JP7420378B2 - プローブのティルト角度の調整方法及び高周波特性検査システム - Google Patents
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Description
まず、プローブのティルト角度の調整を非接触で行えるかについて、電磁界シミュレーションを行って検討した。
なお、ΔSmeasは、以下のように表される。
上で述べたシミュレーション及び実験の結果に基づく、本発明の実施の形態について以下に説明する。
特許文献1の技術を用いて導電体面上でプローブのティルト角度を調整した後、Thru基準器上に移動させて上で述べた処理フローを5回実行した。図9に、上で述べた処理フローにおけるN=1からN=21までのティルト角度の遷移を示す。図9の横軸は試行回数Nを表しており、縦軸はティルト角度を表す。N=21におけるティルト角度の平均値は0.066°であり、標準偏差は0.206°である。
2 ステージ
3 VNA
7 制御装置
Claims (5)
- シグナル端子とグランド端子とを有するプローブと、
前記プローブへの信号と前記プローブからの信号とに基づきSパラメータを算出する分析部と、
載置面に載置された被試験デバイスに対する前記プローブの位置及びティルト角度を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部が、
前記プローブを、前記被試験デバイスの上方にあり且つ前記被試験デバイスと前記プローブとが非接触である第1の基準位置に配置し、
前記第1の基準位置おける第1のSパラメータとの複素平面上の距離が第1の閾値を超えることとなる第2のSパラメータが算出され、前記第1の基準位置より前記被試験デバイスに近く且つ前記プローブが前記被試験デバイスと非接触である第2の基準位置を探索し、
前記第1のSパラメータとの前記複素平面上の距離が前記第1の閾値より大きい第2の閾値を超える第3のSパラメータが算出され且つ前記第1の基準位置及び前記第2の基準位置より前記被試験デバイスに近い位置を探索し、前記第2の基準位置から、探索された前記位置までの長さを測定し、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより長い場合には、ティルト角度の増加方向を変化させた上でティルト角度を変化させ、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより短い場合には、ティルト角度を同じ増加方向で変化させる
処理を複数回実行することで、複数のティルト角度の中で前記長さがより短いティルト角度を探索する
高周波特性検査システム。 - 前記制御部は、
前記処理を、第1の所定回数実施するか、又は、
同一ティルト角度で同一の長さが第2の所定回数以上連続して得られるまで実施する
請求項1記載の高周波特性検査システム。 - シグナル端子とグランド端子とを有するプローブと、前記プローブへの信号と前記プローブからの信号とに基づきSパラメータを算出する分析部と、載置面に載置された被試験デバイスに対する前記プローブの位置及びティルト角度を制御する制御部とを有する高周波特性検査システムにおける前記プローブのティルト角度調整方法であって、
前記制御部が、
前記プローブを、前記被試験デバイスの上方にあり且つ前記被試験デバイスと前記プローブとが非接触である第1の基準位置に配置し、
前記第1の基準位置おける第1のSパラメータとの複素平面上の距離が第1の閾値を超えることとなる第2のSパラメータが算出され、前記第1の基準位置より前記被試験デバイスに近く且つ前記プローブが前記被試験デバイスと非接触である第2の基準位置を探索し、
前記第1のSパラメータとの前記複素平面上の距離が前記第1の閾値より大きい第2の閾値を超える第3のSパラメータが算出され且つ前記第1の基準位置及び前記第2の基準位置より前記被試験デバイスに近い位置を探索し、前記第2の基準位置から、探索された前記位置までの長さを測定し、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより長い場合には、ティルト角度の増加方向を変化させた上でティルト角度を変化させ、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより短い場合には、ティルト角度を同じ増加方向で変化させる
処理を複数回実行することで、複数のティルト角度の中で前記長さがより短いティルト角度を探索する
ティルト角度調整方法。 - シグナル端子とグランド端子とを有するプローブと、前記プローブへの信号と前記プローブからの信号とに基づきSパラメータを算出する分析部と、載置面に載置された被試験デバイスに対する前記プローブの位置及びティルト角度を制御する制御装置とを有する高周波特性検査システムにおける制御装置に、
前記プローブを、前記被試験デバイスの上方にあり且つ前記被試験デバイスと前記プローブとが非接触である第1の基準位置に配置し、
前記第1の基準位置おける第1のSパラメータとの複素平面上の距離が第1の閾値を超えることとなる第2のSパラメータが算出され、前記第1の基準位置より前記被試験デバイスに近く且つ前記プローブが前記被試験デバイスと非接触である第2の基準位置を探索し、
前記第1のSパラメータとの前記複素平面上の距離が前記第1の閾値より大きい第2の閾値を超える第3のSパラメータが算出され且つ前記第1の基準位置及び前記第2の基準位置より前記被試験デバイスに近い位置を探索し、前記第2の基準位置から、探索された前記位置までの長さを測定し、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより長い場合には、ティルト角度の増加方向を変化させた上でティルト角度を変化させ、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより短い場合には、ティルト角度を同じ増加方向で変化させる
処理を複数回実行させることで、複数のティルト角度の中で前記長さがより短いティルト角度を探索させるためのプログラム。 - シグナル端子とグランド端子とを有するプローブと、前記プローブへの信号と前記プローブからの信号とに基づきSパラメータを算出する分析部とを有する高周波特性検査システムにおいて、載置面に載置された被試験デバイスに対する前記プローブの位置及びティルト角度を制御するための制御装置であって、
前記プローブを、前記被試験デバイスの上方にあり且つ前記被試験デバイスと前記プローブとが非接触である第1の基準位置に配置し、
前記第1の基準位置おける第1のSパラメータとの複素平面上の距離が第1の閾値を超えることとなる第2のSパラメータが算出され、前記第1の基準位置より前記被試験デバイスに近く且つ前記プローブが前記被試験デバイスと非接触である第2の基準位置を探索し、
前記第1のSパラメータとの前記複素平面上の距離が前記第1の閾値より大きい第2の閾値を超える第3のSパラメータが算出され且つ前記第1の基準位置及び前記第2の基準位置より前記被試験デバイスに近い位置を探索し、前記第2の基準位置から、探索された前記位置までの長さを測定し、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより長い場合には、ティルト角度の増加方向を変化させた上でティルト角度を変化させ、
測定された前記長さが、直前に測定された長さより短い場合には、ティルト角度を同じ増加方向で変化させる
処理を複数回実行することで、複数のティルト角度の中で前記長さがより短いティルト角度を探索する
制御装置。
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JP2020026493A JP7420378B2 (ja) | 2020-02-19 | 2020-02-19 | プローブのティルト角度の調整方法及び高周波特性検査システム |
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WO2019050001A1 (ja) | 2017-09-07 | 2019-03-14 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | プローブの角度を決定する方法、高周波特性検査装置、プログラム及び記憶媒体 |
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Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
CAGLAYAN, Cosan ; TRICHOPOULOS, Georgios C. ; SERTEL, Kubilay,"Non-Contact Probes for On-Wafer Characterization of Sub-Millimeter-Wave Devices and Integrated Circuits",IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques,2014年11月,Vol. 62,No. 11,pp. 2791-2801,DOI: 10.1109/TMTT.2014.2356176 |
SAKAMAKI, R.,"Contactless in-situ probe planarity adjustment on co-planar devices",2022 98th ARFTG Microwave Measurement Conference (ARFTG),2022年01月17日,DOI: 10.1109/ARFTG52954.2022.9844092 |
坂巻亮;堀部雅弘,"高周波プローブのティルト角度の自動調整技術の実デバイスへの適用",電子情報通信学会2020年総合大会講演論文集 エレクトロニクス1,2020年03月03日,p. 69 |
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