金属を検出するために使用されてもよい。

本発明は、水、血液、尿、および他の水性サンプルを含むさまざまなサンプルで使用されてもよい。加えて、本発明はまた、塩素生成および塩素検出のために使用されてもよい。ラボオンチップは、重金属検出に効果的である。

図１０に示すのは、本発明のための２つの異なるシステムである。システムの１つは、入力チャンバ７２と出口ポート７８との間の通路７０において単一の作用電極４０を使用する第１の例示的なシステム、および、入力チャンバ７２と出口チャンバ７８との間の通路７０において複数の作用電極４０を有する第２の例示的なシステムである。システムはまた、通路７２の各々において参照電極５０と対極６０とを含む。図１１は、マイクロポンプ９０も含む。図面の多くはマイクロポンプなしで図示されているが、それらは図示されていなくても含まれると予想される、ということが理解されるべきである。なぜなら、入口７２と分析チャンバとの間でサンプルを移動させる何らかの方法が予想されるためである。ただし、いくつかのチップは、サンプルを移動させるために毛管作用を使用してもよいが、毛管作用のみに頼ることは、小さい体積のサンプルを可能にし、サンプル中の残骸によって容易にふさがれ、要望通りおよび上述のようにステップを精密に行なうための制御を欠く。

図１２Ａに示すように、別個のｐＨ電極８０が、ｐＨを調節するために含まれてもよく、ｐＨ電極がｐＨを修正しながらいくつかの金属をめっきする場合に、分析中のサンプルに影響を与えないように別個の通路を使用する。図１２Ｂに示すように、ｐＨ電極は、蒸留水などの無金属液体が注入され得る第２の入力または注入チャンバ７２から入力を受信してもよく、次にシステム１０はｐＨ電極を使用して、液体のｐＨを修正し、それを分析チャンバに注入する。ｐＨを監視するために、ｐＨメータ８２が分析チャンバに含まれてもよい。このシステムの利点は、システムがユーザからの最小の入力でｐＨを自動設定または自動調節できる、ということである。チャンバ１００はまた、希釈機構１０８として機能してもよい。

図１３に示すように、酸または塩基チャンバ１０２などの補足チャンバ１００が使用されてもよい。マイクロポンプ（図示せず）が、酸を要望通り分析チャンバ７０へ送り出してもよい。ｐＨメータ８２も分析チャンバ７６に含まれてもよい。システムは、酸または塩基を要望通り送り出してもよく、ｐＨメータは、含まれる場合、分析チャンバで所望のｐＨを作り出すためにどれくらいの量が添加されるかを監視し調節することができる。このシステムはかなり自動的であるが、それは、図１２Ａおよび図１２Ｂと比較して、ユー
ザが酸または塩基を扱うことを必要とする。図１４は、サンプルが入力チャンバ７２から分析チャンバ７６へ移動される際にサンプルのｐＨを調節するために、ｐＨ電極８０を通路７０に含む。ｐＨメータもチャンバ７６に含まれるであろうということが予想される。

例示的なシステムまたは検出器のいずれにも追加され得る前処理電極７５を有する前処理チャンバ７４を、図１４に示す。前処理チャンバ７４および電極７５は、上述のように機能してもよい。

複数の並列トラックを有する検出器チップを、図１５に示す。図示されるように、いくつかは、オプションのｐＨ電極８０およびｐＨメータ８２、作用電極構成の変形を、すべて上述のさまざまな機能を達成するために有していてもよい。図示された検出器は単なる例示であり、もちろん、他の構成、形状およびスタイルで形成されてもよく、図示されたものとは異なる機能性を含んでいてもよい。上述のように、並列方法は、はるかにより高速の分析を提供することが分かっているが、並列方法は、はるかによりデータ集約型である。

図１６は、一連の分析チャンバと、追加の体積チャンバとを示す。追加の体積チャンバは、サンプルの分析チャンバへのよりよい計量を可能にする。好きなだけ多くの追加の分析チャンバが追加されてもよい。この直列方法は、図１５の並列方法よりも正確である、ということが分かっている。図１６はまた、新しい各チャンバへ送リ出すのに十分な水またはサンプル体積があるようにサンプル体積を緩衝するための追加の体積チャンバを示す。加えて、電極からのクロス電位を避けるために、電極同士が有効範囲の２〜３倍の間隔をあけることが推奨されるが、これは変わり得る。チャンバ同士の間隔をさらにあけることはまた、追加の体積チャンバ１０４を必要とすることなく、通路が流体の緩衝量として作用する、という利点を有する。これらの追加の体積チャンバ１０４はまた、金属を剥ぎ取る際に流れを止めるのに役立つ。いくつかのシステムは、銅、後に鉛などの金属を取り除くための一定の流れを有し得るものの、チャンバ内にいったん十分な体積があると、流れは停止され、次に、分析チャンバにおいてサンプル中の金属が剥ぎ取られることが予想される。もちろん、図１０および図１１に示すように、電極４０はチャネルにあるため、それらは動きながら剥ぎ取ってもよく、また、対極６０は通路７０の壁であってもよい。いくつかのプロセスでは、十分な時間および流れの後で、銅がめっきされ、次に、陽極ストリッピングを適用して、銅が放出される際に信号を得ることができる。分析チャンバ７６が１つだけ利用可能である場合には、それを複数回行なわなければならないが、図１６などのように複数のチャンバが利用可能である（３つ以上の多くの分析チャンバ７６を有し得る）場合には、上述のような第１のチャンバは停止して第１の金属を剥ぎ取り、中性電位に近づき、体積は次に、第１の金属がない次のチャンバへ送り出される。しかしながら、次の分析チャンバと交わる新しいサンプルの汚染を避けるために、それは、剥ぎ取るためにその流体の一部を体積チャンバ１０４へ送リ出し、それを繰り返して、所望の金属が第１の分析チャンバを通り過ぎて導かれないことを保証し、正確で精密な測定を保証してもよい。いずれにせよ、電極は、干渉を防止するように構成される必要があり、十分に離れるよう適切に間隔をあける必要がある。なお、１０ｐｐｍ対０．２０ｐｐｂといった利用可能な金属の範囲は、正確な読み取り値を得るためにサンプルを通り過ぎる必要な体積の量に違いをもたらしてもよい。

図１６の検出器２０に類似した検出器を、図１７に示す。それは本質的に環状であるものの、それはまた、始点と終点とが異なる状態で直列に作用し得る。図１７の検出器は、流体を第１の分析チャンバＶ１へ送リ出し、次に、銅などの所望の金属のすべてが電気めっきされるまで、所望期間ｓの間、その作用電極４０を循環させる、ということが予想される。体積は次に、第１の分析チャンバから第２の分析チャンバへ送リ出され、次に、チャンバｖ２（７６）における電極４０は、金属２が除去されるまで、所望時間の間、循環
オン／オフされる。なお、チャンバ１は、第１の金属について同時に周期を繰り返してもよく、または、オフのままであってもよい。繰り返す場合、それは、よりクリーンなサンプルをチャンバ２に提供するであろう。プロセスは次にｖ３について、次にｖ４について繰り返される。

図１８は、表面から盛り上がった、通路における作用電極を示す。他の分析チャンバでは、図示されるように、チャンバにわたって延在する、または中心に丸い点を形成する、または側面から挿入される、類似した構成が使用され得る。

図１９は、本発明において使用可能である、ダイヤモンド電極を形成する以前の方法を示しており、ドープダイヤモンドの薄膜４４を基板４４に施し、次に、絶縁層４８を上部に施し、次に腐食させて除去し、電極を露出させる。上述の電極は、本発明の方法のためにうまく機能するが、発明者らは、チャンバまたはチャネルへと延在する新しい電極を開発し、それにより、よりよい読み取り値、およびサンプルとのよりよい相互作用を提供する。より具体的には、電極は、窪むのではなく、表面から盛り上がっており、または周囲の表面に比べて突出している。図２０に示すように、ホウ素ドープダイヤモンドなどのドープダイヤモンドの層が、基板上に設けられる。次に、酸化物の層が、ダイヤモンドの上に設けられる。酸化物は、下にあるダイヤモンド層を露出させるために選択的に設けられるかまたはエッチング除去される。酸化物は、それに欠陥がない場合、ダイヤモンドを成長させないが、それはまた、ダイヤモンド成長を防止するために水素プラズマで処理されてもよい。電極は次に、ダイヤモンドを成長させるためにシステムに配置され、ダイヤモンドは、それらが酸化物の表面に対して盛り上がる地点に到達するまで、酸化物ではなくダイヤモンド材料上で直ちに成長する。それらがいったん盛り上がると、ダイヤモンド材料が酸化物材料の上部で横向きに成長するのを防止するために、プロセスを停止させるように注意を払う必要がある。上述の水素プラズマ法に加えて、絶縁膜への予熱または変更の他のやり方が、ダイヤモンドの成長を防止するために行なわれてもよい。加えて、図１９の電極を始点として使用して、ダイヤモンドを成長させた後で酸化物または絶縁層を腐食させて除去するために、硫酸および硝酸などの化学物質が使用されてもよく、ダイヤモンドは既存のダイヤモンド層の上で成長して、表面に対して盛り上がり、絶縁層は、エッジがクリーンな電極を提供するように腐食されるようになっている。断面における対極６０を、図２１に示す。

コントローラ１１０と検出器２０とを含む検出器装置１０の概略図を、図２２に示す。コントローラは、図示されたポテンショメータ ポテンシオスタット１２２、ポンプ流体制御装置１２６、洗浄制御装置１２４、およびｐＨ制御装置１２０といった、さまざまなモジュールを有していてもよい。検出器２０は、上述の検出器のいずれかであってもよいが、一般に、ポテンシオスタットと通信する作用電極４０、参照電極５０、および対極６０と、オプションで、ｐＨ制御装置１２０と通信するｐＨ電極８０およびｐＨメータ８２とを含むであろう。

Claims (6)

1. 基板上にホウ素ドープダイヤモンド材料を析出させるステップと、
   前記ホウ素ドープダイヤモンド材料上に絶縁材料を追加するステップと、
   前記ホウ素ドープダイヤモンド材料の露出部分上に追加のホウ素ドープダイヤモンド材料を成長させるステップとを含む、ホウ素ドープダイヤモンド電極を形成する方法。
2. 前記成長させるステップの前に、前記絶縁材料を腐食させて除去するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記成長させるステップの前に、ダイヤモンド材料の成長を防止するように前記絶縁材料を処理するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記処理するステップは、前記絶縁材料を水素プラズマで処理すること、前記絶縁材料を酸洗浄すること、または、傷のない絶縁表面を保証すること、という群から選択される少なくとも１つの処理を含む、請求項３に記載の方法。
5. 前記成長させるステップは、前記絶縁材料を腐食させる追加のステップなしで起こる、請求項１に記載の方法。
6. 前記成長させるステップの後に、前記絶縁材料を腐食させて除去するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。

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