JP6851301B2 - 観察対象物カバー、干渉観察用容器、干渉観察装置及び干渉観察方法 - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 第1光、及び前記第1光よりもコヒーレント長が長い第2光を用いて、前記第2光の干渉結果に基づいて光路長差を調整しつつ、前記第1光による観察対象物の干渉光像を取得する干渉観察のための観察対象物カバーであって、
前記第1光を透過させると共に前記第2光を反射させる透過反射部と、
前記観察対象物が載置される載置面と前記透過反射部とが所定の間隔を空けて互いに向かい合うように、前記透過反射部を支持する支持部と、を備える、観察対象物カバー。 - 前記支持部は、第1板部と、前記第1板部と前記透過反射部との間に段差が形成されるように前記第1板部及び前記透過反射部に接続された第2板部と、を有し、前記透過反射部が前記第1光の入射方向において前記第1板部に対して前記載置面側に位置するように、前記透過反射部を支持する、請求項1に記載の観察対象物カバー。
- 前記第2板部は、前記透過反射部から離れるほど前記第2板部及び前記透過反射部によって画定される空間が拡がるように、前記第1光の前記入射方向に対して傾斜して延在している、請求項2に記載の観察対象物カバー。
- 前記第2板部及び前記透過反射部によって画定される空間は、前記第1光の入射方向に直交する断面において円形状を呈している、請求項2又は3に記載の観察対象物カバー。
- 前記支持部は、前記第2板部と互いに向かい合うように前記第1板部から延在する第3板部を更に有している、請求項2〜4のいずれか一項に記載の観察対象物カバー。
- 前記透過反射部は、光透過性の基板と、前記基板における前記載置面側に向く表面に設けられ、前記第1光を透過させると共に前記第2光を反射させる光学層と、を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の観察対象物カバー。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の観察対象物カバーと、
前記載置面が設けられた底壁部、及び、前記底壁部から前記載置面と直交する方向に沿って延在する側壁部を有する保持部材と、を備え、
前記観察対象物カバーは、前記載置面と前記透過反射部が所定の間隔を空けて互いに向かい合うように、前記側壁部上に配置される、干渉観察用容器。 - 前記観察対象物カバーは、前記観察対象物カバーと前記保持部材との間が密閉されるように、前記保持部材に取り付けられる、請求項7に記載の干渉観察用容器。
- 前記側壁部には、第1螺合部が設けられており、
前記支持部は、前記第1光の入射方向に沿って延在する第4板部を有し、
前記第4板部には、前記第1螺合部と螺合する第2螺合部が設けられており、
前記観察対象物カバーは、前記第1螺合部と前記第2螺合部とが互いに螺合することにより、前記保持部材に取り付けられる、請求項7又は8に記載の干渉観察用容器。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の観察対象物カバーと、
前記第1光を出力する第1光源と、
前記第2光を出力する第2光源と、
前記第1光の干渉光、及び前記第2光の干渉光を出力する干渉光学系と、
前記第1光の干渉光を検出する第1光検出部と、
前記第2光の干渉光を検出する第2光検出部と、
前記載置面が設けられた保持部材と、を備える、干渉観察装置。 - 請求項10に記載の干渉観察装置を用いた干渉観察方法であって、
前記載置面に前記観察対象物を載置する第1ステップと、
前記第1ステップの後に、前記載置面と前記透過反射部とが所定の間隔を空けて互いに向かい合うように前記観察対象物カバーを配置する第2ステップと、
前記第2ステップの後に、前記第2光の干渉結果に基づいて光路長差を調整しつつ、前記第1光による観察対象物の干渉光像を取得する第3ステップと、を含む干渉観察方法。
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