JP6831770B2 - 波長掃引光源 - Google Patents
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Description
図2に、本発明の実施形態1に係る波長掃引光源の構成例を示す。実施形態1の波長掃引光源は、リング共振器を用いたFDMLレーザである。FDMLレーザ部の構成は、光増幅器210、アイソレータ220、波長フィルタ230、光カプラ260、光遅延ファイバ270が配置されたリング共振器を構成するファイバリング、および波長フィルタ230が備える光偏向器233を駆動するドライバ装置240からなる。また、光遅延ファイバ270を含むリングファイバに偏波保持ファイバ(PMファイバ)を用いて周回する光の偏光状態を保持する構成としている。実施形態1では、このFDMLレーザ部に加えて、さらにファイバリングの周回周期と波長フィルタ230の掃引周期の1以上の整数倍との差がゼロとなるように波長フィルタ230の掃引周期を調整する安定化機構250を備える。
図4に、本発明の実施形態2に係る波長掃引光源の構成例を示す。FDMLレーザ部の構成は実施形態1と同様であり、実施形態1と異なるのは安定化機構280のみである。実施形態2の安定化機構280は、参照光を出力するレーザ光源281、参照光の強度変調を行う強度変調器282、ファイバリングを伝搬する光と参照光を合波する光カプラ283、ファイバリングを伝搬する光から参照光を分波する光カプラ284、ファイバリングを周回した参照光の強度を検出するフォトディテクタ285、遅延線286、ファイバリングを周回した参照光の強度信号とKTN光偏向器233の駆動信号との位相差を計測する位相差計287からなる。
120、220 アイソレータ
130 偏波コントローラ
140、230 波長フィルタ
141、231 サーキュレータ
142、232 コリメータレンズ
143 半波長板
144 偏光ビームスプリッタ
145、233 KTN光偏向器
146、234 回折格子
150、240 ドライバ装置
160、260、283、284 光カプラ
170、270 光遅延ファイバ
250、280 安定化機構
251、281 レーザ光源
252、282 強度変調器
253 偏光ビームスプリッタ
254 1/4波長板
255 ダイクロイックミラー
256、285 フォトディテクタ
257、286 遅延線
258、287 位相差計
Claims (6)
- 所定の波長帯の光を出射する光増幅部と、
前記光増幅部から入射された光から、所定の波長掃引周波数で選択波長を変化する波長選択部と、
前記波長選択部から出力された光を2分岐して、一方の分岐光を前記光増幅部に帰還させ、他方の分岐光を出力光として出力する第1の光分岐部と、
前記光増幅部と前記波長選択部との間に配置された光遅延部と、
を含む共振器部、および
前記波長掃引周波数を少なくとも前記光遅延部の光路長の変化に応じて調整するよう前記波長選択部を制御する安定化機構部であって、
前記波長掃引周波数で強度変調された参照光を出力する光源部と、
前記波長選択部にて波長選択した後に前記光遅延部に入力される光と前記参照光とを合波し、前記波長選択部にて波長選択する前に前記光遅延部から出力された前記参照光を分波する光合分波部と、
前記光合分波部で分波された前記参照光の光強度を測定する光検出部と、
前記光検出部から出力される前記参照光の光強度信号波形と前記光源部の強度変調信号波形との位相差を前記出力光が最大、または、所定の値になるときの位相差になるように、前記波長掃引周波数を調整するフィードバック制御部と、
を含む安定化機構部
を備えたことを特徴する波長掃引光源。 - 前記光合分波部は、前記参照光の波長の光を反射して前記光増幅部からの出射光の波長の光を反射しないダイクロイックミラーを含み、
前記安定化機構部は、偏光ビームスプリッタと1/4波長板とを含み、
前記光源部から出力された直後の前記参照光は直線偏光であり、
前記偏光ビームスプリッタは、前記光源部から出力された直後の前記参照光を透過し、前記光源部から出力された直後の前記参照光の偏光軸に対して90度回転した偏光軸を持つ光を反射するように配置され、
前記光源部から出力された前記参照光は、前記偏光ビームスプリッタを透過した後に前記1/4波長板を通って円偏光に変換された後に前記光合分波部にて合波され、
前記光合分波部にて分波された前記参照光は、前記1/4波長板にて前記光源部から出力された直後の前記参照光の偏光軸に対して90度回転した偏光軸となる直線偏光にした後に、前記偏光ビームスプリッタにて反射されて前記光検出部に入射する
ことを特徴とする請求項1に記載の波長掃引光源。 - 前記光合分波部は、前記参照光の波長の光を反射して前記光増幅部からの出射光の波長の光を反射しないダイクロイックミラーを含み、
前記安定化機構部は、アイソレータとビームサンプラとを含み、
前記光源部から出力された前記参照光は、前記アイソレータ、及び前記ビームサンプラの順に透過した後に前記光合分波部にて合波され、
前記光合分波部にて分波された前記参照光は、前記ビームサンプラにて一部が反射されて前記光検出部に入射し、
前記ビームサンプラを透過した前記参照光は、前記アイソレータにより前記光源部に入射することを阻止する
ことを特徴とする請求項1に記載の波長掃引光源。 - 前記フィードバック制御部は、前記参照光の光強度信号波形が前記光源部の強度変調信号波形に対して時間的に遅れているとき前記波長掃引周波数を低くし、前記参照光の光強度信号波形が前記光源部の強度変調信号波形に対して時間的に進んでいるとき前記波長掃引周波数を高くする
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の波長掃引光源。 - 前記参照光は、前記光増幅部の増幅帯域に入らない周波数を有する
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の波長掃引光源。 - 前記波長選択部は、KTN光偏向器および回折格子を含む
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の波長掃引光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017238999A JP6831770B2 (ja) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 波長掃引光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017238999A JP6831770B2 (ja) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 波長掃引光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019106488A JP2019106488A (ja) | 2019-06-27 |
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ID=67062644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017238999A Active JP6831770B2 (ja) | 2017-12-13 | 2017-12-13 | 波長掃引光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6831770B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113587827B (zh) * | 2021-06-10 | 2023-07-18 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 一种晶圆面形实时在线测量系统及其测量方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3363950B2 (ja) * | 1993-06-28 | 2003-01-08 | 日本電信電話株式会社 | モード同期レーザ装置 |
JP3276094B2 (ja) * | 1994-04-19 | 2002-04-22 | 日本電信電話株式会社 | モード同期レーザ装置 |
WO2002025783A2 (en) * | 2000-09-22 | 2002-03-28 | Calmar Optcom, Inc. | Actively mode-locked fiber laser with controlled chirp output |
JP5384978B2 (ja) * | 2009-03-19 | 2014-01-08 | オリンパス株式会社 | 光パルス発生装置を含む光学システム |
JP5991914B2 (ja) * | 2012-12-25 | 2016-09-14 | 日本電信電話株式会社 | ビームスキャナおよび偏向光源 |
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2017
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019106488A (ja) | 2019-06-27 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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