JP6849858B2 - 2段階成膜プロセスにおける接合抵抗の変動の低減 - Google Patents
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- H10N60/10—Junction-based devices
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Description
tmetal=tdep(1−cosθ) (1)
ここで、θは角度250である。角度250は、例えば10から80°でありうる。
tmetal=tdep(1−cosθ) (1)
ここで、θは、例えば角度270である。角度270は、例えば、10から80°の間でありうる。
102 平面図
104、106 断面図
108 基板
110 第1のレジスト層
111 第1の厚さ
112 第2のレジスト層
113 第2の厚さ
114 第1の開口部
116 第2の開口部
118 第1の開口部の幅
120 第2の開口部の幅
122 平面図
124、126 断面図
125 第1の成膜フロー方向
128 底部コンタクト
130 成膜角度
132 成膜層
132a 上面領域
132b 側壁領域
142 平面図
144、146 断面図
148 上部コンタクト
150 成膜角度
151 第2の成膜フロー方向
152 意図された幅とは異なる幅
200 3層レジストマスク
202 平面図
204、206 断面図
208 基板
210 第1のレジスト層
211 第1の厚さ
212 第2のレジスト層
213 第2の厚さ
214 第3のレジスト層
215 第3の厚さ
216 第1の開口部
218 第2の開口部
220 第3の開口部
211 マスク開口領域
222 第1の開口部の幅
224 第2の開口部の幅
226 第3の開口部の幅
228 第1のアンダーカット幅
230 第2のアンダーカット幅
240 平面図
242、244 断面図
248 底部コンタクト
250 第1の成膜における角度
251 第1の成膜フロー方向
252 成膜層
252a 上面領域
252b 側壁領域
252c 上面
254 第1の成膜層厚さ
256 第1の成膜層厚さ(tdep)
258 上部コンタクト
260 平面図
262、264 断面図
270 第2の成膜における角度
271 第2の成膜フロー方向
272 成膜層
272b 側壁領域
272c 第2のレジスト層の上面
274 第1の成膜層厚さ(tdep)
276 第2の成膜層厚さ(tmetal)
308 基板
310 第1のレジスト層
312 第2のレジスト層
314 第3のレジスト層
315 第3のレジスト層の厚さt3
316、318、320 開口部
324 第2の開口部の幅w
328 第1のアンダーカット幅uc1
330 第2のアンダーカット幅uc2
350 成膜の角度
351 第1の成膜フロー
356 金属の厚さ(tmetal)
358 第2の成膜層
371 第2の成膜フロー
380 意図される幅よりも小さい幅
400 3層レジストマスク
410 第1のレジスト層
411 第1のレジスト層の厚さ
412 第2のレジスト層
413 第2のレジスト層の厚さ
414 第3のレジスト層
415 第3のレジスト層の厚さ
416、418 420 開口部
417 第1の開口部の幅
419a 第2の開口部の縁
419b 第2の開口部の縁
421 マスク開口領域
421a 第3の開口部の縁
421b 第3の開口部の縁
422 開口部420のY方向に沿った幅
424 開口部420のX方向に沿った幅
426 開口部418のY方向に沿った幅
428 開口部
430 第2のアンダーカット幅
440 平面図
442、444 断面図
448 底部コンタクト
451 第1の成膜フロー方向
452 成膜層
452a 上面領域
452b 側壁領域
460 平面図
462、464 断面図
470 基板表面の配向する角度
471 第2の成膜フロー方向
472 成膜層
Claims (13)
- 誘電体基板を提供する段階と、
前記誘電体基板上に第1のレジスト層を形成する段階と、
前記第1のレジスト層上に第2のレジスト層を形成する段階と、
前記第2のレジスト層上に第3のレジスト層を形成する段階と、を含み、
前記第1のレジスト層が、前記第1のレジスト層の厚さを通して延在する第1の開口部を含み、前記第2のレジスト層が、前記第1の開口部の上に位置合わせされ、前記第2のレジスト層の厚さを通して延在する第2の開口部を含み、前記第3のレジスト層が、前記第2の開口部の上に位置合わせされ、前記第3のレジスト層の厚さを通して延在する第3の開口部を含む、方法であって、
前記方法がさらに、
前記第1の開口部、前記第2の開口部及び前記第3の開口部を通して、前記基板に対して第1の成膜角度で材料の第1の層を成膜する段階と、
前記第1の開口部、前記第2の開口部及び前記第3の開口部を通して、前記基板に対して第2の成膜角度で材料の第2の層を成膜する段階と、を含み、前記基板と、材料成膜ソースとの間の配向が、前記第1の層の成膜についての第1の位置から前記第2の層の成膜についての第2の位置へ変更され、
前記第1の開口部、前記第2の開口部及び前記第3の開口部のそれぞれの厚さが、前記誘電体基板の表面の法線方向である第1の方向に沿って延在し、
前記第1の開口部、前記第2の開口部及び前記第3の開口部のそれぞれが、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に沿って延在する対応する幅を有し、
前記第2の開口部の幅が、前記第1の開口部の幅よりも小さく、前記第3の開口部の幅よりも小さい、方法。 - 前記第1のレジスト層における前記第1の開口部及び前記第3のレジスト層における前記第3の開口部が、前記第1のレジスト層、前記第2のレジスト層及び前記第3のレジスト層を第1のパターンで露光することによって画定され、前記第2のレジスト層における前記第2の開口部が、前記第1のレジスト層、前記第2のレジスト層及び前記第3のレジスト層を第2のパターンで露光することによって画定され、前記第1のレジスト層、前記第2のレジスト層及び前記第3のレジスト層がその後現像される、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の第1の層及び前記材料の第2の層が、超伝導材料である、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の第2の層を成膜する前に、前記材料の第1の層の表面酸化を実行して、前記材料の第1の層の酸化領域を提供する段階をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の第1の層の一部、前記酸化領域の一部及び前記材料の第2の層の一部が、ジョセフソン接合を形成する、請求項4に記載の方法。
- 前記材料の第1の層の一部、前記酸化領域の一部及び前記材料の第2の層の一部が、量子情報処理デバイスの一部を形成する、請求項4に記載の方法。
- 前記量子情報処理デバイスが、キュービットを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1のレジスト層、前記第2のレジスト層、前記第3のレジスト層、及び過剰な成膜材料を除去する段階をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記材料の第1の層を成膜した後であって、前記材料の第2の層を成膜する前に、前記基板を回転する段階を含む、請求項8に記載の方法。
- 前記材料の第1の層を成膜した後であって、前記材料の第2の層を成膜する前に、前記誘電体基板に対して前記材料成膜ソースの位置を変更する段階を含む、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の開口部、前記第2の開口部及び前記第3の開口部が、前記誘電体基板の表面を露出させるマスク開口領域を画定し、
前記マスク開口領域の第1の側が、前記第2の開口部の第1の縁と、前記第3の開口部の第1の縁との間の距離によって画定された第1のアンダーカットを含み、
前記マスク開口領域の前記第1の側に直接対向する前記マスク開口領域の第2の側が、前記第2の開口部の第2の縁と、前記第3の開口部の第2の縁との間の距離によって画定された第2のアンダーカット幅を含む、請求項8に記載の方法。 - 前記材料の第1の層の成膜の際に、前記マスク開口領域の前記第1の側が、前記マスク開口領域の前記第2の側よりも材料成膜ソースに近い、請求項11に記載の方法。
- 前記第2のアンダーカット幅が、第1の成膜プロセスの際に、前記第3のレジスト層の側壁上に成膜される材料の厚さよりも大きい、請求項12に記載の方法。
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