JP6858380B2 - プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
(1)使用するプローブの先端のコンディションによって圧痕の状態が大きく異なるので、プローブによっては導電体面22上に痕がほとんど見えない場合がある。
(2)導電体面22上に3つの圧痕が形成されていても、プローブ角度の精度には、1°程度の幅がある。
(3)顕微鏡と圧痕との位置関係によっては、圧痕を観察しにくい場合があるので、プローブ角度の決定は、作業者の感覚及び経験に大きく依存する。
基板21の導電体面22上に形成された圧痕数が1つの場合、図5(A)に示すように、第2のグランド端子の先端は導電体面22と接触しているが、第1のグランド端子及びシグナル端子は導電体面22と接触していない。プローブ1と導電体面22とは、2つの容量が直列に接続された等価回路を形成する。
基板21の導電体面22上に形成された圧痕数が2つの場合、図5(B)に示すように、第2のグランド端子及びシグナル端子の先端は導電体面22と接触しているが、第1のグランド端子は、導電体面22と接触していない。プローブ1と導電体面22とは、1つの容量と1つのインダクタが直列に接続された等価回路を形成する。
基板21の導電体面22上に形成された圧痕数が3つの場合、図5(C)に示すように、2つのグランド端子及び1つシグナル端子の先端は導電体面22と接触する。プローブ1と導電体面22とは、2つのインダクタが直列に接続された等価回路を形成する。
2 サンプルステージ
2a 並進ステージ
2b 回転ステージ
3 ベクトルネットワークアナライザ
4 周波数拡張ユニット
5 台座
7 制御装置(コンピュータ)
8 高周波特性検査装置
16 プローブステージ
17 ティルトステージ(駆動部)
19 DUT
20 顕微鏡
21 基板
22 導電体面
Claims (13)
- 制御部と、
前記制御部により制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記制御部により制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸の周りの基準角度を決定する方法であって、
前記制御部が、前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
前記制御部が、複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、複数の前記Sパラメータに基づいて複数の反射信号の位相を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、反射信号の位相が負の値であって極大値を示す角度を、前記プローブの前記回転軸の周りの前記基準角度として決定すること、
を含む方法。 - 前記プローブは、1つの前記シグナル端子を有する請求項1に記載の方法。
- 前記プローブは、2つの前記シグナル端子を有し、
前記Sパラメータを前記求めることは、
前記制御部が、前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、第1の前記シグナル端子及び第2の前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて第1の反射信号及び第2の反射信号を受信して第1の前記Sパラメータ及び第2の前記Sパラメータを求めることを含み、
前記基準角度を前記決定することは、
前記制御部が、
複数の第1の前記Sパラメータに基づいて複数の第1の反射信号の位相を求め且つ複数の第2の前記Sパラメータに基づいて複数の第2の反射信号の位相を求めることと、
前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、第1の反射信号の位相が負の値であって極大値を示し且つ第2の反射信号の位相が負の値であって極大値を示す角度を、前記プローブの前記回転軸の周りの前記基準角度として決定すること、
を含む請求項1に記載の方法。 - 制御部と、
前記制御部により制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記制御部により制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸の周りの基準角度を決定する方法であって、
前記制御部が、前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
前記制御部が、複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが複素平面上の所定の領域外から当該所定の領域内に入った時の前記プローブの前記回転軸周りの第1角度を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが前記所定の領域内から前記所定の領域外に出た時の前記プローブの前記回転軸周りの第2角度を求めることと、前記第1角度と前記第2角度の平均値を、前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度として決定すること、
を含む方法。 - 前記プローブは、1つの前記シグナル端子を有する請求項4に記載の方法。
- 前記プローブは、2つの前記シグナル端子を有し、
前記Sパラメータを前記求めることは、
前記制御部が、前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、第1の前記シグナル端子及び第2の前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて第1の反射信号及び第2の反射信号を受信して第1の前記Sパラメータ及び第2の前記Sパラメータを求めることを含み、
前記基準角度を前記決定することは、
前記制御部が、
前記プローブの前記回転軸の周りの角度の変化に対して、第1の前記Sパラメータ及び第2の前記Sパラメータの両方が前記所定の領域内に入った時の前記プローブの前記回転軸周りの前記第1角度を求めることと、
前記プローブの前記回転軸の周りの角度の変化に対して、第1の前記Sパラメータ及び第2の前記Sパラメータの内の少なくとも1つが前記所定の領域内から当該所定の領域外に出た時の前記プローブの前記回転軸周りの第2角度を求めることと、
前記第1角度と前記第2角度の平均値を、前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度として決定すること、
を含む請求項4に記載の方法。 - 前記Sパラメータを前記求めることは、
前記制御部が、
前記導電体面と、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端の内の少なくとも1つとを接触させた状態を基準として、前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸の周りの角度を所定の範囲内で変化させること、
を含む請求項1〜6の何れか一項に記載の方法。 - 制御部と、
前記制御部により制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記制御部により制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置であって、
前記制御部は、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、複数の前記Sパラメータに基づいて複数の反射信号の位相を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、反射信号の位相が負の値であって極大値を示す角度を、前記プローブの前記回転軸の周りの前記基準角度として決定すること、
を実行する高周波特性検査装置。 - コンピュータと、
前記コンピュータにより制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記コンピュータにより制御され、前記プローブを前記回転軸周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸周りの基準角度を決定することをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、複数の前記Sパラメータに基づいて複数の反射信号の位相を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、反射信号の位相が負の値であって極大値を示す角度を、前記プローブの前記回転軸の周りの前記基準角度として決定すること、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム。 - コンピュータと、
前記コンピュータにより制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記コンピュータにより制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸周りの基準角度を決定することをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムを記憶する非一時的な記憶媒体であって、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、複数の前記Sパラメータに基づいて複数の反射信号の位相を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、反射信号の位相が負の値であって極大値を示す角度を、前記プローブの前記回転軸の周りの前記基準角度として決定すること、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムを記憶する非一時的な記憶媒体。 - 制御部と、
前記制御部により制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記制御部により制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置であって、
前記制御部は、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが複素平面上の所定の領域外から当該所定の領域内に入った時の前記プローブの前記回転軸周りの第1角度を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが前記所定の領域内から前記所定の領域外に出た時の前記プローブの前記回転軸周りの第2角度を求めることと、前記第1角度と前記第2角度の平均値を、前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度として決定すること、
を実行する高周波特性検査装置。 - コンピュータと、
前記コンピュータにより制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記コンピュータにより制御され、前記プローブを前記回転軸周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸周りの基準角度を決定することをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが複素平面上の所定の領域外から当該所定の領域内に入った時の前記プローブの前記回転軸周りの第1角度を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが前記所定の領域内から前記所定の領域外に出た時の前記プローブの前記回転軸周りの第2角度を求めることと、前記第1角度と前記第2角度の平均値を、前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度として決定すること、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム。 - コンピュータと、
前記コンピュータにより制御されるベクトルネットワークアナライザと、
被試験装置が載置される平坦な載置面を有するステージと、
前記ベクトルネットワークアナライザとの間で信号の送受信が可能なシグナル端子及びグランド端子を有するプローブであって、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と前記被試験装置との接触状態を、回転軸を中心として回転することにより変更可能なプローブと、
前記コンピュータにより制御され、前記プローブを前記回転軸の周りに回転させる駆動部と、
を備える高周波特性検査装置において、前記プローブの前記回転軸周りの基準角度を決定することをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムを記憶する非一時的な記憶媒体であって、
前記駆動部を制御して、前記プローブの前記回転軸周りの角度を変化させることにより、前記シグナル端子の先端及び前記グランド端子の先端と、前記ステージの前記載置面上に載置された平坦な導電体面を有する基板の前記導電体面との接触状態を変化させながら、前記ベクトルネットワークアナライザを制御して、前記プローブの前記回転軸周りの異なる角度において、前記シグナル端子から高周波信号を前記導電体面に出力し且つ前記プローブを用いて反射信号を受信してSパラメータを求めることと、
複数の前記Sパラメータに基づいて、前記シグナル端子の先端と前記グランド端子の先端とを結んで形成される基準線と前記導電体面とが平行となる前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度を決定することであって、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが複素平面上の所定の領域外から当該所定の領域内に入った時の前記プローブの前記回転軸周りの第1角度を求めることと、前記プローブの前記回転軸周りの角度の変化に対して、前記Sパラメータが前記所定の領域内から前記所定の領域外に出た時の前記プローブの前記回転軸周りの第2角度を求めることと、前記第1角度と前記第2角度の平均値を、前記プローブの前記回転軸周りの前記基準角度として決定すること、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムを記憶する非一時的な記憶媒体。
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